JPH0714162A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0714162A JPH0714162A JP15501193A JP15501193A JPH0714162A JP H0714162 A JPH0714162 A JP H0714162A JP 15501193 A JP15501193 A JP 15501193A JP 15501193 A JP15501193 A JP 15501193A JP H0714162 A JPH0714162 A JP H0714162A
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- Japan
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- electron beam
- crucible
- magnetic material
- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 融解液のはね返りを抑制することができ、融
解液の一様な蒸発を達成できる磁気記録媒体の製造装置
を提供すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、その内の走行装置と、磁性材料を収容するルツボ
と、その磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビ
ーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置におい
て、ルツボは、第１の底部と、それよりも上位にある第
２の底部とからなる段付底部を具備し、電子ビーム発生
装置は、第１の底部側に照射する第１の電子ビーム発生
装置と、第２の底部側に照射する第２の電子ビーム発生
装置からなり、第２の底部側の上方に遮蔽板が配設さ
れ、第２の底部側に磁性材料を供給する磁性材料供給装
置が備わることを特徴とする。
解液の一様な蒸発を達成できる磁気記録媒体の製造装置
を提供すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、その内の走行装置と、磁性材料を収容するルツボ
と、その磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビ
ーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置におい
て、ルツボは、第１の底部と、それよりも上位にある第
２の底部とからなる段付底部を具備し、電子ビーム発生
装置は、第１の底部側に照射する第１の電子ビーム発生
装置と、第２の底部側に照射する第２の電子ビーム発生
装置からなり、第２の底部側の上方に遮蔽板が配設さ
れ、第２の底部側に磁性材料を供給する磁性材料供給装
置が備わることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその蒸発源を構成するルツボ及びその
関連する装置の構成に関するものである。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその蒸発源を構成するルツボ及びその
関連する装置の構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容するルツボと、このルツボの磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容するルツボと、このルツボの磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】磁性材料の蒸発に伴
い、磁性材料を補充しなければならない。このとき、ル
ツボの上方より溶融した磁性材料の中にペレット状の磁
性材料を投入する際に、溶融した磁性材料がはね、それ
が被蒸着材に付着する虞がある。この「はね返り」は、
ペレット状の磁性材料がルツボの中に落下したことによ
る「はね返り」と、温度の低いペレット状磁性材料が高
温の溶融液の中に入ることにより引起こされる異状突沸
などによるルツボからの溶融物の飛出しによる「はね返
り」の総称である。
い、磁性材料を補充しなければならない。このとき、ル
ツボの上方より溶融した磁性材料の中にペレット状の磁
性材料を投入する際に、溶融した磁性材料がはね、それ
が被蒸着材に付着する虞がある。この「はね返り」は、
ペレット状の磁性材料がルツボの中に落下したことによ
る「はね返り」と、温度の低いペレット状磁性材料が高
温の溶融液の中に入ることにより引起こされる異状突沸
などによるルツボからの溶融物の飛出しによる「はね返
り」の総称である。
【０００４】この付着物は突起異物となり、この突起異
物があると、記録・再生時に磁気ヘッドがこれに乗り上
げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くなりすぎ正常な記
録・再生ができなくなってしまう。
物があると、記録・再生時に磁気ヘッドがこれに乗り上
げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くなりすぎ正常な記
録・再生ができなくなってしまう。
【０００５】また、磁性材料を投入した場所で温度の低
下が生じ、このために磁性材料の一様な蒸発が困難とな
る。
下が生じ、このために磁性材料の一様な蒸発が困難とな
る。
【０００６】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
はね返りを阻止し、また磁性材料の一様な蒸発を達成し
て被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成するようにした新規
な磁気記録媒体の製造装置を提供しようとするものであ
る。
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
はね返りを阻止し、また磁性材料の一様な蒸発を達成し
て被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成するようにした新規
な磁気記録媒体の製造装置を提供しようとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツボ
は、第１の底部と、該第１の底部よりも上位にある第２
の底部とからなる段付底部を具備し、前記電子ビーム発
生装置は、少なくとも２つの電子ビーム発生装置からな
り、第１の電子ビーム発生装置は、前記第１の底部に係
る磁性材料に照射するように備わり、また第２の電子ビ
ーム発生装置は、前記第２の底部に係る磁性材料に照射
するように備わり、前記第２の底部に係るルツボの領域
の上方かつ被蒸着材の下方に遮蔽板が配設され、該遮蔽
板とルツボの間より前記第２の底部に係るルツボの領域
にペレット状の磁性材料を供給する磁性材料供給装置が
備わることを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツボ
は、第１の底部と、該第１の底部よりも上位にある第２
の底部とからなる段付底部を具備し、前記電子ビーム発
生装置は、少なくとも２つの電子ビーム発生装置からな
り、第１の電子ビーム発生装置は、前記第１の底部に係
る磁性材料に照射するように備わり、また第２の電子ビ
ーム発生装置は、前記第２の底部に係る磁性材料に照射
するように備わり、前記第２の底部に係るルツボの領域
の上方かつ被蒸着材の下方に遮蔽板が配設され、該遮蔽
板とルツボの間より前記第２の底部に係るルツボの領域
にペレット状の磁性材料を供給する磁性材料供給装置が
備わることを特徴とする。
【０００８】本製造装置に備わるルツボは、段付の底部
を有する。この段付底部は、第１の底部と第２の底部か
らなり、第２の底部は、第１の底部よりも上位にある。
そして、この第２の底部に係るルツボの領域にペレット
状の磁性材料が供給される。
を有する。この段付底部は、第１の底部と第２の底部か
らなり、第２の底部は、第１の底部よりも上位にある。
そして、この第２の底部に係るルツボの領域にペレット
状の磁性材料が供給される。
【０００９】また、本製造装置に備わる電子ビーム発生
装置は、少なくとも２つの電子ビーム発生装置からな
る。第１の電子ビーム発生装置は、第１の底部に係る磁
性材料に照射するように備わり、また第２の電子ビーム
発生装置は、第２の底部に係る磁性材料に照射するよう
に備わる。
装置は、少なくとも２つの電子ビーム発生装置からな
る。第１の電子ビーム発生装置は、第１の底部に係る磁
性材料に照射するように備わり、また第２の電子ビーム
発生装置は、第２の底部に係る磁性材料に照射するよう
に備わる。
【００１０】本発明によれば、磁性材料を供給し溶かす
場所（第２の底部側）と、それを蒸発させる場所（第１
の底部側）とが分けられている。
場所（第２の底部側）と、それを蒸発させる場所（第１
の底部側）とが分けられている。
【００１１】第２の底部側に投入され、そこで溶かされ
た磁性材料は、融解し液体となって第１の底部側に流れ
て行く。これにより、蒸発場所である第１の底部に係る
領域の温度変化を極力抑えることができる。
た磁性材料は、融解し液体となって第１の底部側に流れ
て行く。これにより、蒸発場所である第１の底部に係る
領域の温度変化を極力抑えることができる。
【００１２】また、第２の底部は底が浅いため、第２の
底部に係る磁性材料は電子ビームの照射を充分に受けら
れると共に、上から磁性材料を投入しても、はね返りが
少ない。
底部に係る磁性材料は電子ビームの照射を充分に受けら
れると共に、上から磁性材料を投入しても、はね返りが
少ない。
【００１３】第１の電子ビーム発生装置は、第１の底部
に係る溶融状態の磁性材料に電子ビームを照射してその
蒸発を促し、また第２の電子ビーム発生装置は、第２の
底部に係る磁性材料に電子ビームを照射してその融解を
行なう。
に係る溶融状態の磁性材料に電子ビームを照射してその
蒸発を促し、また第２の電子ビーム発生装置は、第２の
底部に係る磁性材料に電子ビームを照射してその融解を
行なう。
【００１４】第２の底部の上方に備わる遮蔽板は、第２
の底部からの磁性材料のはね返りを阻止すると共に、蒸
発領域を第１の底部側に限定している。
の底部からの磁性材料のはね返りを阻止すると共に、蒸
発領域を第１の底部側に限定している。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１６】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置とを含
んでいる。真空容器１は、その排出口９が図示しない真
空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸着
