JPS6029942A - 垂直磁気記録体の製造法並に装置 - Google Patents
垂直磁気記録体の製造法並に装置Info
- Publication number
- JPS6029942A JPS6029942A JP13684183A JP13684183A JPS6029942A JP S6029942 A JPS6029942 A JP S6029942A JP 13684183 A JP13684183 A JP 13684183A JP 13684183 A JP13684183 A JP 13684183A JP S6029942 A JPS6029942 A JP S6029942A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- magnetic
- magnetic material
- magnetic recording
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、垂直磁気特性の向上した垂直磁気記録体の製
造法蓮にｉ置に関する。
造法蓮にｉ置に関する。
従来の垂直磁気ｕＣＣ鉢体製造は、Ａ、空容器内に被着
付を設け、その直下に磁性Ｉｔを設置し、電子発生装置
よシ・磁性材に斜めに電子ビームを照射させてその磁性
材原子の蒸気を直上の被蒸着材面に蒸着させることが行
なわれているが、該電子ビームを＆ｉ！１材面に斜めに
照射せしめるときは、第１図に示′ｊ工うに、磁性材ａ
に・電子ビームｂが当る部分が集中的に蒸発し、その電
子ビームｂの方向に対応する６１めに傾斜した凹窪Ｃが
形成し、該凹窪Ｃが斜めに向いたノズルに近い状態とな
り、磁性材の蒸発ｄは、斜め方向に集中し行なわれる蒸
発分布状態となり、垂直蒸着には好ましくない。
付を設け、その直下に磁性Ｉｔを設置し、電子発生装置
よシ・磁性材に斜めに電子ビームを照射させてその磁性
材原子の蒸気を直上の被蒸着材面に蒸着させることが行
なわれているが、該電子ビームを＆ｉ！１材面に斜めに
照射せしめるときは、第１図に示′ｊ工うに、磁性材ａ
に・電子ビームｂが当る部分が集中的に蒸発し、その電
子ビームｂの方向に対応する６１めに傾斜した凹窪Ｃが
形成し、該凹窪Ｃが斜めに向いたノズルに近い状態とな
り、磁性材の蒸発ｄは、斜め方向に集中し行なわれる蒸
発分布状態となり、垂直蒸着には好ましくない。
本発明は、か＼る不都合をなくシ、被蒸ｈｑけに一層良
好な磁性材の垂直蒸着を行なわれ、その垂直磁気特性を
向上した垂直磁気記録体を製造する方法を提供するもの
で、真空容器内に被蒸着Ｉｔを設け、その直下に磁性Ｉ
ｔを設置し、電子ビームを磁性材に照射し、その蒸発す
る原子蒸気とそのま＼或はその１部を導入酸素により酸
化して、被蒸着材面にその垂直磁化膜を形成するように
した垂直磁気記録体の製造法において。
好な磁性材の垂直蒸着を行なわれ、その垂直磁気特性を
向上した垂直磁気記録体を製造する方法を提供するもの
で、真空容器内に被蒸着Ｉｔを設け、その直下に磁性Ｉ
ｔを設置し、電子ビームを磁性材に照射し、その蒸発す
る原子蒸気とそのま＼或はその１部を導入酸素により酸
化して、被蒸着材面にその垂直磁化膜を形成するように
した垂直磁気記録体の製造法において。
電子ビームを磁性けに垂直に照射ぜしめるよう１（シた
こと全特徴とする。
こと全特徴とする。
更に１本発明は、上記の方法を適用する１Ｎ成簡単で容
易に製作し鍔る製置を提供′ｊ−るもので。
易に製作し鍔る製置を提供′ｊ−るもので。
真空ポンプに連なるハ、空￥／、器内に被着材を設け。
その直下に磁性は茫装置し、その側方に電子ビーム発生
装置紫膜けると共に該電子ビーム発生装置からの電子ビ
ームを磁性材に垂直に向かうよう偏向せしめる電子ビー
ム偏向装置を設けて成る。
装置紫膜けると共に該電子ビーム発生装置からの電子ビ
ームを磁性材に垂直に向かうよう偏向せしめる電子ビー
ム偏向装置を設けて成る。
次に本発明実施例を第２図及び第３図につき説明する。
図面で（１）は真空ンＪ？ンゾ（４図示しない）に接続
する真空容器を示し、該真空容器（１）内の中央に冷却
キャン（２）周囲音その回動に伴ない一定速度で矢示方
向に走行−１−る合成樹脂製テープから成る被蒸着材（
３）を設ける。（４）は該テープ状被蒸着材（３）の送
シロール、（５）はその巻き取シロールを示す。該被蒸
着＃ （３）の直下に、磁性？４’（６）′ｆ、入れた
るつは（７）を設置した。（８）は、その冷却キャン（
２）と磁性Ｉｔ （６１との間に冷却キャン（２）下端
面を走行する被蒸着材（３）に近づけて介在せしめた中
央に透窓（９）？もつ水平の防−Ａ、ｉ板を示す。（１
１は、容器（１）の側面に磁性材（６）に向い斜め下向
きに付設した電子ビーム発生装置を示す。αυは、好丑
しくはけ設される酸素導入管を示し、その先端は。
する真空容器を示し、該真空容器（１）内の中央に冷却
キャン（２）周囲音その回動に伴ない一定速度で矢示方
向に走行−１−る合成樹脂製テープから成る被蒸着材（
３）を設ける。（４）は該テープ状被蒸着材（３）の送
シロール、（５）はその巻き取シロールを示す。該被蒸
着＃ （３）の直下に、磁性？４’（６）′ｆ、入れた
るつは（７）を設置した。（８）は、その冷却キャン（
２）と磁性Ｉｔ （６１との間に冷却キャン（２）下端
面を走行する被蒸着材（３）に近づけて介在せしめた中
央に透窓（９）？もつ水平の防−Ａ、ｉ板を示す。（１
１は、容器（１）の側面に磁性材（６）に向い斜め下向
きに付設した電子ビーム発生装置を示す。αυは、好丑
しくはけ設される酸素導入管を示し、その先端は。
前記の防着板（９）の透窓（９）近傍にノ？いて開口す
るようにする。
るようにする。
上記の装置は、先に出願した垂直磁気記録体の製法で実
施するものと変らない。本発明に工れば、該電子ビーム
発生製置住１ニジ発生する電子ビームＥが図示のＬうに
磁性材（６）に垂直に入射するべく下向きに偏向せしめ
る磁界を発生するべく電子ビーム偏向装＠ａ邊を設ける
。即ち１例えば電子ビームＥの走行方向と直交する方向
に電子ビームを挾んで正極と負極の対向する電磁石から
成るｉ［子ビーム偏向装置＠を設ける。かくして、これ
により発生する磁界を直交する成子ビームは下向きに曲
げられ磁性相（６）に垂直に照射するようにした。
施するものと変らない。本発明に工れば、該電子ビーム
発生製置住１ニジ発生する電子ビームＥが図示のＬうに
磁性材（６）に垂直に入射するべく下向きに偏向せしめ
る磁界を発生するべく電子ビーム偏向装＠ａ邊を設ける
。即ち１例えば電子ビームＥの走行方向と直交する方向
に電子ビームを挾んで正極と負極の対向する電磁石から
成るｉ［子ビーム偏向装置＠を設ける。かくして、これ
により発生する磁界を直交する成子ビームは下向きに曲
げられ磁性相（６）に垂直に照射するようにした。
次に上記本発明装置を使用し末法を実施する例を説明す
る。
る。
磁性材とじてはａ Ｆ ｅ ＋ ＯＯ＋ Ｎ Ｉやこれ
らの合金を使用する。１例として、Ｏｏ を磁性相（６
）として用意し、電子ビーム発生装闘（１１よシミ子ビ
ームＥを磁性材（６）に向は照射するときは、その途中
で該偏向装置（財）によシ醒子ビームＥは下向きに曲が
り、磁性材（６）には垂直に入射する。而して該垂直電
子ビームを受けた６４性材（６）表面の部分は溶融し垂
直に蒸発をつｙける。更に詳細には、第３１／１示の如
く、磁性材（６）に垂直の成子ビームＥを受けて溶融蒸
発しする個所は、これに対応して垂直方向に延びる凹部
りが生成されるので。
らの合金を使用する。１例として、Ｏｏ を磁性相（６
）として用意し、電子ビーム発生装闘（１１よシミ子ビ
ームＥを磁性材（６）に向は照射するときは、その途中
で該偏向装置（財）によシ醒子ビームＥは下向きに曲が
り、磁性材（６）には垂直に入射する。而して該垂直電
子ビームを受けた６４性材（６）表面の部分は溶融し垂
直に蒸発をつｙける。更に詳細には、第３１／１示の如
く、磁性材（６）に垂直の成子ビームＥを受けて溶融蒸
発しする個所は、これに対応して垂直方向に延びる凹部
りが生成されるので。
磁性材の原子的蒸発６′は、その大部分は、垂直方向に
行なわれるので、無駄°がなく、且つ下記する如く、こ
れによって垂直特性の向上した垂直磁化膜Ｆが該被蒸着
材（３）の水平下面に得られか＼る垂直磁気記録テープ
Ｐが巻取られて製造を終る。尚、この蒸着過程において
、酸素導入管ａυより所定量の酸素を導入すれば、その
ＣＯ原子蒸気の１部はＯｏＯとなり００ 原子と一定の
割合でまざＪ）、Ｃｏのみの垂直磁化膜に比し優れた特
性の前記の垂直磁化膜Ｆを肖ることができる。
行なわれるので、無駄°がなく、且つ下記する如く、こ
れによって垂直特性の向上した垂直磁化膜Ｆが該被蒸着
材（３）の水平下面に得られか＼る垂直磁気記録テープ
Ｐが巻取られて製造を終る。尚、この蒸着過程において
、酸素導入管ａυより所定量の酸素を導入すれば、その
ＣＯ原子蒸気の１部はＯｏＯとなり００ 原子と一定の
割合でまざＪ）、Ｃｏのみの垂直磁化膜に比し優れた特
性の前記の垂直磁化膜Ｆを肖ることができる。
次に本発明の上記湛゛９置にニジ製造したＯｏ Ｏ，６
５００，３５の組成から成る膜厚５０００Ａ０の垂直磁
化膜をもつ本発明による磁気記録テープと、偏向装置を
使用せず４５°で電子ビームをＣＯ磁性材に照射し、蒸
発ぜしめた以外は、上記と同様に製造したＯｏ Ｏ，６
５００，３５の組成から成る膜厚５０００Ａ’の垂直磁
化膜をもつ対照磁気記録テープとの各ヒステリシス曲線
を第４図に本発明は実線で従来法は点線で示す。これか
ら明らかなように５本発明のように電子ビームを垂直に
磁性材に照射した場合の方がその角型１生が良く、垂直
磁気特性が優れていることが分る。
５００，３５の組成から成る膜厚５０００Ａ０の垂直磁
化膜をもつ本発明による磁気記録テープと、偏向装置を
使用せず４５°で電子ビームをＣＯ磁性材に照射し、蒸
発ぜしめた以外は、上記と同様に製造したＯｏ Ｏ，６
５００，３５の組成から成る膜厚５０００Ａ’の垂直磁
化膜をもつ対照磁気記録テープとの各ヒステリシス曲線
を第４図に本発明は実線で従来法は点線で示す。これか
ら明らかなように５本発明のように電子ビームを垂直に
磁性材に照射した場合の方がその角型１生が良く、垂直
磁気特性が優れていることが分る。
このＬうに本発明によると色は、磁性材に垂直に電子ビ
ームを照射するようにしたので、磁性材に斜めに電子ビ
ームを照射する場合に比し角ｍｔ！１：の優れた垂直磁
気記録体がｍられる効果を有する。
ームを照射するようにしたので、磁性材に斜めに電子ビ
ームを照射する場合に比し角ｍｔ！１：の優れた垂直磁
気記録体がｍられる効果を有する。
第１図は従来法の電子ビーム照射と説明１′る磁性材蒸
発部の断面図、第２図は本発明実施の１側の装置の截断
側面線図、第３図はその１部の拡大断面図、第４図は垂
直磁気特注の比較図を示す。 （１）・・・真空容器 （３）・・・被蒸着け（６）・
・・磁性け ａ（・；・・電子ビーム発生装置Ｂ・・・
電子ビーム ０邊・・・電子ビーム偏向装置特許出願人
日本真空技術株式会社 他２名
発部の断面図、第２図は本発明実施の１側の装置の截断
側面線図、第３図はその１部の拡大断面図、第４図は垂
直磁気特注の比較図を示す。 （１）・・・真空容器 （３）・・・被蒸着け（６）・
・・磁性け ａ（・；・・電子ビーム発生装置Ｂ・・・
電子ビーム ０邊・・・電子ビーム偏向装置特許出願人
日本真空技術株式会社 他２名
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 真空容器内に被蒸着Ｉｔを設け、その直下に磁性
材を設置し、電子ビーム孕磁性材に照射し、その蒸発す
る原子蒸気をそのま＼或はその１部を導入酸素にエフ酸
化して、被蒸着材面にその垂直磁化膜を形成するように
した垂直磁気記録体の製造法において、電子ビームを磁
性材に垂直に照射せしめるようにしたことを特徴とする
垂直磁気記録体の製造法。 ２、 真空ポンプに連なる真空容器内に被着材を設け、
その直下に磁性材を設置し、その側方に電子ビーム発生
装置を設けると共に該電子ビーム発生装置からの電子ビ
ームを磁性材に垂直に向かうよう偏向せしめる電子ビー
ム偏向装置を設けて成る垂直磁気記録体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13684183A JPS6029942A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 垂直磁気記録体の製造法並に装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13684183A JPS6029942A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 垂直磁気記録体の製造法並に装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029942A true JPS6029942A (ja) | 1985-02-15 |
| JPH0418372B2 JPH0418372B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=15184752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13684183A Granted JPS6029942A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 垂直磁気記録体の製造法並に装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029942A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04147433A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3547022B2 (ja) | 1994-12-16 | 2004-07-28 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58121134A (ja) * | 1982-01-12 | 1983-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP13684183A patent/JPS6029942A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58121134A (ja) * | 1982-01-12 | 1983-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04147433A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0418372B2 (ja) | 1992-03-27 |
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