JPH0729171A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH0729171A JPH0729171A JP17635093A JP17635093A JPH0729171A JP H0729171 A JPH0729171 A JP H0729171A JP 17635093 A JP17635093 A JP 17635093A JP 17635093 A JP17635093 A JP 17635093A JP H0729171 A JPH0729171 A JP H0729171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- magnetic
- magnetic material
- crucible
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性材料の溶融を均一にして特性が一定な磁
気記録媒体を得ることができる製造装置を提供するこ
と。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料を
収容するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを
照射するための電子ビーム発生装置とを含む磁気記録媒
体の製造装置において、前記電子ビーム発生装置は、ル
ツボの中央領域に係る磁性材料に電子ビームを照射する
第１の電子ビーム発生装置と、前記中央領域の周辺領域
に係る磁性材料に電子ビームを照射する第２の電子ビー
ム発生装置を備えることを特徴とする。
気記録媒体を得ることができる製造装置を提供するこ
と。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料を
収容するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを
照射するための電子ビーム発生装置とを含む磁気記録媒
体の製造装置において、前記電子ビーム発生装置は、ル
ツボの中央領域に係る磁性材料に電子ビームを照射する
第１の電子ビーム発生装置と、前記中央領域の周辺領域
に係る磁性材料に電子ビームを照射する第２の電子ビー
ム発生装置を備えることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体の製造装置
に関し、特にその電子ビーム発生装置の構成に関する。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体の製造装置
に関し、特にその電子ビーム発生装置の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容するルツボと、このルツボの磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容するルツボと、このルツボの磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。
【０００３】図４に、従来装置の蒸着時におけるルツボ
内の様子を示す。図面は、ルツボ内の磁性材料が電子ビ
ームの照射を受けて溶融・蒸発し減った様子を示してい
る。この場合、電子ビームの照射を受けた中央部分に窪
みが形成されている。
内の様子を示す。図面は、ルツボ内の磁性材料が電子ビ
ームの照射を受けて溶融・蒸発し減った様子を示してい
る。この場合、電子ビームの照射を受けた中央部分に窪
みが形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来においては、電子
ビームの照射が磁性材料の一部分に限られているため
に、常に磁性材料の一部のみが使用に供され、そのため
に材料使用効率が甚だ低かった。
ビームの照射が磁性材料の一部分に限られているため
に、常に磁性材料の一部のみが使用に供され、そのため
に材料使用効率が甚だ低かった。
【０００５】また、溶融面が変化して凹状の窪みから蒸
発が行なわれるようになると、蒸発分布が偏倚した状態
になり、蒸気が被蒸着材に所定の角度で入射できなくな
る。入射角が変化すると保磁力に影響を与えるため、特
性が一定した磁気記録媒体を得ることが困難となる。
発が行なわれるようになると、蒸発分布が偏倚した状態
になり、蒸気が被蒸着材に所定の角度で入射できなくな
る。入射角が変化すると保磁力に影響を与えるため、特
性が一定した磁気記録媒体を得ることが困難となる。
【０００６】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
溶融を均一にして被蒸着材上に一様な磁性層を形成する
ことのできる新規な磁気記録媒体の製造装置を提供しよ
うとするものである。
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
溶融を均一にして被蒸着材上に一様な磁性層を形成する
ことのできる新規な磁気記録媒体の製造装置を提供しよ
うとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記電子ビ
ーム発生装置は、ルツボの中央領域に係る磁性材料に電
子ビームを照射する第１の電子ビーム発生装置と、前記
中央領域の周辺領域に係る磁性材料に電子ビームを照射
する第２の電子ビーム発生装置を備えることを特徴とす
る。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記電子ビ
ーム発生装置は、ルツボの中央領域に係る磁性材料に電
子ビームを照射する第１の電子ビーム発生装置と、前記
中央領域の周辺領域に係る磁性材料に電子ビームを照射
する第２の電子ビーム発生装置を備えることを特徴とす
る。
【０００８】本発明の磁気記録媒体の製造装置における
電子ビーム発生装置は、第１の電子ビーム発生装置と第
２の電子ビーム発生装置を備えている。
電子ビーム発生装置は、第１の電子ビーム発生装置と第
２の電子ビーム発生装置を備えている。
【０００９】ルツボの中央領域に係る磁性材料に電子ビ
ームを照射する第１の電子ビーム発生装置は、主ビーム
発生装置として、主にこの領域の磁性材料の蒸発に関与
する。また、前記中央領域の周辺領域に係る磁性材料に
電子ビームを照射する第２の電子ビーム発生装置は、補
助ビーム発生装置として、主にこの領域の磁性材料の融
解に関与する。
ームを照射する第１の電子ビーム発生装置は、主ビーム
発生装置として、主にこの領域の磁性材料の蒸発に関与
する。また、前記中央領域の周辺領域に係る磁性材料に
電子ビームを照射する第２の電子ビーム発生装置は、補
助ビーム発生装置として、主にこの領域の磁性材料の融
解に関与する。
【００１０】中央領域の磁性材料は、主ビームの照射を
受けて、蒸発を続ける。蒸発による液面の変化（下降）
は、補助ビームにより融解された周辺領域の磁性材料に
より補償される。
受けて、蒸発を続ける。蒸発による液面の変化（下降）
は、補助ビームにより融解された周辺領域の磁性材料に
より補償される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１２】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、真空ポンプ１６に接続さ
れ、この真空容器内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹
脂製テープ５を走行させる走行装置２が配設されてい
る。走行装置２は、送りロール６と、巻取りロール７
と、そして冷却キャン８からなっている。ルツボ３は、
テープ５の下方でかつ冷却キャン８の真下より図面右側
に寄った位置に配設され、その上面に形成された凹部内
に、磁性材料、すなわち磁性金属１０を収容している。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、真空ポンプ１６に接続さ
れ、この真空容器内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹
脂製テープ５を走行させる走行装置２が配設されてい
る。走行装置２は、送りロール６と、巻取りロール７
と、そして冷却キャン８からなっている。ルツボ３は、
テープ５の下方でかつ冷却キャン８の真下より図面右側
に寄った位置に配設され、その上面に形成された凹部内
に、磁性材料、すなわち磁性金属１０を収容している。
【００１３】電子ビーム発生装置４は、２つの電子ビー
ム発生装置、すなわち第１の電子ビーム発生装置１２
と、第２の電子ビーム発生装置１３からなっている。こ
れらの電子ビーム発生装置は、それぞれ、電子銃１１を
備え、この電子銃１１から電子ビームを発射し、この電
子ビームをルツボ３の磁性金属１０に照射するようにな
っている。第１の電子ビーム発生装置１２は、主ビーム
発生装置として、図２，３に示すように、ルツボの中央
領域２１に係る磁性金属にその主ビーム２０を照射する
ようになっている。また、第２の電子ビーム発生装置１
３は、補助ビーム発生装置として、中央領域２１を囲む
周辺領域２２に係る磁性金属に、補助ビーム２３を照射
するようになっている。第１の電子ビーム発生装置１２
は、その電子銃１１から発射された主ビーム２０を走査
することができる。すなわち、主ビーム２０はスキャン
ニング磁極により中央領域２１に係る磁性金属の上を走
査し、これにより磁性金属を平均的に蒸発させることが
できる。また、第２の電子ビーム発生装置１３は、その
電子銃１１から発射された補助ビーム２３を半径方向に
移動させながら周辺領域に沿って帯状に回すことがで
き、これにより周辺領域２２に係る磁性金属を一様に融
解することができる。主ビームと補助ビームが互に干渉
するのを避けるために、両ビーム間の間隔が調整されて
いる。
ム発生装置、すなわち第１の電子ビーム発生装置１２
と、第２の電子ビーム発生装置１３からなっている。こ
れらの電子ビーム発生装置は、それぞれ、電子銃１１を
備え、この電子銃１１から電子ビームを発射し、この電
子ビームをルツボ３の磁性金属１０に照射するようにな
っている。第１の電子ビーム発生装置１２は、主ビーム
発生装置として、図２，３に示すように、ルツボの中央
領域２１に係る磁性金属にその主ビーム２０を照射する
ようになっている。また、第２の電子ビーム発生装置１
３は、補助ビーム発生装置として、中央領域２１を囲む
周辺領域２２に係る磁性金属に、補助ビーム２３を照射
するようになっている。第１の電子ビーム発生装置１２
は、その電子銃１１から発射された主ビーム２０を走査
することができる。すなわち、主ビーム２０はスキャン
ニング磁極により中央領域２１に係る磁性金属の上を走
査し、これにより磁性金属を平均的に蒸発させることが
できる。また、第２の電子ビーム発生装置１３は、その
電子銃１１から発射された補助ビーム２３を半径方向に
移動させながら周辺領域に沿って帯状に回すことがで
き、これにより周辺領域２２に係る磁性金属を一様に融
解することができる。主ビームと補助ビームが互に干渉
するのを避けるために、両ビーム間の間隔が調整されて
いる。
【００１４】遮蔽板２４が冷却キャン８の下方に冷却キ
ャンに接近して配設され、その先端は冷却キャンの最下
端より少し上昇した位置にある。また、この遮蔽板２４
の上方にも遮蔽板１７が水平に配設されている。
ャンに接近して配設され、その先端は冷却キャンの最下
端より少し上昇した位置にある。また、この遮蔽板２４
の上方にも遮蔽板１７が水平に配設されている。
【００１５】本実施例において、テープ５の磁性層の上
に酸化物の保護層を形成するため、酸化性ガス供給装置
２０が備っている。この酸化性ガス供給装置２０は、酸
素ガス供給源１８と、この供給源１８に接続された導入
管１４と、この導入管１４に配設された流量制御弁１３
と、前記導入管１４に接続された酸素ガス供給管１９か
らなっている。流量制御弁１３は、図示しないコントロ
ーラからの出力信号により導入管１４を流れる酸素ガス
の量を調節するようになっている。また、酸素ガス供給
管１９は、磁性層の生成時に酸素ガスを供給するべく、
その先端１９ａが冷却キャン８の周方向に関して遮蔽板
２４の先端とほぼ同じ位置にある。供給管１９からの酸
素ガスは、磁性層における蒸着磁性元素と結合して磁性
層の上に酸化物からなる保護層を形成する。
に酸化物の保護層を形成するため、酸化性ガス供給装置
２０が備っている。この酸化性ガス供給装置２０は、酸
素ガス供給源１８と、この供給源１８に接続された導入
管１４と、この導入管１４に配設された流量制御弁１３
