JPS59167834A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59167834A JPS59167834A JP58042703A JP4270383A JPS59167834A JP S59167834 A JPS59167834 A JP S59167834A JP 58042703 A JP58042703 A JP 58042703A JP 4270383 A JP4270383 A JP 4270383A JP S59167834 A JPS59167834 A JP S59167834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferromagnetic metal
- film layer
- thin film
- metal thin
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73923—Organic polymer substrates
- G11B5/73927—Polyester substrates, e.g. polyethylene terephthalate
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73923—Organic polymer substrates
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は少なくとも２以上の強磁性金属薄膜層を基体
上に積層形成した磁気記録媒体に関し、その目的とする
ところは磁気特性に優れかつ耐食性に優れた強磁性金属
薄膜型の磁気記録媒体を提供することにある。
上に積層形成した磁気記録媒体に関し、その目的とする
ところは磁気特性に優れかつ耐食性に優れた強磁性金属
薄膜型の磁気記録媒体を提供することにある。
強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基体上に強磁性材を真空
蒸着することによってつくられており、磁気特性に優れ
た前記の磁気記録媒体を製造する場合には、反応性ガス
または不活性ガス雰囲気中で真空蒸着することが行われ
ている。
、ポリエステルフィルムなどの基体上に強磁性材を真空
蒸着することによってつくられており、磁気特性に優れ
た前記の磁気記録媒体を製造する場合には、反応性ガス
または不活性ガス雰囲気中で真空蒸着することが行われ
ている。
ところが、この方法では反応性ガスまたは不活性ガスの
ガス圧を高くするに従い基体上に析出形成される強磁性
金属粒子の粒径が小さくなって磁気特性が向上する反面
、耐食性が次第に劣化するという難点がある。
ガス圧を高くするに従い基体上に析出形成される強磁性
金属粒子の粒径が小さくなって磁気特性が向上する反面
、耐食性が次第に劣化するという難点がある。
このため、従来強磁性金属薄膜層上に種々の物質を被着
したり、被膜を形成したりして耐食性の改善が図られて
いるが、未だ充分でなく、また強磁性金属薄膜層上に形
成した被膜等により磁気特性が減殺されて磁気特性を充
分に向上できない難点がある。
したり、被膜を形成したりして耐食性の改善が図られて
いるが、未だ充分でなく、また強磁性金属薄膜層上に形
成した被膜等により磁気特性が減殺されて磁気特性を充
分に向上できない難点がある。
この発明はかかる問題を克服するため種々検討を行った
結果なされたもので、反応性ガスまた圀不活性ガスの存
在下に真空蒸着を行って基体上に少なくとも２以上の強
磁性金属薄膜層を積層形成し、表面の強磁性金属薄膜層
と基体との間に、表面の強磁性゛金属薄膜層の強磁性金
属粒子の粒径より小さい粒径の強磁性金属粒子からなる
強磁性金属薄膜層を介在させることによって所期の目的
を達成したものである。
結果なされたもので、反応性ガスまた圀不活性ガスの存
在下に真空蒸着を行って基体上に少なくとも２以上の強
磁性金属薄膜層を積層形成し、表面の強磁性金属薄膜層
と基体との間に、表面の強磁性゛金属薄膜層の強磁性金
属粒子の粒径より小さい粒径の強磁性金属粒子からなる
強磁性金属薄膜層を介在させることによって所期の目的
を達成したものである。
この発明によれば、基体と表面の強磁性金属薄膜層との
間に、耐食性は劣るものの弗素に磁気特性に優れた粒径
の小さい強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄膜層が介
在され、表面に、下層に介在される強磁性金属薄膜層よ
りは磁気特性に劣るものの耐食性に優れた比較的粒径の
大きい強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄膜層が積層
形成されているため、表面の強磁性金属薄膜層によって
耐食性が改善されるとともに下層に介在される一段と磁
気特性に優れた強磁性金属薄膜層によって磁気特性も向
上される。
間に、耐食性は劣るものの弗素に磁気特性に優れた粒径
の小さい強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄膜層が介
在され、表面に、下層に介在される強磁性金属薄膜層よ
りは磁気特性に劣るものの耐食性に優れた比較的粒径の
大きい強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄膜層が積層
形成されているため、表面の強磁性金属薄膜層によって
耐食性が改善されるとともに下層に介在される一段と磁
気特性に優れた強磁性金属薄膜層によって磁気特性も向
上される。
この発明において、基体と表面の強磁性金属薄膜層との
間に介在させる強磁性金属薄膜層は、磁気特性を充分に
良好にするため粒径が極めて小さい５０〜８０人の強磁
性金属粒子からなるものであることが好ましく、このよ
うな強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄１１！ｉｉｉ
層は反応性ガスまたは不活性ガスの存在下で真空蒸着す
ることによって形成される。反応性ガスとしては酸素ガ
スおよび窒素ガスが、また不活性ガスとしてはアルゴン
ガスおよびヘリウムガスなどが好適なものとして使用さ
れ、これらのガスの存在下で真空蒸着を行うとこれら反
応性ガスまたは不活性ガスの作用により粒径の小さい強
磁性金属粒子が基体上に析出形成され、ガス圧が高くな
るに従って強磁性金属粒子の粒径が小さくなり、粒径が
小さくなるほど磁気特性が向上する。従って、基体上に
析出形成される強磁性金属粒子の粒径を５０〜８０人に
して磁気特性を向上させるばば、酸素ガスの場合そのガ
ス圧を５Ｘ１０−５〜９Ｘ１０−４１〜−ルの範囲内と
なるようにするのが好ましく、同様に窒素ガスの場合は
３Ｘ１０−４〜５Ｘ１０−’）−ル、アルゴンガスの場
合は８Ｘ１０”〜９Ｘ１０−’トール、ヘリウムガスの
場合は３Ｘ１０’〜ｌＸｌ０−’ トールの範囲内とな
るようにするのが好ましい。特に酸素ガスが存在すると
基体上に析出形成される強磁性粒子の粒径が小さくなる
ばかりでなく粒子表面に酸化物が形成されて磁気特性が
向上されるため一段と磁気゛特性に優れた強磁性金属薄
膜層が形成される。
間に介在させる強磁性金属薄膜層は、磁気特性を充分に
良好にするため粒径が極めて小さい５０〜８０人の強磁
性金属粒子からなるものであることが好ましく、このよ
うな強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄１１！ｉｉｉ
層は反応性ガスまたは不活性ガスの存在下で真空蒸着す
ることによって形成される。反応性ガスとしては酸素ガ
スおよび窒素ガスが、また不活性ガスとしてはアルゴン
ガスおよびヘリウムガスなどが好適なものとして使用さ
れ、これらのガスの存在下で真空蒸着を行うとこれら反
応性ガスまたは不活性ガスの作用により粒径の小さい強
磁性金属粒子が基体上に析出形成され、ガス圧が高くな
るに従って強磁性金属粒子の粒径が小さくなり、粒径が
小さくなるほど磁気特性が向上する。従って、基体上に
析出形成される強磁性金属粒子の粒径を５０〜８０人に
して磁気特性を向上させるばば、酸素ガスの場合そのガ
ス圧を５Ｘ１０−５〜９Ｘ１０−４１〜−ルの範囲内と
なるようにするのが好ましく、同様に窒素ガスの場合は
３Ｘ１０−４〜５Ｘ１０−’）−ル、アルゴンガスの場
合は８Ｘ１０”〜９Ｘ１０−’トール、ヘリウムガスの
場合は３Ｘ１０’〜ｌＸｌ０−’ トールの範囲内とな
るようにするのが好ましい。特に酸素ガスが存在すると
基体上に析出形成される強磁性粒子の粒径が小さくなる
ばかりでなく粒子表面に酸化物が形成されて磁気特性が
向上されるため一段と磁気゛特性に優れた強磁性金属薄
