JPS596029B2 - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPS596029B2 JPS596029B2 JP54053228A JP5322879A JPS596029B2 JP S596029 B2 JPS596029 B2 JP S596029B2 JP 54053228 A JP54053228 A JP 54053228A JP 5322879 A JP5322879 A JP 5322879A JP S596029 B2 JPS596029 B2 JP S596029B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- wehnelt electrode
- electron beam
- stainless steel
- passage hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡等に使用される電子銃の改良に関す
る。
る。
斯種装置に用いられる電子 としては熱電子放出型電子
銃が広く使用されている。
銃が広く使用されている。
斯かる熱電子放出型電子銃においてはフィラメントから
放出さレル電子の放出量を制御するためのウェーネルト
電極が備えられている。
放出さレル電子の放出量を制御するためのウェーネルト
電極が備えられている。
ところで熱電子放出型電子銃ではフィラメントは例えば
２５００℃程度の高温に力ロ熱されるため、ウェーネル
ト電極はフィラメントからの輻射熱によって１００℃程
度まで力ロ熱される。
２５００℃程度の高温に力ロ熱されるため、ウェーネル
ト電極はフィラメントからの輻射熱によって１００℃程
度まで力ロ熱される。
又一般には、ウェーネルト電極の材質としては熱による
アウトガスが少なり、シかも力ロＴ性がよく且つ安価で
あるために、ステンレス鋼が使用されている。
アウトガスが少なり、シかも力ロＴ性がよく且つ安価で
あるために、ステンレス鋼が使用されている。
そこで斯様にステンレス製のウェーネルト電極を使用し
た場合、このステンレス鋼は大きな熱膨張率を有してい
るため、ウェーネルト電極の熱膨張によりフィラメント
とウェーネルト電極との距離が変化し、ビーム電流が長
期にわたって不安定となる不都合がある。
た場合、このステンレス鋼は大きな熱膨張率を有してい
るため、ウェーネルト電極の熱膨張によりフィラメント
とウェーネルト電極との距離が変化し、ビーム電流が長
期にわたって不安定となる不都合がある。
近時、かかる不都合を防止するために、ウェーネルト電
極を例えばモリブデン、タンタルやタングステン等の如
きステンレスよりも熱膨張率の小さい材料で形成するこ
とが提案されている。
極を例えばモリブデン、タンタルやタングステン等の如
きステンレスよりも熱膨張率の小さい材料で形成するこ
とが提案されている。
しかし乍ら斯様にウェーネルト電極をモリブデン、タン
タルやタングステンで作成した場合、これらの材料は非
常に高価なものであるため、コストが非常に高くなる。
タルやタングステンで作成した場合、これらの材料は非
常に高価なものであるため、コストが非常に高くなる。
つまり一般にウェーネルト電極の作成にあたってはステ
ンレス鋼のインゴットを旋盤等によす所定の形状に削り
出すことによっておこなわれるため、ウェーネルト電極
全体をメンタル等で行うには同様にタンタルのインゴッ
トを用意しなければならず、従ってコストが非常に高く
なり、実用上好ましくない。
ンレス鋼のインゴットを旋盤等によす所定の形状に削り
出すことによっておこなわれるため、ウェーネルト電極
全体をメンタル等で行うには同様にタンタルのインゴッ
トを用意しなければならず、従ってコストが非常に高く
なり、実用上好ましくない。
本発明は斯様な点に鑑み、低コストでウェーネルト電極
の熱膨張に基づくビーム電流変動を防止することのでき
る装置を提供するもので、以下図面に基づき詳説する。
の熱膨張に基づくビーム電流変動を防止することのでき
る装置を提供するもので、以下図面に基づき詳説する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図であり、１は電
子銃室（図示せず）に支持された碍子である。
子銃室（図示せず）に支持された碍子である。
２は該碍子１の下端に固定された取付金具で、該取付金
具の内側にはステム３ａ、３ｂを保持したフィラメント
保持板４がビス等により着脱可能に取付けてあり、又該
取付金具の外周には雄ネジ部５が形成しである。
具の内側にはステム３ａ、３ｂを保持したフィラメント
保持板４がビス等により着脱可能に取付けてあり、又該
取付金具の外周には雄ネジ部５が形成しである。
前記ステム３ａ及び３ｂの一端にはフィラメント６の両
端が夫々固定されており、又他端は図示外のフィラメン
ト力ロ熱電源に接続された電極？ａ 、７ｂに夫々嵌合
されている。
端が夫々固定されており、又他端は図示外のフィラメン
ト力ロ熱電源に接続された電極？ａ 、７ｂに夫々嵌合
されている。
８は前記フィラメント６の先端と対向するようにおかれ
たウェーネルト電極で、該ウェーネルト電極にはフィラ
メント６からの電子線を通過させるための孔９が設げで
ある。
たウェーネルト電極で、該ウェーネルト電極にはフィラ
メント６からの電子線を通過させるための孔９が設げで
ある。
又該ウェーネルト電極８はステンレス鋼で形成されてい
る。
る。
１０は該ウェーネルト電極８を支持するための支持体で
、該支持体の他端は前記取付金具２の雄ネジ部５に螺着
されたカバー１１の基部１１ａ部分に溶接等により固定
されている。
、該支持体の他端は前記取付金具２の雄ネジ部５に螺着
されたカバー１１の基部１１ａ部分に溶接等により固定
されている。
該支持体１０は熱膨張率がステンレス鋼よりも小さい物
質、例えばタンタルモリブデンやタングステン製の板体
を第２図ａに示す如く、扇形に形成し、これを折り曲げ
ることにより第２図すにその組立斜視図を示すように円
錐状に加工することにより構成されている。
質、例えばタンタルモリブデンやタングステン製の板体
を第２図ａに示す如く、扇形に形成し、これを折り曲げ
ることにより第２図すにその組立斜視図を示すように円
錐状に加工することにより構成されている。
前記カバー１１は支持体１０の形状と相似形に形成され
ていて、支持体１０の外周やウェーネルト電極８と支持
体１０との接続部分及び支持体１０とカバーの基部１１
ａとの接続部分を包囲している。
ていて、支持体１０の外周やウェーネルト電極８と支持
体１０との接続部分及び支持体１０とカバーの基部１１
ａとの接続部分を包囲している。
１２はフィラメント６からの電子線をカロ速するための
陽極である。
陽極である。
斯くしてウェーネルト電極は熱膨張率の小さい物質で形
成された支持体１０により支持されているため、フィラ
メント６０力ロ熱時におけるウェーネルト電極８とフィ
ラメント６間の距離の変化を少なくすることができるた
め、ビーム電流の変ｔｂを抑えることができる。
成された支持体１０により支持されているため、フィラ
メント６０力ロ熱時におけるウェーネルト電極８とフィ
ラメント６間の距離の変化を少なくすることができるた
め、ビーム電流の変ｔｂを抑えることができる。
又従来のようにウェーネルト電極全体をタンタル等で形
成することなく、ウェーネルト電極の支持部分にタンタ
ル等を使用する構造であるため、タンタルのインゴット
を用意することなく、電極に入手することのできる板状
のタンタルを用意することですみ、従ってコストの大巾
な低減をはかることができる。
成することなく、ウェーネルト電極の支持部分にタンタ
ル等を使用する構造であるため、タンタルのインゴット
を用意することなく、電極に入手することのできる板状
のタンタルを用意することですみ、従ってコストの大巾
な低減をはかることができる。
更に各接続部はウェーネルト電極８と同電位に保たれた
カバーにより電界的にシールドされているため、微小放
電の発生を防止することができる。
カバーにより電界的にシールドされているため、微小放
電の発生を防止することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図ａ及び
ｂは本発明に使用される支持体の展開図及び組立斜視図
である。 １・・・碍子、２・・・取付金具、３ａ及び３ｂ・・・
ステム、４・・・フィラメント保持板、５・・・雄ネジ
部、６・・・フィラメント、７ａ、７ｂ・・・電極、８
・・・ウェーネルト電極、９・・・電子線通過孔、１０
・・・支持体、１１・・・カバー。
ｂは本発明に使用される支持体の展開図及び組立斜視図
である。 １・・・碍子、２・・・取付金具、３ａ及び３ｂ・・・
ステム、４・・・フィラメント保持板、５・・・雄ネジ
部、６・・・フィラメント、７ａ、７ｂ・・・電極、８
・・・ウェーネルト電極、９・・・電子線通過孔、１０
・・・支持体、１１・・・カバー。
Claims (1)
- １ フィラメントと、該フィラメントと対向するように
おかれ且つ電子線通過孔を有するウェーネルト電極と、
前記フィラメントから放出された電子線を加速するため
の陽極とからなる装置において前記ウェーネルト電極を
、ステンレス鋼からなる電子線通過孔部と、該電子線通
過孔部を支持するためのステンレス鋼よりも熱膨張率が
小さな物質からなる支持部材と、該支持部材の外周を包
囲すると共に前記電子線通過孔部を前記１楊極に対して
露出させるための開口部を有し且つ前記電子線通過孔部
と同じ電位が与えられるカバーとから構成した事を特徴
とする電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54053228A JPS596029B2 (ja) | 1979-04-28 | 1979-04-28 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54053228A JPS596029B2 (ja) | 1979-04-28 | 1979-04-28 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55144637A JPS55144637A (en) | 1980-11-11 |
| JPS596029B2 true JPS596029B2 (ja) | 1984-02-08 |
Family
ID=12936955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54053228A Expired JPS596029B2 (ja) | 1979-04-28 | 1979-04-28 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596029B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6372571B2 (ja) * | 2014-08-20 | 2018-08-15 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線管 |
-
1979
- 1979-04-28 JP JP54053228A patent/JPS596029B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55144637A (en) | 1980-11-11 |
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