JPS5883327A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS5883327A JPS5883327A JP18147981A JP18147981A JPS5883327A JP S5883327 A JPS5883327 A JP S5883327A JP 18147981 A JP18147981 A JP 18147981A JP 18147981 A JP18147981 A JP 18147981A JP S5883327 A JPS5883327 A JP S5883327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- base
- oxygen
- recording medium
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、強磁性金属薄膜と磁気記録層として備えてな
る磁気記録媒体に関するもので特に耐候性にすぐれると
共に繰返し走行によるドロップアウト増加が少なく、ま
たノイズの点でも改善された磁気記録媒体に関するもの
である。
る磁気記録媒体に関するもので特に耐候性にすぐれると
共に繰返し走行によるドロップアウト増加が少なく、ま
たノイズの点でも改善された磁気記録媒体に関するもの
である。
従来より、磁気記録媒体としては、磁性粉末をバインダ
中に分散させたものを支持体上ｌＣｆ１１布し乾燥させ
たいわゆる塗布型磁気記録体が広く使われてきた。しか
しこのタイプでは原理的にバインダーを除けず、また高
密度記録化に必要な記録媒体の薄層化にも限界がある。
中に分散させたものを支持体上ｌＣｆ１１布し乾燥させ
たいわゆる塗布型磁気記録体が広く使われてきた。しか
しこのタイプでは原理的にバインダーを除けず、また高
密度記録化に必要な記録媒体の薄層化にも限界がある。
近年、高密度記録への要求の高まりと共に真空蒸着法に
代表されるベー、ｅ−デポジッション法、あるいは電気
メッキ、無電解メツ中等のメッキ法により形成される強
磁性金属薄膜を磁気記録層とするバインダーを使用しな
い、いわゆる非バインダー型磁気記録媒体が注目を浴び
ており実用化へ多大の努力が傾注されている。
代表されるベー、ｅ−デポジッション法、あるいは電気
メッキ、無電解メツ中等のメッキ法により形成される強
磁性金属薄膜を磁気記録層とするバインダーを使用しな
い、いわゆる非バインダー型磁気記録媒体が注目を浴び
ており実用化へ多大の努力が傾注されている。
峙に真空蒸着による方法はメッキの場合のような排液処
理を必要とせず、製造工程本簡単で膜の析出速度も他の
いずれの方法よりも大きいという利点を有している。
理を必要とせず、製造工程本簡単で膜の析出速度も他の
いずれの方法よりも大きいという利点を有している。
真空蒸着によって作成された強磁性薄膜を磁気記録層と
して設けてなる磁気テープを従来の塗布型の磁気テープ
と比較した時、再星出カは格段に大きくなら再生出力の
周波数−性も短波長側へ大きく伸びている。しかしなが
らノイズの面からは塗布型と陵駕することがなかなかむ
ずかしかった。ノイズを下げる方法として、酸化性雰囲
気中で蒸着し、膜を酸化させるという方法が提案されて
はいるが、耐候性が悪かったり、繰返し走行と共にドロ
ップアウトが増加する等の不都合を生じたりし、ノイズ
の点でも必ずしも充分な結果を与えなかった。
して設けてなる磁気テープを従来の塗布型の磁気テープ
と比較した時、再星出カは格段に大きくなら再生出力の
周波数−性も短波長側へ大きく伸びている。しかしなが
らノイズの面からは塗布型と陵駕することがなかなかむ
ずかしかった。ノイズを下げる方法として、酸化性雰囲
気中で蒸着し、膜を酸化させるという方法が提案されて
はいるが、耐候性が悪かったり、繰返し走行と共にドロ
ップアウトが増加する等の不都合を生じたりし、ノイズ
の点でも必ずしも充分な結果を与えなかった。
また磁気記録媒体は実用上充分な耐候性を有しなければ
ならぬう耐候性を向上させるために保農層を設けたり、
金属薄繞の表面を醸化、窒化させたりすることが提案さ
れている。しかしスイシングロスとの関係から少なくと
も３００Ａ以下の厚さにしなければならず、そのような
薄い膜を均一に、しかも強固に設けることはむずかしい
。後者はアルカリ浴に浸ける等の湿式、グロ放電を利用
