JPH0798861A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH0798861A JPH0798861A JP24437793A JP24437793A JPH0798861A JP H0798861 A JPH0798861 A JP H0798861A JP 24437793 A JP24437793 A JP 24437793A JP 24437793 A JP24437793 A JP 24437793A JP H0798861 A JPH0798861 A JP H0798861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- molten metal
- plate
- alloy
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高性能な磁気記録媒体を効率良く得ることが
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する磁気記録媒体の製造
装置であって、板状に構成された金属材料と、この板状
金属材料を溶湯上の所定位置に供給する供給手段とを具
備し、前記供給手段により板状金属材料を溶湯の所定位
置に供給、溶融させ、前記容器内の溶湯量の減少を補え
るように構成した磁気記録媒体の製造装置。
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する磁気記録媒体の製造
装置であって、板状に構成された金属材料と、この板状
金属材料を溶湯上の所定位置に供給する供給手段とを具
備し、前記供給手段により板状金属材料を溶湯の所定位
置に供給、溶融させ、前記容器内の溶湯量の減少を補え
るように構成した磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体の
製造装置に関するものである。
製造装置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
【０００３】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
【０００４】このような蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図５のように構成されているものが一般的
である。尚、図５中、３１は冷却キャン、３２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、３３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、３４は遮蔽
板、３５はルツボ、３６は磁性合金、３７は電子銃、３
８は真空容器、３９は供給装置である。すなわち、真空
容器３８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃
３７を作動させてルツボ３５内の磁性合金３６を蒸発さ
せ、ＰＥＴフィルムに対して磁性合金３６を堆積（蒸
着）させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
製造装置は、図５のように構成されているものが一般的
である。尚、図５中、３１は冷却キャン、３２はポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給側ロー
ル、３３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、３４は遮蔽
板、３５はルツボ、３６は磁性合金、３７は電子銃、３
８は真空容器、３９は供給装置である。すなわち、真空
容器３８内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃
３７を作動させてルツボ３５内の磁性合金３６を蒸発さ
せ、ＰＥＴフィルムに対して磁性合金３６を堆積（蒸
着）させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
【０００５】ところで、このような製造装置において長
尺状のＰＥＴフィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる
場合、長さ方向の特性が変わらないようにする為、ルツ
ボ３５内の磁性合金３６の液面の高さが常時一定となる
ようにする必要がある。この為、供給装置３９により、
ルツボ３５に磁性合金の塊、いわゆるペレット３６ａを
絶えず供給している。
尺状のＰＥＴフィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる
場合、長さ方向の特性が変わらないようにする為、ルツ
ボ３５内の磁性合金３６の液面の高さが常時一定となる
ようにする必要がある。この為、供給装置３９により、
ルツボ３５に磁性合金の塊、いわゆるペレット３６ａを
絶えず供給している。
【０００６】しかし、従来の製造装置では、ペレット３
６ａが粒状である為、ルツボ３５にペレット３６ａを供
給する際、蒸発部分の液面が振動して磁性合金が一定の
厚さで基体に堆積せず、又、ルツボ３５内で溶融してい
る液が跳ねて基体上に付着したりしていた。更に、ペレ
ット３６ａがルツボ３５に瞬間的に落ち込むので、溶湯
温度が瞬間的に低下し、成膜レートが瞬間的に下がった
り、又、突沸してしまう場合があった。
６ａが粒状である為、ルツボ３５にペレット３６ａを供
給する際、蒸発部分の液面が振動して磁性合金が一定の
厚さで基体に堆積せず、又、ルツボ３５内で溶融してい
る液が跳ねて基体上に付着したりしていた。更に、ペレ
ット３６ａがルツボ３５に瞬間的に落ち込むので、溶湯
温度が瞬間的に低下し、成膜レートが瞬間的に下がった
り、又、突沸してしまう場合があった。
【０００７】この為、ＰＥＴフィルム上に堆積する磁性
膜に欠陥が引き起こされ、高性能な磁気記録媒体が得ら
れないと言う問題があった。
膜に欠陥が引き起こされ、高性能な磁気記録媒体が得ら
れないと言う問題があった。
【０００８】
【発明の開示】本発明の目的は、高性能な磁気記録媒体
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する磁
気記録媒体の製造装置であって、板状に構成された金属
材料と、この板状金属材料を溶湯上の所定位置に供給す
る供給手段とを具備し、前記供給手段により板状金属材
料を溶湯の所定位置に供給、溶融させ、前記容器内の溶
湯量の減少を補えるように構成したことを特徴とする磁
気記録媒体の製造装置によって達成される。
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する磁
気記録媒体の製造装置であって、板状に構成された金属
材料と、この板状金属材料を溶湯上の所定位置に供給す
る供給手段とを具備し、前記供給手段により板状金属材
料を溶湯の所定位置に供給、溶融させ、前記容器内の溶
湯量の減少を補えるように構成したことを特徴とする磁
気記録媒体の製造装置によって達成される。
【０００９】尚、この磁気記録媒体の製造装置には、板
状金属材料を加熱する加熱手段、板状金属材料を容器内
に導くガイド手段、板状金属材料の供給速度を制御する
制御手段を必要に応じて具備してなるものが好ましい。
そして、上記のように構成させた本発明は、作業の進行
に伴って減少する容器内の材料の補給を板状の形態で行
うので、補給が連続的になされ、従来のようにポツン、
ポツンと溶湯内に落ちるといったものではなく、従って
液跳ねが起きることがなく、かつ、溶湯に波が立つとい
ったこともない。更に、溶湯温度が急激に低下といった
不都合も起きず、成膜レートが大幅に変動することもな
い。
状金属材料を加熱する加熱手段、板状金属材料を容器内
に導くガイド手段、板状金属材料の供給速度を制御する
制御手段を必要に応じて具備してなるものが好ましい。
そして、上記のように構成させた本発明は、作業の進行
に伴って減少する容器内の材料の補給を板状の形態で行
うので、補給が連続的になされ、従来のようにポツン、
ポツンと溶湯内に落ちるといったものではなく、従って
液跳ねが起きることがなく、かつ、溶湯に波が立つとい
ったこともない。更に、溶湯温度が急激に低下といった
不都合も起きず、成膜レートが大幅に変動することもな
い。
【００１０】従って、磁性材料の蒸発が安定しており、
支持体上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こされ難く、
高性能な磁気記録媒体が生産効率良く得られ、磁気記録
媒体が低コストで得られる。以下、具体的実施例を挙げ
て説明する。
支持体上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こされ難く、
高性能な磁気記録媒体が生産効率良く得られ、磁気記録
媒体が低コストで得られる。以下、具体的実施例を挙げ
て説明する。
【００１１】
【実施例】図１〜図４は本発明になる磁気記録媒体の製
造装置の実施例を示すもので、図１は磁気記録媒体の製
造装置全体の概略図、図２は要部の斜視図、図３は要部
の断面図、図４は板状磁性合金の斜視図である。各図
中、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィルムなどの非磁性
の支持体、３ａは支持体２の供給側ロール、３ｂは支持
体２の巻取側ロール、４は遮蔽板、５はＣｏ−Ｎｉ磁性
合金、６は電子銃、７は真空容器である。
造装置の実施例を示すもので、図１は磁気記録媒体の製
造装置全体の概略図、図２は要部の斜視図、図３は要部
の断面図、図４は板状磁性合金の斜視図である。各図
中、１は冷却キャン、２はＰＥＴフィルムなどの非磁性
の支持体、３ａは支持体２の供給側ロール、３ｂは支持
体２の巻取側ロール、４は遮蔽板、５はＣｏ−Ｎｉ磁性
合金、６は電子銃、７は真空容器である。
【００１２】８は耐熱性に優れたセラミックス材料で構
成されたルツボである。そして、このルツボ８の形状
は、図２、図３に示す如くの形状に構成され、後述する
板状磁性合金９が供給される側の内壁８ａは滑らかに傾
斜している。９はルツボ８に供給されるＣｏ−Ｎｉ磁性
