JPS6314859A - 金属蒸発方法 - Google Patents
金属蒸発方法Info
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- JPS6314859A JPS6314859A JP15701586A JP15701586A JPS6314859A JP S6314859 A JPS6314859 A JP S6314859A JP 15701586 A JP15701586 A JP 15701586A JP 15701586 A JP15701586 A JP 15701586A JP S6314859 A JPS6314859 A JP S6314859A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、金属を真空下で加熱蒸発させ、該金属蒸気を
直接利用する金属蒸気発生装置における金属蒸発方法に
関するものである。
直接利用する金属蒸気発生装置における金属蒸発方法に
関するものである。
［従来の技術］
例えば、第３図に示すように、真空容器１内に坩堝２を
置き、該坩堝２内の溶融金属に電子銃３から電子ビーム
４を当てて蒸発させ、該金属蒸気５によって金属板６の
表面に蒸着させるようにした金属蒸気発生装置において
は、従来、金属蒸気５が拡散するため、坩堝２の上方に
コリメーター７を配置し、金属蒸気５を図示の如くコリ
メートして真空容器１の天井部等への付着を防止するよ
うにしている。
置き、該坩堝２内の溶融金属に電子銃３から電子ビーム
４を当てて蒸発させ、該金属蒸気５によって金属板６の
表面に蒸着させるようにした金属蒸気発生装置において
は、従来、金属蒸気５が拡散するため、坩堝２の上方に
コリメーター７を配置し、金属蒸気５を図示の如くコリ
メートして真空容器１の天井部等への付着を防止するよ
うにしている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上記従来方式においては、溶融金属が活
性な場合、コリメーター７の材質に不安が生ずると共に
、金属板６の面積に対応したコリメーター７を選定しな
ければならず、しかも蒸発金属に有効に利用できない問
題があった。
性な場合、コリメーター７の材質に不安が生ずると共に
、金属板６の面積に対応したコリメーター７を選定しな
ければならず、しかも蒸発金属に有効に利用できない問
題があった。
本発明はこのような実情に鑑み、溶融金属自体にコリメ
ーター効果を持たせるようにしてコリメーターを不要と
するものである。
ーター効果を持たせるようにしてコリメーターを不要と
するものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、溶融金属表面の蒸気圧と密度とがＰ／ρ≧０
．１ となるよう制御することにより、溶融金属表面に所望の
凹部を形成して該凹部から方向性の強い金属蒸気を発生
させるものである。
．１ となるよう制御することにより、溶融金属表面に所望の
凹部を形成して該凹部から方向性の強い金属蒸気を発生
させるものである。
［作 用コ
従って、凹部の大きさによって金属蒸気の発生範囲が調
節される。
節される。
［実 施 例］
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図及び第２図に示す如く、坩堝２内の溶融金属８に
対し入射させる電子ビーム４の電子東形状又はエネルギ
ーを調節して、金属表面の蒸気圧を制御することにより
溶融金属８の表面部に所望の凹部９を形成し、金属蒸気
５を該凹部９の形状に沿って限定された範囲にだけ発生
させるようにする。こうすることにより、従来の如きコ
リメーター７を用いずとも金属蒸気５はコリメートされ
て金属板６をコーティングし、他の部分への付着がなく
なる。また蒸発金属を有効利用出来る。
対し入射させる電子ビーム４の電子東形状又はエネルギ
ーを調節して、金属表面の蒸気圧を制御することにより
溶融金属８の表面部に所望の凹部９を形成し、金属蒸気
５を該凹部９の形状に沿って限定された範囲にだけ発生
させるようにする。こうすることにより、従来の如きコ
リメーター７を用いずとも金属蒸気５はコリメートされ
て金属板６をコーティングし、他の部分への付着がなく
なる。また蒸発金属を有効利用出来る。
前記において、電子ビーム４を照射した際の溶融金属８
表面の凹部９は、主に、金属表面の蒸気圧（温度）と密
度とにより決定され、例えば蒸気圧をＰ （Ｔｏｒｒ）
、密度をｐ （ｇ／ｃＴＩｌ’ ）とした時、 Ｐ／ρ≧０．１ 程度であれば金属表面に四部９が形成されることが実験
の結果確認されている。従って、前記蒸気圧と密度との
関係を制御して所望の四部９を形成することにより、コ
ーティングすべき金属板６に対応する限定した範囲にだ
け金属蒸気５を発生させることができ、他の部分への付
着の問題をなくすことができる。
表面の凹部９は、主に、金属表面の蒸気圧（温度）と密
度とにより決定され、例えば蒸気圧をＰ （Ｔｏｒｒ）
、密度をｐ （ｇ／ｃＴＩｌ’ ）とした時、 Ｐ／ρ≧０．１ 程度であれば金属表面に四部９が形成されることが実験
の結果確認されている。従って、前記蒸気圧と密度との
関係を制御して所望の四部９を形成することにより、コ
ーティングすべき金属板６に対応する限定した範囲にだ
け金属蒸気５を発生させることができ、他の部分への付
着の問題をなくすことができる。
ちなみに、代表的金属では、表面蒸気圧（表面温度）を
次の数値以上にすることにより四部９が形成される。
次の数値以上にすることにより四部９が形成される。
Ａ ！ ： ０．３Ｔｏｒｒ（１２００℃）Ｆ ｅ
： ０．８Ｔｏｒｒ（１８００℃）Ａ ｇ ： １
．０Ｔｏｒｒ（１２００℃）［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の金属蒸発方法によれば、
溶融金属表面に所望の凹部を形成して該凹部からコーテ
ィングすべき金属板の面積に対応した範囲の金属蒸気を
発生させるようにしたので、金属板以外の部分への金属
蒸気の付着を防止することができ、従って従来の如きコ
リメーターを不要とすることができる、等の優れた効果
を奏し得る。
： ０．８Ｔｏｒｒ（１８００℃）Ａ ｇ ： １
．０Ｔｏｒｒ（１２００℃）［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の金属蒸発方法によれば、
溶融金属表面に所望の凹部を形成して該凹部からコーテ
ィングすべき金属板の面積に対応した範囲の金属蒸気を
発生させるようにしたので、金属板以外の部分への金属
蒸気の付着を防止することができ、従って従来の如きコ
リメーターを不要とすることができる、等の優れた効果
を奏し得る。
第１図は本発明の金属蒸発方法を示す全体説明図、第２
図は第１図の部分拡大図、第３図は従来例の説明図であ
る。 １は真空容器、２は坩堝、４は電子ビーム、５は金属蒸
気、６は金属板、８は溶融金属、９は凹部を示す。
図は第１図の部分拡大図、第３図は従来例の説明図であ
る。 １は真空容器、２は坩堝、４は電子ビーム、５は金属蒸
気、６は金属板、８は溶融金属、９は凹部を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）真空下で溶解金属表面に電子ビームを当て発生した
金属蒸気を利用した金属蒸気発生装置において、溶融金
属表面の蒸気圧と密度とが Ｐ／ρ≧０．１ 〔但し、Ｐ：蒸気圧（Ｔｏｒｒ） ρ：密度（ｇ／ｃｍ＾３）〕 となるよう制御することにより、溶融金属表面に所望の
凹部を形成して該凹部から方向性のある金属蒸気を発生
させることを特徴とする金属蒸発方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15701586A JPH06948B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 金属蒸発方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15701586A JPH06948B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 金属蒸発方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6314859A true JPS6314859A (ja) | 1988-01-22 |
| JPH06948B2 JPH06948B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=15640316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15701586A Expired - Lifetime JPH06948B2 (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 金属蒸発方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06948B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0414209A (ja) * | 1990-05-07 | 1992-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気二重層キャパシタおよびその製造法 |
| JPH0465814A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気二重層キャパシタの製造方法 |
| JPH04162510A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気二重層キャパシタ |
-
1986
- 1986-07-03 JP JP15701586A patent/JPH06948B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0414209A (ja) * | 1990-05-07 | 1992-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気二重層キャパシタおよびその製造法 |
| JPH0465814A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気二重層キャパシタの製造方法 |
| JPH04162510A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気二重層キャパシタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06948B2 (ja) | 1994-01-05 |
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