した乾式が、あるが、湿式は処理後のテープの転像、排
液処理などに問題があり、乾式は処理に時間がかかりす
ぎ生産上問題があった。
ならぬう耐候性を向上させるために保農層を設けたり、
金属薄繞の表面を醸化、窒化させたりすることが提案さ
れている。しかしスイシングロスとの関係から少なくと
も３００Ａ以下の厚さにしなければならず、そのような
薄い膜を均一に、しかも強固に設けることはむずかしい
。後者はアルカリ浴に浸ける等の湿式、グロ放電を利用
した乾式が、あるが、湿式は処理後のテープの転像、排
液処理などに問題があり、乾式は処理に時間がかかりす
ぎ生産上問題があった。
を重ねた結果、繰り返し走行によるドロップアウト（以
下、ｒＤ、ＯＪと称する）の増加が少なく、また耐候性
にも優れた磁気テープを得るに至ったものである。更に
この磁気テープは蒸着による薄膜化により塗布型磁気テ
ープを陵駕する再生出力をもつと共にノイズも低減して
いることが認められた。
下、ｒＤ、ＯＪと称する）の増加が少なく、また耐候性
にも優れた磁気テープを得るに至ったものである。更に
この磁気テープは蒸着による薄膜化により塗布型磁気テ
ープを陵駕する再生出力をもつと共にノイズも低減して
いることが認められた。
すなわち、本発明による磁気記録媒体とは磁気記録層と
して、真空中で基体上に蒸着された強磁性金属薄膜を有
しその膜中に強磁性金属原子と共に酸素原子が含まれ゛
ており、且つその酸素原子の膜深さ方向の分布が基体に
近いほど少なく基体が離れるほど多くなっていることを
特徴とする磁気記録媒体である。
して、真空中で基体上に蒸着された強磁性金属薄膜を有
しその膜中に強磁性金属原子と共に酸素原子が含まれ゛
ており、且つその酸素原子の膜深さ方向の分布が基体に
近いほど少なく基体が離れるほど多くなっていることを
特徴とする磁気記録媒体である。
酸素原子の磁性金属原子に対する比率は基体の近傍で！
〜コ０１ｓ、表面近傍（但し、数十人のごく近傍は除く
）でｌＯ〜４ｃｏ＠であり、好ましくは基体の近傍で２
，１２％、表面近傍で２θ〜３０９１である。このよう
な組成をもつ磁性薄膜では表面に近いほど酸化物で榎わ
ｎていることになり、耐候性にすぐれると共に繰返し走
行によるり、０増加が少ないものと思われる。
〜コ０１ｓ、表面近傍（但し、数十人のごく近傍は除く
）でｌＯ〜４ｃｏ＠であり、好ましくは基体の近傍で２
，１２％、表面近傍で２θ〜３０９１である。このよう
な組成をもつ磁性薄膜では表面に近いほど酸化物で榎わ
ｎていることになり、耐候性にすぐれると共に繰返し走
行によるり、０増加が少ないものと思われる。
さらに本発明による磁気記録媒体ではノイズは減少して
おり、磁気テープとして要求されるＳ／Ｎは従来の塗布
型テープをはるかに凌ぐものである。
おり、磁気テープとして要求されるＳ／Ｎは従来の塗布
型テープをはるかに凌ぐものである。
本発明に用いられる磁性金属材料としてはＦｅ１ＣＯ１
Ｎ ｉ 等ｏ金ｓあルイは□Ｆｅ−Ｃｏ、ｐｅ−Ｎｉ、
Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃ
ｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ。
Ｎ ｉ 等ｏ金ｓあルイは□Ｆｅ−Ｃｏ、ｐｅ−Ｎｉ、
Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃ
ｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ。
Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、ｃｏ−Ｇｄ。
Ｃｏ−８ｍ％Ｃｏ−Ｐｔ、、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ −Ｂｉ
、Ｍｎ−Ｃｏ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆａ−Ｏｒ、ｃｏ−Ｃｒ、
Ｎｉ−ＣｒミＦｅ−Ｃｏ−Ｃｒ。
、Ｍｎ−Ｃｏ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆａ−Ｏｒ、ｃｏ−Ｃｒ、
Ｎｉ−ＣｒミＦｅ−Ｃｏ−Ｃｒ。
Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等ｔｖ合金