合金からなる板状磁性合金であり、図４に示す如く形成
されている。尚、その厚さは、加熱された際に溶融し易
いよう、例えば０．５ｍｍ〜５ｍｍといった程度であ
る。そして、板状磁性合金９の片側には、一端に磁性金
属１０が設けられた耐熱性に富むＷやＳｉＣ製等の紐１
１が取り付けられている。
成されたルツボである。そして、このルツボ８の形状
は、図２、図３に示す如くの形状に構成され、後述する
板状磁性合金９が供給される側の内壁８ａは滑らかに傾
斜している。９はルツボ８に供給されるＣｏ−Ｎｉ磁性
合金からなる板状磁性合金であり、図４に示す如く形成
されている。尚、その厚さは、加熱された際に溶融し易
いよう、例えば０．５ｍｍ〜５ｍｍといった程度であ
る。そして、板状磁性合金９の片側には、一端に磁性金
属１０が設けられた耐熱性に富むＷやＳｉＣ製等の紐１
１が取り付けられている。
【００１３】１２は板状磁性合金９をルツボ８内に導く
ガイド板であり、図２、図３に示す如く、内壁８ａに沿
うように傾斜して配設されている。尚、１２ａはガイド
板１２を支える支柱である。１３はモータ、１４はモー
タ１３で回転する回転軸、１５は回転軸１４に巻かれて
いる紐、１６はガイド板１２の上端部に設けられた滑車
である。尚、紐１５の一部は、滑車１６を介してガイド
板１２上に在り、紐１５の先端には電磁石１７が設けら
れている。
ガイド板であり、図２、図３に示す如く、内壁８ａに沿
うように傾斜して配設されている。尚、１２ａはガイド
板１２を支える支柱である。１３はモータ、１４はモー
タ１３で回転する回転軸、１５は回転軸１４に巻かれて
いる紐、１６はガイド板１２の上端部に設けられた滑車
である。尚、紐１５の一部は、滑車１６を介してガイド
板１２上に在り、紐１５の先端には電磁石１７が設けら
れている。
【００１４】そして、回転軸１３がルツボ８内のＣｏ−
Ｎｉ磁性合金の蒸発速度に合わせて回転するように構成
されているので、板状磁性合金９はガイド板１２に沿っ
て自重でルツボ８内に移動するように構成されている。
１８は補助電子銃である。この補助電子銃１８は板状磁
性合金９の溶湯側先端部に電子ビーム１８ａを照射し、
板状磁性合金９の溶湯側先端部が溶融して行くようにな
っている。
Ｎｉ磁性合金の蒸発速度に合わせて回転するように構成
されているので、板状磁性合金９はガイド板１２に沿っ
て自重でルツボ８内に移動するように構成されている。
１８は補助電子銃である。この補助電子銃１８は板状磁
性合金９の溶湯側先端部に電子ビーム１８ａを照射し、
板状磁性合金９の溶湯側先端部が溶融して行くようにな
っている。
【００１５】１９は板状磁性合金９を搬送するアーム、
２０は板状磁性合金９を収容する収容ホルダー、２１は
残った磁性金属１０を収容する廃棄ホルダーである。ア
ーム１９は、収容ホルダー２０とガイド板１２との間、
廃棄ホルダー２１とガイド板１２との間を移動できるよ
うに構成されている。そして、板状磁性合金９が完全に
溶融されると、アーム１９がガイド板１２上に残ってい
る磁性金属１０を廃棄ホルダー２１に投棄し、そして新
しい板状磁性合金９を収容ホルダー２０から取り出して
ガイド板１２上に搬送し、電磁石１７に装着するように
なっている。
２０は板状磁性合金９を収容する収容ホルダー、２１は
残った磁性金属１０を収容する廃棄ホルダーである。ア
ーム１９は、収容ホルダー２０とガイド板１２との間、
廃棄ホルダー２１とガイド板１２との間を移動できるよ
うに構成されている。そして、板状磁性合金９が完全に
溶融されると、アーム１９がガイド板１２上に残ってい
る磁性金属１０を廃棄ホルダー２１に投棄し、そして新
しい板状磁性合金９を収容ホルダー２０から取り出して
ガイド板１２上に搬送し、電磁石１７に装着するように
なっている。
【００１６】次に、上記のように構成させた装置を用い
て磁気記録媒体を製造する工程について説明する。ま
ず、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した後、
電子銃６を作動させて電子ビーム６ａを照射し、ルツボ
８内の磁性合金５を蒸発させ、支持体２に対して磁性合
金の粒子を斜め蒸着させる。
て磁気記録媒体を製造する工程について説明する。ま
ず、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した後、
電子銃６を作動させて電子ビーム６ａを照射し、ルツボ
８内の磁性合金５を蒸発させ、支持体２に対して磁性合
金の粒子を斜め蒸着させる。
【００１７】蒸発により磁性合金５が減って行くにつれ
て板状磁性合金９がガイド板１２に沿って自重でルツボ
８内に移動して行く。移動して来た板状磁性合金９の先
端部は、補助電子銃１８に加熱されて溶融され、ルツボ
８内にゆっくりと供給される。従って、溶湯に波が立た
ず、又、予め加熱されてから溶湯内に供給されるので、
溶湯温度を大幅に低下させることもない。
て板状磁性合金９がガイド板１２に沿って自重でルツボ
８内に移動して行く。移動して来た板状磁性合金９の先
端部は、補助電子銃１８に加熱されて溶融され、ルツボ
８内にゆっくりと供給される。従って、溶湯に波が立た
