JP2002155354A - 蒸発装置及び蒸発装置への原料供給方法、並びに磁気記録媒体の製造装置及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 融液に原料を供給する際の原料や融液への悪
影響を抑制すると共に、蒸発を停止した場合の原料のロ
スを低く抑えることができる蒸発装置及びこの蒸発装置
への原料供給方法、並びにこの蒸発装置を適用して蒸着
によって磁性層を形成する磁気記録媒体の製造装置及び
磁気記録媒体の製造方法を提供する。 【解決手段】 金属原料の融液２３に電子ビーム１１を
照射して金属原料の融液２３を蒸発させる装置、或いは
非磁性支持体上に金属磁性膜からなる磁性層が形成され
た磁気記録媒体を金属磁性材料を非磁性支持体上に蒸着
して形成する装置において、金属原料又は金属磁性材料
を棒状に加工したロッド３１の一端に凸部３１Ａを他端
に凹部３１Ｂをそれぞれ設けて、この凸部３１Ａと凹部
３１Ｂにより複数のロッド３１を繋ぐことが可能な構成
として、ロッド３１を融液２３へ供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、原料例えば金属を
蒸発させる蒸発装置及びこの蒸発装置への原料供給方
法、並びに非磁性支持体に金属磁性膜から成る磁性層が
形成された磁気記録媒体を金属磁性膜を蒸着して製造す
る製造装置及びこの磁気記録媒体の製造方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】金属の真空溶融や真空蒸着等で用いられ
る蒸発装置としては、金属原料を収容するるつぼを真空
雰囲気中に設置し、例えば電子銃により加速された電子
ビームを直流磁場により偏向して金属原料に衝突させる
ことにより、そのときのエネルギーを加熱源として金属
原料を溶融させて融液を形成し、さらに融液を蒸発させ
るようにしたものが知られている。

【０００３】そして、例えば非磁性支持体上に金属磁性
膜から成る磁性層を形成した磁気記録媒体を製造する場
合には、上述の蒸発装置の構成を適用した真空蒸着装置
を使用して、非磁性支持体に金属磁性膜を蒸着すること
が行われている。これにより、非磁性支持体上に金属磁
性膜が蒸着により均一に形成された磁気記録媒体いわゆ
る蒸着テープを製造することができる。

【０００４】ところで、上述した構成の蒸発装置におい
ては、蒸発が進行するにつれて、るつぼ内の金属原料は
徐々に減少するため、金属原料の減量に対して新たに固
体金属原料を補給する必要がある。

【０００５】このような金属原料（金属単体又は合金材
料）をるつぼ内へ補給するための原料供給方式として
は、一般的には直径１０ｍｍ程度で長さが数１０ｍｍ程
度のペレット状の金属原料（金属単体又は合金材料）即
ちいわゆるインゴットを一定間隔でるつぼ内へ向けて投
入するペレット供給方式、直径６０〜８０ｍｍの棒状に
加工された金属原料（金属単体又は合金材料）を供給す
るロッドフィード方式（ロッド供給方式）等が考えられ
ている。

【０００６】このうちペレット供給方式の一例を図８に
示す。図８Ａはるつぼの長手方向から見た一部内部を示
す側面図であり、図８Ｂはるつぼの長手方向に垂直な方
向から見た一部内部を示す側面図である。るつぼ５１
は、細長い略直方体形状を有し、中心部に細長い溝５２
が形成されている。溝５２内には金属原料の融液５３が
収納されている。

【０００７】そして、この図８の場合には、金属原料を
成形したペレット（インゴット）６１が上部より自由落
下して、るつぼ５１の溝５２の両端部に供給される構成
となっている。具体的には、例えばるつぼ５１の上方に
ペレット６１を多数収納した容器（図示せず）を配置し
て、この容器に開口を空ける等の方法によりペレット６
１をるつぼ５１に向けて落下させることができる。

【０００８】図８に示す構成の他にも、例えばペレット
６１を自由落下させる代わりに、樋状の部材等の供給手
段を使ってペレット６１をるつぼ５１へ落下させる構成
も可能である。

【０００９】このようなペレット供給方式によれば、ペ
レットの数を増やすだけで供給量を増やすことが容易に
でき、長時間の連続生産を行うことが可能になる。ま
た、原料の供給が少量のペレット単位で行われるため、
またペレット収納容器に残ったペレットは再使用が可能
であるため、生産終了時の原料のロスがかなり少なくな
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ペレッ
ト供給方式では、図９に示すように、ペレット６１が融
液５３の表面に落下したときに、金属原料のかけら６２
が跳ねるいわゆるハネが発生したり、融液５３の表面に
おけるいわゆる暴れやスプラッシュが生じることがあ
る。このため、磁気記録媒体のベースフィルムに磁性金
属を蒸着する場合には、ベースフィルムに磁性金属の蒸
気の他に磁性金属の塊も付着してしまうことがある。

