JPH0341897B2 - - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 84
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 22
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 15
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- -1 Co-P Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 4
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 4
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 229910020632 Co Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020637 Co-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002441 CoNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020678 Co—Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020707 Co—Pt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020711 Co—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020514 Co—Y Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017060 Fe Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002544 Fe-Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017082 Fe-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002549 Fe–Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017133 Fe—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018657 Mn—Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018054 Ni-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018481 Ni—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018605 Ni—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- LZBCVRCTAYKYHR-UHFFFAOYSA-N acetic acid;chloroethene Chemical compound ClC=C.CC(O)=O LZBCVRCTAYKYHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N chromium iron Chemical compound [Cr].[Fe] UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006163 vinyl copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、移動するテープ状非磁性基体に磁性
薄膜を真空蒸着法により形成せしめて磁気記録媒
体を製造する方法に関し、さらに詳しくは電磁変
換特性、および走行性にすぐれる磁気記録媒体の
製造方法に関する。 〔従来技術〕 従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上
にγ−Fe2O3、Coをドープしたγ−Fe2O3、
Fe3O4、CoをドープしたFe3O4、γ−Fe2O3と
Fe3O4のベルトライド化合物、Coをドープしたベ
ルトライド化合物、CrO2等の酸化物磁性粉末あ
るいはFe、Co、Ni等を主成分とする合金磁性粉
末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、エポキ
シ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中
に分散せしめ、塗布、乾燥させる塗布型のものが
広く使用されてきている。 近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、
