JPH0798862A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0798862A JPH0798862A JP24466893A JP24466893A JPH0798862A JP H0798862 A JPH0798862 A JP H0798862A JP 24466893 A JP24466893 A JP 24466893A JP 24466893 A JP24466893 A JP 24466893A JP H0798862 A JPH0798862 A JP H0798862A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 遮蔽板への蒸着粒子の堆積を阻止することが
できる遮蔽手段を有する磁気記録媒体の製造装置を提供
すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の
融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射するための電子ビーム発生装置と、前記磁性
材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制する遮蔽手
段とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記遮蔽
手段は、所定の間隔をあけて垂直方向に重なって配設さ
れる複数の遮蔽板からなり、各遮蔽板は、磁性材料蒸気
の被蒸着材に対する蒸着領域を規制するべく、個別に回
転可能であることを特徴とする。
できる遮蔽手段を有する磁気記録媒体の製造装置を提供
すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の
融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射するための電子ビーム発生装置と、前記磁性
材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制する遮蔽手
段とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記遮蔽
手段は、所定の間隔をあけて垂直方向に重なって配設さ
れる複数の遮蔽板からなり、各遮蔽板は、磁性材料蒸気
の被蒸着材に対する蒸着領域を規制するべく、個別に回
転可能であることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその遮蔽板の構造に関するものであ
る。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその遮蔽板の構造に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置と、磁性材料の蒸気が被蒸着材に蒸着する領域を規
制する遮蔽手段とを含むものがある。遮蔽手段は、一般
に、単一の遮蔽板からなり、真空容器内に固定して配設
されていた。そして、ルツボの融解槽内の磁性材料に電
子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照
射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に
蒸着していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置と、磁性材料の蒸気が被蒸着材に蒸着する領域を規
制する遮蔽手段とを含むものがある。遮蔽手段は、一般
に、単一の遮蔽板からなり、真空容器内に固定して配設
されていた。そして、ルツボの融解槽内の磁性材料に電
子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照
射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に
蒸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】蒸着領域を規制する遮
蔽板には、磁性材料の蒸気が蒸着し、蒸着を長時間続け
た場合、遮蔽板に多量の蒸着粒子が堆積されることにな
る。堆積が進みある量に達するとその重さに耐えられな
くなり、堆積物が落下する。そのとき、落下の衝撃によ
り蒸着粒子の粉が真空容器内に舞い上がり、その結果、
真空容器内が汚染されてしまう。また、落下した堆積物
がルツボの融解槽内に入ると、融解した磁性材料の液滴
が跳ね、それが被蒸着材に付着したり、またルツボ内の
温度や蒸発状態などの条件を変えてしまうなどの不具合
が生じる。被蒸着材に付着した液滴は、突起異物とな
り、この突起異物があると、記録・再生時に磁気ヘッド
がこれに乗り上げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くな
りすぎ正常な記録・再生ができなくなってしまう。
蔽板には、磁性材料の蒸気が蒸着し、蒸着を長時間続け
た場合、遮蔽板に多量の蒸着粒子が堆積されることにな
る。堆積が進みある量に達するとその重さに耐えられな
くなり、堆積物が落下する。そのとき、落下の衝撃によ
り蒸着粒子の粉が真空容器内に舞い上がり、その結果、
真空容器内が汚染されてしまう。また、落下した堆積物
がルツボの融解槽内に入ると、融解した磁性材料の液滴
が跳ね、それが被蒸着材に付着したり、またルツボ内の
温度や蒸発状態などの条件を変えてしまうなどの不具合
が生じる。被蒸着材に付着した液滴は、突起異物とな
り、この突起異物があると、記録・再生時に磁気ヘッド
がこれに乗り上げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くな
りすぎ正常な記録・再生ができなくなってしまう。
【０００４】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、遮蔽板に蒸
着粒子が堆積されるのを防止して被蒸着材上に適正な蒸
着膜を形成するようにした新規な磁気記録媒体の製造装
置を提供しようとするものである。
れたものであり、その目的とするところは、遮蔽板に蒸
着粒子が堆積されるのを防止して被蒸着材上に適正な蒸
着膜を形成するようにした新規な磁気記録媒体の製造装
置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記遮蔽手段は、所定の間隔をあけて垂直方
向に重なって配設される複数の遮蔽板からなり、各遮蔽
板は、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制
するべく、個別に回転可能であることを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記遮蔽手段は、所定の間隔をあけて垂直方
向に重なって配設される複数の遮蔽板からなり、各遮蔽
板は、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制
するべく、個別に回転可能であることを特徴とする。
【０００６】本発明においては、遮蔽手段が複数の遮蔽
板からなり、これら遮蔽板は、所定の間隔をあけて垂直