である。特に好ましいのはＣＯを６０重ｔ＊以上、ある
いはＣｏ ｋ Ａ ０ＸｔｌＪ以上およびＮｉを２重量
−以上含有するような合金でやる。
である。特に好ましいのはＣＯを６０重ｔ＊以上、ある
いはＣｏ ｋ Ａ ０ＸｔｌＪ以上およびＮｉを２重量
−以上含有するような合金でやる。
本発明における磁性薄膜は単層で設けてもよいし、コ層
以上を積層して設けてもよいし、基体と磁性薄膜の間、
もしくは磁性薄膜間に非磁性層を介在させてもよい。
以上を積層して設けてもよいし、基体と磁性薄膜の間、
もしくは磁性薄膜間に非磁性層を介在させてもよい。
磁性膜中の膜厚方向の酸素分布は連続的に変化してもよ
いし、ステップ状に変化してもよい。従って積層とする
場合、基板に近い第７層の酸素含有量を少なく、基板よ
り離れて第２層、第３層となるに従って酸素含有量を多
くしてもよい。
いし、ステップ状に変化してもよい。従って積層とする
場合、基板に近い第７層の酸素含有量を少なく、基板よ
り離れて第２層、第３層となるに従って酸素含有量を多
くしてもよい。
第１図〜第３図は本発明による磁気記録媒体の数例を図
式的に示している。第１図は単層の例で非磁性支持体ｌ
上に磁性薄膜λが形成されている。
式的に示している。第１図は単層の例で非磁性支持体ｌ
上に磁性薄膜λが形成されている。
磁性薄膜コ内の酸素の分布は支持体ｌ近傍では少なく支
持体Ｉから遠ざかるに従って連続的に増加している。第
２図及び第３図は積層の例で、磁気記録層は磁性薄膜３
％参あるいは磁性薄膜！１、ｔ１７、ｔより構成されて
いる。第２図においては磁性薄膜３、参内の酸素分布は
前記磁性薄膜λと同様に支持体から離れるに従って連続
的に増加している。第３図においては各磁性薄膜ｊ％４
．７、を内での酸素分布はほぼ一定也支持体しに一番近
い磁性薄膜ｊの酸素含有量は一番少なく、支持体ｌから
離ざかるにつれ各磁性薄膜Ａ、７、Ｉ内の＃Ｒ素含有量
は多くなっている。
持体Ｉから遠ざかるに従って連続的に増加している。第
２図及び第３図は積層の例で、磁気記録層は磁性薄膜３
％参あるいは磁性薄膜！１、ｔ１７、ｔより構成されて
いる。第２図においては磁性薄膜３、参内の酸素分布は
前記磁性薄膜λと同様に支持体から離れるに従って連続
的に増加している。第３図においては各磁性薄膜ｊ％４
．７、を内での酸素分布はほぼ一定也支持体しに一番近
い磁性薄膜ｊの酸素含有量は一番少なく、支持体ｌから
離ざかるにつれ各磁性薄膜Ａ、７、Ｉ内の＃Ｒ素含有量
は多くなっている。
磁性薄膜の総厚は磁気記録媒体として十分な出力を与え
得る厚さでかつ高密度記録が十分性なえる薄さを必要と
することから一般には約０．０ｉμｍから１．０μｍ、
好ましくはｏ、ｏｒμｍからコ、Ｏμｍである。磁性薄
膜を積層する場合は各磁性薄膜の厚さは等しく設計して
もいいし、基体に最も近い磁性薄膜の士！０９６の厚さ
で設けてもよい。
得る厚さでかつ高密度記録が十分性なえる薄さを必要と
することから一般には約０．０ｉμｍから１．０μｍ、
好ましくはｏ、ｏｒμｍからコ、Ｏμｍである。磁性薄
膜を積層する場合は各磁性薄膜の厚さは等しく設計して
もいいし、基体に最も近い磁性薄膜の士！０９６の厚さ
で設けてもよい。
本発明における蒸着とは米国特許第ｊ、Ｊ４ｔ２゜ぶ３
２号の明細書に述べられている通常の真空蒸着の他、電
界、磁界あるいは電子ビーム照射により蒸気流のイオン
化、加速化等を行なって蒸発粒子の平均自由行程の大き
い雰囲気にて支持体上に薄膜を形成させる方法をも含む
ものであり、例えば特開昭ｊ／−／≠りｏｏｒ号明細書
に示されているような電界蒸着法、特公昭＄３−／／ｌ
コ！号、特公昭≠６−２０≠ｒｐ号、特公昭≠７−コ４
ｊ７り号、特公昭参ター４ｔｊ≠３２号、特開叩≠２−
３３１１９０号、特開昭≠２−３４ｔμｇ３号、特開昭
ｌター！≠２３Ｊ号公報に示されているようなイオン化
蒸着法も本発明に用いられる。
２号の明細書に述べられている通常の真空蒸着の他、電
界、磁界あるいは電子ビーム照射により蒸気流のイオン
化、加速化等を行なって蒸発粒子の平均自由行程の大き
い雰囲気にて支持体上に薄膜を形成させる方法をも含む
ものであり、例えば特開昭ｊ／−／≠りｏｏｒ号明細書
に示されているような電界蒸着法、特公昭＄３−／／ｌ
コ！号、特公昭≠６−２０≠ｒｐ号、特公昭≠７−コ４
ｊ７り号、特公昭参ター４ｔｊ≠３２号、特開叩≠２−
３３１１９０号、特開昭≠２−３４ｔμｇ３号、特開昭