材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装置
２が配設されている。走行装置２は、送りロール６と、
巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなってい
る。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置とを含
んでいる。真空容器１は、その排出口９が図示しない真
空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸着
材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装置
２が配設されている。走行装置２は、送りロール６と、
巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなってい
る。
【００１７】ルツボ３は、冷却キャン８の真下より図面
右側に寄った位置に配設されている。このルツボ３は、
水冷式の銅製ハウスから構成され、第１の底部１３と、
第２の底部１４とからなる段付底部を具備している。第
２の底部１４は、底部全体の約１／３を占め、第１の底
部１３よりも上位にある。この第２の底部１４の上方、
かつテープ５の下方に、遮蔽板１５が配設されている。
この遮蔽板１５は、第２の底部１４に係るルツボ領域の
みを覆い、第１の底部１３に係るルツボ領域は覆ってい
ない。この遮蔽板１５とルツボ３の間より、第２の底部
に係るルツボ領域にペレット状の磁性金属１０（例えば
直径１ｃｍ×長さ１５ｃｍ、あるいは同１２ｍｍ×同２
６ｍｍ）を供給するように、磁性金属供給装置１６が備
わっている。この磁性金属供給装置１６は、慣用の手
段、例えばコンベヤからなり、自動的に又は手動によ
り、所定量のペレット状磁性金属１０を連続的に又は断
続的に供給することができる。
右側に寄った位置に配設されている。このルツボ３は、
水冷式の銅製ハウスから構成され、第１の底部１３と、
第２の底部１４とからなる段付底部を具備している。第
２の底部１４は、底部全体の約１／３を占め、第１の底
部１３よりも上位にある。この第２の底部１４の上方、
かつテープ５の下方に、遮蔽板１５が配設されている。
この遮蔽板１５は、第２の底部１４に係るルツボ領域の
みを覆い、第１の底部１３に係るルツボ領域は覆ってい
ない。この遮蔽板１５とルツボ３の間より、第２の底部
に係るルツボ領域にペレット状の磁性金属１０（例えば
直径１ｃｍ×長さ１５ｃｍ、あるいは同１２ｍｍ×同２
６ｍｍ）を供給するように、磁性金属供給装置１６が備
わっている。この磁性金属供給装置１６は、慣用の手
段、例えばコンベヤからなり、自動的に又は手動によ
り、所定量のペレット状磁性金属１０を連続的に又は断
続的に供給することができる。
【００１８】電子ビーム発生装置は、本実施例の場合、
２つの電子ビーム発生装置、すなわち第１の電子ビーム
発生装置４と、第２の電子ビーム発生装置１７からなっ
ている。これらは、いずれも電子銃１１を備え、この電
子銃１１から電子ビームを発射し、この電子ビームをル
ツボ３内の磁性金属に照射するようになっている。第２
の電子ビーム発生装置１７は、２７０度の偏向電子ビー
ムを発射するようになっている。これは、ルツボ３の第
２の底部側の一側側面にＮ磁極が、他側側面にＳ磁極が
それぞれ設けられ、Ｎ極からＳ極へ向かう磁力線により
電子ビームの進路が曲げられることによって行なわれ、
これによって、この第２の電子ビーム発生装置１７は、
第２の底部１４に係る磁性金属に電子ビームを照射する
ようになっている。また、第１の電子ビーム発生装置４
は、第１の底部１３に係る磁性金属に照射するように備
わっている。両電子ビーム発生装置から発射される電子
ビームが、互いに干渉しないように、２つの電子ビーム
は適当な間隔、例えば５〜１０ｃｍの間隔が空けられて
いる。
２つの電子ビーム発生装置、すなわち第１の電子ビーム
発生装置４と、第２の電子ビーム発生装置１７からなっ
ている。これらは、いずれも電子銃１１を備え、この電
子銃１１から電子ビームを発射し、この電子ビームをル
ツボ３内の磁性金属に照射するようになっている。第２
の電子ビーム発生装置１７は、２７０度の偏向電子ビー
ムを発射するようになっている。これは、ルツボ３の第
２の底部側の一側側面にＮ磁極が、他側側面にＳ磁極が
それぞれ設けられ、Ｎ極からＳ極へ向かう磁力線により
電子ビームの進路が曲げられることによって行なわれ、
これによって、この第２の電子ビーム発生装置１７は、
第２の底部１４に係る磁性金属に電子ビームを照射する
ようになっている。また、第１の電子ビーム発生装置４
は、第１の底部１３に係る磁性金属に照射するように備
わっている。両電子ビーム発生装置から発射される電子
ビームが、互いに干渉しないように、２つの電子ビーム
は適当な間隔、例えば５〜１０ｃｍの間隔が空けられて
いる。
【００１９】別の遮蔽板１２が冷却キャン８の下方に冷
却キャンに接近して配設され、その先端は冷却キャンの
最下端より少し上昇した位置にある。
却キャンに接近して配設され、その先端は冷却キャンの
最下端より少し上昇した位置にある。
【００２０】このように構成された本発明装置におい
て、磁性金属の蒸発に伴い、ペレット状の磁性金属１０
が磁性金属供給装置１６より供給される。これら磁性金
属１０は、第２の底部１４に係るルツボ領域にその上方
より供給され、第２の電子ビーム発生装置１７より発射
される電子ビームの照射を受けて融解し、その融解液は
第１の底部１３の領域に流れて行く。第２の底部１４は
底が浅いため、第２の底部の磁性金属は電子ビームの照
射を充分に受けられ、効果的に融解されると共に、上か
ら磁性金属を投入してもはね返りは少ない。また、はね
返りがあったとしても、遮蔽板１５により、テープ５へ
の付着が阻止される。第１の底部１３側の融解液は、第
１の電子ビーム発生装置４より発射される電子ビームの
照射を受けて蒸発を続ける。
て、磁性金属の蒸発に伴い、ペレット状の磁性金属１０
が磁性金属供給装置１６より供給される。これら磁性金
属１０は、第２の底部１４に係るルツボ領域にその上方
より供給され、第２の電子ビーム発生装置１７より発射
される電子ビームの照射を受けて融解し、その融解液は
第１の底部１３の領域に流れて行く。第２の底部１４は
底が浅いため、第２の底部の磁性金属は電子ビームの照
射を充分に受けられ、効果的に融解されると共に、上か
ら磁性金属を投入してもはね返りは少ない。また、はね
返りがあったとしても、遮蔽板１５により、テープ５へ
の付着が阻止される。第１の底部１３側の融解液は、第
１の電子ビーム発生装置４より発射される電子ビームの
照射を受けて蒸発を続ける。
【００２１】送りロール６より送り出されてこの蒸発領
域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の斜方蒸着を受
けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に斜
方磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７により
巻取られる。
域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の斜方蒸着を受
けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に斜
方磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７により
巻取られる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上述べたように構成されて
いるので、磁性材料を供給するに際し、磁性材料の融解
液のはね返りの少ない、かつ供給に起因する融解液の温
度変化が極力抑制された磁気記録媒体の製造装置が実現
でき、その結果良質の磁気記録媒体が得られるものであ
る。
いるので、磁性材料を供給するに際し、磁性材料の融解
液のはね返りの少ない、かつ供給に起因する融解液の温
度変化が極力抑制された磁気記録媒体の製造装置が実現
でき、その結果良質の磁気記録媒体が得られるものであ
る。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 第１の電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １３ 第１の底部 １４ 第２の底部 １５ 遮蔽板 １６ 磁性金属供給装置 １７ 第２の電子ビーム発生装置
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容するルツボと、該ルツボの磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記ルツボは、第１の底部と、該第１の底部よりも上位
にある第２の底部とからなる段付底部を具備し、 前記電子ビーム発生装置は、少なくとも２つの電子ビー
ム発生装置からなり、第１の電子ビーム発生装置は、前
記第１の底部に係る磁性材料に照射するように備わり、
また第２の電子ビーム発生装置は、前記第２の底部に係
る磁性材料に照射するように備わり、 前記第２の底部に係るルツボの領域の上方かつ被蒸着材
の下方に遮蔽板が配設され、 該遮蔽板とルツボの間より前記第２の底部に係るルツボ
の領域にペレット状の磁性材料を供給する磁性材料供給
装置が備わることを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15501193A JPH0714162A (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15501193A JPH0714162A (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714162A true JPH0714162A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15596738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15501193A Pending JPH0714162A (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714162A (ja) |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP15501193A patent/JPH0714162A/ja active Pending
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