JPH0227732B2 - - Google Patents
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- JPH0227732B2 JPH0227732B2 JP57041283A JP4128382A JPH0227732B2 JP H0227732 B2 JPH0227732 B2 JP H0227732B2 JP 57041283 A JP57041283 A JP 57041283A JP 4128382 A JP4128382 A JP 4128382A JP H0227732 B2 JPH0227732 B2 JP H0227732B2
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- Japan
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- magnetic recording
- filling rate
- magnetic layer
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
本発明は、短波長記録に適した金属薄膜形磁気
記録媒体に関するもので、実用性能のバランスの
とれた、高感度、低ノイズの改良された磁気記録
媒体の製造方法の提供を目的としている。 Co、Fe、Ni或いは、これらの合金の斜め蒸着
薄膜、Co−Ｐ、Co−Ni−Ｐ等のめつき薄膜、Co
−Ｗ、Co−Re等のスパツタリング薄膜等による
テープ、デイスク等の磁気記録媒体の短波長出力
の有用性は古くから注目され、各方面で開発が進
められてきており、一部オーデイオ記録分野で実
用化され最近ではビデオ用の可能性も示されるに
至つている。 しかし、現在主流のヘリカル走査方式のビデオ
用として高い信頼性のテープを得る上では解決し
なければならない問題が残されている。 そのうち最も大きな問題は、高Ｓ／Ｎで且つ耐
久性の良好なテープの開発である。 即ち従来考えていた対象の記録波長2μｍ程度
では、充分通用した、磁性層の上に保護層を配す
る方法が、使用できないことから、この課題の解
決は、磁性層そのものの改良に根ざすものでなけ
ればならない状況を生みだしたのである。 本発明はかかる点に鑑みなされたものであつ
て、改良した磁性層を製造するのに適した方法を
提供するものである。 即ち薄膜磁性層の物理的充てん率をPP（薄膜の
膜厚をtO〔cm〕とし、強磁性層のバルクの比重を
δO〔ｇ／cm3〕とした時、単位面積分の重量を測定
しその値がｗ〔ｇ〕であつたら、 PP＝ｗ／tO×ρOで定義される量である。）と、磁気 的充てん率PM（バルクの飽和磁化をMSとし薄膜磁
性層の飽和磁化をMS＊とした時PM＝MS *／MS）との 間に、ある関係を満足することが、実用性能のバ
ランスがとれた媒体を得る条件のひとつであり、
本発明はこの条件を容易に得ることのできる製造
方法を提供するものである。 実用性能をバランス良く改良するにはPMとPP
の間に2.0PM≧PP≧1.1PMなる関係を満足するよう
構成することが好ましいことから円筒状回転キヤ
ンに沿わせて移動する可撓性基板に電子ビーム蒸
着する際、２つのガス導入ノズルから酸素及び不
活性気体の導入で、PPとPMの関係を上記した好
ましい範囲に調節するようにしたものである。 具体的には第１図に示した真空蒸着装置によ
り、各種の磁性材料を蒸着し磁気記録媒体を得
て、本発明の実施を行つた。 図に示すように、円筒状回転キヤン１に移動す
る可撓性基板２は、蒸発源３からの蒸気流の一部
により蒸着される。入射角を制限して抗磁力の制
御を行うためのマスク４が配されるとともに、
PM，PP値を変化させるために第１、第２の２つ
のガス導入ノズル５，６を配する。ノズル５は酸
素を導入するために用いられ、ノズル先端は斜め
蒸着で最小入射角を決める位置の近くに配するの
が適当で、ノズル６は高入射角側に配し、アルゴ
ン等の不活性ガス導入のために用いる。導入量の
調節は例えばニードル弁７，８で行われる。 蒸発材料の加熱は、電子銃９より放射される加
速電子ビーム１０で行われる。 真空槽１１は、蒸着が行われる蒸着室１２と、
巻取り機構、前処理、後処理等を行う巻取室１３
とに分離されることが多い。 １４は仕切り板、１５，１６はそれぞれ排気系
である。 １７は基板２の送り出し軸であり、１８は巻取
り軸である。 蒸発源として準備されたもうひとつの系は、合
金系による本発明の実施のための二元蒸発源で、
それぞれ電子ビーム蒸発源である。 次に本発明の実施例を説明する。 実施例 １ 基板の厚み依存性はなかつたので10μｍ一定と
し、表面の平滑な（中心線平均粗サ0.03μｍ）ポ
リエチレンテレフタレートフイルムを用いた。 第１図では入射角の大きい（殆んど90°）斜め
蒸着に始り、マスクで決る最小入射角θMINでの斜
め蒸着までが連続して行われるが、抗磁力を決め
るのはθMINと、導入ガスの種類と量であるので、
製造条件として、それらを表１に示す。 PP，PMは前述した定義の通りである。 また比較として、Co吸着形のγ−Fe2O3を磁性