ｌター！≠２３Ｊ号公報に示されているようなイオン化
蒸着法も本発明に用いられる。
特に好ましいのは米国特許３，３≠コ、４３２号等に述
べられている斜め蒸着法である。
べられている斜め蒸着法である。
磁性薄膜中に酸素を含有せしめるには、従来より知られ
ているように酸素雰囲気中にて磁性金属あるいは合金を
蒸発せしめ非磁性基体上に蒸着せしめる方法が用いられ
る。
ているように酸素雰囲気中にて磁性金属あるいは合金を
蒸発せしめ非磁性基体上に蒸着せしめる方法が用いられ
る。
特に磁性薄膜の厚さ方向に連続的に酸素含有量を変化さ
せる方法としては特願昭ｊＡ−／Ｊり３コ参号に示され
ているような方法を用いてもよい。
せる方法としては特願昭ｊＡ−／Ｊり３コ参号に示され
ているような方法を用いてもよい。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが本発明
はこれに限定される本のではない。
はこれに限定される本のではない。
実施例１
第一図お、よび第５図に示した巻取式蒸着装置を用い、
７５μｍ 厚ｃＪポリ元チレンテレフタレー・上フィル
ム上にコバルト磁性薄膜を形成させて磁気テープを作製
した。第一図、第３図において、真空容器５１（一部分
のみ図示さｎている。）内に配置された円筒状キャン／
ｌに沿ってテープ状支持体ｌコが矢印方向１３に移動せ
しめられる。キャン／／の下方には磁性材料のチャージ
された蒸発源／≠が設置されていてマスク／！を介して
冷却キャン／／に沿って移動する支持体／λに斜め蒸着
が行えるようになっている。支持体１２の移動に従い入
射角がθｍａｘからｔＩｍｉｎへ連続可変されつつ蒸着
が行なわれる。第一図において酸化性ガス導入部／Ａは
θｍｉｎ 近傍に、第５図において酸化性ガス等入部／
Ａ／は真空容器８１の壁に設けられている。蒸発源とし
ては、電子ビーム加熱式蒸発源を使用し、＃Ｒ票分圧ｒ
ｘｔｏ ’’ｌ’ｏｒｒにて蒸着を行なった。磁性膜
の厚さは１３００にであり、抗磁力はりｏｏＱｅでめっ
た。
７５μｍ 厚ｃＪポリ元チレンテレフタレー・上フィル
ム上にコバルト磁性薄膜を形成させて磁気テープを作製
した。第一図、第３図において、真空容器５１（一部分
のみ図示さｎている。）内に配置された円筒状キャン／
ｌに沿ってテープ状支持体ｌコが矢印方向１３に移動せ
しめられる。キャン／／の下方には磁性材料のチャージ
された蒸発源／≠が設置されていてマスク／！を介して
冷却キャン／／に沿って移動する支持体／λに斜め蒸着
が行えるようになっている。支持体１２の移動に従い入
射角がθｍａｘからｔＩｍｉｎへ連続可変されつつ蒸着
が行なわれる。第一図において酸化性ガス導入部／Ａは
θｍｉｎ 近傍に、第５図において酸化性ガス等入部／
Ａ／は真空容器８１の壁に設けられている。蒸発源とし
ては、電子ビーム加熱式蒸発源を使用し、＃Ｒ票分圧ｒ
ｘｔｏ ’’ｌ’ｏｒｒにて蒸着を行なった。磁性膜
の厚さは１３００にであり、抗磁力はりｏｏＱｅでめっ
た。
これらの膜の深さ方向の組成をオージェスペクトロスコ
ピーにより調べた結果を第６図に示す。ここでサンプル
人は第μ図の装置による磁気テープ、サンプルＢＦｉ第
！図の装置による磁気テープである。表面の極〈近傍で
酸素が増加しているが、これは大気中の酸素が吸着した
ものである。得られた磁気テープはＶＨ８型Ｖ’ｌ’Ｒ
にかけ、変調ノイズ繰り返し走行後のドロップアウトの
増加を調べた。その結果を表１及び第７図に示した。耐
候性についてはテープをｔｏ’ｃり０チ相対湿度中に２
０日間保持した時の飽和磁束の減少を調べた。
ピーにより調べた結果を第６図に示す。ここでサンプル
人は第μ図の装置による磁気テープ、サンプルＢＦｉ第
！図の装置による磁気テープである。表面の極〈近傍で
酸素が増加しているが、これは大気中の酸素が吸着した
ものである。得られた磁気テープはＶＨ８型Ｖ’ｌ’Ｒ
にかけ、変調ノイズ繰り返し走行後のドロップアウトの
増加を調べた。その結果を表１及び第７図に示した。耐
候性についてはテープをｔｏ’ｃり０チ相対湿度中に２
０日間保持した時の飽和磁束の減少を調べた。
このように酸素が磁性層膜厚方向に均一なチー／
プサンプルに比して本発明によるテープは低いノイズで
耐候性にすぐれるものであることがわかった。
耐候性にすぐれるものであることがわかった。
表 ｌ
変調ノイズ： ｔＭＨｚの信号を記録した場合のｔＭ