【００１１】一方、ロッドフィード方式（ロッド供給方
式）の一例を図１０に示す。この図１０に示す場合は、
長い１本のロッドを用いて原料を供給する構成となって
いる。るつぼ５１の長手方向に平行に、るつぼ５１の右
側から金属原料のロッド７１を供給している。ロッド７
１は、例えばコロ状のガイド７２に沿って矢印に示すよ
うに送り込まれる。そして、ロッド７１の先端部が電子
ビーム（図示せず）によって溶融されることにより、る
つぼ５１の溝５２内の融液５３に、原料が補給される。

【００１２】このようにロッドフィード方式では、るつ
ぼ５１内の融液５３に近い、低い位置で金属原料が供給
されるため、金属原料のハネがほとんど発生しない。

【００１３】ところで、ロッドフィード方式において、
図１０に示したように１本のロッド７１で供給する構成
では、例えば１２０００ｍ程度の長尺の蒸着テープの原
反を製造する場合等、融液５３の蒸発量を多くしようと
すると、ロッド７１の長さをかなり長くする必要があ
る。しかしながら、蒸発装置内の真空槽の限られた空間
内では、ロッド７１の長さを長くするには限界がある。

【００１４】また、途中で何らかの理由で融液５３の蒸
発を停止させた場合には、ロッド７１の溶融した先端部
が周囲にくっつくことがある。

【００１５】そして、特に蒸着装置においては、一般的
にシャッタ等を含む蒸着部は着脱可能なようにユニット
化されていることが多く、これにより蒸着部のユニット
を蒸着装置から取り出して壁に付着した蒸着膜等の清掃
を行うことが可能となっている。このとき、長いロッド
７１の先端部が周囲にくっついていると、ロッド７１の
後端部側が引っかかって蒸着部のユニットが取り出せな
くなるおそれがある。

【００１６】また、融液５３の蒸発を再開させる際に
は、先端部がくっついた古いロッド７１を除去して新し
いロッド７１に取り替えて原料供給する必要があるた
め、長いロッド７１では原料（磁性金属等）のロスが大
きくなる。

【００１７】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、融液に原料を供給する際の原料や融液への悪影
響を抑制すると共に、蒸発を停止した場合の原料のロス
を低く抑えることができる蒸発装置及びこの蒸発装置へ
の原料供給方法、並びにこの蒸発装置を適用して蒸着に
よって磁性層を形成する磁気記録媒体の製造装置及び磁
気記録媒体の製造方法を提供するものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明の蒸発装置は、金
属原料の融液に電子ビームを照射して金属原料の融液を
蒸発させる装置であって、金属原料の融液を収納するる
つぼと、電子ビームを放出する電子銃と、金属原料を棒
状に加工したロッドを融液へ供給するロッド供給部と、
交換用のロッドを貯蔵するロッド貯蔵部とを備え、ロッ
ドの一端に凸部が他端に凹部がそれぞれ設けられて、凸
部及び凹部とにより複数のロッドを繋いで固定すること
が可能に構成され、電子銃から放出された電子ビームを
るつぼ内の融液に照射して融液を蒸発させるものであ
る。

【００１９】上述の本発明の蒸発装置の構成によれば、
ロッドの一端に凸部が他端に凹部がそれぞれ設けられ
て、凸部及び凹部とにより複数のロッドを繋いで固定す
ることが可能に構成されていることにより、ロッド１本
の長さを短くしても本数を増やすことにより金属原料の
供給量を多くすることが可能になる。ロッドが短いと金
属原料の単位供給量を低減することができる。またロッ
ドの端に凸部と凹部を設けて複数のロッドを繋ぐことが
可能であるので、融けて短くなったロッドに次のロッド
を繋げて、この次のロッドを例えば押すことにより、容
易に継続して金属原料を供給することができる。この次
のロッドはロッド貯蔵部に貯蔵しておくことにより、交
換可能とすることができる。

【００２０】本発明の蒸発装置への原料供給方法は、金
属原料の融液に電子ビームを照射して該金属原料の融液
を蒸発させる蒸発装置へ原料を供給する際に、金属原料
を棒状に加工したロッドの一端に凸部を他端に凹部をそ
れぞれ設け、一のロッドの凸部と他のロッドの凹部とを
繋いで固定した状態で、ロッドを融液に対して供給する
ものである。

【００２１】上述の本発明の蒸発装置への原料供給方法
によれば、金属原料を棒状に加工したロッドの一端に凸
部を他端に凹部をそれぞれ設け、一のロッドの凸部と他
のロッドの凹部とを繋いで固定した状態で、ロッドを融
液に対して供給することにより、ロッドを融液に近い位
置で供給することが可能であると共に、融けて短くなっ
たロッドに次のロッドを繋げて、この次のロッドを例え
ば押すことにより、容易に継続して金属原料を供給する
ことができる。また、ロッド１本の長さを短くしても本
数を増やすことにより金属原料の供給量を多くすること
が可能になる。ロッドが短いと金属原料の単位供給量を
低減することができる。

【００２２】本発明の磁気記録媒体の製造装置は、非磁
性支持体上に金属磁性膜からなる磁性層が形成された磁
気記録媒体を製造するものであり、金属磁性材料の融液
を収納するるつぼと、電子ビームを放出する電子銃と、
金属磁性材料を棒状に加工したロッドを融液へ供給する
ロッド供給部と、交換用のロッドを貯蔵するロッド貯蔵
部とを備え、ロッドの一端に凸部が他端に凹部がそれぞ
れ設けられて、凸部及び凹部とにより複数のロッドを繋
いで固定することが可能に構成され、電子銃から放出さ
れた電子ビームをるつぼ内の融液に照射して、融液を蒸
発させることにより、非磁性支持体上に金属磁性膜を蒸
着させるものである。

【００２３】上述の本発明の磁気記録媒体の製造装置の
構成によれば、ロッドの一端に凸部が他端に凹部がそれ
ぞれ設けられて、凸部及び凹部とにより複数のロッドを
繋いで固定することが可能に構成されていることによ
り、ロッド１本の長さを短くしても本数を増やすことに
より金属磁性材料の供給量を多くすることが可能にな
る。ロッドが短いと金属磁性材料の単位供給量を低減す
ることができる。またロッドの端に凸部と凹部を設けて
複数のロッドを繋ぐことが可能であるので、融けて短く
なったロッドに次のロッドを繋げて、この次のロッドを
例えば押すことにより、容易に継続して金属磁性材料を
供給することができる。この次のロッドはロッド貯蔵部
に貯蔵しておくことにより、交換可能とすることができ
る。

【００２４】本発明の磁気記録媒体の製造方法は、非磁
性支持体上に金属磁性膜からなる磁性層が形成された磁
気記録媒体を製造する際に、金属磁性材料を棒状に加工
したロッドの一端に凸部を他端に凹部をそれぞれ設け、
一のロッドの凸部と他のロッドの凹部とを繋いで固定し
た状態で、ロッドを融液に対して供給し、るつぼ内の金
属磁性材料の融液に電子ビームを照射して、融液を蒸発
させることにより、非磁性支持体上に金属磁性膜を蒸着
させるものである。

【００２５】上述の本発明の磁気記録媒体の製造方法に
よれば、金属磁性材料を棒状に加工したロッドの一端に
凸部を他端に凹部をそれぞれ設け、一のロッドの凸部と
他のロッドの凹部とを繋いで固定した状態で、ロッドを
融液に対して供給することにより、ロッドを融液に近い
位置で供給することが可能であると共に、融けて短くな
ったロッドに次のロッドを繋げて、この次のロッドを例
えば押すことにより、容易に継続して金属磁性材料を供
給することができる。また、ロッド１本の長さを短くし
ても本数を増やすことにより金属磁性材料の供給量を多
くすることが可能になる。ロッドが短いと金属磁性材料
の単位供給量を低減することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】本発明は、金属原料の融液に電子
ビームを照射して金属原料の融液を蒸発させる蒸発装置
であって、金属原料の融液を収納するるつぼと、電子ビ
ームを放出する電子銃と、金属原料を棒状に加工したロ
ッドを融液へ供給するロッド供給部と、交換用のロッド
を貯蔵するロッド貯蔵部とを備え、ロッドの一端に凸部
が他端に凹部がそれぞれ設けられて、凸部及び凹部とに
より複数のロッドを繋いで固定することが可能に構成さ
れ、電子銃から放出された電子ビームをるつぼ内の融液
に照射して融液を蒸発させる蒸発装置である。

【００２７】本発明は、金属原料の融液に電子ビームを
照射して金属原料の融液を蒸発させる蒸発装置へ原料を
供給する方法であって、金属原料を棒状に加工したロッ
ドの一端に凸部を他端に凹部をそれぞれ設け、一のロッ
ドの凸部と他のロッドの凹部とを繋いで固定した状態
で、ロッドを融液に対して供給する蒸発装置への原料供
給方法である。

【００２８】本発明は、非磁性支持体上に金属磁性膜か
らなる磁性層が形成された磁気記録媒体を製造する装置
であって、金属磁性材料の融液を収納するるつぼと、電
子ビームを放出する電子銃と、金属磁性材料を棒状に加
工したロッドを融液へ供給するロッド供給部と、交換用
のロッドを貯蔵するロッド貯蔵部とを備え、ロッドの一
端に凸部が他端に凹部がそれぞれ設けられて、凸部及び
凹部とにより複数のロッドを繋いで固定することが可能
に構成され、電子銃から放出された電子ビームをるつぼ
内の融液に照射して、融液を蒸発させることにより、非
磁性支持体上に金属磁性膜を蒸着させる磁気記録媒体の
製造装置である。

【００２９】本発明は、非磁性支持体上に金属磁性膜か
らなる磁性層が形成された磁気記録媒体を製造する方法
であって、金属磁性材料を棒状に加工したロッドの一端
に凸部を他端に凹部をそれぞれ設け、一のロッドの凸部
と他のロッドの凹部とを繋いで固定した状態で、ロッド
を融液に対して供給し、るつぼ内の金属磁性材料の融液
に電子ビームを照射して、融液を蒸発させることによ
り、非磁性支持体上に金属磁性膜を蒸着させる磁気記録
媒体の製造方法である。

【００３０】図１は本発明を適用する蒸着装置の要部の
概略構成図を示す。この蒸着装置１は、例えば金属磁性
膜から成る磁性層を非磁性支持体上に蒸着によって形成
する磁気記録媒体（蒸着テープ等）の製造に用いて好適
なものである。蒸着装置１の内部には、壁等により外部
と遮断された真空槽２が形成される。この真空槽２で
は、内部を所定の真空度に保持しながら蒸着が行われ
る。

【００３１】真空槽２内にはクーリングロール５の斜め
下方にるつぼ２１が設けられている。また、図中左上部
にはるつぼ２１内の原料、この場合は金属磁性材料を蒸
発させるための電子ビーム１１を照射する電子銃３が取
り付けられる。また、電子銃３の下方には、電子ビーム
１１を走査させるためのスキャナー４が設けられてい
る。

【００３２】るつぼ２１の周囲は隔壁７等に囲まれた空
間となっており、この空間が蒸着部１０を構成してい
る。隔壁７には上部に窓７Ａ、図中右上部に開口７Ｂが
それぞれ設けられている。クーリングロール５とるつぼ
２１の間の隔壁７の内側にはシャッター８が配設されて
いる。このシャッター８は、隔壁７の開口７Ｂの一部及
びクーリングロール５の周面を走行するベースフィルム
３０の所定領域を覆うことが可能に構成されている。こ
のシャッター８により、蒸発した金属磁性材料がベース
フィルム３０に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着され
るようになっている。

【００３３】また、図１の蒸着装置１のるつぼ２１の概
略構成図を図２Ａ及び図２Ｂに示す。図２Ａはるつぼの
長手方向に平行な方向から見た図であり、図２Ｂはるつ
ぼの長手方向に垂直な方向から見た図である。るつぼ２
１は、細長い略直方体形状を有し、中心部に細長い溝２
２が形成されている。溝２２内には金属原料の融液２３
が収納されている。この融液２３を電子銃３から放出さ
れる電子ビーム１１を照射することによって蒸発させ
る。

【００３４】融液２３の斜め上方、即ち図１に示すよう
にクーリングロール５側に相当する部分には反射板２４
が設けられている。この反射板２４は、例えば原料が補
給されたとき等において融液２３が飛散してもベースフ
ィルム３０には融液２３が直接付着しないようにするも
のであり、耐熱性の材料例えばセラミックにより形成さ
れる。

【００３５】そして、電子銃３から放出された電子ビー
ム１１は、スキャナー４を通すことにより、後述する図
３に示すように、このるつぼ２１の溝２２の一端から他
端へ繰り返し走査される。これにより、融液２３から金
属磁性材料が蒸発して、クーリングロール５の周面を走
行するベースフィルム３０上に磁性層として被着形成さ
れる。

【００３６】ここで、図１の蒸着装置１を用いた場合に
おいて、例えば前述した蒸着テープを製造する際の金属
磁性膜の蒸着を行う蒸着工程を、以下に簡単に説明す
る。まず、ベースフィルム３０のロールを巻き出し部例
えば巻き出しロール（図示せず）にセットする。次に、
クーリングロール５によってベースフィルム３０を冷却
しながらベースフィルム３０を走行させる。例えばベー
スフィルム３０の走行速度を７０ｍ／分とする。そし
て、電子銃３からの電子ビーム１１をるつぼ２１内の金
属磁性材料の融液２３に照射して蒸発させて、ベースフ
ィルム３０に金属磁性膜から成る磁性層を形成する。最
後に、磁性層が形成されたベースフィルム３０を、順次
巻き取り部例えば巻き取りロール（図示せず）で巻き取
る。

