JPS59178626A - 磁気記録媒体の製法 - Google Patents
磁気記録媒体の製法Info
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- JPS59178626A JPS59178626A JP5473983A JP5473983A JPS59178626A JP S59178626 A JPS59178626 A JP S59178626A JP 5473983 A JP5473983 A JP 5473983A JP 5473983 A JP5473983 A JP 5473983A JP S59178626 A JPS59178626 A JP S59178626A
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- magnetic recording
- recording medium
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、移動する高分子成形物などの可撓性テープ状
基体に磁性膜を真空蒸着して磁気記録媒体を製造するた
めの方法に関する。
基体に磁性膜を真空蒸着して磁気記録媒体を製造するた
めの方法に関する。
従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上にｒ −
Ｆｅ ２０３、Ｃｏ ｆドープし２ ｒ −Ｆ ｅ ２
０ ｓ、Ｆｅ ３０４、ｃｏをドープし７ｃ Ｆ ｅ
３０４、ｒ−Ｆｅ２０３とＦｅ３Ｏ４のベルトライド化
合物、Ｃｏｋドーツしたベルトライド化合物、ＣｒＯ２
等の改化物磁性粉あるい１ｄｃｏ、 Ｎｉ、Ｆｅ等の遷
移金属を主成分とする強磁性合金粉末といった粉末型の
磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、スチレン
−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹
脂等の有機バインダー中に分散させてなる磁性塗料を塗
布、配向、乾燥して磁性層全形成させる塗布型のものが
広く使用されてきている。近年高密度磁気記録への急激
な要求の高まりと共に真空蒸着、スパッタリング、イオ
ンプレーテング等のベーパーデポジション法、あるいは
電気メッキ、無電解メッキ等のメッキ法により形成され
る強磁性金属薄膜全磁気記録層とする有機バインダー全
使用しない云わゆる金属薄膜型磁気記録媒体が注目を浴
ひており実用化への努力が梅々行なわれている。
Ｆｅ ２０３、Ｃｏ ｆドープし２ ｒ −Ｆ ｅ ２
０ ｓ、Ｆｅ ３０４、ｃｏをドープし７ｃ Ｆ ｅ
３０４、ｒ−Ｆｅ２０３とＦｅ３Ｏ４のベルトライド化
合物、Ｃｏｋドーツしたベルトライド化合物、ＣｒＯ２
等の改化物磁性粉あるい１ｄｃｏ、 Ｎｉ、Ｆｅ等の遷
移金属を主成分とする強磁性合金粉末といった粉末型の
磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、スチレン
−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹
脂等の有機バインダー中に分散させてなる磁性塗料を塗
布、配向、乾燥して磁性層全形成させる塗布型のものが
広く使用されてきている。近年高密度磁気記録への急激
な要求の高まりと共に真空蒸着、スパッタリング、イオ
ンプレーテング等のベーパーデポジション法、あるいは
電気メッキ、無電解メッキ等のメッキ法により形成され
る強磁性金属薄膜全磁気記録層とする有機バインダー全
使用しない云わゆる金属薄膜型磁気記録媒体が注目を浴
ひており実用化への努力が梅々行なわれている。
従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が３０−オθチにすき
ないため尚出力畠密度記録媒体としては限界になってき
ている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるいは
公害防止のための大きな付帯設備全必要とするという欠
点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁
性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機バ
インダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて薄
い薄膜として形成できるという利点を有する。冒密度磁
気記録化につ肛て記録再生磁気ヘッドのギヤツブ艮も／
。Ｏμｍｋ切る時代になっているが、それに伴って磁気
記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性膜の厚
み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜型磁気
記録媒体は冒出力高密度記録媒体として倹めてすぐれて
いる。特に強磁性材料の蒸発ビームを基体表面に対し斜
めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程、装
置、機構も比較的簡単であると同時に、良好な磁気特性
の膜が得られるため実用化上すぐれている。
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が３０−オθチにすき
ないため尚出力畠密度記録媒体としては限界になってき
ている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるいは
公害防止のための大きな付帯設備全必要とするという欠
点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁
性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機バ
インダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて薄
い薄膜として形成できるという利点を有する。冒密度磁
気記録化につ肛て記録再生磁気ヘッドのギヤツブ艮も／
。Ｏμｍｋ切る時代になっているが、それに伴って磁気
記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性膜の厚
み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜型磁気
記録媒体は冒出力高密度記録媒体として倹めてすぐれて
いる。特に強磁性材料の蒸発ビームを基体表面に対し斜
めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程、装
置、機構も比較的簡単であると同時に、良好な磁気特性
の膜が得られるため実用化上すぐれている。
強磁性材料を刀ｎ熱蒸発させる方法の一つとして電子ビ
ーム力ロ熱法があるが従来磁性膜の密着が不充分だった
り、あるいは父、高分子成形体などの可撓性テープ状基
体が熱損傷を受けたりする状況に発生し改良が望−４ｎ
ていた。
ーム力ロ熱法があるが従来磁性膜の密着が不充分だった
り、あるいは父、高分子成形体などの可撓性テープ状基
体が熱損傷を受けたりする状況に発生し改良が望−４ｎ
ていた。
本発明は、前述した従来の加熱方式の欠点を解消し、磁
性膜の密着が良好で熱損傷の無い蒸着型磁気記録媒体の
製造方法全提供することを目的とするものである。
性膜の密着が良好で熱損傷の無い蒸着型磁気記録媒体の
製造方法全提供することを目的とするものである。
本発明のかかる目的は、電子ビーム力０熱により強磁性
材料全蒸発せしめ移動するテープ状基体に磁性蒸増膜全
形成して磁気記録媒体を製造する方法において、該テー
プ状基体上の蒸着幅に対する、強磁性材料蒸発源上の電
子ビームの基体幅方向のスキャン幅を前記蒸着幅の／／
、２〜２としたことを特徴とする磁気記録媒体の製法で
ある。
材料全蒸発せしめ移動するテープ状基体に磁性蒸増膜全
形成して磁気記録媒体を製造する方法において、該テー
プ状基体上の蒸着幅に対する、強磁性材料蒸発源上の電
子ビームの基体幅方向のスキャン幅を前記蒸着幅の／／
、２〜２としたことを特徴とする磁気記録媒体の製法で
ある。
第７図は本発明による磁気記録媒体の製法を実施するた
めの装置要部を示したものである。テープ状基体／／は
真空雰囲気中にて矢印Ｃの方向に回転自在な冷却キャン
／、２に沿って搬送される。
めの装置要部を示したものである。テープ状基体／／は
真空雰囲気中にて矢印Ｃの方向に回転自在な冷却キャン
／、２に沿って搬送される。
テープ状基体／／の両級部には蒸着幅Ａｆ規定するマス
ク／３、／≠が配設さ１．て２９、前記テープ状基体／
／の幅方向の蒸着城が定めらｆＬ、ろようになっている
。前記冷却キャン／２の下方には強磁性材料を蒸発させ
るための蒸発源部／！が配設さｎている。第１図では蒸
発源部／！は強磁性材料／ｌを収納したルツボ１７より
成シ、該ルツボ１７は前記テープ状基体／／の幅方向に
細長くのびている。前記ルツボ１７内の強磁性材料／ｌ
は電子銃からの電子ビーム／ざによって加熱蒸発さｊ、
るが、該電子ビーム／Ｉの強磁性材料／ｉｇ上の、テー
プ状基体／／の幅方向に沿ってのスキャン幅Ｂは、前記
テープ状基体ｌｌ上の前記蒸着幅Ａに対して一〜コとな
るように設定さｎる。前記ルツボ／７としては水冷銅ル
ツボ、耐火物ルツボ等いず几でも良く必要に応じてライ
ナー技術等の公知技術の適用はさ筐たげない。本発明に
おいては強磁性材料の力目熱蒸発に加速電子ビーム？用
いるが、電子ビーム発生源の形式、電力等に限定される
ものではなく、テープ状基体／ｌの幅方向のスキャン幅
が前記テープ状基体ｌｌ上の蒸着幅に対して一〜ノであ
ると磁性膜の密着が良好で熱損傷の無い蒸着型磁気記録
媒体の得られることを見出したものである。前記電子ビ
ームを発生させる電子銃−−デ − としては複数個使用しても良い。この場合スキャン幅は
実質的なスキャン幅とする。さらに強磁性材料上のスキ
ャンが前記テープ状基体／ｌの幅方向に平行でない場合
あるいは直線でない場合には電子ビームの基体幅方向の
スキャン長成分をスキャン幅とする。
ク／３、／≠が配設さ１．て２９、前記テープ状基体／
／の幅方向の蒸着城が定めらｆＬ、ろようになっている
。前記冷却キャン／２の下方には強磁性材料を蒸発させ
るための蒸発源部／！が配設さｎている。第１図では蒸
発源部／！は強磁性材料／ｌを収納したルツボ１７より
成シ、該ルツボ１７は前記テープ状基体／／の幅方向に
細長くのびている。前記ルツボ１７内の強磁性材料／ｌ
は電子銃からの電子ビーム／ざによって加熱蒸発さｊ、
るが、該電子ビーム／Ｉの強磁性材料／ｉｇ上の、テー
プ状基体／／の幅方向に沿ってのスキャン幅Ｂは、前記
テープ状基体ｌｌ上の前記蒸着幅Ａに対して一〜コとな
るように設定さｎる。前記ルツボ／７としては水冷銅ル
ツボ、耐火物ルツボ等いず几でも良く必要に応じてライ
ナー技術等の公知技術の適用はさ筐たげない。本発明に
おいては強磁性材料の力目熱蒸発に加速電子ビーム？用
いるが、電子ビーム発生源の形式、電力等に限定される
ものではなく、テープ状基体／ｌの幅方向のスキャン幅
が前記テープ状基体ｌｌ上の蒸着幅に対して一〜ノであ
ると磁性膜の密着が良好で熱損傷の無い蒸着型磁気記録
媒体の得られることを見出したものである。前記電子ビ
ームを発生させる電子銃−−デ − としては複数個使用しても良い。この場合スキャン幅は
実質的なスキャン幅とする。さらに強磁性材料上のスキ
ャンが前記テープ状基体／ｌの幅方向に平行でない場合
あるいは直線でない場合には電子ビームの基体幅方向の
スキャン長成分をスキャン幅とする。
本発明の真空蒸着法によって磁気記録媒体を製造す全場
合、磁性薄膜を形成させるための強磁性金属としてはＦ
ｅ％ Ｃ０１Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ％ Ｆｅ
−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ ｉｓ Ｆ ｅ−
Ｒｈｖ Ｆ ｅ−Ｃｕ、 Ｃｏ −ｃｕ％Ｃｏ−Ａｕｂ
ｃ、−ｙ、 Ｃｏ−Ｌａ−Ｃｏ−Ｐｒ。
合、磁性薄膜を形成させるための強磁性金属としてはＦ
ｅ％ Ｃ０１Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ％ Ｆｅ
−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ ｉｓ Ｆ ｅ−
Ｒｈｖ Ｆ ｅ−Ｃｕ、 Ｃｏ −ｃｕ％Ｃｏ−Ａｕｂ
ｃ、−ｙ、 Ｃｏ−Ｌａ−Ｃｏ−Ｐｒ。
Ｃｏ−Ｇｄｂ Ｃｏ−８ｍｂ Ｃｏ−Ｐ ｔｂ
Ｎｉ−Ｃｕ。
Ｎｉ−Ｃｕ。
Ｍｎ−Ｂ ｉｂ Ｍｎ−８ｂｂ Ｍｎ−Ａｔ％ Ｆｅ−
Ｃｒ ％Ｃｏ −Ｃｒ ％ Ｎ ｉ −Ｃｒ 、 Ｆ
ｅ −Ｃ□ −Ｃｒ。
Ｃｒ ％Ｃｏ −Ｃｒ ％ Ｎ ｉ −Ｃｒ 、 Ｆ
ｅ −Ｃ□ −Ｃｒ。
Ｆ ｅ−Ｃｏ−Ｎ ｉ−Ｃｒ等のような強磁性合金が用
いらｎる。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体として充分な
出力を与え得る厚さ？・工び重密度記録の充分性なえる
薄さを必要とすることから一般には０、Ｏｊｐｍから／
、Ｏｐｍ、好ましくは０．７ｌ− μｍから０６７μｍである。テープ状基体としてはポリ
エチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポ
リ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、
ポリエチレンナフタレートのようなプラスチックベース
、あるいはＡｔ％Ａ７合金％ Ｔｉ、Ｔｔ金合金ステ
ンレス銅のような金属帯が用いられる。蒸発物質の供給
方法として線状材料あるいは棒状材料を加熱源に送ｐ出
丁方法も使用できる。′−１だ蒸着の際酸化ガス、活性
ガスあるいは不活性ガス全導入せしめても良い。
いらｎる。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体として充分な
出力を与え得る厚さ？・工び重密度記録の充分性なえる
薄さを必要とすることから一般には０、Ｏｊｐｍから／
、Ｏｐｍ、好ましくは０．７ｌ− μｍから０６７μｍである。テープ状基体としてはポリ
エチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポ
リ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、
ポリエチレンナフタレートのようなプラスチックベース
、あるいはＡｔ％Ａ７合金％ Ｔｉ、Ｔｔ金合金ステ
ンレス銅のような金属帯が用いられる。蒸発物質の供給
方法として線状材料あるいは棒状材料を加熱源に送ｐ出
丁方法も使用できる。′−１だ蒸着の際酸化ガス、活性
ガスあるいは不活性ガス全導入せしめても良い。
次に本発明の新規な効果を実施例により更に明確にする
。
。
（実施例−／）
第７図に示した如き装置を用い、テープ状基体としては
−２１０ｍｌＡ幅の／ Ｋｐｍ厚のポリエチレンテレフ
タレートフィルムを使用し、蒸着Ｉｌ！ｉは２オ・Ｏｐ
ｍとなるように設定した。強磁性材料としてはＣｏ−Ｎ
ｉ （Ｎｉ ｊｗｔ％）全用い、ピアス式電子ガン（
加速電圧：２０１＜、Ｗ、電流：／ＡＩ］１ｐ）により
加熱した。真空度は／、ｊｘｌｏ Ｔｏｒｒとして
電子ビームのスキャン幅Ｂ全種々変化させて蒸着全実施
した。得らｎたサンプルの磁性膜の密着性および熱損傷
の状態音調べたところ下表のようであった。膜の密着性
についてはサンプル全≠０°Ｃ，ざＯ多相対湿度中に！
日間保存後接着テープ剥離テストにて調べた。その結果
は第１表の通９であった。
−２１０ｍｌＡ幅の／ Ｋｐｍ厚のポリエチレンテレフ
タレートフィルムを使用し、蒸着Ｉｌ！ｉは２オ・Ｏｐ
ｍとなるように設定した。強磁性材料としてはＣｏ−Ｎ
ｉ （Ｎｉ ｊｗｔ％）全用い、ピアス式電子ガン（
加速電圧：２０１＜、Ｗ、電流：／ＡＩ］１ｐ）により
加熱した。真空度は／、ｊｘｌｏ Ｔｏｒｒとして
電子ビームのスキャン幅Ｂ全種々変化させて蒸着全実施
した。得らｎたサンプルの磁性膜の密着性および熱損傷
の状態音調べたところ下表のようであった。膜の密着性
についてはサンプル全≠０°Ｃ，ざＯ多相対湿度中に！
日間保存後接着テープ剥離テストにて調べた。その結果
は第１表の通９であった。
第７表
○：良好、△：やや不可、×：不可
このようにスキャン幅／蒸着幅が二〜コであると膜密着
性にすぐｎ、ると共に熱損傷のない磁気記録媒体が得ら
几る。
性にすぐｎ、ると共に熱損傷のない磁気記録媒体が得ら
几る。
（実施例２）
第１図に示さｎた装置において、蒸発源部葡第λ図とし
１こものを使用して磁気記録媒体全作製した。第２図に
２いて、蒸発源部２ｊはルツホコ７とそｎに収容された
強磁性材料２乙より成り、強磁性材料２ｚはピアス式電
子ガン（加速電圧＝２ｊＫＷ、電流：／Ａｍｐ）１台か
ら発する２本の電子ビーム、２Ｊ’、２りにより溶融は
れた。電子ビーム−ｇ、ユタの強磁性材料２を上のテー
プ状基体幅方向のスキャン幅はそれぞ−ｎＢ１、Ｂ２で
ある。テープ状基体としては！ＯＴｍｎ幅の／／μｍ厚
のポリエチレンテレフタレートフィルム’に使用り蒸層
幅Ｉｒｉ、ｒｏｏｒｒｒｒｎとなるように設定した。強
磁性材料としてはＣｏを用い、殴累ガスを導入すること
により真空度はハＯ×１０” Ｔｏｒｒとして、電子ビ
ームの笑質的スキャン幅Ｂ（：Ｂ１十Ｂ２）全種々変化
させて族Ｎ全実施した。こうして得ら−７〜 九だサンプルの膜密着性と熱損傷の状態を実施例／と同
様にして調べた。その結果は第−表の通りであった。
１こものを使用して磁気記録媒体全作製した。第２図に
２いて、蒸発源部２ｊはルツホコ７とそｎに収容された
強磁性材料２乙より成り、強磁性材料２ｚはピアス式電
子ガン（加速電圧＝２ｊＫＷ、電流：／Ａｍｐ）１台か
ら発する２本の電子ビーム、２Ｊ’、２りにより溶融は
れた。電子ビーム−ｇ、ユタの強磁性材料２を上のテー
プ状基体幅方向のスキャン幅はそれぞ−ｎＢ１、Ｂ２で
ある。テープ状基体としては！ＯＴｍｎ幅の／／μｍ厚
のポリエチレンテレフタレートフィルム’に使用り蒸層
幅Ｉｒｉ、ｒｏｏｒｒｒｒｎとなるように設定した。強
磁性材料としてはＣｏを用い、殴累ガスを導入すること
により真空度はハＯ×１０” Ｔｏｒｒとして、電子ビ
ームの笑質的スキャン幅Ｂ（：Ｂ１十Ｂ２）全種々変化
させて族Ｎ全実施した。こうして得ら−７〜 九だサンプルの膜密着性と熱損傷の状態を実施例／と同
様にして調べた。その結果は第−表の通りであった。
第２表
このようにスキャン幅／蒸看幅が−〜λたと膜密層性お
よび熱損傷にすぐｎ／）事が明らかである。
よび熱損傷にすぐｎ／）事が明らかである。
第１図は本発明による磁気記録媒体の袈法會実施するた
めの装置要部全示すｆｆｐ＋視図、第２図は蒸ｉｏ− 発源部の変更例全示す斜視図である。 −／／− 第１図 箪２図 ８ 手続補正書輸幻 １、事件の表示 昭和ｓｒ年特願第ｊμ７３２号
２、発明の名称 磁気記録媒体の製法３、補正をす
る者 事件との関係 特許出願人性 所 神奈
