JPS60160027A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60160027A JPS60160027A JP1546084A JP1546084A JPS60160027A JP S60160027 A JPS60160027 A JP S60160027A JP 1546084 A JP1546084 A JP 1546084A JP 1546084 A JP1546084 A JP 1546084A JP S60160027 A JPS60160027 A JP S60160027A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- co3o4
- magnetic recording
- recording medium
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＣｏまたはＣｏ −Ｎｉ合金等いわゆるＣＯを
主体とする金属磁性薄膜を有してなる磁気記録媒体に関
する。
主体とする金属磁性薄膜を有してなる磁気記録媒体に関
する。
背景技術とその問題点
近年、磁気記録の高密度化の目的で磁性薄膜型の磁気記
録媒体即ち非磁性支持体上に電気メッキ、無電界メッキ
、イオンプレーテインク、スパツタリンベ真空蒸着等の
方法により数百Ａ−ｆｉぼ１μの厚みの強磁性薄膜を形
成させた磁気記録媒体について研究が盛んである。特に
斜め蒸着法は高い抗磁力を有する磁気記録媒体が得られ
るので種々の改良、改善がなされている。この斜め蒸着
法により強磁性薄膜を形成する磁気記録媒体では、その
磁性薄膜の形成の際にその抗磁力Ｈ（ｉを高めるために
酸素０２を含むガスを導入した雰囲気中で蒸着すること
はよく知られている。この方法で形成された磁性薄膜中
には酸化物が含まれる。例えばＣ。
録媒体即ち非磁性支持体上に電気メッキ、無電界メッキ
、イオンプレーテインク、スパツタリンベ真空蒸着等の
方法により数百Ａ−ｆｉぼ１μの厚みの強磁性薄膜を形
成させた磁気記録媒体について研究が盛んである。特に
斜め蒸着法は高い抗磁力を有する磁気記録媒体が得られ
るので種々の改良、改善がなされている。この斜め蒸着
法により強磁性薄膜を形成する磁気記録媒体では、その
磁性薄膜の形成の際にその抗磁力Ｈ（ｉを高めるために
酸素０２を含むガスを導入した雰囲気中で蒸着すること
はよく知られている。この方法で形成された磁性薄膜中
には酸化物が含まれる。例えばＣ。
をこのような方法で蒸着した場合には磁性薄膜中に含ま
れる酸化物は一般にはＣｏｏである。Ｃｏｏが含まれる
場合には酸素０２を含むガスを導入しない磁性薄膜より
も膜中のＣｏの化学的安定性は増すが、しかし、その安
定性は充分ではない。Ｃｏの酸化物でもＣｏｏよりＣｏ
３Ｏ４の方がいわゆる不動組として作用することは熱力
学の教えるところである。
れる酸化物は一般にはＣｏｏである。Ｃｏｏが含まれる
場合には酸素０２を含むガスを導入しない磁性薄膜より
も膜中のＣｏの化学的安定性は増すが、しかし、その安
定性は充分ではない。Ｃｏの酸化物でもＣｏｏよりＣｏ
３Ｏ４の方がいわゆる不動組として作用することは熱力
学の教えるところである。
発明の目的
本発明は、上述の点に鑑み、耐腐食性に優れ、化学的安
定性に富む磁気記録媒体を提供するものである。
定性に富む磁気記録媒体を提供するものである。
発明の概要
本発明は、ＣｏまたはＣｏ −Ｎｉ合金等のいわゆるＣ
ｏを主体とする磁性薄膜を有する磁気記録媒体において
、その磁性薄膜の少なくとも表面部にＣｏ３０４を存在
せしめるよ５にしたものである。
ｏを主体とする磁性薄膜を有する磁気記録媒体において
、その磁性薄膜の少なくとも表面部にＣｏ３０４を存在
せしめるよ５にしたものである。
この発明の磁気記録媒体では、磁性薄膜の表面がＣｏ３
Ｏ４の不動転膜に覆われているので耐腐食性が増し、化
学的安定性に富む磁気記録媒体が得られる。
Ｏ４の不動転膜に覆われているので耐腐食性が増し、化
学的安定性に富む磁気記録媒体が得られる。
実施例
以下本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明に適用される蒸着装置の概略図である。
この蒸着装置（１）は所定量の酸素を含む真空雰囲気に