【００３７】続いて、本発明の一実施の形態を説明す
る。本実施の形態は、図１及び図２に示した蒸着装置１
の構成において、るつぼ２１への原料供給方式として、
ロッドフィード方式を採用するものである。本発明の一
実施の形態のロッドフィード方式を示す概略構成図（一
部内部を示す側面図）を図３Ａ及び図３Ｂに示す。図３
Ａはるつぼ２１の長手方向に平行な方向から見た図であ
り、図３Ｂはるつぼ２１の長手方向に垂直な方向から見
た図である。

【００３８】本実施の形態では、特にロッドフィード方
式において、１本のロッド３１の長さを短くしている。
また、複数のロッド３１を繋ぎ合わせて使用するように
している。

【００３９】具体的には、図３Ｂに示すように、ロッド
３１の一端即ち先端部に凸部３１Ａを、他端即ち後端部
に凹部３１Ｂをそれぞれ設けている。そして、ロッド３
１の凹部３１Ｂは、他のロッド３１の凸部３１Ａをはめ
込んで２本のロッドを固定することが可能なように構成
されている。

【００４０】これにより、先方のロッド３１の凹部３１
Ｂに、後方のロッド３１の凸部３１Ａを組み込むことに
より、２本のロッド３１を繋いで継ぎ手ロッドを形成す
ることが可能になっている。また、２本のロッド３１が
固定されるので、先方のロッド３１の溶融が完了しない
うちに融液２３へ転がり落ちることを防止することがで
きる。

【００４１】以下、このように複数のロッド３１を繋い
で継ぎ手ロッドとして原料供給を行う原料供給方式を、
特に継ぎ手ロッドフィード方式と称する。

【００４２】１バッチ（例えば巻き出しロール１本）当
たりの磁性金属の消費量が例えば８０ｋｇとすると、図
１０に示した分割でない１本の長いロッド７１ではロッ
ドの長さがかなり長くなり、ロッド７１を収納するため
に大きなスペースを必要とする。これに対して、本実施
の形態の継ぎ手ロッドフィード方式では、１本のロッド
３１が短くなるため、スペースを節約することができ
る。

【００４３】ロッド３１の下方にはガイド３２Ａが設け
られ、ロッド３１の上方にはガイド３２Ｂが設けられて
いる。これらガイド３２Ａ，３２Ｂは断面円形状で、ロ
ッド３１を保持すると共に、コロのように中心軸の周囲
に回転可能に構成される。このように構成されているこ
とにより、ガイド３２Ａ，３２Ｂに沿ってロッド３１が
前方に供給される。この場合は、図３Ａに示すように、
上下のガイド３２Ａ，３２Ｂの形状が少し異なってお
り、下のガイド３２Ａはロッド３１の荷重を支えて、か
つスムーズにロッド３１が動くように略半円形の断面と
なっており、上のガイド３２Ｂは細長い略楕円形の断面
となっている。

【００４４】また、ガイド３２Ａ，３２Ｂの間の２本の
ロッド３１の右上方にある２本のロッド３１は、収納さ
れた予備のロッド３１を示す。この予備のロッド３１
は、ロッド３１を交換するロッドチェンジャー機構によ
り、ガイド３２Ａ，３２Ｂの間のロッド３１の通路に供
給される。ガイド３２Ａ，３２Ｂとその間の通路、並び
にロッドチェンジャー機構等によりロッド供給部が構成
される。

【００４５】ロッド３１の供給は、送り機構によりロッ
ド３１を前方に押し出して、電子ビーム１１の照射範囲
内にロッド３１を前進供給することにより行われる。電
子ビーム１１は図３中矢印で示すように走査させるの
で、斜線で示した部分に電子ビーム１１が来たときに、
ロッド３１の先端部が電子ビーム１１により加熱され
る。これにより、電子ビーム１１によってロッド３１の
先端部が加熱溶融されて、るつぼ２１内に融液として供
給される。

【００４６】次に、図４を参照してロッド３１の供給工
程を説明する。この図４では、ロッド３１を送る送り機
構として、先端が円錐状となった押し出し棒３３を使用
している。そして、この押し出し棒３３を前方に押し出
すことにより、ロッド３１を前方へ送ることができるも
のである。

【００４７】まず、図４Ａに示す状態では、２本のロッ
ド３１が繋がれて、後ろのロッド３１の凹部に押し出し
棒３３が挿入されている。その上の２本のロッド３１
は、ロッドチェンジャー機構に収納されたロッド３１で
ある。ロッド３１は必要な本数だけロッドチェンジャー
機構にストックしておく。