ず、又、予め加熱されてから溶湯内に供給されるので、
溶湯温度を大幅に低下させることもない。
【００１８】板状磁性合金９がなくなると、アーム部１
９が移動して残った磁性金属１０を廃棄ホルダー２１に
投棄し、新しい板状磁性合金９を収容ホルダー２０から
取り出して電磁石１７に装着する。そして、新しい板状
磁性合金９を溶湯まで移動させ、再び供給を開始する。
このように、蒸着作業が行われている時に磁性合金が溶
湯内に絶えず供給されるので、磁性合金がなくなった為
に途中で蒸着作業を中断しなければならないといったこ
とはなく、効率良く磁性膜を形成でき、しかも材料供給
によって溶湯面が変動を受けるといったものではないか
ら、磁性膜は綺麗に形成できるようになり、高品質な磁
気記録媒体が歩留り良く製造される。
９が移動して残った磁性金属１０を廃棄ホルダー２１に
投棄し、新しい板状磁性合金９を収容ホルダー２０から
取り出して電磁石１７に装着する。そして、新しい板状
磁性合金９を溶湯まで移動させ、再び供給を開始する。
このように、蒸着作業が行われている時に磁性合金が溶
湯内に絶えず供給されるので、磁性合金がなくなった為
に途中で蒸着作業を中断しなければならないといったこ
とはなく、効率良く磁性膜を形成でき、しかも材料供給
によって溶湯面が変動を受けるといったものではないか
ら、磁性膜は綺麗に形成できるようになり、高品質な磁
気記録媒体が歩留り良く製造される。
【００１９】尚、上記の実施例では、本装置を磁性膜の
形成に用いた場合であるが、バックコート膜を金属薄膜
で形成する場合にも用いられる。
形成に用いた場合であるが、バックコート膜を金属薄膜
で形成する場合にも用いられる。
【００２０】
【効果】本発明によれば、材料が溶湯内に供給された
際、液跳ねが起きず、しかも溶湯に波立ちも起きず、蒸
発部分での液面状態は極めて安定している。又、溶湯温
度が急激に低下するといったこともない。従って、安定
した蒸発を長時間にわたって連続して行わせることが出
来、高品質な膜を効率よく得ることが出来、例えば高性
能な磁気記録媒体を低コストで得ることが出来る。
際、液跳ねが起きず、しかも溶湯に波立ちも起きず、蒸
発部分での液面状態は極めて安定している。又、溶湯温
度が急激に低下するといったこともない。従って、安定
した蒸発を長時間にわたって連続して行わせることが出
来、高品質な膜を効率よく得ることが出来、例えば高性
能な磁気記録媒体を低コストで得ることが出来る。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置全体の概
略図
略図
【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の斜
視図
視図
【図３】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の平
面図
面図
【図４】本発明になる板状磁性合金の斜視図
【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
１ 冷却キャン ２ 支持体 ３ａ 供給側ロール ３ｂ 巻取側ロール ５ 磁性合金 ６ 電子銃 ８ ルツボ ９ 板状磁性合金 １２ ガイド板 １８ 補助電子銃 １９ アーム ２０ 収容ホルダー ２１ 廃棄ホルダー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に
堆積させることにより金属膜を構成する磁気記録媒体の
製造装置であって、 板状に構成された金属材料と、この板状金属材料を溶湯
上の所定位置に供給する供給手段とを具備し、 前記供給手段により板状金属材料を溶湯の所定位置に供
給、溶融させ、前記容器内の溶湯量の減少を補えるよう
に構成したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項２】 板状金属材料を加熱する加熱手段を具備
してなることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製
造装置。 - 【請求項３】 板状金属材料を容器内に導くガイド手段
を具備してなることを特徴とする請求項１の磁気記録媒
体の製造装置。 - 【請求項４】 板状金属材料の供給速度を制御する制御
手段を具備してなることを特徴とする請求項１の磁気記
録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24437793A JPH0798861A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24437793A JPH0798861A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798861A true JPH0798861A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17117782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24437793A Pending JPH0798861A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798861A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725039B1 (ko) * | 2005-10-27 | 2007-06-07 | 세메스 주식회사 | 유기물 증발기 및 유기물 증발방법, 그리고 상기 유기물 증발기를 구비하는 유기물 증착 장치 |