真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテング
等の方法により形成される強磁性金属薄膜はバイ
ンダーを使用しない、いわゆる金属薄膜型の磁気
記録媒体として注目を浴びており実用化への努力
が種々行なわれている。これらの中でも磁性金属
の蒸発ビームを基体表面に対し斜めに入射させて
蒸着する斜方入射真空蒸着法は、工程、装置機構
も比較的簡単であると同時に、良好な磁気特性の
膜が得られるため実用上すぐれている。 蒸着による金属薄膜型磁気記録媒体は表面性に
すぐれるためVTRでの走行性に問題があり特に
常温常湿以外の環境下でVTRにて走行させた場
合磁気テープがVTR回転ドラムにはりつき走行
停止になる状態がおうおうにして発生する。さら
に、蒸着によりえられる金属薄膜型磁気記録媒体
は電磁変換特性において従来の塗布型磁気記録媒
体より極めてすぐれる事を特徴としているのであ
るが、塗布型磁気記録媒体特に合金粉末磁性粉末
を用いた塗布型磁気記録媒体の改良はめざまし
く、蒸着型の磁気記録媒体の電磁変換特性の改良
も強く望まれている。 〔発明の目的〕 本発明の第１の目的は、上記の欠点を改良した
蒸着法による金属薄膜型磁気記録媒体、すなわち
常温常湿より異なる温湿度環境下での走行性が改
良された金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提
供することにある。さらに本発明の第２の目的
は、電磁変換特性にすぐれた、蒸着法による金属
薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供することに
ある。 〔発明の構成〕 本発明はテープ状非磁性支持体を搬送させつつ
該非磁性支持体上に蒸着法により磁性金属薄膜を
形成せしめて磁気記録媒体を製造する方法におい
て、該非磁性支持体の搬送速度〔ｖ〕を100ｍ／
分以上とすると共に、磁性金属薄膜の蒸着形成速
度を1.5vｇ／m2・分以上9vｇ／m2分以下（ｖ：非
磁性支持体搬送速度をｍ／分で表示した数値）と
する磁気記録媒体の製造方法に関する。 第１図は、本発明による磁気記録媒体を製造す
るための装置の一例を示している。適当な真空排
気系を備えてなる真空槽（図示せず）内に配設さ
れたシリンダー状冷却キヤン１１に沿つてテープ
状非磁性支持体１２が搬送される。テープ状非磁
性支持体１２は送り出しロール１３から冷却キヤ
ン１１の表面に沿つて移動し、冷却キヤン１１の
表面を移動中に磁性金属材料の蒸発流１４にさら
され磁性薄膜が蒸着される。磁性薄膜の形成され
たテープ状非磁性支持体１２は冷却キヤン１１の
表面を離れた後巻き取りロール１５に巻き取られ
る。磁性金属材料を蒸発させるための蒸発源１６
は冷却キヤン１１の下方に配置されており、磁性
金属材料の蒸発は電子ビーム１７の照射加熱によ
つて行なわれるようになつている。蒸発源１６か
らの磁性金属材料の蒸気流はマスク１８の介して
所望の蒸気流１４のみがテープ状非磁性支持体１
２に達するようになつている。斜方入射真空蒸着
法による場合には蒸気流１４が冷却キヤン１１表
面上のテープ状非磁性基体１２に斜めに入射する
ようにマスク１８が設定される。本発明において
テープ状非磁性支持体の搬送速度とはテープ状非
磁性支持体表面への磁性金属材料の蒸着が行なわ
れる領域における上記テープ状基体の移動する速
度を指す。第１図においてテープ状非磁性支持体
１２の表面が磁性金属材料の蒸気流１３にさらさ
れる領域におけるテープ状非磁性支持体１２の移
動速度ｖが本発明におけるテープ状非磁性支持体
の搬送速度である。さらに本発明において蒸着形
成速度とは、蒸着磁性膜の形成の際の単位時間
（分）あたりにおける膜形成量を示し、膜形成量
はテープ状非磁性支持体の単位面積（m2）あたり
の磁性薄膜の質量（ｇ）にてあらわす。第１図に
おいてテープ状非磁性支持体１２の磁性薄膜の形
成された部分、例えば巻き取りロール１５に巻取
られた部分の膜形成量を求め、それをテープ状非
磁性支持体１２が磁性金属材料の蒸気流１４にさ
れされている時間で割つてやれば蒸着形成速度が
得られる。 本発明者等は蒸着形成速度について種々検討の
結果、テープ状非磁性支持体の搬送速度を100
ｍ／分以上とし、磁性薄膜の形成速度を1.5vｇ／
m2分以上9vｇ／m2分以下〔ここでｖは非磁性支
持体搬送速度をｍ／分で表示した数値〕として蒸
着により形成された磁性金属薄膜を備えた磁気記
録媒体は、VTRでの走行性が改良されると共に
電磁変換特性にもすぐれることを見出したもので
ある。ここに、テープ状非磁性支持体の搬送速度
の上限については機械的な制約により定められる
もので、500ｍ／分程度である。 本発明の磁気記録媒体の製造方法において磁性
金属薄膜を形成するための強磁性材料としては、
鉄、コバルト、ニツケルその他の強磁性金属、あ
るいはFe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−
Ni、Fe−Rh、Fe−Cu、Fe−Si、Co−Cu、Co−