【００４８】この状態から、押し出し棒３３を前方に押
し出すことにより、ロッド３１を前方に押し出す。先方
のロッド３１の先端部は電子ビーム１１が照射されて溶
融される。これによりるつぼ２１内の融液２３に原料が
補給される。

【００４９】図４Ｂに示す状態では、前のロッド３１が
ある程度溶融されている。さらに、押し出し棒３３によ
りロッド３１を押し出すことにより、やがて図４Ｃに示
すように、前のロッド３１の溶融が完了して、後ろのロ
ッド３１の先端部が露出するようになる。

【００５０】次に、図４Ｄに示すように、押し出し棒３
３を後方に引き戻す。ロッド３１は前方に残ったままで
ある。

【００５１】続いて、図４Ｅに示すように、開いた空間
にロッドチェンジャー機構にストックされていたロッド
（次のロッド）３１をセットする。次に、図４Ｆに示す
ように、セットしたロッド（次のロッド）３１の後端の
凹部３１Ｂに押し出し棒３１を挿入する。

【００５２】そして、押し出し棒３３を押し出すことに
より、図４Ｇに示すように、先方のロッド３１に後方の
ロッド３１を押し込み２本のロッド３１を繋いで継ぎ手
とする。

【００５３】尚、押し出し棒３３は、高融点金属例えば
タングステンにより形成することが好ましい。少なくと
もロッド３１の材料よりも融点が充分高い材料を使用す
る。

【００５４】ここで、図５Ａ及び図５Ｂにロッド３１の
供給部に設けられるロッドチェンジャーの一形態を示
す。図５Ａは、回転式のロッドチェンジャーを示す。円
柱形状のロッドチェンジャー３４に、ロッド３１を収納
させるための孔４１が８個設けられている。そして、例
えば矢印で示す方向に回転させることにより、順次ロッ
ド３１を供給することができるものである。

【００５５】図５Ｂは、スライド式（ラック式）のロッ
ドチェンジャーを示す。垂直方向に長い直方体形状のロ
ッドチェンジャー３５に、ロッド３１を収納させるため
の孔４１が８個設けられている。そして、例えば矢印で
示す方向にスライドさせることにより、順次ロッド３１
を供給することができるものである。

【００５６】上述の本実施の形態によれば、原料供給方
式としてロッドフィード方式を採用していることによ
り、原料のロッド３１が融液２３に近い低い位置で供給
されるため、金属原料のハネがほとんど発生しない。

【００５７】また、本実施の形態によれば、１本のロッ
ド３１の長さは比較的短くすることができるため、限ら
れた真空槽２の空間内でスペース効率を有効に稼げる。
原料の単位供給量が短い１本のロッド３１に低減される
ため、不意に蒸着を一時停止した場合の原料のロスを低
減することができる。さらに、ロッド３１の本数を増や
すだけで、原料の供給量を容易に増やすことが可能であ
る。

【００５８】そして、先方のロッド３１の凹部３１Ｂ
に、後方のロッド３１の凸部３１Ａを組み込むことによ
り、２本のロッド３１を繋いで固定するので、先方のロ
ッド３１の溶融が完了しないうちに融液２３へ転がり落
ちることを防止することができる。

【００５９】続いて、本発明の他の実施の形態を図６に
示す。本実施の形態は、ロッド３１をるつぼ２１の両端
部から供給する場合である。図６に示すように、るつぼ
２１の長手方向の両側から、短いロッド３１を繋いだ継
ぎ手ロッドフィード方式で原料を供給する。両側のロッ
ドの供給部には、それぞれロッドチェンジャー機構即ち
例えば図５Ａまたは図５Ｂに示したロッドチェンジャー
３４または３５を設ける。

【００６０】本実施の形態によれば、先の実施の形態と
同様に、金属原料のハネを防止すると共に、一時停止し
た場合の原料のロスを低減することができる。

【００６１】また、長い１本のロッドの場合よりもロッ
ド供給部のためのスペースを節約することができる。こ
の場合、図３に示した片方から供給する場合よりも多少
供給部のスペースが増えるが、１本のロッド３１の長さ
が同じであれば単位時間当たりの原料供給量を図３の場
合の２倍にすることができる。

【００６２】続いて、本発明のさらに他の実施の形態を
図７に示す。図７Ａはるつぼ２１の長手方向に平行な方
向から見た図であり、図７Ｂはるつぼ２１の長手方向に
垂直な方向から見た図である。本実施の形態は、ロッド
３１をるつぼ２１の長手方向に垂直な方向から供給する
場合である。