川県南足柄市中沼２１０番地名 称（５２０）富士写真
フィルム株式会社連絡先 〒１０６東京都港区西麻布２
丁目２６番３０号富士写真フィルム株式会社東京本社 電話（４０６） ２５３７ ４、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 −１，本願明細書筒び頁第１行目の 「に発生し」ヲ「が発生し」と訂正する。 −２回書第７頁第１り行目の １−、ｚＯＫＷｊを「２０ＫＶ」と訂正する。 ＝１ 同書筒り頁第１Ｏ行目の ［ｊＫＷＪを「ｊＫＶ」と訂正する。
めの装置要部全示すｆｆｐ＋視図、第２図は蒸ｉｏ− 発源部の変更例全示す斜視図である。 −／／− 第１図 箪２図 ８ 手続補正書輸幻 １、事件の表示 昭和ｓｒ年特願第ｊμ７３２号
２、発明の名称 磁気記録媒体の製法３、補正をす
る者 事件との関係 特許出願人性 所 神奈
川県南足柄市中沼２１０番地名 称（５２０）富士写真
フィルム株式会社連絡先 〒１０６東京都港区西麻布２
丁目２６番３０号富士写真フィルム株式会社東京本社 電話（４０６） ２５３７ ４、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 −１，本願明細書筒び頁第１行目の 「に発生し」ヲ「が発生し」と訂正する。 −２回書第７頁第１り行目の １−、ｚＯＫＷｊを「２０ＫＶ」と訂正する。 ＝１ 同書筒り頁第１Ｏ行目の ［ｊＫＷＪを「ｊＫＶ」と訂正する。
Claims (1)
- 電子ビーム加熱により強磁性材料全蒸発せしめ移動する
テープ状基体に磁性蒸着膜全形成して磁気記録媒体全製
造する方法において、該テープ状基体上の蒸着幅に対す
る、強磁性材料蒸発源上の電子ビームの基体幅方向のス
キャン幅全前記蒸着幅の／／２〜２としたこと勿特徴と
する磁気記録媒体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5473983A JPS59178626A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 磁気記録媒体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5473983A JPS59178626A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 磁気記録媒体の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59178626A true JPS59178626A (ja) | 1984-10-09 |
Family
ID=12979148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5473983A Pending JPS59178626A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 磁気記録媒体の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59178626A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0463114U (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-29 | ||
| EP3330405A1 (en) * | 2016-11-30 | 2018-06-06 | LG Display Co., Ltd. | Roll-to-roll substrate deposition apparatus |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP5473983A patent/JPS59178626A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0463114U (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-29 | ||
| EP3330405A1 (en) * | 2016-11-30 | 2018-06-06 | LG Display Co., Ltd. | Roll-to-roll substrate deposition apparatus |
| US10873058B2 (en) | 2016-11-30 | 2020-12-22 | Lg Display Co., Ltd. | Roll-to-roll substrate deposition apparatus |
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