Au、Co−Ｙ、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、Co
−Sm、Co−Pt、Co−Si、Co−Mn、Co−Ｐ、
Ni−Cu、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Ｐ、
Co−Ｐ、Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｂ、
Co−Ni−Ag、Co−Ni−Cr、Co−Ni−Zn、Co
−Ni−Ｗ、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−
Co−Ni−Cr、Fe−Co−Ni−Ｐ等のような強磁
性合金が用いられる。蒸着中にO2、CO2、N2、
NH3、スチレン等のガスを導入して磁性薄膜中
にＯ、Ｎ、Ｃ等の元素を含有させるようにしても
いい。上記磁性材料は磁気記録媒体として用いる
場合テープ状非磁性支持体上に一般には0.15ｇ／
m2から15ｇ／m2、好ましくは0.20ｇ／m2から5.0
ｇ／m2設けられる。 テープ状非磁性支持体としては、ポリエチレン
テレフタート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩
化ビニル、三酢酸セルロース、ポリラーボネー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリフエニレン
サルフアイドのようなプラスチツクベース、ある
いはAl、Al合金、Ti、Ti合金、ステンレス鋼の
ような金属帯が使用される。 磁性材料を蒸発せしめるための蒸発源加熱方法
としては抵抗加熱法、高周波加熱法、レーザービ
ーム加熱法、電子ビーム加熱法等が用いられる
が、特に本発明で好ましいのは電子ビーム加熱法
である。さらには蒸発せしめられた磁性材料を蒸
発源に補給するために線状、粒状、帯状、棒状の
磁性材料を蒸発源に補給するような機構を設けて
もよい。 さらに本発明においてはテープ状非磁性基体上
に有機、あるいは無機物よりなる下地層を設けて
も良いし、磁性薄膜を多層化したり、各磁性膜間
に有機、あるいは無機物よりなる中間層を設ける
こともできる。また耐久性、耐候性、および走行
性を改良するために磁性膜上に有機、あるいは無
機物よりなる保護層を設けることもできる。例え
ば走行性を向上させるための潤滑剤として炭素数
12〜18個の脂肪酸（R1COOH、R1は炭素数11〜
17のアルキルまたはアルケニル基）；前記脂肪酸
の金属塩；シリコーンオイル、炭素数２〜20個の
一塩基性脂肪酸と炭素数３〜12個の一価のアルコ
ールとから成る脂肪酸エステル類を磁性金属薄膜
上に設けてもよい。 これらの潤滑剤は通常各種の有機溶媒に溶解
し、塗布乾燥される。 〔実施例〕 次に実施例をもつて本発明を具体的に説明する
が本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例 １ 第１図に示す蒸着装置において冷却キヤン直径
を800mmとして12μｍ厚のポリエチレンテレフタ
レートフイルム上に強磁性金属薄膜を形成し磁気
記録媒体を作製した。蒸発源としてはルツボにチ
ヤージされたCoNi合金（Ni10重量％）を加速電
圧30KVの電子ビームでポリエチレンテレフタレ
ートフイルムの幅方向に走査加熱する方式を用い
た。蒸着の際は蒸気流14の近傍に酸素を導入し、
真空度が2.0×10-4Torrとなるようにして、0.9
ｇ／m2の形成量となるように磁性金属薄膜を形成
した。ポリエチレンテレフタレートフイルムの搬
送速度および電子ビームによる加熱パワー調整に
より蒸着形成速度を変化させた磁気テープ原反を
作製し、磁性金属薄膜上にステアリン酸を10mg／
m2塗布後スリツトし磁気テープとした。 こうして得た磁気テープについて５℃、80％相
対湿度環境下でのVTRでの繰返し走行特性およ
び電磁変換特性を測定したところ下表のようであ
つた。電磁変換特性はテープとヘツド相対速度
3.75ｍ／秒のVTRでの4.5MHz信号記録した時の
再生出力(C)と、前記再生出力から1MHz離れたと
ころの変調ノイズ出力（Ｎ）との比Ｃ／Ｎを測定
した。
薄膜を真空蒸着法により形成せしめて磁気記録媒
体を製造する方法に関し、さらに詳しくは電磁変
換特性、および走行性にすぐれる磁気記録媒体の
製造方法に関する。 〔従来技術〕 従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上
にγ−Fe2O3、Coをドープしたγ−Fe2O3、
Fe3O4、CoをドープしたFe3O4、γ−Fe2O3と
Fe3O4のベルトライド化合物、Coをドープしたベ
ルトライド化合物、CrO2等の酸化物磁性粉末あ
るいはFe、Co、Ni等を主成分とする合金磁性粉
末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、エポキ
シ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中