方向に重なって配設されるものである。そして、各遮蔽
板は、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制
するべく、個別に回転が可能である。
板からなり、これら遮蔽板は、所定の間隔をあけて垂直
方向に重なって配設されるものである。そして、各遮蔽
板は、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制
するべく、個別に回転が可能である。
【０００７】本遮蔽手段は、上記のように構成されてい
るので、遮蔽板に蒸着粒子が堆積される前に、新しい遮
蔽板と交換することができる。この交換は、遮蔽板を回
転することにより容易に行なわれる。また、積層されて
いるので、横方向のスペースは、各遮蔽板の交換に際し
回転に必要なスペースがあれば足りる。更に、遮蔽板相
互間に所定の間隔をあけてあることにより、遮蔽板を重
ねたときに遮蔽板に付着した蒸着粒子が掻き落とされる
ことはない。
るので、遮蔽板に蒸着粒子が堆積される前に、新しい遮
蔽板と交換することができる。この交換は、遮蔽板を回
転することにより容易に行なわれる。また、積層されて
いるので、横方向のスペースは、各遮蔽板の交換に際し
回転に必要なスペースがあれば足りる。更に、遮蔽板相
互間に所定の間隔をあけてあることにより、遮蔽板を重
ねたときに遮蔽板に付着した蒸着粒子が掻き落とされる
ことはない。
【０００８】回転操作は、手動操作又は自動操作が可能
である。手動操作の場合、例えば各遮蔽板を中心軸部材
の周りに回転可能に支持し、マジックハンドのようなも
ので各遮蔽板を回転させることができる。
である。手動操作の場合、例えば各遮蔽板を中心軸部材
の周りに回転可能に支持し、マジックハンドのようなも
ので各遮蔽板を回転させることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１０】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、電子ビーム発生装置４と、そして
遮蔽手段１１とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容器
１内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５を
走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そして冷却キ
ャン８からなっている。ルツボ３は、冷却キャン８下方
の所定位置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯ
より構成され、１４００℃〜１５００℃の高温に耐えら
れるようになっている。またこのルツボ３は、融解槽９
を備え、この融解槽９内に磁性金属１０を収容してい
る。電子ビーム発生装置４は電子銃１２を備え、この電
子銃１２から電子ビームを発射し、この電子ビームを融
解槽９内の磁性金属１０に照射するようになっている。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、電子ビーム発生装置４と、そして
遮蔽手段１１とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容器
１内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５を
走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そして冷却キ
ャン８からなっている。ルツボ３は、冷却キャン８下方
の所定位置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯ
より構成され、１４００℃〜１５００℃の高温に耐えら
れるようになっている。またこのルツボ３は、融解槽９
を備え、この融解槽９内に磁性金属１０を収容してい
る。電子ビーム発生装置４は電子銃１２を備え、この電
子銃１２から電子ビームを発射し、この電子ビームを融
解槽９内の磁性金属１０に照射するようになっている。
【００１１】遮蔽手段１１は、図２，３に示すように、
複数の（本実施例では４枚の）積層された、すなわち所
定の間隔をあけて垂直方向に重なって配設された遮蔽板
１３〜１６からなっている。なお、図２は、遮蔽手段の
斜視図で下側からみた図（図１のＢ方向から見た図）、
図３は、遮蔽手段の側面図で図１、図２のＡ方向からみ
た図である。図２において、冷却キャン８を一点鎖線で
示し（この冷却キャン８は遮蔽手段１１に対し図面奥側
に位置する）、また磁性金属１０の蒸発領域内にある遮
蔽板１３の部分を斜線で示す。各遮蔽板は、三角形状を
有しかつ同一の大きさに形成され、その頂角部分に貫通
孔を有している。この貫通孔に支持軸部材１７が嵌合
し、各遮蔽板はこのようにして支持軸部材１７により回
転可能に支持されている。積層された遮蔽板の一番上に
は台形形状をした遮蔽板１８が支持軸部材１７に固定さ
れている。台形形状の遮蔽板１８の上辺と、三角形状の
各遮蔽板の底辺とが垂直に重なるように、両者は配置さ
れている。遮蔽板１８は、各遮蔽板１３〜１６を回転移
動して新しい遮蔽板と交換する際に、遮蔽が一時的に中
断されるのを防止するために備っている。隣接する遮蔽
板間にはスペーサが配設されて所定間隔を維持し、遮蔽
板同士が擦れ合うことを阻止している。各遮蔽板の底辺
（遮蔽板１３においては底辺１９）は、磁性金属蒸気の
テープ５に対する蒸着領域を規定している。すなわち、
底辺の位置に応じて、蒸着領域を変えることができる。
そして、各遮蔽板は、蒸着領域を規定するべく、その底
辺が所定の位置にくるように、設計され配置されてい
る。
複数の（本実施例では４枚の）積層された、すなわち所
定の間隔をあけて垂直方向に重なって配設された遮蔽板
１３〜１６からなっている。なお、図２は、遮蔽手段の
斜視図で下側からみた図（図１のＢ方向から見た図）、
図３は、遮蔽手段の側面図で図１、図２のＡ方向からみ
た図である。図２において、冷却キャン８を一点鎖線で
示し（この冷却キャン８は遮蔽手段１１に対し図面奥側
に位置する）、また磁性金属１０の蒸発領域内にある遮
蔽板１３の部分を斜線で示す。各遮蔽板は、三角形状を
有しかつ同一の大きさに形成され、その頂角部分に貫通
孔を有している。この貫通孔に支持軸部材１７が嵌合
し、各遮蔽板はこのようにして支持軸部材１７により回
転可能に支持されている。積層された遮蔽板の一番上に
は台形形状をした遮蔽板１８が支持軸部材１７に固定さ
れている。台形形状の遮蔽板１８の上辺と、三角形状の
各遮蔽板の底辺とが垂直に重なるように、両者は配置さ
れている。遮蔽板１８は、各遮蔽板１３〜１６を回転移
動して新しい遮蔽板と交換する際に、遮蔽が一時的に中
断されるのを防止するために備っている。隣接する遮蔽
板間にはスペーサが配設されて所定間隔を維持し、遮蔽
板同士が擦れ合うことを阻止している。各遮蔽板の底辺
（遮蔽板１３においては底辺１９）は、磁性金属蒸気の
テープ５に対する蒸着領域を規定している。すなわち、
底辺の位置に応じて、蒸着領域を変えることができる。
そして、各遮蔽板は、蒸着領域を規定するべく、その底
辺が所定の位置にくるように、設計され配置されてい
る。
