JPH0463114U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0463114U JPH0463114U JP10365690U JP10365690U JPH0463114U JP H0463114 U JPH0463114 U JP H0463114U JP 10365690 U JP10365690 U JP 10365690U JP 10365690 U JP10365690 U JP 10365690U JP H0463114 U JPH0463114 U JP H0463114U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- crucible
- magnetic
- electron
- magnetic tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
第１図は本考案に係る磁気テープ用蒸着装置の
実施例の構成図、第２図は従来の磁気テープ用蒸
着装置の構成図である。 １……真空チヤンバー、２……るつぼ、３，３
Ａ……電子銃、４……ベースフイルム、５……円
筒支持体、６……偏向ヨーク。
実施例の構成図、第２図は従来の磁気テープ用蒸
着装置の構成図である。 １……真空チヤンバー、２……るつぼ、３，３
Ａ……電子銃、４……ベースフイルム、５……円
筒支持体、６……偏向ヨーク。
Claims (1)
- 真空チヤンバー内にるつぼを設け、該るつぼの
上方位置にベースフイルムを支える支持体を設け
、前記るつぼ内の磁性材料に電子銃で電子ビーム
を当てて溶融、蒸発させる磁気テープ用蒸着装置
において、５０ｋＷ以上の電子銃を用いて電子ビ
ームを発生するとともに、前記電子ビームを略９
０乃至２７０度偏向させる磁界を発生する偏向手
段を設け、前記電子ビームが前記磁性材料の蒸気
中を通過する距離を短縮したことを特徴とする磁
気テープ用蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990103656U JP2551539Y2 (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 磁気テープ用蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990103656U JP2551539Y2 (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 磁気テープ用蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463114U true JPH0463114U (ja) | 1992-05-29 |
| JP2551539Y2 JP2551539Y2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=31848620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990103656U Expired - Lifetime JP2551539Y2 (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 磁気テープ用蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551539Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59121629A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-13 | Sharp Corp | 高透磁率合金膜の製造方法 |
| JPS59178626A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製法 |
| JPS62196368A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-29 | Fujitsu Ltd | パ−マロイ膜の蒸着方法 |
-
1990
- 1990-10-03 JP JP1990103656U patent/JP2551539Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59121629A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-13 | Sharp Corp | 高透磁率合金膜の製造方法 |
| JPS59178626A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製法 |
| JPS62196368A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-29 | Fujitsu Ltd | パ−マロイ膜の蒸着方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2551539Y2 (ja) | 1997-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0463114U (ja) | ||
| JPH0481960U (ja) | ||
| JPS6314859A (ja) | 金属蒸発方法 | |
| JPS6350874U (ja) | ||
| JPH0189955U (ja) | ||
| JPH01129253U (ja) | ||
| JPH01161259U (ja) | ||
| JPH04289162A (ja) | イオンプレーティング装置 | |
| JPH0322063U (ja) | ||
| JPH0124837Y2 (ja) | ||
| JPH0336519Y2 (ja) | ||
| JPH0431728Y2 (ja) | ||
| JPS592108Y2 (ja) | フラツシユガン | |
| JPH03226569A (ja) | イオンプレーティング装置 | |
| JPS5832197Y2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPS61194172A (ja) | 蒸着装置用電子ビ−ム加熱装置 | |
| JPS62203264U (ja) | ||
| JPS63182056U (ja) | ||
| JPH05339714A (ja) | 電子ビーム蒸発方法 | |
| JPS6242480Y2 (ja) | ||
| JP2000328238A (ja) | 電子ビーム蒸発装置 | |
| JPS6176673U (ja) | ||
| JPH01279751A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS6029942A (ja) | 垂直磁気記録体の製造法並に装置 | |
| JPS6187452U (ja) |