【００６３】本実施の形態では、図１に示したクーリン
グロール５とは反対の側にロッド３１の供給部を配置し
て、るつぼ２１へロッド３１を供給する。本実施の形態
においても、ロッド３１の供給部にロッドチェンジャー
機構即ち例えば図５Ａまたは図５Ｂに示したロッドチェ
ンジャー３４または３５を設ける。尚、蒸着部の構成
は、ロッド３１の供給部の位置が変わるため、図１の蒸
着部１０とは異なる。

【００６４】尚、図７Ｂではるつぼ２１の一方の端部に
おいてロッド３１を供給するように構成されているが、
るつぼ２１の両端部においてるつぼ２１の長手方向に垂
直な方向からロッド３１を供給するように構成してもよ
い。

【００６５】本実施の形態によれば、先の実施の形態と
同様に、金属原料のハネを防止すると共に、一時停止し
た場合の原料のロスを低減することができる。また、長
い１本のロッドの場合よりもロッド供給部のためのスペ
ースを節約することができる。

【００６６】上述の各実施の形態では、蒸着テープ等の
磁気記録媒体に磁性層を形成するための蒸着装置に本発
明を適用した例であったが、その他金属原料の融液を蒸
発させる装置においても、本発明を適用することができ
る。例えば前述した金属を真空溶融させるための装置
に、本発明による継ぎ手ロッドフィード方式の原料供給
を行うことができる。

【００６７】ここで、ペレット供給方式（図８）、単一
ロッドフィード方式（図１０）、継ぎ手ロッドフィード
方式（本発明）のそれぞれの特徴をまとめると次のよう
になる。 （１）原料のロス量の比較 ペレット供給方式 ：ロス極小 単一ロッドフィード方式 ：ロス大 継ぎ手ロッドフィード方式：ロス小 （２）原料供給時のハネの発生状況の比較 ペレット供給方式 ：ペレット落下位置の上部に
コンスタントに発生有り 単一ロッドフィード方式 ：ほとんど発生しない 継ぎ手ロッドフィード方式：ほとんど発生しない （３）製造コストの比較 ペレット供給方式 ：一番高い 単一ロッドフィード方式 ：一番安い 継ぎ手ロッドフィード方式：単一ロッドフィード方式よ
りは高いが、ペレット供給方式より安い （４）スペース効率の比較 ペレット供給方式 ：効率が良い 単一ロッドフィード方式 ：効率が悪い 継ぎ手ロッドフィード方式：効率が良い

【００６８】このように本発明の継ぎ手ロッドフィード
方式は、原料のロスが少なく、原料のハネの発生がな
く、スペース効率が良いという利点を有している。そし
て、本発明の継ぎ手ロッドフィード方式は、製造コスト
を余り増やさないで、これらの効果を上げることができ
る。即ち本発明の継ぎ手ロッドフィード方式によれば、
ペレット供給方式及び単一ロッドによるロッドフィード
供給方式と同様の利点を有すると共に、これらの供給方
式の問題点を改善することができる。

【００６９】（実施例）ここで、本発明の継ぎ手ロッド
フィード方式により、実際に蒸着テープの製造を行っ
た。長さ１５０００ｍの幅２４インチのＰＥＴ（ポリエ
チレンテレフタレート）からなるベースフィルムに、金
属原料として金属磁性材料のコバルトを蒸着して磁性層
を形成した。その後、ＣＶＤ（化学的気相成長）法によ
りダイヤモンドライクカーボン膜を形成して保護膜とし
た。さらに、表面に潤滑剤処理を行った後、ベースフィ
ルムの反対側にバックコート層を塗布形成した。こうし
て得られたテープを８ｍｍ幅にスリットして、蒸着テー
プを製造した。この場合の蒸着テープの製造歩留まり
は、８５％であった。

【００７０】（比較例）これに対して、従来のペレット
供給方式により原料供給を行ってコバルトを蒸着した他
は、実施例と同様にして８ｍｍ幅の蒸着テープを製造し
た。この場合の蒸着テープの製造歩留まりは、８０％で
あった。

【００７１】即ちこの実施例では、本発明の継ぎ手ロッ
ドフィード方式を採用したことにより、ベースフィルム
へ原料のコバルトが飛散して付着することがなくなり、
その結果歩留まりを５％向上することができた。

【００７２】本発明は、上述の各実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその
他様々な構成が取り得る。

【００７３】

【発明の効果】上述の本発明によれば、原料のロッドが
融液に近い低い位置で供給されるため、原料のハネがほ
とんど発生しない。また、１本のロッドの長さは比較的
短くすることができるため、限られた空間内でスペース
効率を有効に稼ぐことができる。そして、原料の単位供
給量が短い１本のロッドに低減されるため、一時停止し
た場合の原料のロスを低減することができる。さらに、
ロッドの本数を増やすだけで、原料の供給量を容易に増
やすことが可能である。

【００７４】即ち本発明によれば、原料のロスが少な
く、原料のハネの発生がなく、スペース効率が良いとい
う利点を有している。また、製造コストを余り増やさな
いで、これらの効果を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用する蒸着装置の一形態の要部の概
略構成図である。

【図２】図１の蒸着装置のるつぼの概略構成図である。 Ａ るつぼの長手方向に平行な方向から見た図である。 Ｂ るつぼの長手方向に垂直な方向から見た図である。

【図３】本発明の一実施の形態のロッドフィード方式を
示す概略構成図（一部内部を示す側面図）である。 Ａ るつぼの長手方向に平行な方向から見た図である。 Ｂ るつぼの長手方向に垂直な方向から見た図である。

【図４】Ａ〜Ｇ 図３の構成におけるロッドの供給工程
を示す工程図である。

【図５】Ａ、Ｂ ロッドチェンジャーの一形態を示す図
である。

【図６】本発明の他の実施の形態のロッドフィード方式
を示す概略構成図（一部内部を示す側面図）である。

【図７】本発明のさらに他の実施の形態のロッドフィー
ド方式を示す概略構成図（一部内部を示す側面図）であ
る。 Ａ るつぼの長手方向に平行な方向から見た図である。 Ｂ るつぼの長手方向に垂直な方向から見た図である。

【図８】Ａ、Ｂ ペレット供給方式を示す図である。

【図９】図８のペレット供給方式における問題点を示す
図である。

【図１０】１本の長いロッドを用いたロッドフィード方
式を示す図である。

【符号の説明】

１ 蒸着装置、２ 真空槽、３ 電子銃、４ スキャナ
ー、５ クーリングロール、８ シャッター、１０ 蒸
着部、１１ 電子ビーム、２１ るつぼ、２２溝、２３
融液、２４ 反射板、３０ ベースフィルム、３１
ロッド、３１Ａ凸部、３１Ｂ 凹部、３２Ａ，３２Ｂ
ガイド、３３ 押し出し棒、３４，３５ ロッドチェン
ジャー

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属原料の融液に電子ビームを照射して
   該金属原料の融液を蒸発させる蒸発装置であって、 上記金属原料の上記融液を収納するるつぼと、 上記電子ビームを放出する電子銃と、 上記金属原料を棒状に加工したロッドを上記融液へ供給
   するロッド供給部と、 交換用の上記ロッドを貯蔵するロッド貯蔵部とを備え、 上記ロッドの一端に凸部が他端に凹部がそれぞれ設けら
   れて、該凸部及び該凹部とにより複数の上記ロッドを繋
   いで固定することが可能に構成され、 上記電子銃から放出された上記電子ビームを上記るつぼ
   内の上記融液に照射して、上記融液を蒸発させることを
   特徴とする蒸発装置。
2. 【請求項２】 金属原料の融液に電子ビームを照射して
   該金属原料の融液を蒸発させる蒸発装置へ原料を供給す
   る方法であって、 上記金属原料を棒状に加工したロッドの一端に凸部を他
   端に凹部をそれぞれ設け、 一のロッドの凸部と他のロッドの凹部とを繋いで固定し
   た状態で、ロッドを上記融液に対して供給することを特
   徴とする蒸発装置への原料供給方法。
3. 【請求項３】 非磁性支持体上に金属磁性膜からなる磁
   性層が形成された磁気記録媒体を製造する装置であっ
   て、 金属磁性材料の融液を収納するるつぼと、 電子ビームを放出する電子銃と、 上記金属磁性材料を棒状に加工したロッドを、上記融液
   へ供給するロッド供給部と、 交換用の上記ロッドを貯蔵するロッド貯蔵部とを備え、 上記ロッドの一端に凸部が他端に凹部がそれぞれ設けら
   れて、該凸部及び該凹部とにより複数の上記ロッドを繋
   いで固定することが可能に構成され、 上記電子銃から放出された上記電子ビームを上記るつぼ
   内の上記融液に照射して、上記融液を蒸発させることに
   より、上記非磁性支持体上に上記金属磁性膜を蒸着させ
   ることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
4. 【請求項４】 非磁性支持体上に金属磁性膜からなる磁
   性層が形成された磁気記録媒体を製造する方法であっ
   て、 上記金属磁性材料を棒状に加工したロッドの一端に凸部
   を他端に凹部をそれぞれ設け、 一のロッドの凸部と他のロッドの凹部とを繋いで固定し
   た状態で、ロッドを上記融液に対して供給し、 るつぼ内の金属磁性材料の融液に電子ビームを照射し
   て、該融液を蒸発させることにより、上記非磁性支持体
   上に上記金属磁性膜を蒸着させることを特徴とする磁気
   記録媒体の製造方法。