保たれた真空チャンバ（２）内に金属キャン（３）が設
けられ、これをめぐって非磁性支持体（４）が供給リー
ル（５）から巻取りリール（６）に移送され、金属キャ
ン（３）に対向する下方に適当な距離をおいて金属磁性
材料、例えばＣｏ或いはＣｏ−Ｎｉ合金等の蒸着源（７
）が配置され、この蒸着源から護発した金属磁性粒子が
シャッタ（８）によって非磁性支持体（４）上に所定の
入射角θをもって斜め蒸着されるように構成されている
。
保たれた真空チャンバ（２）内に金属キャン（３）が設
けられ、これをめぐって非磁性支持体（４）が供給リー
ル（５）から巻取りリール（６）に移送され、金属キャ
ン（３）に対向する下方に適当な距離をおいて金属磁性
材料、例えばＣｏ或いはＣｏ−Ｎｉ合金等の蒸着源（７
）が配置され、この蒸着源から護発した金属磁性粒子が
シャッタ（８）によって非磁性支持体（４）上に所定の
入射角θをもって斜め蒸着されるように構成されている
。
比較例１
上記蒸着装置（１）を使用し、金属パイプ（図示せず）
を通して酸素ガス０２を１００ｃｃ／ｘｉ流しつつ、真
空中で高分子フィルムよりなる非磁性支持体（４）上に
膜厚が１２０ＯＡとなるようにＣＯを斜め蒸着した。
を通して酸素ガス０２を１００ｃｃ／ｘｉ流しつつ、真
空中で高分子フィルムよりなる非磁性支持体（４）上に
膜厚が１２０ＯＡとなるようにＣＯを斜め蒸着した。
蒸着時の入射角θは４０〜９０ であった。このように
して作製されたサンプルテープを比較例１とした。
して作製されたサンプルテープを比較例１とした。
実施例１
上記蒸着装置（１）を使用し、２００℃に加熱された金
属パイプ（図示せず）を通して酸素ガス０２を８０ＣＣ
／−流しつつ、真空中で高分子フィルムよりなる非磁性
支持体（４）上に膜厚が１２０ＯＡとなる・よさにＣｏ
を斜め蒸着した。蒸着時の入射角θは４０〜９０°であ
った。このようにして作製されたサンプルテープな実施
例１とした。
属パイプ（図示せず）を通して酸素ガス０２を８０ＣＣ
／−流しつつ、真空中で高分子フィルムよりなる非磁性
支持体（４）上に膜厚が１２０ＯＡとなる・よさにＣｏ
を斜め蒸着した。蒸着時の入射角θは４０〜９０°であ
った。このようにして作製されたサンプルテープな実施
例１とした。
比較例１及び実施例１の各テープの化学的安定性を調べ
るために、高温、高湿下での加速腐食試験を行った。そ
の結果を第２図に示す。第２図において曲線（ｒ）は比
較例１のテープ、曲ｍ （ｉ）は実施例１のテープであ
る。試験方法は各テープを温度６０℃、相対湿度９０％
の環境下に１０日間放置し、ある時間経過した後の磁束
量ψ（１）を測定し、初期の磁束や（ｏ）との変化、Δ
ψ＝９（１）−ψ（０）をめ、錆の進行を磁束量の変化
率△ψ／ψ（ｏ）ＸＩＯ眞動で評価した。
るために、高温、高湿下での加速腐食試験を行った。そ
の結果を第２図に示す。第２図において曲線（ｒ）は比
較例１のテープ、曲ｍ （ｉ）は実施例１のテープであ
る。試験方法は各テープを温度６０℃、相対湿度９０％
の環境下に１０日間放置し、ある時間経過した後の磁束
量ψ（１）を測定し、初期の磁束や（ｏ）との変化、Δ
ψ＝９（１）−ψ（０）をめ、錆の進行を磁束量の変化
率△ψ／ψ（ｏ）ＸＩＯ眞動で評価した。
第２図から比較例１のテープに比べて実施例１のテープ
の耐腐食性が優れていることが認められた。
の耐腐食性が優れていることが認められた。
比較例１及び実施例１のテープを透過電子線回折で調べ
た結果、次のことが判明した。比較例１にはＣｏ （六
方最密充填構造ｈｃｐ）、Ｃｏｏのみが存在する。実施
例１のテープにはＣｏ（六方最密充填構造ｈｃｐ ）、
ＣｏＯ及びＣｏ３Ｏ４が存在する。更に膜表面の状態を
調べるために反射電子線回折を行った。
た結果、次のことが判明した。比較例１にはＣｏ （六
方最密充填構造ｈｃｐ）、Ｃｏｏのみが存在する。実施
例１のテープにはＣｏ（六方最密充填構造ｈｃｐ ）、
ＣｏＯ及びＣｏ３Ｏ４が存在する。更に膜表面の状態を
調べるために反射電子線回折を行った。
その結果実施例１のテープにおいてＣＯ３Ｏ４、、Ｃｏ
Ｏの各回折縞の強度比を検討すると、透過及び反射電子
線回折を比べ、′反射電子線回折ではＣＯ３Ｏ４の回折
縞の相対強度比が高くなっており、膜表面にＣｏ３Ｏ４
が多く存在することが明らかになった。従って実施例１
のテープの耐腐食性が優れているのは不＊ｈ拉被膜とし