に分散せしめ、塗布、乾燥させる塗布型のものが
広く使用されてきている。 近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、
真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテング
等の方法により形成される強磁性金属薄膜はバイ
ンダーを使用しない、いわゆる金属薄膜型の磁気
記録媒体として注目を浴びており実用化への努力
が種々行なわれている。これらの中でも磁性金属
の蒸発ビームを基体表面に対し斜めに入射させて
蒸着する斜方入射真空蒸着法は、工程、装置機構
も比較的簡単であると同時に、良好な磁気特性の
膜が得られるため実用上すぐれている。 蒸着による金属薄膜型磁気記録媒体は表面性に
すぐれるためVTRでの走行性に問題があり特に
常温常湿以外の環境下でVTRにて走行させた場
合磁気テープがVTR回転ドラムにはりつき走行
停止になる状態がおうおうにして発生する。さら
に、蒸着によりえられる金属薄膜型磁気記録媒体
は電磁変換特性において従来の塗布型磁気記録媒
体より極めてすぐれる事を特徴としているのであ
るが、塗布型磁気記録媒体特に合金粉末磁性粉末
を用いた塗布型磁気記録媒体の改良はめざまし
く、蒸着型の磁気記録媒体の電磁変換特性の改良
も強く望まれている。 〔発明の目的〕 本発明の第１の目的は、上記の欠点を改良した
蒸着法による金属薄膜型磁気記録媒体、すなわち
常温常湿より異なる温湿度環境下での走行性が改
良された金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提
供することにある。さらに本発明の第２の目的
は、電磁変換特性にすぐれた、蒸着法による金属
薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供することに
ある。 〔発明の構成〕 本発明はテープ状非磁性支持体を搬送させつつ
該非磁性支持体上に蒸着法により磁性金属薄膜を
形成せしめて磁気記録媒体を製造する方法におい
て、該非磁性支持体の搬送速度〔ｖ〕を100ｍ／
分以上とすると共に、磁性金属薄膜の蒸着形成速
度を1.5vｇ／m2・分以上9vｇ／m2分以下（ｖ：非
磁性支持体搬送速度をｍ／分で表示した数値）と
する磁気記録媒体の製造方法に関する。 第１図は、本発明による磁気記録媒体を製造す
るための装置の一例を示している。適当な真空排
気系を備えてなる真空槽（図示せず）内に配設さ
れたシリンダー状冷却キヤン１１に沿つてテープ
状非磁性支持体１２が搬送される。テープ状非磁
性支持体１２は送り出しロール１３から冷却キヤ
ン１１の表面に沿つて移動し、冷却キヤン１１の
表面を移動中に磁性金属材料の蒸発流１４にさら
され磁性薄膜が蒸着される。磁性薄膜の形成され
たテープ状非磁性支持体１２は冷却キヤン１１の
表面を離れた後巻き取りロール１５に巻き取られ
る。磁性金属材料を蒸発させるための蒸発源１６
は冷却キヤン１１の下方に配置されており、磁性
金属材料の蒸発は電子ビーム１７の照射加熱によ
つて行なわれるようになつている。蒸発源１６か
らの磁性金属材料の蒸気流はマスク１８の介して
所望の蒸気流１４のみがテープ状非磁性支持体１
２に達するようになつている。斜方入射真空蒸着
法による場合には蒸気流１４が冷却キヤン１１表
面上のテープ状非磁性基体１２に斜めに入射する
ようにマスク１８が設定される。本発明において
テープ状非磁性支持体の搬送速度とはテープ状非
磁性支持体表面への磁性金属材料の蒸着が行なわ
れる領域における上記テープ状基体の移動する速
度を指す。第１図においてテープ状非磁性支持体
１２の表面が磁性金属材料の蒸気流１３にさらさ
れる領域におけるテープ状非磁性支持体１２の移
動速度ｖが本発明におけるテープ状非磁性支持体
の搬送速度である。さらに本発明において蒸着形
成速度とは、蒸着磁性膜の形成の際の単位時間
（分）あたりにおける膜形成量を示し、膜形成量
はテープ状非磁性支持体の単位面積（m2）あたり
の磁性薄膜の質量（ｇ）にてあらわす。第１図に
おいてテープ状非磁性支持体１２の磁性薄膜の形
成された部分、例えば巻き取りロール１５に巻取
られた部分の膜形成量を求め、それをテープ状非
磁性支持体１２が磁性金属材料の蒸気流１４にさ
れされている時間で割つてやれば蒸着形成速度が
得られる。 本発明者等は蒸着形成速度について種々検討の
結果、テープ状非磁性支持体の搬送速度を100
ｍ／分以上とし、磁性薄膜の形成速度を1.5vｇ／
m2分以上9vｇ／m2分以下〔ここでｖは非磁性支
持体搬送速度をｍ／分で表示した数値〕として蒸
着により形成された磁性金属薄膜を備えた磁気記
録媒体は、VTRでの走行性が改良されると共に
電磁変換特性にもすぐれることを見出したもので
ある。ここに、テープ状非磁性支持体の搬送速度
の上限については機械的な制約により定められる
もので、500ｍ／分程度である。 本発明の磁気記録媒体の製造方法において磁性
金属薄膜を形成するための強磁性材料としては、
鉄、コバルト、ニツケルその他の強磁性金属、あ