Ｈｚでの変調ノｌイズ 実施例２ 第５図の装置で７２θθ人のコバルト・ニッケル膜（Ｎ
ｉ Ｈ２０ｗｔチ）を３層積層し磁気テープを一１棟作
製した。サンプルＣは支持体側から第７層、第２層、第
３層と順次酸素分圧にｘ１０’Ｔｏｒｒ、／ｘ１０
ＴＯｒｒ、／ 、ＪＸｌｏ ”ｆｏｒｒにて積層蒸
着した。サンプルＤは第７層、第２層、第３層共に／
Ｘ／ ｏ ’Ｔｏｒｒにて積層蒸着した。オージェ分
光分析により膜厚方向の酸素分布を調べたところ第を図
のようであった。表面付近の酸素は吸着によるものであ
る。
Ｈｚでの変調ノｌイズ 実施例２ 第５図の装置で７２θθ人のコバルト・ニッケル膜（Ｎ
ｉ Ｈ２０ｗｔチ）を３層積層し磁気テープを一１棟作
製した。サンプルＣは支持体側から第７層、第２層、第
３層と順次酸素分圧にｘ１０’Ｔｏｒｒ、／ｘ１０
ＴＯｒｒ、／ 、ＪＸｌｏ ”ｆｏｒｒにて積層蒸
着した。サンプルＤは第７層、第２層、第３層共に／
Ｘ／ ｏ ’Ｔｏｒｒにて積層蒸着した。オージェ分
光分析により膜厚方向の酸素分布を調べたところ第を図
のようであった。表面付近の酸素は吸着によるものであ
る。
実施例１と同様にして耐候性、繰り返し走行後のドロッ
プアウトの増加変調ノイズを調べたがサンプルＣの方が
優れているのは明らかであった。
プアウトの増加変調ノイズを調べたがサンプルＣの方が
優れているのは明らかであった。
このように基体に近い＃１ど酸素原子が少なく、基体か
ら離れるに従い酸素原子が増加するように膜中に酸素原
子が含まれている強磁性薄膜を備えた磁気テープは繰返
し走行後のドロップアウトの増加が少なく耐候性に優れ
ると共にノイズが減少しており蒸着テープの実用化上、
その価値は太き
ら離れるに従い酸素原子が増加するように膜中に酸素原
子が含まれている強磁性薄膜を備えた磁気テープは繰返
し走行後のドロップアウトの増加が少なく耐候性に優れ
ると共にノイズが減少しており蒸着テープの実用化上、
その価値は太き
第１図、第２図及び第３図は本発明による磁気記録媒体
の数例を図式的に示している。第弘図、第５図は酸素を
含有する強磁性薄膜を備えた磁気テープを炸裂するため
の蒸着装置を′示している。 第を図、第７図は実施例１における磁気記録媒体の繰り
返し走行回数とドロップアウトの増加を表わすグラフで
ある。第１図はそれぞれ、実施例１１２における磁気記
録媒体の深さ方向の酸素原子の比率を示すグラフである
。 ｌは支持体、λ〜ｔは磁性薄膜である。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社第４図 第５図 手続補正書 昭和！６年ｌ−月峠日 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 １、事件の表示 昭和！１年特願第１１１１７７
９号２、発明の名称 磁気記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人也 補正の対象
明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ４ 補正の内容 −１木願明細書第３頁第１０行〜第１／行目の「耐候性
を有し・・・・・・を向上させるために」ｔ「耐候性管
も几せるために」と訂正する。 −２同書第１Ｊ行〜第１４Ｃ行目の「スベシングｏｘ」
ｗｒスペーシング０２」と訂正する。
の数例を図式的に示している。第弘図、第５図は酸素を
含有する強磁性薄膜を備えた磁気テープを炸裂するため
の蒸着装置を′示している。 第を図、第７図は実施例１における磁気記録媒体の繰り
返し走行回数とドロップアウトの増加を表わすグラフで
ある。第１図はそれぞれ、実施例１１２における磁気記
録媒体の深さ方向の酸素原子の比率を示すグラフである
。 ｌは支持体、λ〜ｔは磁性薄膜である。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社第４図 第５図 手続補正書 昭和！６年ｌ−月峠日 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 １、事件の表示 昭和！１年特願第１１１１７７
９号２、発明の名称 磁気記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人也 補正の対象