【００１２】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
て、電子銃１２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
【００１３】所定時間経過の後、遮蔽板１３上に磁性金
属１０の蒸着粒子の堆積がみられるようになったとき、
手動又は自動により遮蔽板１３の交換操作が行なわれ
る。このとき、遮蔽板１３は所定角度回転しその位置に
保持され、その後遮蔽板１３の上側にある次の遮蔽板１
４が所定角度回転して遮蔽板１３があった位置に保持さ
れる。このようにして、遮蔽板１３〜１６が順次交換さ
れる。
属１０の蒸着粒子の堆積がみられるようになったとき、
手動又は自動により遮蔽板１３の交換操作が行なわれ
る。このとき、遮蔽板１３は所定角度回転しその位置に
保持され、その後遮蔽板１３の上側にある次の遮蔽板１
４が所定角度回転して遮蔽板１３があった位置に保持さ
れる。このようにして、遮蔽板１３〜１６が順次交換さ
れる。
【００１４】
【発明の効果】本発明装置は、遮蔽板上の蒸着粒子の堆
積を阻止し、これによって蒸着粒子の堆積物が落下して
真空容器内を汚染したりルツボ内に入ったりすることが
回避されるから、被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成する
ことができ、従って常に良質の磁気記録媒体が得られる
ものである。
積を阻止し、これによって蒸着粒子の堆積物が落下して
真空容器内を汚染したりルツボ内に入ったりすることが
回避されるから、被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成する
ことができ、従って常に良質の磁気記録媒体が得られる
ものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】本装置に備る遮蔽手段の斜視図で下側からみた
図。
図。
【図３】同遮蔽手段の側面図で図２のＡ方向からみた
図。
図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン ９ 融解槽 １０ 磁性金属 １１ 遮蔽手段 １３〜１６ 遮蔽板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、 前記遮蔽手段は、所定の間隔をあけて垂直方向に重なっ
て配設される複数の遮蔽板からなり、各遮蔽板は、磁性
材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制するべく、
個別に回転可能であることを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24466893A JPH0798862A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24466893A JPH0798862A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798862A true JPH0798862A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24466893A Pending JPH0798862A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798862A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100701641B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2007-03-30 | 도레이새한 주식회사 | 진공증착에 의해 구리도금층을 형성하는 연성회로기판용 적층구조체의 제조방법 및 그 장치 |
| JP2007224376A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Showa Shinku:Kk | 真空蒸着装置および方法 |
| JP2008202072A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Fujitsu Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
| JP2012140695A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-26 | Nitto Denko Corp | 蒸着装置 |
| EP3276041A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-01-31 | United Technologies Corporation | Coating methods and apparatus |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24466893A patent/JPH0798862A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100701641B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2007-03-30 | 도레이새한 주식회사 | 진공증착에 의해 구리도금층을 형성하는 연성회로기판용 적층구조체의 제조방법 및 그 장치 |
| JP2007224376A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Showa Shinku:Kk | 真空蒸着装置および方法 |
| JP2008202072A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Fujitsu Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
| JP2012140695A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-26 | Nitto Denko Corp | 蒸着装置 |
| EP3276041A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-01-31 | United Technologies Corporation | Coating methods and apparatus |
| US9988716B2 (en) | 2016-07-28 | 2018-06-05 | United Technologies Corporation | Coating methods and apparatus |
| US10648077B2 (en) | 2016-07-28 | 2020-05-12 | United Technologies Corporation | Coating methods and apparatus |
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