るいはFe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−
Ni、Fe−Rh、Fe−Cu、Fe−Si、Co−Cu、Co−
Au、Co−Ｙ、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、Co
−Sm、Co−Pt、Co−Si、Co−Mn、Co−Ｐ、
Ni−Cu、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Ｐ、
Co−Ｐ、Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｐ、Co−Ni−Ｂ、
Co−Ni−Ag、Co−Ni−Cr、Co−Ni−Zn、Co
−Ni−Ｗ、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−
Co−Ni−Cr、Fe−Co−Ni−Ｐ等のような強磁
性合金が用いられる。蒸着中にO2、CO2、N2、
NH3、スチレン等のガスを導入して磁性薄膜中
にＯ、Ｎ、Ｃ等の元素を含有させるようにしても
いい。上記磁性材料は磁気記録媒体として用いる
場合テープ状非磁性支持体上に一般には0.15ｇ／
m2から15ｇ／m2、好ましくは0.20ｇ／m2から5.0
ｇ／m2設けられる。 テープ状非磁性支持体としては、ポリエチレン
テレフタート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩
化ビニル、三酢酸セルロース、ポリラーボネー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリフエニレン
サルフアイドのようなプラスチツクベース、ある
いはAl、Al合金、Ti、Ti合金、ステンレス鋼の
ような金属帯が使用される。 磁性材料を蒸発せしめるための蒸発源加熱方法
としては抵抗加熱法、高周波加熱法、レーザービ
ーム加熱法、電子ビーム加熱法等が用いられる
が、特に本発明で好ましいのは電子ビーム加熱法
である。さらには蒸発せしめられた磁性材料を蒸
発源に補給するために線状、粒状、帯状、棒状の
磁性材料を蒸発源に補給するような機構を設けて
もよい。 さらに本発明においてはテープ状非磁性基体上
に有機、あるいは無機物よりなる下地層を設けて
も良いし、磁性薄膜を多層化したり、各磁性膜間
に有機、あるいは無機物よりなる中間層を設ける
こともできる。また耐久性、耐候性、および走行
性を改良するために磁性膜上に有機、あるいは無
機物よりなる保護層を設けることもできる。例え
ば走行性を向上させるための潤滑剤として炭素数
12〜18個の脂肪酸（R1COOH、R1は炭素数11〜
17のアルキルまたはアルケニル基）；前記脂肪酸
の金属塩；シリコーンオイル、炭素数２〜20個の
一塩基性脂肪酸と炭素数３〜12個の一価のアルコ
ールとから成る脂肪酸エステル類を磁性金属薄膜
上に設けてもよい。 これらの潤滑剤は通常各種の有機溶媒に溶解
し、塗布乾燥される。 〔実施例〕 次に実施例をもつて本発明を具体的に説明する
が本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例 １ 第１図に示す蒸着装置において冷却キヤン直径
を800mmとして12μｍ厚のポリエチレンテレフタ
レートフイルム上に強磁性金属薄膜を形成し磁気
記録媒体を作製した。蒸発源としてはルツボにチ
ヤージされたCoNi合金（Ni10重量％）を加速電
圧30KVの電子ビームでポリエチレンテレフタレ
ートフイルムの幅方向に走査加熱する方式を用い
た。蒸着の際は蒸気流14の近傍に酸素を導入し、
真空度が2.0×10-4Torrとなるようにして、0.9
ｇ／m2の形成量となるように磁性金属薄膜を形成
した。ポリエチレンテレフタレートフイルムの搬
送速度および電子ビームによる加熱パワー調整に
より蒸着形成速度を変化させた磁気テープ原反を
作製し、磁性金属薄膜上にステアリン酸を10mg／
m2塗布後スリツトし磁気テープとした。 こうして得た磁気テープについて５℃、80％相
対湿度環境下でのVTRでの繰返し走行特性およ
び電磁変換特性を測定したところ下表のようであ
つた。電磁変換特性はテープとヘツド相対速度
3.75ｍ／秒のVTRでの4.5MHz信号記録した時の
再生出力(C)と、前記再生出力から1MHz離れたと
ころの変調ノイズ出力（Ｎ）との比Ｃ／Ｎを測定
した。
【表】
【表】
このようにポリエチレンテレフタレートフイル
ムの搬送速度を100ｍ／分以上とし、蒸着形成速
度を1.5vｇ／m2・分以上9vｇ／m2・分以下〔100
ｍ／分の時は150〜900ｇ／m2・分、200ｍ／分の
時は300〜1800ｇ／m2・分〕にて製造された磁気
テープはVTRの繰返し走行性および電磁変換特
性にてすぐれることが明らかである。 実施例 ２ 実施例１と同様にして、12.5μｍ厚のポリイミ
ドフイルム上に強磁性薄膜を蒸着し磁気記録媒体
を作製した。蒸発源にはCoをチヤージし真空度
1.2×10-5Torrにて1.2ｇ／m2の形成量となるよう
に磁性薄膜を形成し磁気テープ原反を得た。磁性
薄膜上にシリコンオイルを15mg／m2となるよう塗
布した後スリツトし磁気テープとした。蒸着時の
ポリイミドフイルム搬送速度および蒸着形成速度
を変化させたサンプルにつき実施例１と同様にし
てVTRでの繰返し走行特性および電磁変換特性
を測定したところ下表のようであつた。
ムの搬送速度を100ｍ／分以上とし、蒸着形成速
度を1.5vｇ／m2・分以上9vｇ／m2・分以下〔100
ｍ／分の時は150〜900ｇ／m2・分、200ｍ／分の
時は300〜1800ｇ／m2・分〕にて製造された磁気
テープはVTRの繰返し走行性および電磁変換特
性にてすぐれることが明らかである。 実施例 ２ 実施例１と同様にして、12.5μｍ厚のポリイミ
ドフイルム上に強磁性薄膜を蒸着し磁気記録媒体
を作製した。蒸発源にはCoをチヤージし真空度
1.2×10-5Torrにて1.2ｇ／m2の形成量となるよう
に磁性薄膜を形成し磁気テープ原反を得た。磁性
薄膜上にシリコンオイルを15mg／m2となるよう塗
布した後スリツトし磁気テープとした。蒸着時の
ポリイミドフイルム搬送速度および蒸着形成速度
を変化させたサンプルにつき実施例１と同様にし
てVTRでの繰返し走行特性および電磁変換特性
を測定したところ下表のようであつた。
テープ状非磁性支持体の搬送速度を100ｍ／分
以上とし、蒸着形成速度を1.5v乃至9vｇ／m2・分
〔ｖ：搬送速度をｍ／分で表示した数値〕として
蒸着磁性金属薄膜を形成し、磁気記録媒体を製造
する本方法によればVTRでの走行性にすぐれる
とともに電磁変換特性の向上した磁気記録媒体が
得られる。
以上とし、蒸着形成速度を1.5v乃至9vｇ／m2・分
〔ｖ：搬送速度をｍ／分で表示した数値〕として
蒸着磁性金属薄膜を形成し、磁気記録媒体を製造
する本方法によればVTRでの走行性にすぐれる
とともに電磁変換特性の向上した磁気記録媒体が
得られる。
第１図は本発明による磁気記録媒体を製造する
ための装置の一例を示している。 １１：冷却キヤン、１２：テープ状非磁性支持
体、１３：送り出しロール、１４：磁性金属材料
の蒸発流、１５：ロール、１６：蒸発源、１７：
加熱用電子ビーム、１８：マスク。
ための装置の一例を示している。 １１：冷却キヤン、１２：テープ状非磁性支持
体、１３：送り出しロール、１４：磁性金属材料
の蒸発流、１５：ロール、１６：蒸発源、１７：
加熱用電子ビーム、１８：マスク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ テープ状非磁性支持体を搬送させつつ該非磁
性支持体上に蒸着法により磁性金属薄膜を形成せ
しめて磁気記録媒体を製造する方法において、該
非磁性支持体の搬送速度〔ｖ〕を100ｍ／分以上
とし、かつ、磁性薄膜の蒸着形成速度を1.5vｇ／
m2・分以上9vｇ／m2分以下としたことを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19319784A JPS6171418A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19319784A JPS6171418A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171418A JPS6171418A (ja) | 1986-04-12 |
| JPH0341897B2 true JPH0341897B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16303915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19319784A Granted JPS6171418A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6171418A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1758067A2 (en) | 2005-08-24 | 2007-02-28 | Sony Corporation | Pop label and electronic device |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP19319784A patent/JPS6171418A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1758067A2 (en) | 2005-08-24 | 2007-02-28 | Sony Corporation | Pop label and electronic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6171418A (ja) | 1986-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |