JPS592108Y2 - フラツシユガン - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、金属等の蒸着に使用されるフラッシュガン（
電子銃）に係り、とくにそのノズル部分の構造の改良に
関する。

従来より蒸着においては、金属等の蒸発物質を蒸発させ
るためにるつぼを有する蒸発源が使用されていた。

しかし、るつぼを使用した蒸発源では、蒸着すべきサブ
ストレート（基板）の位置はるつぼの上方に限定される
。

一方、フラッシュガンは蒸着方向を任意の方向に設定で
きる利点があり、最近るつぼを有する蒸発源の代りに使
用されるようになってきている。

第１図及び第２図にそのようにフラッシュガンの基本的
構成を示す。

これらの図において、本体１の先端面中央には水冷式の
ノズル２が設けられ、このノズル２に蒸発線材供給機構
部の供給ローラー３を介して蒸発物質の蒸発線材４が供
給されるようになっている。

一方、本体１には電子ビームＢを放出するタングステン
フィラメント５と、電子ビームＢをノズル２に照射させ
るように２７０°偏向させるための偏向コイル及びマグ
ネット部６とが設けられ、さらに本体１に一体に電子ビ
ーム集束作用を果す電極７が形成されている。

なお、前記フィラメント５には高圧端子８を介して高電
圧が印加され、偏向コイル及びマグネット部６には低圧
端子９を介して低圧電源が接続される。

以上の場合、蒸発物質の蒸発線材４は、蒸発線材用リー
ルより引出されて供給ローラー３に挟持された状態でノ
ズル２に送り込まれる。

ノズル２に送り込まれた蒸発線材４はタングステンフィ
ラメント５より放出された電子ビームＢによって溶融し
、さらに陽イオンとなって蒸発する。

このとき、サブストレート１０側を負電位とすれば、蒸
発した蒸発物質はサブストレー）１０に引かれて蒸着す
る。

このとき、周囲の圧力は１０−３乃至１０ ｔｏｒｒに
保たれている。

ところで、ノズル２の先端面の形状は丸形であるため、
サブストレート１０の蒸着膜厚はＣＯＳθに略比例した
分布となる。

（但し、θはノズル軸線を基準とした蒸着方向の角度で
ある。

）このため、角形マスク使用の場合には第３図の如く中
心部が膜厚大で、中心から離れるに従って膜厚が薄くな
る。

従って、隅部Ｘは極度に膜が薄くなり、実用上蒸着が困
難となる。

本考案は、上記の点に鑑み、ノズル先端面の形状を複数
の円弧を有する画形に構成することにより、角形マスク
使用時の隅部の蒸着分布の改善を図ったフラッシュガン
を提供しようとするものである。

以下、本考案に係るフラッシュガンの実施例を図面に従
って説明する。

第４図において、ノズル２Ａは複数の円弧を有する画形
の先端面２０を有しており、中心部には蒸発線材４を挿
通するための蒸発線材挿通穴１１が形成されている。

この場合、従来よりも電子ビームスポットを拡げ、パワ
ーを上げて蒸発線材４の溶融金属が先端面２０の全面を
覆いかつ先端面２０より安定した蒸着が行われるように
する。

この結果、蒸着分布は第５図の如くなり、方形の分布に
近ずくから角形マスクを使用した場合の隅部の蒸着分布
の改善を図ることができる。

なお、ノズル２Ａの形状以外は従来と同様の構造を採用
可能である。

叙上のように、本考案によれば、ノズル先端面を画形に
形成することにより、蒸着分布の改善を図ることが可能
なフラッシュガンを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はフラッシュガンの基本的構成を示す正面図、第
２図は同平面図、第３図は従来の場合の蒸着分布を示す
説明図、第４図は本考案に係るフラッシュガンの実施例
であってノズル部分を示す平面図、第５図は実施例の場
合の蒸着分布を示す説明図で゛ある。 １・・・・・・本体、２，２Ａ・・・・・・ノズル、４
・・・・・・蒸着線材、１０・・・・・・サブストレー
ト、１１・・・・・・蒸発線材挿通穴、２０・・・・・
・先端面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 蒸発線材の供給を受けるノズルに電子ビームを当てて該
   ノズルにて前記蒸発線材を溶融蒸発させるフラッシュガ
   ンにおいて、前記ノズルの先端面の形状を複数の円弧を
   有する画形に構成したことを特徴とするフラッシュガン
   。