| KR100773567B1 (ko) * | 2006-07-06 | 2007-11-07 | 세메스 주식회사 | 증착물질 공급 장치 |
| KR20080007823A (ko) * | 2006-07-18 | 2008-01-23 | 세메스 주식회사 | 메탈 증착원의 증착물질 공급 장치 |
| JP2008144240A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
| JP2010265498A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24437793A patent/JPH0798861A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725039B1 (ko) * | 2005-10-27 | 2007-06-07 | 세메스 주식회사 | 유기물 증발기 및 유기물 증발방법, 그리고 상기 유기물 증발기를 구비하는 유기물 증착 장치 |
| KR100773567B1 (ko) * | 2006-07-06 | 2007-11-07 | 세메스 주식회사 | 증착물질 공급 장치 |
| KR20080007823A (ko) * | 2006-07-18 | 2008-01-23 | 세메스 주식회사 | 메탈 증착원의 증착물질 공급 장치 |
| JP2008144240A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
| JP2010265498A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0798861A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JP2003231963A (ja) | 真空蒸着方法とその装置 | |
| JPH0377874B2 (ja) | ||
| JP2004211110A (ja) | 蒸着用るつぼ、蒸着装置および蒸着方法 | |
| EP0887435B1 (en) | Free-standing rotating evaporation source | |
| JPH08100252A (ja) | 成膜装置 | |
| JPH0798865A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0790554A (ja) | 成膜装置 | |
| JP2002155354A (ja) | 蒸発装置及び蒸発装置への原料供給方法、並びに磁気記録媒体の製造装置及び磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2618695B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0369990B2 (ja) | ||
| JPH08102067A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPS63161169A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0785474A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JP4212338B2 (ja) | 金属物の蒸着方法及び装置 | |
| JP2634487B2 (ja) | イオンプレーティングによる耐摩耗性被膜形成法 | |
| JPH04103760A (ja) | 昇華性金属の真空蒸着装置 | |
| JPH08246149A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP3818719B2 (ja) | 可撓性支持体への蒸着方法 | |
| JPH0995775A (ja) | 連続真空蒸着装置のるつぼ機構 | |
| JPH0892734A (ja) | Ｍｇの蒸発方法 | |
| JPH04212717A (ja) | 真空蒸着方法及び装置 | |
| JPS6358622A (ja) | 金属薄膜の生成装置 | |
| JPH0798868A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH06101030A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |