JPS6171418A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6171418A JPS6171418A JP19319784A JP19319784A JPS6171418A JP S6171418 A JPS6171418 A JP S6171418A JP 19319784 A JP19319784 A JP 19319784A JP 19319784 A JP19319784 A JP 19319784A JP S6171418 A JPS6171418 A JP S6171418A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、移動するテープ状非磁性基体に磁性薄膜を真
空蒸着法により形成せしめて磁気記録媒体を製造する方
法に関し、さらに詳しくはｔａ変換特性、および走行性
にすぐれる磁気記録媒体の製造方法に関する。
空蒸着法により形成せしめて磁気記録媒体を製造する方
法に関し、さらに詳しくはｔａ変換特性、および走行性
にすぐれる磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来よシ磁気記録媒体としては、非磁性基体上にｒ−Ｆ
ｃ２０３、ＣＯをドープしたｒ Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３
Ｏ４、ＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ −Ｆ ｅ ２
０３とＦ ｅ ３０４のベルトライド化合物、ＣＯをド
ープしたベルトライド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性
粉末あるいはＦｅ％Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁
性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重
合体、スチレン−ブタジェン共重合体、ｘポキシ樹脂、
ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、
塗布、乾燥させる塗布量のものが広く使用されてきてい
る。
ｃ２０３、ＣＯをドープしたｒ Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３
Ｏ４、ＣｏをドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ −Ｆ ｅ ２
０３とＦ ｅ ３０４のベルトライド化合物、ＣＯをド
ープしたベルトライド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性
粉末あるいはＦｅ％Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁
性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重
合体、スチレン−ブタジェン共重合体、ｘポキシ樹脂、
ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、
塗布、乾燥させる塗布量のものが広く使用されてきてい
る。
近年高密度磁気記録への要求の高まシと共に、真空蒸着
、ス／ｅツタリング、イオンプレーテング等の方法によ
り形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ており実用化への努力が種々性なわれている。これらの
中でも、磁性金属の蒸発ビームを基体表面に対し斜めに
入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は、工程、装置
機構も比較的簡単であると同時に、良好な磁気特性の膜
が得られるため実用上すぐれている。
、ス／ｅツタリング、イオンプレーテング等の方法によ
り形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ており実用化への努力が種々性なわれている。これらの
中でも、磁性金属の蒸発ビームを基体表面に対し斜めに
入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は、工程、装置
機構も比較的簡単であると同時に、良好な磁気特性の膜
が得られるため実用上すぐれている。
蒸着による金属薄膜型磁気記録媒体は表面性にすぐれる
ためＶＴＲでの走行性に問題があシ特に常温常湿以外の
環境下でＶＴＲにて走行させた場合♂ステープがＶＴＲ
，回転ドラムにはりつき走行停止になる状態がおうおう
にして発生する。さら−に、蒸着により見られる金属薄
膜型磁気記録媒体は電磁変換特性において従来の塗布型
磁気記録媒体よシ極めてすぐれる事を特徴としているの
であるが、塗布型磁気記録媒体特に合金粉末磁性粉末を
用いた塗布型磁気記録媒体の改良はめざましく、蒸着型
の磁気記録媒体の電磁変換特性の改良も強く望まれてい
る。
ためＶＴＲでの走行性に問題があシ特に常温常湿以外の
環境下でＶＴＲにて走行させた場合♂ステープがＶＴＲ
，回転ドラムにはりつき走行停止になる状態がおうおう
にして発生する。さら−に、蒸着により見られる金属薄
膜型磁気記録媒体は電磁変換特性において従来の塗布型
磁気記録媒体よシ極めてすぐれる事を特徴としているの
であるが、塗布型磁気記録媒体特に合金粉末磁性粉末を
用いた塗布型磁気記録媒体の改良はめざましく、蒸着型
の磁気記録媒体の電磁変換特性の改良も強く望まれてい
る。
本発明の第１の目的は、上記の欠点を改良した蒸着法に
よる金属薄膜型磁気記録媒体、すなわち常温常温より異
なる温湿度環境下での走行性が改良された金属薄膜型磁
気記録媒体の製造方法を提供することにある。さらに本
発明の第２の目的は、α磁変換特性にすぐれた、蒸着法
による金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とにある。
よる金属薄膜型磁気記録媒体、すなわち常温常温より異
なる温湿度環境下での走行性が改良された金属薄膜型磁
気記録媒体の製造方法を提供することにある。さらに本
発明の第２の目的は、α磁変換特性にすぐれた、蒸着法
による金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とにある。
本発明は、テープ状非磁性支持体を搬送させつつ該非磁
性支持体上に蒸着法により磁性金属薄膜を形成せしめて
磁気記録媒体を製造する方法において、該非磁性支持体
の搬送速度（−）を／θ０ｆｒＬ／分以上とすると共に
、磁性金ｉａｇ７．膜の蒸着形成速度を／、ｊ、９／ｇ
２．分取上り？ｇ／ｆｎ２分以下（？：非磁性支持体搬
送速度をｆｒＬ／分で表示した数値）とする磁気記録媒
体の製造方法に関する。
性支持体上に蒸着法により磁性金属薄膜を形成せしめて
磁気記録媒体を製造する方法において、該非磁性支持体
の搬送速度（−）を／θ０ｆｒＬ／分以上とすると共に
、磁性金ｉａｇ７．膜の蒸着形成速度を／、ｊ、９／ｇ
２．分取上り？ｇ／ｆｎ２分以下（？：非磁性支持体搬
送速度をｆｒＬ／分で表示した数値）とする磁気記録媒
体の製造方法に関する。
第１図は、本発明による磁気記録媒体を製造するだめの
装置の一例を示している。適当な真空排気系を備えてな
る真空Ｐｎ（図示せず）内に配設されたシリンダー状冷
却キャン／／に沿ってテープ状非磁性支持体／２が搬送
される。テープ状非磁性支持体７．２は送シ出しロール
／３から冷却キャン／／の表面に沿って移動し、冷却キ
ャン／／の表面を移動中に磁性金属材料の蒸発流／４ｔ
にさらされ磁性薄膜が蒸着される。磁性薄膜の形成され
たテープ状非磁性支持体／２は冷却キャン／／の表面を
離れた後巻き取シロール／！に巻き取られる。磁性金属
材料を蒸発させるための蒸発源／乙は冷却キャン／／の
下方に配置されておシ、磁性金属材料の蒸発は電子ビー
ム／７の照射加熱によって行なわれるようになっている
。蒸発源／乙からの磁性余病材料の蒸気流はマスク／ｒ
の介して所望の蒸気流／４ｔの与がテープ状非磁性支持
体／−に述するようになっている。斜方入射真空蒸着法
による場合には蒸気流／グが冷却キャン／／表面上のテ
ープ状非磁匪基体／＝に悟めに入射するようにマスク／
♂が設定される。本発明においてテープ状非磁性支持体
の伝送速度とはテープ状非磁性支持体表面への磁性金屑
材料の蒸着が行なわれる領域における上記テープ状基体
の移動する速度を指す。￥Ｓ７図においてテープ状非磁
性支持体７．２の表面が磁性金属材料の蒸気流／３にさ
らされる領域におけるテープ状非磁性支特体／コの移動
速度Ｖが本発明におけるテープ状非磁性支持体の搬送速
度である。さらに本発明において蒸着形成速度とは、蒸
居磁注膜の形成の際の単位時間（秒）あたシにおける膜
形成量を指し、膜形成量はテープ状非磁性支持体の単位
面積（ｆｎ２）あたシの磁性薄膜の５Ｘ量’（、！ｉ＋
） Ｋて６られす。第１図においてテープ状非磁性支
持体／２の磁性薄膜の形成された部分、例えば巻き取シ
ロール／！に巻取られた部分の膜形Ｉｆ、 ！＜を求め
、それをテープ状非磁性支持体７２カニ磁性金属材料の
蒸気流／４ｔにさらされている時間で割ってやれば蒸着
形成速度が得られる。
装置の一例を示している。適当な真空排気系を備えてな
る真空Ｐｎ（図示せず）内に配設されたシリンダー状冷
却キャン／／に沿ってテープ状非磁性支持体／２が搬送
される。テープ状非磁性支持体７．２は送シ出しロール
／３から冷却キャン／／の表面に沿って移動し、冷却キ
ャン／／の表面を移動中に磁性金属材料の蒸発流／４ｔ
にさらされ磁性薄膜が蒸着される。磁性薄膜の形成され
たテープ状非磁性支持体／２は冷却キャン／／の表面を
離れた後巻き取シロール／！に巻き取られる。磁性金属
材料を蒸発させるための蒸発源／乙は冷却キャン／／の
下方に配置されておシ、磁性金属材料の蒸発は電子ビー
ム／７の照射加熱によって行なわれるようになっている
。蒸発源／乙からの磁性余病材料の蒸気流はマスク／ｒ
の介して所望の蒸気流／４ｔの与がテープ状非磁性支持
体／−に述するようになっている。斜方入射真空蒸着法
による場合には蒸気流／グが冷却キャン／／表面上のテ
ープ状非磁匪基体／＝に悟めに入射するようにマスク／
♂が設定される。本発明においてテープ状非磁性支持体
の伝送速度とはテープ状非磁性支持体表面への磁性金屑
材料の蒸着が行なわれる領域における上記テープ状基体
の移動する速度を指す。￥Ｓ７図においてテープ状非磁
性支持体７．２の表面が磁性金属材料の蒸気流／３にさ
らされる領域におけるテープ状非磁性支特体／コの移動
速度Ｖが本発明におけるテープ状非磁性支持体の搬送速
度である。さらに本発明において蒸着形成速度とは、蒸
居磁注膜の形成の際の単位時間（秒）あたシにおける膜
形成量を指し、膜形成量はテープ状非磁性支持体の単位
面積（ｆｎ２）あたシの磁性薄膜の５Ｘ量’（、！ｉ＋
） Ｋて６られす。第１図においてテープ状非磁性支
持体／２の磁性薄膜の形成された部分、例えば巻き取シ
ロール／！に巻取られた部分の膜形Ｉｆ、 ！＜を求め
、それをテープ状非磁性支持体７２カニ磁性金属材料の
蒸気流／４ｔにさらされている時間で割ってやれば蒸着
形成速度が得られる。
本発明者等は蒸着形成速度について種々検討の結果、テ
ープ状非磁性支持体の搬送速度を１００仇／分以上とし
、磁性薄膜の形成速度を／、！１９／ｆｆ１２分以上
タ？ｇＺｆｒ１２分以下〔ここでＹは非磁性支持体搬送
速度をｆＦ！／分で表示した数値〕として蒸着によ膜形
成された磁性金属薄板を備えた磁気記録媒体は、ＶＴＲ
での走行性が改良きれると共に電磁変換特性にもすぐれ
ることを見出したものである。ここに、テープ状非磁性
支持体の搬送速１ｉの上限については機械的な制約によ
り定められるもので、ｊ ００ ｔｎ ／分ＨＥでるる
。
ープ状非磁性支持体の搬送速度を１００仇／分以上とし
、磁性薄膜の形成速度を／、！１９／ｆｆ１２分以上
タ？ｇＺｆｒ１２分以下〔ここでＹは非磁性支持体搬送
速度をｆＦ！／分で表示した数値〕として蒸着によ膜形
成された磁性金属薄板を備えた磁気記録媒体は、ＶＴＲ
での走行性が改良きれると共に電磁変換特性にもすぐれ