膜層が形成される。
また、この発明において表面に形成される強磁性金属薄
膜層は、耐食性を充分に良好にするため粒径が比較的大
きい１００〜２００人の強磁性金属粒子からなるもので
あることが好ましく、このような表面の強磁性金属薄膜
層は、前記の下層に介在させる強磁性金属薄膜層を形成
する方法と同じ方法で、反応性ガスまたは不活性ガスの
ガス圧のみを低くして形成される。この場合の反応性ガ
スのガス圧は、酸素ガスの場合３Ｘ１０′６〜３×１０
’ｌ−−ル、窒素ガスの場合３Ｘ１０−５〜２×１０”
）−ル、アルゴンガスの場合２Ｘ１０−５〜５Ｘ１０’
″ｌ−トール、ヘリウムガスの場合４Ｘ１０−５〜８Ｘ
１０′４トールの範囲内にするのが好ましく、これらの
反応性ガスまたは不活性ガスの存在下に真空蒸着を行う
と、粒径が１００〜２００人の強磁性金属粒子からなる
耐食性に優れた強磁性金属薄膜層が得られる。
膜層は、耐食性を充分に良好にするため粒径が比較的大
きい１００〜２００人の強磁性金属粒子からなるもので
あることが好ましく、このような表面の強磁性金属薄膜
層は、前記の下層に介在させる強磁性金属薄膜層を形成
する方法と同じ方法で、反応性ガスまたは不活性ガスの
ガス圧のみを低くして形成される。この場合の反応性ガ
スのガス圧は、酸素ガスの場合３Ｘ１０′６〜３×１０
’ｌ−−ル、窒素ガスの場合３Ｘ１０−５〜２×１０”
）−ル、アルゴンガスの場合２Ｘ１０−５〜５Ｘ１０’
″ｌ−トール、ヘリウムガスの場合４Ｘ１０−５〜８Ｘ
１０′４トールの範囲内にするのが好ましく、これらの
反応性ガスまたは不活性ガスの存在下に真空蒸着を行う
と、粒径が１００〜２００人の強磁性金属粒子からなる
耐食性に優れた強磁性金属薄膜層が得られる。
この発明の磁気記録媒体は、このような粒径が１００〜
２００人の強磁性金属粒子からなる耐食性に優れた表面
の強磁性金属薄膜層と基体との間に前記の粒径が５０〜
８０人の強磁性金属粒子からなる磁気特性に優れた強磁
性金属薄膜層を介在させたことを特徴とするもので、表
面の強磁性金属薄膜層と中間に介在させる強磁性金属薄
膜層とがこのような関係にあれば、必ずしも強磁性金属
薄膜層は２Ｎに限定されず、これら２層の強磁性金属薄
膜層および基体との間にさらに強磁性金属薄膜層を介在
させて多層構造にしてもよい。特に前記の中間に介在す
る粒径の小さな強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄膜
層と基体との間↓こさらに前記の表面の強磁性金属薄膜
層と同じく粒径の比較的大きな強磁性金属粒子からなる
強磁性金属薄膜層を介在させて３層構造にすると、中間
に介在する粒径の小さな強磁性金属粒子からなる耐食性
は劣るが磁気特性に優れた強磁性金属薄膜層の基体側に
も表面の強磁性金属薄膜と同じ耐食性に優れた強磁性金
属薄膜層が形成されて基体側からの耐食性が改善される
ため一段と耐食性に優れた磁気記録媒体が得られる。
２００人の強磁性金属粒子からなる耐食性に優れた表面
の強磁性金属薄膜層と基体との間に前記の粒径が５０〜
８０人の強磁性金属粒子からなる磁気特性に優れた強磁
性金属薄膜層を介在させたことを特徴とするもので、表
面の強磁性金属薄膜層と中間に介在させる強磁性金属薄
膜層とがこのような関係にあれば、必ずしも強磁性金属
薄膜層は２Ｎに限定されず、これら２層の強磁性金属薄
膜層および基体との間にさらに強磁性金属薄膜層を介在
させて多層構造にしてもよい。特に前記の中間に介在す
る粒径の小さな強磁性金属粒子からなる強磁性金属薄膜
層と基体との間↓こさらに前記の表面の強磁性金属薄膜
層と同じく粒径の比較的大きな強磁性金属粒子からなる
強磁性金属薄膜層を介在させて３層構造にすると、中間
に介在する粒径の小さな強磁性金属粒子からなる耐食性
は劣るが磁気特性に優れた強磁性金属薄膜層の基体側に
も表面の強磁性金属薄膜と同じ耐食性に優れた強磁性金
属薄膜層が形成されて基体側からの耐食性が改善される
ため一段と耐食性に優れた磁気記録媒体が得られる。
基体としては、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等一般に使用されている高分子成形物からなるプラスチ
ックフィルムおよび銅などの非磁性金属からなる金属フ
ィルムが使用され、また強磁性金属薄膜層を形成する強
磁性材としてはコバルト、ニッケル、鉄などの金属単体
の他、これらの合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、
Ｃｏ−Ｎ１−Ｐなど一般に真空蒸着に使用される強磁性
材がいずれも使用される。
等一般に使用されている高分子成形物からなるプラスチ
ックフィルムおよび銅などの非磁性金属からなる金属フ
ィルムが使用され、また強磁性金属薄膜層を形成する強
磁性材としてはコバルト、ニッケル、鉄などの金属単体
の他、これらの合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、
Ｃｏ−Ｎ１−Ｐなど一般に真空蒸着に使用される強磁性
材がいずれも使用される。
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図に示すように、真空槽ｌ内の中央部に円筒状キャ
ン２と防着板３を配設し、下底にるっぽ４と熱電子源５
を配設するとともに円筒状キャン２の近傍にガス導入管
６を導入配設し、これに真空槽７を隣接させてこの真空
槽７内に真空槽１と同様に、円筒状キャン８、防着板９
、るっぽ１０゜熱電子源１１およびガス導入管１２を配
設してなる真空蒸着装置を使用し、るっぽ４およびｌｏ
内にコバルト−ニッケル合金（重量比８１）１３および
１４をセットした。同時にポリエステルベースフィルム
１５を真空槽１内の原反ロール１６よりガイドローラ１
７を介して円筒状キャン２の周側面に沿って移動させ、
さらにガイドローラ１８および真空槽７のガイドローラ
１９を介して円筒状キャン８の周側面に沿って移動させ
、ガイドローラ２０を介して巻き取りロール２１に巻き
取るようにセットした。次いで排気系２２および２３で
真空槽１および７内を約５×１０″Ｇトールまで真空槽
排気し、まず真空槽１内のるっぽ４にセットしたコバル
ト−ニッケル合金１３を加熱蒸発させて入射角５０度で
斜め入射蒸着を開始すると同時に、ガス導入管６から最
小入射角となる部分に酸素ガスをガス圧３Ｘ１０−４ト
ールで吹きつけてポリエステルベースフィルム１５上に
コバルト−ニッケル合金からなる第１の強磁性金属薄膜
層を形成した。続いて真空槽７内のるっぽ１ｏにセット
したコバルト−ニッケル１４を加熱蒸発させて入射角５
０度で斜め入射蒸着を開始すると同時に、ガス導入管１
２から最小入射角となる部分に酸素ガスをガス圧ｔ’ｘ
１ｏ−ｓトールで吹きつけ、ポリエステルベースフィル
ムエ５上に先に形成した第１の強磁性金属薄膜層上に第
２の強磁性金属薄膜層を形成して磁気記録媒体をつくっ
た。第１の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は
７０人で、第２の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の
粒径は１２０人であった。
ン２と防着板３を配設し、下底にるっぽ４と熱電子源５
を配設するとともに円筒状キャン２の近傍にガス導入管
６を導入配設し、これに真空槽７を隣接させてこの真空
槽７内に真空槽１と同様に、円筒状キャン８、防着板９
、るっぽ１０゜熱電子源１１およびガス導入管１２を配
設してなる真空蒸着装置を使用し、るっぽ４およびｌｏ
内にコバルト−ニッケル合金（重量比８１）１３および
１４をセットした。同時にポリエステルベースフィルム
１５を真空槽１内の原反ロール１６よりガイドローラ１
７を介して円筒状キャン２の周側面に沿って移動させ、
さらにガイドローラ１８および真空槽７のガイドローラ
１９を介して円筒状キャン８の周側面に沿って移動させ
、ガイドローラ２０を介して巻き取りロール２１に巻き
取るようにセットした。次いで排気系２２および２３で
真空槽１および７内を約５×１０″Ｇトールまで真空槽
排気し、まず真空槽１内のるっぽ４にセットしたコバル
ト−ニッケル合金１３を加熱蒸発させて入射角５０度で
斜め入射蒸着を開始すると同時に、ガス導入管６から最
小入射角となる部分に酸素ガスをガス圧３Ｘ１０−４ト
ールで吹きつけてポリエステルベースフィルム１５上に
コバルト−ニッケル合金からなる第１の強磁性金属薄膜
層を形成した。続いて真空槽７内のるっぽ１ｏにセット
したコバルト−ニッケル１４を加熱蒸発させて入射角５
０度で斜め入射蒸着を開始すると同時に、ガス導入管１
２から最小入射角となる部分に酸素ガスをガス圧ｔ’ｘ
１ｏ−ｓトールで吹きつけ、ポリエステルベースフィル
ムエ５上に先に形成した第１の強磁性金属薄膜層上に第
２の強磁性金属薄膜層を形成して磁気記録媒体をつくっ
た。第１の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は
７０人で、第２の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の
粒径は１２０人であった。
実施例２
実施例１で使用した真空蒸着装置の真空槽７にさらに真
空槽２４を隣接し、この真空槽２４内に真空槽７と同様
に、円筒状キャン２５、防着板２６、るつぼ２７、熱電
子源２８およびガス導入管２９を配設した真空蒸着装置
を使用し、真空槽１および７で実施例１と同様にしてポ
リエステルベースフィルム１５上に第１の強磁性金属薄
膜層および第２の強磁性金属薄膜層を積層形成した後、
このポリエステルベースフィルム１５を、排気系３０で
約５Ｘ１０’）−ルにまで真空排気した真空槽２４内の
ガイドローラ３１を介して円筒状キャン２５０周側面に
沿って移動させ、ガイド、ｐ−ラ３２を介して巻き取り
ロール３３に巻き取らせるとともに、真空槽２４内のる
つば２７にセントしたコバルト−ニッケル合金３４を加
熱蒸発させて入射角５０度で斜め入射蒸着を開始した。
空槽２４を隣接し、この真空槽２４内に真空槽７と同様
に、円筒状キャン２５、防着板２６、るつぼ２７、熱電
子源２８およびガス導入管２９を配設した真空蒸着装置
を使用し、真空槽１および７で実施例１と同様にしてポ
リエステルベースフィルム１５上に第１の強磁性金属薄
膜層および第２の強磁性金属薄膜層を積層形成した後、
このポリエステルベースフィルム１５を、排気系３０で
約５Ｘ１０’）−ルにまで真空排気した真空槽２４内の
ガイドローラ３１を介して円筒状キャン２５０周側面に
沿って移動させ、ガイド、ｐ−ラ３２を介して巻き取り
ロール３３に巻き取らせるとともに、真空槽２４内のる
つば２７にセントしたコバルト−ニッケル合金３４を加
熱蒸発させて入射角５０度で斜め入射蒸着を開始した。
このとき同時にガス導入管２９から最小入射角となる部
分に酸素ガスをガス圧３ＸＩＯ’トールで吹きつけ、ポ
リエステルベースフィルム１５上に先に積層形成した第
１および第２の強磁性金属薄膜層上にさらに第３の強磁
性金属薄膜層を形成して磁気記録媒体をつくった。第３
の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は、第１の
強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径と同じ７０人
であった。
分に酸素ガスをガス圧３ＸＩＯ’トールで吹きつけ、ポ
リエステルベースフィルム１５上に先に積層形成した第
１および第２の強磁性金属薄膜層上にさらに第３の強磁
性金属薄膜層を形成して磁気記録媒体をつくった。第３
の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は、第１の
強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径と同じ７０人
であった。
実施例３
実施例１において、酸素ガスに代えてアルゴンガスを使
用し、真空槽１でガス導入管６より吹きつけるアルゴン
ガスのガス圧を２Ｘ１０−’トールとし、真空槽７でガ
ス導入管１２より吹きつけるアルゴンガスのガス圧を５
Ｘ１０−５）−ルとした以外は実施例１と同様にして磁
気記録媒体をつくった。得られた磁気記録媒体の第１の
強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は８０八で第
２の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は１５０
人であった。
用し、真空槽１でガス導入管６より吹きつけるアルゴン
ガスのガス圧を２Ｘ１０−’トールとし、真空槽７でガ
ス導入管１２より吹きつけるアルゴンガスのガス圧を５
Ｘ１０−５）−ルとした以外は実施例１と同様にして磁
気記録媒体をつくった。得られた磁気記録媒体の第１の
強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は８０八で第
２の強磁性金属薄膜層の強磁性金属粒子の粒径は１５０
人であった。
比較例１
実施例１おいて、第２の強磁性金属薄膜層の形成を省い
た以外は実施例１と同様にして磁気記録媒体をつくった
。
た以外は実施例１と同様にして磁気記録媒体をつくった
。
比較例２
実施例１おいて、第１の強磁性金属薄膜層の形成を省い
た以外は実施例１と同様にして磁気記録媒体をつくった
。
た以外は実施例１と同様にして磁気記録媒体をつくった
。
各実施例および各比較例で得られた磁気記録媒体につい
て保磁力および角型比を測定し、耐食性を試験した。耐
食性試験は、得られた磁気記録媒体を６０℃、９０％Ｒ
’Ｈの条件下に１週間放置して放置前と放置後の磁化量
を測定し、磁化量の劣下率を算定して行った。
て保磁力および角型比を測定し、耐食性を試験した。耐
食性試験は、得られた磁気記録媒体を６０℃、９０％Ｒ
’Ｈの条件下に１週間放置して放置前と放置後の磁化量
を測定し、磁化量の劣下率を算定して行った。
下表はその結果である。
上表から明らかなように、この発明で得られた磁気記録
媒体（実施例１〜３）は、いずれも比較例１で得られた
ものに比し磁化量の劣下率が小さく、また比較例２で得
られたものに比し保磁力および角型が高く、このことか
らこの発明で得られた磁気記録媒体は磁気特性および耐
食性に優れていることがわかる。
媒体（実施例１〜３）は、いずれも比較例１で得られた
ものに比し磁化量の劣下率が小さく、また比較例２で得
られたものに比し保磁力および角型が高く、このことか
らこの発明で得られた磁気記録媒体は磁気特性および耐
食性に優れていることがわかる。
第１図はこの発明の磁気記録媒体を製造するのに使用す
る真空蒸着装置の一実施例を示す概略断面ず、第２図は
同地の実施例を示す概略断面図である。
る真空蒸着装置の一実施例を示す概略断面ず、第２図は
同地の実施例を示す概略断面図である。
Claims (1)
- ■、基体上に少なくとも２以上の強磁性金属薄膜層を積
層してなる磁気記録媒体であって、表面の強磁性金属薄
膜層と基体との間に、表面の強磁性金属薄膜層の強磁性
金属粒子の粒径より小さい粒径の強磁性金属粒子からな
る強磁性金属薄膜層を介在させたことを特徴とする磁気
記録媒体
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58042703A JPS59167834A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58042703A JPS59167834A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59167834A true JPS59167834A (ja) | 1984-09-21 |
Family
ID=12643415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58042703A Pending JPS59167834A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59167834A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62120621A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS63201912A (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-22 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-03-14 JP JP58042703A patent/JPS59167834A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62120621A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS63201912A (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-22 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
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