体とした市販のビデオテープ（抗磁力670Oe）を
用い、環境試験条件としては40℃95％RH、60℃
95％RHにそれぞれ１ケ月間放置し、初期特性と
比較する方法で評価し、その結果を表１に示す。
なお評価は段階表示とし初期値に比べて出力及び
Ｃ／Ｎが変化する割合が10％以内を◎、10％〜20
％を○、20％〜30％を△、30％以上を×とし、△
は実用上は一応許容できるレベルで、○以上が好
ましいものである。
記録媒体に関するもので、実用性能のバランスの
とれた、高感度、低ノイズの改良された磁気記録
媒体の製造方法の提供を目的としている。 Co、Fe、Ni或いは、これらの合金の斜め蒸着
薄膜、Co−Ｐ、Co−Ni−Ｐ等のめつき薄膜、Co
−Ｗ、Co−Re等のスパツタリング薄膜等による
テープ、デイスク等の磁気記録媒体の短波長出力
の有用性は古くから注目され、各方面で開発が進
められてきており、一部オーデイオ記録分野で実
用化され最近ではビデオ用の可能性も示されるに
至つている。 しかし、現在主流のヘリカル走査方式のビデオ
用として高い信頼性のテープを得る上では解決し
なければならない問題が残されている。 そのうち最も大きな問題は、高Ｓ／Ｎで且つ耐
久性の良好なテープの開発である。 即ち従来考えていた対象の記録波長2μｍ程度
では、充分通用した、磁性層の上に保護層を配す
る方法が、使用できないことから、この課題の解
決は、磁性層そのものの改良に根ざすものでなけ
ればならない状況を生みだしたのである。 本発明はかかる点に鑑みなされたものであつ
て、改良した磁性層を製造するのに適した方法を
提供するものである。 即ち薄膜磁性層の物理的充てん率をPP（薄膜の
膜厚をtO〔cm〕とし、強磁性層のバルクの比重を
δO〔ｇ／cm3〕とした時、単位面積分の重量を測定
しその値がｗ〔ｇ〕であつたら、 PP＝ｗ／tO×ρOで定義される量である。）と、磁気 的充てん率PM（バルクの飽和磁化をMSとし薄膜磁
性層の飽和磁化をMS＊とした時PM＝MS *／MS）との 間に、ある関係を満足することが、実用性能のバ
ランスがとれた媒体を得る条件のひとつであり、
本発明はこの条件を容易に得ることのできる製造
方法を提供するものである。 実用性能をバランス良く改良するにはPMとPP
の間に2.0PM≧PP≧1.1PMなる関係を満足するよう
構成することが好ましいことから円筒状回転キヤ
ンに沿わせて移動する可撓性基板に電子ビーム蒸
着する際、２つのガス導入ノズルから酸素及び不
活性気体の導入で、PPとPMの関係を上記した好
ましい範囲に調節するようにしたものである。 具体的には第１図に示した真空蒸着装置によ
り、各種の磁性材料を蒸着し磁気記録媒体を得
て、本発明の実施を行つた。 図に示すように、円筒状回転キヤン１に移動す
る可撓性基板２は、蒸発源３からの蒸気流の一部
により蒸着される。入射角を制限して抗磁力の制
御を行うためのマスク４が配されるとともに、
PM，PP値を変化させるために第１、第２の２つ
のガス導入ノズル５，６を配する。ノズル５は酸
素を導入するために用いられ、ノズル先端は斜め
蒸着で最小入射角を決める位置の近くに配するの
が適当で、ノズル６は高入射角側に配し、アルゴ
ン等の不活性ガス導入のために用いる。導入量の
調節は例えばニードル弁７，８で行われる。 蒸発材料の加熱は、電子銃９より放射される加
速電子ビーム１０で行われる。 真空槽１１は、蒸着が行われる蒸着室１２と、
巻取り機構、前処理、後処理等を行う巻取室１３
とに分離されることが多い。 １４は仕切り板、１５，１６はそれぞれ排気系
である。 １７は基板２の送り出し軸であり、１８は巻取
り軸である。 蒸発源として準備されたもうひとつの系は、合
金系による本発明の実施のための二元蒸発源で、
それぞれ電子ビーム蒸発源である。 次に本発明の実施例を説明する。 実施例 １ 基板の厚み依存性はなかつたので10μｍ一定と
し、表面の平滑な（中心線平均粗サ0.03μｍ）ポ
リエチレンテレフタレートフイルムを用いた。 第１図では入射角の大きい（殆んど90°）斜め
蒸着に始り、マスクで決る最小入射角θMINでの斜
め蒸着までが連続して行われるが、抗磁力を決め
るのはθMINと、導入ガスの種類と量であるので、
製造条件として、それらを表１に示す。 PP，PMは前述した定義の通りである。 また比較として、Co吸着形のγ−Fe2O3を磁性
体とした市販のビデオテープ（抗磁力670Oe）を
用い、環境試験条件としては40℃95％RH、60℃
95％RHにそれぞれ１ケ月間放置し、初期特性と
比較する方法で評価し、その結果を表１に示す。
なお評価は段階表示とし初期値に比べて出力及び
Ｃ／Ｎが変化する割合が10％以内を◎、10％〜20
％を○、20％〜30％を△、30％以上を×とし、△
は実用上は一応許容できるレベルで、○以上が好
ましいものである。
【表】
【表】
また上記各実施例および他の実施例における試
験結果を、第２図にPM，PPをそれぞれ座標軸に
とり示す。 以上に示した結果から総合的にテープとして性