て働（Ｃｏ３Ｏ４膜が表面近傍に多く形成されたためと
考えられる。
Ｏの各回折縞の強度比を検討すると、透過及び反射電子
線回折を比べ、′反射電子線回折ではＣＯ３Ｏ４の回折
縞の相対強度比が高くなっており、膜表面にＣｏ３Ｏ４
が多く存在することが明らかになった。従って実施例１
のテープの耐腐食性が優れているのは不＊ｈ拉被膜とし
て働（Ｃｏ３Ｏ４膜が表面近傍に多く形成されたためと
考えられる。
尚、上側ではＣｏの磁性薄膜について説明したが、Ｃｏ
−Ｎｉ合金の磁性薄膜についても同様であり、この時
でもＣｏ ３０４が検出されたものは耐腐食性に優れて
いた。
−Ｎｉ合金の磁性薄膜についても同様であり、この時
でもＣｏ ３０４が検出されたものは耐腐食性に優れて
いた。
発明の効果
本発明によれば、Ｃｏを主体とす〉磁性薄膜の少なくと
も表面がＣｏ ａｈ４を主体とするＣＯ酸化物で覆われ
ていることにより、とのＣｏ３Ｏ４がいわゆる不動幅被
膜として働く。従って磁性薄膜の耐腐食性が向上し、化
学的に安定した磁気記録媒体が得られる。
も表面がＣｏ ａｈ４を主体とするＣＯ酸化物で覆われ
ていることにより、とのＣｏ３Ｏ４がいわゆる不動幅被
膜として働く。従って磁性薄膜の耐腐食性が向上し、化
学的に安定した磁気記録媒体が得られる。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製法に適用される蒸着
装置の一例を示す構成図、第２図は本発明の説明に供す
る加速腐食試験下による磁束量の変化図である。 （２）は真空チャンバ、（３）は金属キャン、（４）は
非磁性支持体、（７）は蒸着源である。 第１図 第２図 波置時間
装置の一例を示す構成図、第２図は本発明の説明に供す
る加速腐食試験下による磁束量の変化図である。 （２）は真空チャンバ、（３）は金属キャン、（４）は
非磁性支持体、（７）は蒸着源である。 第１図 第２図 波置時間
Claims (1)
- Ｃｏを主体とする磁性薄膜を有し、該磁性薄膜の少なく
とも表面部にＣｏ３Ｏ４が存在することを特徴とする磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1546084A JPS60160027A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1546084A JPS60160027A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160027A true JPS60160027A (ja) | 1985-08-21 |
Family
ID=11889407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1546084A Pending JPS60160027A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60160027A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5322733A (en) * | 1990-09-07 | 1994-06-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4929445A (ja) * | 1972-07-20 | 1974-03-15 | ||
| JPS58189823A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP1546084A patent/JPS60160027A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4929445A (ja) * | 1972-07-20 | 1974-03-15 | ||
| JPS58189823A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5322733A (en) * | 1990-09-07 | 1994-06-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
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