と、前記導入管１４に接続された酸素ガス供給管１９か
らなっている。流量制御弁１３は、図示しないコントロ
ーラからの出力信号により導入管１４を流れる酸素ガス
の量を調節するようになっている。また、酸素ガス供給
管１９は、磁性層の生成時に酸素ガスを供給するべく、
その先端１９ａが冷却キャン８の周方向に関して遮蔽板
２４の先端とほぼ同じ位置にある。供給管１９からの酸
素ガスは、磁性層における蒸着磁性元素と結合して磁性
層の上に酸化物からなる保護層を形成する。
【００１６】このように構成された本装置において、磁
性金属は、第２の電子ビーム発生装置１３により、補助
ビーム２３の照射を受けて、溶融する。この溶融した磁
性金属は、中央領域２１の磁性金属の蒸発に伴い、中央
領域２１に集る。この中央領域２１に係る磁性金属１０
に向け、第１の電子ビーム発生装置１２により主ビーム
２０を照射した場合、磁性金属は電子ビームの照射を受
けて蒸発を続ける。
性金属は、第２の電子ビーム発生装置１３により、補助
ビーム２３の照射を受けて、溶融する。この溶融した磁
性金属は、中央領域２１の磁性金属の蒸発に伴い、中央
領域２１に集る。この中央領域２１に係る磁性金属１０
に向け、第１の電子ビーム発生装置１２により主ビーム
２０を照射した場合、磁性金属は電子ビームの照射を受
けて蒸発を続ける。
【００１７】送りロール６より送り出されてこの蒸発領
域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の斜方蒸着を受
けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に斜
方磁性膜がテープ上に形成される。更に、このテープ５
は酸素ガス供給管１９により酸素が供給され、これによ
り斜方磁性膜の上に保護膜として酸化膜が形成され、巻
取りロール７により巻取られる。
域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の斜方蒸着を受
けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に斜
方磁性膜がテープ上に形成される。更に、このテープ５
は酸素ガス供給管１９により酸素が供給され、これによ
り斜方磁性膜の上に保護膜として酸化膜が形成され、巻
取りロール７により巻取られる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、第１の電子ビーム発生
装置による蒸発領域（中央領域）の外側に、第２の電子
ビーム発生装置による融解領域（周辺領域）を設けたの
で、磁性材料は、従来よりも広範な部分が使用に供さ
れ、従って材料使用効率を向上させることができる。本
発明により、例えば材料の使用効率を従来の４０％から
６０％まであげることができた。
装置による蒸発領域（中央領域）の外側に、第２の電子
ビーム発生装置による融解領域（周辺領域）を設けたの
で、磁性材料は、従来よりも広範な部分が使用に供さ
れ、従って材料使用効率を向上させることができる。本
発明により、例えば材料の使用効率を従来の４０％から
６０％まであげることができた。
【００１９】また、本発明によれば、蒸発領域で蒸発し
た分を融解領域の融解磁性材料で常に補うことができる
から、図３に示すように、溶融面がほぼ平らとなり、従
来のような凹状の窪みがなくなるので、蒸発分布が偏倚
した状態から開放され、蒸気が被蒸着材に所望の角度で
入射できるようになり、その結果特性が一定した磁気記
録媒体を常に得られるものである。
た分を融解領域の融解磁性材料で常に補うことができる
から、図３に示すように、溶融面がほぼ平らとなり、従
来のような凹状の窪みがなくなるので、蒸発分布が偏倚
した状態から開放され、蒸気が被蒸着材に所望の角度で
入射できるようになり、その結果特性が一定した磁気記
録媒体を常に得られるものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】同製造装置に備る電子ビーム発生装置の照射を
受けるルツボ内の様子を示す図。
受けるルツボ内の様子を示す図。
【図３】図２に示すルツボ内の照射領域を示す図。
【図４】従来の磁気記録媒体の製造装置に備る電子ビー
ム発生装置の照射を受けるルツボ内の様子を示す図。
ム発生装置の照射を受けるルツボ内の様子を示す図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １２ 第１の電子ビーム発生装置 １３ 第２の電子ビーム発生装置 ２０ 主ビーム ２１ 中央領域 ２２ 周辺領域 ２３ 補助ビーム
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記電子ビーム発生装置は、ルツボの中央領域に係る磁
性材料に電子ビームを照射する第１の電子ビーム発生装
置と、前記中央領域の周辺領域に係る磁性材料に電子ビ
ームを照射する第２の電子ビーム発生装置を備えること
を特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17635093A JPH0729171A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17635093A JPH0729171A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729171A true JPH0729171A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16012071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17635093A Pending JPH0729171A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729171A (ja) |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP17635093A patent/JPH0729171A/ja active Pending
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