ることを見出したものである。ここに、テープ状非磁性
支持体の搬送速１ｉの上限については機械的な制約によ
り定められるもので、ｊ ００ ｔｎ ／分ＨＥでるる
。
本発明の磁気記録媒体の製造方法において磁性金ｐＡ薄
膜を形成するための強磁性材料としては、鉄、コバルト
、ニッケルその他の強磁性全屈、あるいはＦｅ−Ｃｏ、
Ｆｅ−Ｎｉ、 Ｃｏ−Ｎｉ、 Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎｉ、
Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｆｅ−８ｉ１Ｃｏ−Ｃｕ。
膜を形成するための強磁性材料としては、鉄、コバルト
、ニッケルその他の強磁性全屈、あるいはＦｅ−Ｃｏ、
Ｆｅ−Ｎｉ、 Ｃｏ−Ｎｉ、 Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎｉ、
Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｆｅ−８ｉ１Ｃｏ−Ｃｕ。
Ｃｏ −Ａｕ、 Ｃｏ−Ｙ、 Ｃｏ−Ｌａ、 Ｃｏ−Ｐ
ｒ、 Ｃｏ−Ｇｄ。
ｒ、 Ｃｏ−Ｇｄ。
Ｃｏ−８ｍ５Ｃｏ −Ｐ ｔ、 Ｃｏ−８ｉ、Ｃｏ−Ｍ
ｎ、 Ｃ□ −Ｐ。
ｎ、 Ｃ□ −Ｐ。
Ｎｉ−Ｃｕ５Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ１Ｎｉ−Ｃｒ、
Ｆｅ−ＰｌＣｏ−Ｐ、 Ｎ１−ＰｌＣｏ”Ｎ１−Ｐ、
Ｃｏ−Ｎｉ −Ｂ。
Ｆｅ−ＰｌＣｏ−Ｐ、 Ｎ１−ＰｌＣｏ”Ｎ１−Ｐ、
Ｃｏ−Ｎｉ −Ｂ。
Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｚ
ｎ。
ｎ。
Ｃｏ−Ｎｉ −Ｗ、 ？ｖｊｎ−Ｂ ｉ、 Ｍｎ−５ｂ
、 Ｍｎ−Ａｌ。
、 Ｍｎ−Ａｌ。
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−ＣｒＸＦｅ−Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ等のよ
うな強磁性合金が用いられる。蒸着中に０２、Ｃｏ２、
Ｎ２、ＮＨ３、スチレン等のガス′ｆｒ−導入し、て磁
性薄膜中にＯ，Ｎ、Ｃ等の元素を含有させるようにして
もいい。上記磁性材料ｔよ磁気記９．媒体として用いる
場合テープ状非磁性支持体上に一般には０゜／ ｊ ９
／ ｍ ２から／ ｊ ｐ ／ ｍ ２ 、好ましく
は０゜、２０９ ／ ｍ ２からｒ、０９／ｍ２設けら
レル。
うな強磁性合金が用いられる。蒸着中に０２、Ｃｏ２、
Ｎ２、ＮＨ３、スチレン等のガス′ｆｒ−導入し、て磁
性薄膜中にＯ，Ｎ、Ｃ等の元素を含有させるようにして
もいい。上記磁性材料ｔよ磁気記９．媒体として用いる
場合テープ状非磁性支持体上に一般には０゜／ ｊ ９
／ ｍ ２から／ ｊ ｐ ／ ｍ ２ 、好ましく
は０゜、２０９ ／ ｍ ２からｒ、０９／ｍ２設けら
レル。
テープ状非磁性支持体としては、ポリエチレンテレフタ
ート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三酢
酸セルロース、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタ
レート、ポリフェニレンサルファイドのようなプラスチ
ツタベース、あるいはｋｌ、ＡＡ金合金’ｌ’ｉ、Ｔｉ
合金、ステンレス鋼のよプな金属帯か使用される。
ート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三酢
酸セルロース、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタ
レート、ポリフェニレンサルファイドのようなプラスチ
ツタベース、あるいはｋｌ、ＡＡ金合金’ｌ’ｉ、Ｔｉ
合金、ステンレス鋼のよプな金属帯か使用される。
磁性材料を蒸発せしめるための蒸発源加熱方法としては
抵尻加熱法、高周波加熱法、レーザービーム加熱法、電
