JPH0232683Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0232683Y2 JPH0232683Y2 JP1982167150U JP16715082U JPH0232683Y2 JP H0232683 Y2 JPH0232683 Y2 JP H0232683Y2 JP 1982167150 U JP1982167150 U JP 1982167150U JP 16715082 U JP16715082 U JP 16715082U JP H0232683 Y2 JPH0232683 Y2 JP H0232683Y2
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- JP
- Japan
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- water
- main body
- cooled
- electron beam
- gun
- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、金属等の蒸着に使用されるフラツシ
ユガン（電子銃）に関する。
ユガン（電子銃）に関する。
従来より、蒸着においては金属等の蒸発物質を
蒸発させるためにるつぼを有する蒸発源が使用さ
れていた。しかし、るつぼを使用した蒸発源では
蒸着すべきサブストレート（基板）の位置は基板
の上方に限定される。一方、フラツシユガンは蒸
着方向を任意の方向に設定できる利点があり、最
近るつぼを有する蒸発源の代わりに利用されるよ
うになつている。
蒸発させるためにるつぼを有する蒸発源が使用さ
れていた。しかし、るつぼを使用した蒸発源では
蒸着すべきサブストレート（基板）の位置は基板
の上方に限定される。一方、フラツシユガンは蒸
着方向を任意の方向に設定できる利点があり、最
近るつぼを有する蒸発源の代わりに利用されるよ
うになつている。
第１図にそのようなフラツシユガンの基本的構
成を示す。この図において、本体１の１面には水
冷式のノズル２が設けられ、このノズル２に蒸発
線材が供給されるようになつている。また本体１
には電子ビームＢを放出するタングステンフイラ
メント３と、電子ビームＢをノズル２に照射させ
るように270゜偏向させるための偏向マグネツト４
とが設けられ、さらに本体１に一体に電子ビーム
集束作用を果たす電極５が形成されている。そし
て、電子ビームＢによりノズル２の先端に供給さ
れた蒸発線材が溶融しサブストレートに向かつて
照射される。
成を示す。この図において、本体１の１面には水
冷式のノズル２が設けられ、このノズル２に蒸発
線材が供給されるようになつている。また本体１
には電子ビームＢを放出するタングステンフイラ
メント３と、電子ビームＢをノズル２に照射させ
るように270゜偏向させるための偏向マグネツト４
とが設けられ、さらに本体１に一体に電子ビーム
集束作用を果たす電極５が形成されている。そし
て、電子ビームＢによりノズル２の先端に供給さ
れた蒸発線材が溶融しサブストレートに向かつて
照射される。
ところで、フラツシユガンは通常一括処理式の
蒸着装置（バツチチヤンバー）で使用されること
が一般的である。この一括処理式の蒸着装置では
フラツシユガンはほとんど短時間動作である。そ
のようなフラツシユガンをそのまま本出願人が先
に提案している如き連続蒸着装置〔インラインシ
ステム（In Line System）又はエアートウーエ
アーシステム（Air To Air System）〕で使用す
ると安全性に欠ける。すなわちフラツシユガンの
ノズル部分は冷却されているが、偏向マグネツト
４は直接的に冷却されておらず、このため長時間
運転すると偏向マグネツト４の温度による磁気特
性の変化により偏向角が劣化してくる。従つて、
この修正の為に偏向マグネツト４に印加する電圧
を上げてやらなければならない。このため、運転
時間とフラツシユガンへの供給電圧を比例的に操
作し対応させなければならない不都合を生じる。
また蒸着装置の天井側にフラツシユガン、下側に
るつぼを有する電子銃式蒸発源を配置して同時蒸
着を行なうような場合、両者の電圧調整を同様に
行なつたのでは下側のるつぼを有する電子銃式蒸
発源では過調整ともなり、この点でも問題を生じ
ていた。
蒸着装置（バツチチヤンバー）で使用されること
が一般的である。この一括処理式の蒸着装置では
フラツシユガンはほとんど短時間動作である。そ
のようなフラツシユガンをそのまま本出願人が先
に提案している如き連続蒸着装置〔インラインシ
ステム（In Line System）又はエアートウーエ
アーシステム（Air To Air System）〕で使用す
ると安全性に欠ける。すなわちフラツシユガンの
ノズル部分は冷却されているが、偏向マグネツト
４は直接的に冷却されておらず、このため長時間
運転すると偏向マグネツト４の温度による磁気特
性の変化により偏向角が劣化してくる。従つて、
この修正の為に偏向マグネツト４に印加する電圧
を上げてやらなければならない。このため、運転
時間とフラツシユガンへの供給電圧を比例的に操
作し対応させなければならない不都合を生じる。
また蒸着装置の天井側にフラツシユガン、下側に
るつぼを有する電子銃式蒸発源を配置して同時蒸
着を行なうような場合、両者の電圧調整を同様に
行なつたのでは下側のるつぼを有する電子銃式蒸
発源では過調整ともなり、この点でも問題を生じ
ていた。
本考案は、上記の点に鑑み、偏向マグネツトを
水冷構造とすることにより、長時間運転にもかか
わらず電子ビーム角度を一定に保持して安定性を
確保することが可能なフラツシユガンを提供しよ
うとするものである。
水冷構造とすることにより、長時間運転にもかか