能の優れたものは2PM≧PP≧1.1PMの範囲に存在
することが理解される。 表１より合金系により酸素の作用効果のあらわ
れ方が少し異なるが、酸化度と粒子の大きさを適
当に調節することで（PPとPMの関係を調節する
ことと対応すると考えられる）膜の硬さ、耐食性
能、出力、Ｃ／Ｎを改善できることがわかる。 以上のように本発明によれば、耐環境性に優れ
るなど性能の優れた磁気記録媒体を製造すること
ができるといつたすぐれた効果がある。
験結果を、第２図にPM，PPをそれぞれ座標軸に
とり示す。 以上に示した結果から総合的にテープとして性
能の優れたものは2PM≧PP≧1.1PMの範囲に存在
することが理解される。 表１より合金系により酸素の作用効果のあらわ
れ方が少し異なるが、酸化度と粒子の大きさを適
当に調節することで（PPとPMの関係を調節する
ことと対応すると考えられる）膜の硬さ、耐食性
能、出力、Ｃ／Ｎを改善できることがわかる。 以上のように本発明によれば、耐環境性に優れ
るなど性能の優れた磁気記録媒体を製造すること
ができるといつたすぐれた効果がある。
第１図は本発明による磁気記録媒体を得るのに
用いられた蒸着装置を示す図、第２図は本発明の
効果を説明するための図で、薄膜磁性層の物理的
充てん率PPと磁気的充てん率PMがそれぞれ異な
る磁気記録媒体の環境試験結果を示す。 １……キヤン、２……基板、３……蒸発源。
用いられた蒸着装置を示す図、第２図は本発明の
効果を説明するための図で、薄膜磁性層の物理的
充てん率PPと磁気的充てん率PMがそれぞれ異な
る磁気記録媒体の環境試験結果を示す。 １……キヤン、２……基板、３……蒸発源。
Claims (1)
- １ 円筒状回転キヤンに治わせて移動する可撓性
基板に電子ビーム蒸着により薄膜磁性層を形成す
る際、最小入射角規制部近傍から酸素を導入し、
蒸着開始側より不活性気体を導入し、物理的充て
ん率及び磁気的充てん率の関係を調節することを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57041283A JPS58158030A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57041283A JPS58158030A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58158030A JPS58158030A (ja) | 1983-09-20 |
| JPH0227732B2 true JPH0227732B2 (ja) | 1990-06-19 |
Family
ID=12604113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57041283A Granted JPS58158030A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58158030A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05508748A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-12-02 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | 傾斜ボックス |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61208623A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Toray Ind Inc | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS62185246A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JP4921422B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2012-04-25 | 株式会社三宅製作所 | 粉粒体輸送装置及び粉粒体輸送方法 |
-
1982
- 1982-03-15 JP JP57041283A patent/JPS58158030A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05508748A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-12-02 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | 傾斜ボックス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58158030A (ja) | 1983-09-20 |
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