明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ４ 補正の内容 −１木願明細書第３頁第１０行〜第１／行目の「耐候性
を有し・・・・・・を向上させるために」ｔ「耐候性管
も几せるために」と訂正する。 −２同書第１Ｊ行〜第１４Ｃ行目の「スベシングｏｘ」
ｗｒスペーシング０２」と訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１ン 強磁性金属あるいは合金を非磁性基体上に蒸
着してなる磁気記録媒体において、磁性蒸着膜に含まれ
る酸素原子が、そのごく表面近傍を除き前記基体から遠
ざかるにつれて漸増するように酸素原子が含まれてなる
事を特徴とする磁気記録媒体。 （２）磁性蒸＊ａが斜め蒸着法により形成されてなる事
を特徴とする第−項記載の磁気記録媒体。 （３）磁性蒸着膜が主にコバルト、ニッケル、酸素、あ
るいはコバルト、酸素で構成されることを特徴とする第
２項６己載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18147981A JPS5883327A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18147981A JPS5883327A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883327A true JPS5883327A (ja) | 1983-05-19 |
| JPH0546013B2 JPH0546013B2 (ja) | 1993-07-12 |
Family
ID=16101470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18147981A Granted JPS5883327A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883327A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185024A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS60154323A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-14 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS60171622A (ja) * | 1984-02-16 | 1985-09-05 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS60177425A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-11 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS60191425A (ja) * | 1984-03-10 | 1985-09-28 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| EP0399848A2 (en) * | 1989-05-25 | 1990-11-28 | Hitachi Maxell Ltd. | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US5496620A (en) * | 1990-12-13 | 1996-03-05 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium |
Citations (3)
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1981
- 1981-11-12 JP JP18147981A patent/JPS5883327A/ja active Granted
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|---|---|
| JPH0546013B2 (ja) | 1993-07-12 |
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