わらず電子ビーム角度を一定に保持して安定性を
確保することが可能なフラツシユガンを提供しよ
うとするものである。
以下、本考案に係るフラツシユガンの実施例を
図面に従つて説明する。
図面に従つて説明する。
第２図において、本体１には水冷式のノズル２
が設けられ、さらに本体１に装着されたフイラメ
ント保持台６にタングステンフイラメント３が配
置される。また本体１内に設けられる偏向マグネ
ツト４には冷却水を通すための水冷銅パイプ７が
巻かれており、これにより偏向マグネツト４の外
周を冷却するようになつている。なおその他の構
成は第１図の基本構成と同様である。
が設けられ、さらに本体１に装着されたフイラメ
ント保持台６にタングステンフイラメント３が配
置される。また本体１内に設けられる偏向マグネ
ツト４には冷却水を通すための水冷銅パイプ７が
巻かれており、これにより偏向マグネツト４の外
周を冷却するようになつている。なおその他の構
成は第１図の基本構成と同様である。
上記実施例の構成によれば、、偏向マグネツト
４には水冷銅パイプ７を巻き付けることにより偏
向マグネツト４を直接水冷銅パイプ７を通過する
水で冷却することができ偏向マグネツト４の温度
上昇を防止することができる。この結果、長時間
運転によつても電子ビームＢの偏向角度を一定に
保持し、充分な安定性を確保することが可能とな
る。
４には水冷銅パイプ７を巻き付けることにより偏
向マグネツト４を直接水冷銅パイプ７を通過する
水で冷却することができ偏向マグネツト４の温度
上昇を防止することができる。この結果、長時間
運転によつても電子ビームＢの偏向角度を一定に
保持し、充分な安定性を確保することが可能とな
る。
なお、上記実施例では偏向マグネツト４に水冷
銅パイプ７を巻き付ける構造としたが、偏向マグ
ネツト４の外周に水冷筒状体（ウオータージヤケ
ツト）を設けて冷却するようにしても良い。
銅パイプ７を巻き付ける構造としたが、偏向マグ
ネツト４の外周に水冷筒状体（ウオータージヤケ
ツト）を設けて冷却するようにしても良い。
以上説明したように、本考案によれば、偏向マ
グネツトを水冷構造とすることにより長時間にわ
たり偏向ビーム角度を一定に保持することが可能
で充分な安定性を有するフラツシユガンを得るこ
とができる。従つて、本考案のフラツシユガンは
連続蒸着装置に使用すれば特に効果が大きい。
グネツトを水冷構造とすることにより長時間にわ
たり偏向ビーム角度を一定に保持することが可能
で充分な安定性を有するフラツシユガンを得るこ
とができる。従つて、本考案のフラツシユガンは
連続蒸着装置に使用すれば特に効果が大きい。
第１図は従来の基本的なフラツシユガンの構成
を示す正面図、第２図は本考案に係るフラツシユ
ガンの実施例を示す正面図である。 １……本体、２……ノズル、３……タングステ
ンフイラメント、４……偏向マグネツト、５……
電極、６……フイラメント保持台、７……水冷銅
パイプ。
を示す正面図、第２図は本考案に係るフラツシユ
ガンの実施例を示す正面図である。 １……本体、２……ノズル、３……タングステ
ンフイラメント、４……偏向マグネツト、５……
電極、６……フイラメント保持台、７……水冷銅
パイプ。
Claims (1)
- 本体に設けたフイラメントで発生させた電子ビ
ームを、前記本体に設けた偏向マグネツトの磁界
で偏向させ、前記本体側の電極で電子ビームを集
束し、前記本体の一面に配置されていて蒸発線材
の供給を受ける水冷式のノズルに前記電子ビーム
を当て、該ノズルにて前記蒸発線材を溶融蒸発さ
せるフラツシユガンにおいて、前記偏向マグネツ
トの周囲を囲む水冷パイプまたは水冷筒状体を設
けて構成したことを特徴とするフラツシユガン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16715082U JPS5973362U (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | フラツシユガン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16715082U JPS5973362U (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | フラツシユガン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5973362U JPS5973362U (ja) | 1984-05-18 |
| JPH0232683Y2 true JPH0232683Y2 (ja) | 1990-09-04 |
Family
ID=30365760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16715082U Granted JPS5973362U (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | フラツシユガン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5973362U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5769857U (ja) * | 1980-10-13 | 1982-04-27 |
-
1982
- 1982-11-04 JP JP16715082U patent/JPS5973362U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5973362U (ja) | 1984-05-18 |
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