子ビーム加熱法等が用いられるが、特に本発明で好まし
いのは２子ビーム加熱法である。さらには蒸発せしめら
れた磁性材料を蒸発源に補給するために蔵状、粒状、帯
状、棒状の磁性材料を蒸発源に補給するような機宿を設
けてもよい。
抵尻加熱法、高周波加熱法、レーザービーム加熱法、電
子ビーム加熱法等が用いられるが、特に本発明で好まし
いのは２子ビーム加熱法である。さらには蒸発せしめら
れた磁性材料を蒸発源に補給するために蔵状、粒状、帯
状、棒状の磁性材料を蒸発源に補給するような機宿を設
けてもよい。
さらに本発明においてはテープ状非磁性基体上に有機、
あるいは無；、Ｉ＆物よシなる下地層を設けても良いし
、磁性薄膜を多層化した）、各磁性膜間に有機、あるい
は無機物よシなる中間層を設けることもできる。また耐
久性、耐候性、８よび走行性を改良するために磁性膜正
に有機、るるいは無機物よシなる保護層を設けることも
できる。例えは走行性を向上させるための潤滑剤として
炭素数７２〜７２個の脂肪酸（几１ＣＯＯＩ−Ｉ、几ｌ
は炭素数／／〜／７のアルキル”またはアルケニル基）
：前記脂肪酸の金属塩；シリコンオイル、炭素数−〜２
Ｑ個の一塩基性脂肪酸と炭素数３〜／コ個の一価のアル
コールとから成る脂肪酸エステル類を磁性金属薄膜上に
設けてもよい。
あるいは無；、Ｉ＆物よシなる下地層を設けても良いし
、磁性薄膜を多層化した）、各磁性膜間に有機、あるい
は無機物よシなる中間層を設けることもできる。また耐
久性、耐候性、８よび走行性を改良するために磁性膜正
に有機、るるいは無機物よシなる保護層を設けることも
できる。例えは走行性を向上させるための潤滑剤として
炭素数７２〜７２個の脂肪酸（几１ＣＯＯＩ−Ｉ、几ｌ
は炭素数／／〜／７のアルキル”またはアルケニル基）
：前記脂肪酸の金属塩；シリコンオイル、炭素数−〜２
Ｑ個の一塩基性脂肪酸と炭素数３〜／コ個の一価のアル
コールとから成る脂肪酸エステル類を磁性金属薄膜上に
設けてもよい。
これらの潤滑剤峠辿常各Ｕの有機溶媒に溶解し、塗布乾
燥されろ。
燥されろ。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが本発明
けこれらに限定されるものではない。
けこれらに限定されるものではない。
笑施例／
第１図に示す黒石装置において冷却キャン直径ｆ？００
ｕとして／−μｔｎ Ｊｄのポリエチレンテレフタレー
トフィルム上九強磁性金柾薄μλを形成し磁気比ｆ＊媒
体を作製した。蒸発源としてけルッ〆にチャージされた
ＣｏＮｉ合金＜Ｎｌ１０重景％９を加速電圧３ｏ Ｋ
’ｖ−の電子ビームでポリエチレンテレフタレートフィ
ルムの幅方向に走立加熱する方式を用いた。蒸着の際は
蒸気流／３の近傍に酸素を導入し、真空度が−，ＯＸ
／ ０”−’ ＴｏｒｒとなるようＫして、０ 、９９
７ｍ２の形成量となるように磁性金属＊ｉを形成した。
ｕとして／−μｔｎ Ｊｄのポリエチレンテレフタレー
トフィルム上九強磁性金柾薄μλを形成し磁気比ｆ＊媒
体を作製した。蒸発源としてけルッ〆にチャージされた
ＣｏＮｉ合金＜Ｎｌ１０重景％９を加速電圧３ｏ Ｋ
’ｖ−の電子ビームでポリエチレンテレフタレートフィ
ルムの幅方向に走立加熱する方式を用いた。蒸着の際は
蒸気流／３の近傍に酸素を導入し、真空度が−，ＯＸ
／ ０”−’ ＴｏｒｒとなるようＫして、０ 、９９
７ｍ２の形成量となるように磁性金属＊ｉを形成した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送速度および
電子ビームによる加熱パワー調整により蒸着形成速度を
変化させた磁気テープ原反を作製し、磁性金属薄膜上に
ステアリン酸を／ Ｏｔｑ ／ ｔｎ ２塗布後スリツ
トし磁気テープとした。
電子ビームによる加熱パワー調整により蒸着形成速度を
変化させた磁気テープ原反を作製し、磁性金属薄膜上に
ステアリン酸を／ Ｏｔｑ ／ ｔｎ ２塗布後スリツ
トし磁気テープとした。
こうして得た磁気テープについてｒ ’Ｃ，ｔｒ。
％相対湿度環境下でのＶＴＲでの繰返し走行特性および
電磁変換特性を測定したところ下表のようであった。電
磁変換特性はテープとヘッド相対速ｆＪ、７ｊｔｎ／秒
のＶＴＲでのＱ、ｊＭＨｚ信号記録した時の再生出力（
Ｃ）と、前記再生出方から／ Ｍ Ｈｚ離れたところの
変調ノイズ出力（Ｎ）との比Ｃ／Ｎを測定した。
電磁変換特性を測定したところ下表のようであった。電
磁変換特性はテープとヘッド相対速ｆＪ、７ｊｔｎ／秒
のＶＴＲでのＱ、ｊＭＨｚ信号記録した時の再生出力（
Ｃ）と、前記再生出方から／ Ｍ Ｈｚ離れたところの
変調ノイズ出力（Ｎ）との比Ｃ／Ｎを測定した。
このようにポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送
速度を１００ｍ１分以上とし、蒸着形成速度を／ 、
ｊ ？ ９ ／ｎ＊ ２．＋＋分以上９？ｇ／情２・分
取下（／ ００ ｍ ７分の時は／ ｊ Ｏ〜９００
ｆｉ／ｍ２−分、２００ ｔｎ ７分の時は３００〜／
Ｊ’ ００ 、ｌｉ’ ／ ｎｔ ２ φ分〕にて製
造された磁気テープはＶＴＲでの縁返し走行性および電
磁変換特性にてすぐれることが明らかである。
速度を１００ｍ１分以上とし、蒸着形成速度を／ 、
ｊ ？ ９ ／ｎ＊ ２．＋＋分以上９？ｇ／情２・分
取下（／ ００ ｍ ７分の時は／ ｊ Ｏ〜９００
ｆｉ／ｍ２−分、２００ ｔｎ ７分の時は３００〜／
Ｊ’ ００ 、ｌｉ’ ／ ｎｔ ２ φ分〕にて製
造された磁気テープはＶＴＲでの縁返し走行性および電
磁変換特性にてすぐれることが明らかである。
実施例コ
実施例／と同様にして、／２．ｊμｆｒＬ厚のポリイミ
ドフィルム上に強磁性薄膜を蒸着し磁気記録媒体を作製
した。蒸発源にＦｉＣｏをチャージレ真窒度／、コ×／
θ−５Ｔｏｒｒにて／、２ｇ／ｍ２゜形成汀となるよう
に磁性薄膜を形成し磁気テープ原反を得た。磁性Ｒ膜上
にシリコンオイルを／ｊｗ９／ｍ２となるよう塗布した
後スリットし磁気テープとした。蒸着時のポリイミドフ
ィルム搬送速度および蒸着形成速度を変化させたサンプ
ルにつき実施例／と同様にしてＶＴＲでの°繰返し走行
特性および電磁変換特性を測定したところ下表のようで
あった。
ドフィルム上に強磁性薄膜を蒸着し磁気記録媒体を作製
した。蒸発源にＦｉＣｏをチャージレ真窒度／、コ×／
θ−５Ｔｏｒｒにて／、２ｇ／ｍ２゜形成汀となるよう
に磁性薄膜を形成し磁気テープ原反を得た。磁性Ｒ膜上
にシリコンオイルを／ｊｗ９／ｍ２となるよう塗布した
後スリットし磁気テープとした。蒸着時のポリイミドフ
ィルム搬送速度および蒸着形成速度を変化させたサンプ
ルにつき実施例／と同様にしてＶＴＲでの°繰返し走行
特性および電磁変換特性を測定したところ下表のようで
あった。
このように蒸着時のポリイミドフィルムの搬送速度を７
００ｍ１分以上とし、蒸着形成速度を／ 、 ！ ｖ
ｆｌ ／ｌｎ ２分以上？ｙ９／ｍ２分以下（／ｒＯｍ
／分搬送時は２ｊ Ｏ〜／ ＆ ２０９ ／ ｍ２分
、２ ｊ Ｏｔｎ ／分搬送時は３７！〜コ２ ｊ Ｏ
ｇ／ ｍ ２分〕にて製造された磁気テープが走行性、
Ｃ／Ｎ特性ともすぐれていることは明らかである。
００ｍ１分以上とし、蒸着形成速度を／ 、 ！ ｖ
ｆｌ ／ｌｎ ２分以上？ｙ９／ｍ２分以下（／ｒＯｍ
／分搬送時は２ｊ Ｏ〜／ ＆ ２０９ ／ ｍ２分
、２ ｊ Ｏｔｎ ／分搬送時は３７！〜コ２ ｊ Ｏ
ｇ／ ｍ ２分〕にて製造された磁気テープが走行性、
Ｃ／Ｎ特性ともすぐれていることは明らかである。
テープ状非磁性支持体の搬送速度を／ ００ ｍ ７分
以上とし、蒸着形成速度を／、！Ｖ乃至９ｓ−９／−２
分（？：ｉ送速度をＷＬ／分で表示した数値〕として蒸
着磁性金属薄膜を形成し、磁気記録媒体を５Ｒ遺す６本
方法によればＶＴＲでの走行性にすぐれるとともに電磁
変換特性の向上したａ気記録媒体が得られる＠
以上とし、蒸着形成速度を／、！Ｖ乃至９ｓ−９／−２
分（？：ｉ送速度をＷＬ／分で表示した数値〕として蒸
着磁性金属薄膜を形成し、磁気記録媒体を５Ｒ遺す６本
方法によればＶＴＲでの走行性にすぐれるとともに電磁
変換特性の向上したａ気記録媒体が得られる＠
第７図は本発明による磁気記録媒体を製造するための装
飲の一例を示している。 ／／：冷却キャン ／コニテープ状非磁性支持体 ／３：送り出しロール ／４ｔ；磁性金属材料の蒸発流 ／！二クロー ルに：蒸発源 ／７：加熱用電子ビーム ／♂：マスク 特許出願人 冨士写真フィルム株式会社゛昭和！２年ｌ
λ片／）−日 １．事件の表示 昭和ｊ？年特願第１７３／Ｐ７
号２、発明の名称 −磁気記録媒体の製造方法３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人連絡先 〒１０
６東京都港区西麻布２丁目２６番３０号４、補正の対象
明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 ｌ）明細？第！頁２０行 「（秒）」を 「（分）」 と補正する。 ２）同書第り頁弘行 「シリコンオイル」を 「シリコーンオイル」 と補正する。
飲の一例を示している。 ／／：冷却キャン ／コニテープ状非磁性支持体 ／３：送り出しロール ／４ｔ；磁性金属材料の蒸発流 ／！二クロー ルに：蒸発源 ／７：加熱用電子ビーム ／♂：マスク 特許出願人 冨士写真フィルム株式会社゛昭和！２年ｌ
λ片／）−日 １．事件の表示 昭和ｊ？年特願第１７３／Ｐ７
号２、発明の名称 −磁気記録媒体の製造方法３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人連絡先 〒１０
６東京都港区西麻布２丁目２６番３０号４、補正の対象
明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 ｌ）明細？第！頁２０行 「（秒）」を 「（分）」 と補正する。 ２）同書第り頁弘行 「シリコンオイル」を 「シリコーンオイル」 と補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 テープ状非磁性支持体を搬送させつつ該非磁性支持体上
に蒸着法により磁性金属薄膜を形成せしめて磁気記録媒
体を製造する方法において、該非磁性支持体の搬送速度
〔ν〕を１００ｍ／分以上とし、かつ、磁性薄膜の蒸着
形成速度を１．５νｇ／ｍ＾２・分以上９νｇ／ｍ＾２
分以下としたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19319784A JPS6171418A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19319784A JPS6171418A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171418A true JPS6171418A (ja) | 1986-04-12 |
| JPH0341897B2 JPH0341897B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16303915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19319784A Granted JPS6171418A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6171418A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007057828A (ja) | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Sony Corp | Ｐｏｐラベル及び電子機器 |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP19319784A patent/JPS6171418A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341897B2 (ja) | 1991-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |