JPS59160829A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPS59160829A JPS59160829A JP3501583A JP3501583A JPS59160829A JP S59160829 A JPS59160829 A JP S59160829A JP 3501583 A JP3501583 A JP 3501583A JP 3501583 A JP3501583 A JP 3501583A JP S59160829 A JPS59160829 A JP S59160829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- roller
- ferromagnetic material
- small roller
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は移動する高分子成形物などの可撓性テープ状基
体に磁性膜を真空蒸着して磁気記録媒体を製造するため
の方法に関する。
体に磁性膜を真空蒸着して磁気記録媒体を製造するため
の方法に関する。
従来よシ磁気記録媒体としては、非磁性基体上にγ−Ｆ
ｅ２０ａ 、Ｃｏｉドープしたｒ−Ｆｅ２ｏ３、ｐｅ３
Ｑ４ｃｏ’ｉドーゾしたＦ ｅ ｓ Ｏ４ｒ−Ｆｅ２０
ａとＦｅａｓ４のベルトライド化合物、Ｃｏをドープし
九ベルトライド化合物、Ｃｒ Ｏ２等の酸化物磁性粉あ
るいはＣ０１Ｎｉ、Ｆｅ等の遷移金属を主成分とする強
磁性合金粉末といった粉末型の磁性材料を塩化ビニル−
酢酸ビニル共重合体、スチレン−ブタジェン共重合体、
エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中
に分散させてなる磁性塗料を塗布、配向、乾燥して磁性
層を形成させる塗、右型のものが広く使用されてきてい
る。
ｅ２０ａ 、Ｃｏｉドープしたｒ−Ｆｅ２ｏ３、ｐｅ３
Ｑ４ｃｏ’ｉドーゾしたＦ ｅ ｓ Ｏ４ｒ−Ｆｅ２０
ａとＦｅａｓ４のベルトライド化合物、Ｃｏをドープし
九ベルトライド化合物、Ｃｒ Ｏ２等の酸化物磁性粉あ
るいはＣ０１Ｎｉ、Ｆｅ等の遷移金属を主成分とする強
磁性合金粉末といった粉末型の磁性材料を塩化ビニル−
酢酸ビニル共重合体、スチレン−ブタジェン共重合体、
エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中
に分散させてなる磁性塗料を塗布、配向、乾燥して磁性
層を形成させる塗、右型のものが広く使用されてきてい
る。
近年高密度磁気記録への急激な要求の高まシと共に真空
蒸着、スパッタリング、イオンプレーテング等のペーパ
ーデポジション法、あるいは電気メッキ、無電解メッキ
等のメッキ法により形成される強磁性金属薄膜を磁気記
録層とする有機バインタ′−ヲ使用しない云わゆる金属
薄膜型磁気記録媒体が注目を浴びておシ実用化への努力
が種々行なわれている。
蒸着、スパッタリング、イオンプレーテング等のペーパ
ーデポジション法、あるいは電気メッキ、無電解メッキ
等のメッキ法により形成される強磁性金属薄膜を磁気記
録層とする有機バインタ′−ヲ使用しない云わゆる金属
薄膜型磁気記録媒体が注目を浴びておシ実用化への努力
が種々行なわれている。
従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率−７）Ｅ３０−４０％
にすぎない友め高出力高密度記録媒体としては限界罠な
ってきている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あ
るいは公害防止のための大きな付帯設備を必要とすると
いう欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸
化物磁性利料エク大きな飽和磁化を有する強磁性金属を
有機バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極
めて薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高
密度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ
長も１．０μｍｆ切る時代になっているが、それに伴っ
て磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性
膜の厚み全部が磁気信１号の記録に利用され得る金属薄
膜型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めて
すぐれている。特に強磁性材料の蒸発ビームを基体表面
に対し斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は
工程、装置、機構も比較的筒車であると同時に、良好な
磁気特性の膜が得られるため実用化上すぐれている。
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率−７）Ｅ３０−４０％
にすぎない友め高出力高密度記録媒体としては限界罠な
ってきている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あ
るいは公害防止のための大きな付帯設備を必要とすると
いう欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸
化物磁性利料エク大きな飽和磁化を有する強磁性金属を
有機バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極
めて薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高
密度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ
長も１．０μｍｆ切る時代になっているが、それに伴っ
て磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性
膜の厚み全部が磁気信１号の記録に利用され得る金属薄
膜型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めて
すぐれている。特に強磁性材料の蒸発ビームを基体表面
に対し斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は
工程、装置、機構も比較的筒車であると同時に、良好な
磁気特性の膜が得られるため実用化上すぐれている。
従来より行なわれている斜方入射真空蒸着法では冷却用
回転シリンタ゛−キャンの局面に沿って曲線状に移動す
るテープ状基体上に、強磁性材料の蒸発源よシ所定の入
射角あるいは入射角範囲で強磁性材料の蒸気を凝着させ
るものであった。
回転シリンタ゛−キャンの局面に沿って曲線状に移動す
るテープ状基体上に、強磁性材料の蒸発源よシ所定の入
射角あるいは入射角範囲で強磁性材料の蒸気を凝着させ
るものであった。
第１図は、従来の斜方入射蒸着による磁気記録媒体の製
造装置要部を示したものであり、適当な真空ポンプによ
シ真空排気できるようにされた真空室内に冷却用回転シ
リンダーキャン／ｌが配設され、送出しロールからのテ
ープ状基体１２が前記キャンｉｉの回転によシ周面に沿
って搬送されるようになっている。前記キャンｌｌの下
方には強磁性材料の蒸発源１３があって、ここ〃為ら蒸
発する蒸発ビーム／４’は、前記キャンｌ／の周面上の
斜方マスク１２により遮蔽されていない領域を移動する
テープ状基体／２上に達するようになっている。こうし
て前記テープ状基体１２の表面に対しである入射角範囲
で強磁性材料の前記蒸発ビームｌｖが入射し斜方入射蒸
着が行なわれていた。
造装置要部を示したものであり、適当な真空ポンプによ
シ真空排気できるようにされた真空室内に冷却用回転シ
リンダーキャン／ｌが配設され、送出しロールからのテ
ープ状基体１２が前記キャンｉｉの回転によシ周面に沿
って搬送されるようになっている。前記キャンｌｌの下
方には強磁性材料の蒸発源１３があって、ここ〃為ら蒸
発する蒸発ビーム／４’は、前記キャンｌ／の周面上の
斜方マスク１２により遮蔽されていない領域を移動する
テープ状基体／２上に達するようになっている。こうし
て前記テープ状基体１２の表面に対しである入射角範囲
で強磁性材料の前記蒸発ビームｌｖが入射し斜方入射蒸
着が行なわれていた。
この場合、前記蒸発源１３よシ放出される蒸気のうち角
度αに相当する蒸発ビーム／４ｔのみが前記テープ状基
体７２上に蒸着されていた。
度αに相当する蒸発ビーム／４ｔのみが前記テープ状基
体７２上に蒸着されていた。
しかしながら、前述した従来装置では、蒸発源よりテー
プ状基体に到達する強磁性材料の蒸発源より蒸発される
全強磁性材料に対する割付、いわゆる蒸着効率が低く工
業的規模に実用化する上で大きなネックであった。
プ状基体に到達する強磁性材料の蒸発源より蒸発される
全強磁性材料に対する割付、いわゆる蒸着効率が低く工
業的規模に実用化する上で大きなネックであった。
本発明は、前述した従来装置の欠点を解消し効率良く強
磁性材料を蒸着可能な装置を提供することを目的とする
ものである。
磁性材料を蒸着可能な装置を提供することを目的とする
ものである。
真空雰囲気内に冷却用回転シリンダーキャンおよび該キ
ャンに隣接するように回転小ローラーを、前記キャンの
外周面最下点よりも前記小ローラーの外周面最下点が上
方となるように配設すると共に、前記キャンと該小ロー
ラー間に可撓性エンドレスベルトを張設してｉｎ、前記
冷却キャンにより冷却された前記可撓性エンドレスベル
トに沿って斜め移動するテープ状基体に、前記冷却キャ
ンおよび前記小ローラーの下方に配設された蒸発源よシ
強磁性劇料を斜め蒸着することを特徴とする磁気記録媒
体の坂造装置によって達成される。
ャンに隣接するように回転小ローラーを、前記キャンの
外周面最下点よりも前記小ローラーの外周面最下点が上
方となるように配設すると共に、前記キャンと該小ロー
ラー間に可撓性エンドレスベルトを張設してｉｎ、前記
冷却キャンにより冷却された前記可撓性エンドレスベル
トに沿って斜め移動するテープ状基体に、前記冷却キャ
ンおよび前記小ローラーの下方に配設された蒸発源よシ
強磁性劇料を斜め蒸着することを特徴とする磁気記録媒
体の坂造装置によって達成される。
以下、重付した図面に基づき、本発明装置の一実施態様
を説明する。
を説明する。
第２図は、本発明による磁気記録媒体の装造装置ｔ−示
している。適当な真空ポンプにより真空排気できるよう
にされた真空室内に冷却用回転シ１ノンダーキャン２／
が配設され、さらに前記キャン２／に隣接して回転小ロ
ーラー２６が設けられており、前記キャン２ノと小ロー
ラー２６の間には可撓性エンドレスベルト２７が張られ
ている。送出しロール力・らのテープ状基体２２が前記
キャン、２／から前記小ローラー２乙に張られた前記可
撓性エンドレスベルト、２７により搬送される際に、前
記キャン２１および小ローラー２６の下方に配置された
蒸発源、２３からの強磁性材料の蒸発ビーム２４！が到
達するようになっている。前記蒸発ピ−ムコクが到達す
るようになっている。前記蒸発ビーム２４１は、斜方マ
スク２夕によって遮蔽されていない領域を移動しつつあ
る前記テープ状基体２．２に達するようになっておシ、
これによシ前記テープ状基体、２２に強磁性材料が斜方
入射蒸着される。この場合、前記蒸発源コ３よシ放出さ
れる蒸気のうち角度βに相当する前記蒸発ビーム２４／
−が前記テープ状差体λλ上に蒸着されるが、角度βは
第１図の角度αより大きい。すなわち本発明によれば、
従来装置に比して、蒸着効率が極めて向上するものであ
る。さらに本発明において前記可撓性エンドレスベルト
２７は、前記冷却キャン２／に沿って移動する際、十分
に冷却され、前記テープ状基体２２ｔｌ−随伴する際に
は、蒸着下にある前記テープ状基体２λを冷却する働き
？する。
している。適当な真空ポンプにより真空排気できるよう
にされた真空室内に冷却用回転シ１ノンダーキャン２／
が配設され、さらに前記キャン２／に隣接して回転小ロ
ーラー２６が設けられており、前記キャン２ノと小ロー
ラー２６の間には可撓性エンドレスベルト２７が張られ
ている。送出しロール力・らのテープ状基体２２が前記
キャン、２／から前記小ローラー２乙に張られた前記可
撓性エンドレスベルト、２７により搬送される際に、前
記キャン２１および小ローラー２６の下方に配置された
蒸発源、２３からの強磁性材料の蒸発ビーム２４！が到
達するようになっている。前記蒸発ピ−ムコクが到達す
るようになっている。前記蒸発ビーム２４１は、斜方マ
スク２夕によって遮蔽されていない領域を移動しつつあ
る前記テープ状基体２．２に達するようになっておシ、
これによシ前記テープ状基体、２２に強磁性材料が斜方
入射蒸着される。この場合、前記蒸発源コ３よシ放出さ
れる蒸気のうち角度βに相当する前記蒸発ビーム２４／
−が前記テープ状差体λλ上に蒸着されるが、角度βは
第１図の角度αより大きい。すなわち本発明によれば、
従来装置に比して、蒸着効率が極めて向上するものであ
る。さらに本発明において前記可撓性エンドレスベルト
２７は、前記冷却キャン２／に沿って移動する際、十分
に冷却され、前記テープ状基体２２ｔｌ−随伴する際に
は、蒸着下にある前記テープ状基体２λを冷却する働き
？する。
特に第２図において冷却キャン２１ｆ反時計方向に回転
せしめて使用することか好ましい。
せしめて使用することか好ましい。
前記可撓性ベルト、２７に沿って移動する前記テープ状
基体２２に少なくとも３００以上の入射角で斜方入射蒸
着を行なうために、前記小ローラーλ６の半径ｒは前記
冷却用回転シリンタ′−キャン２／の半径Ｒの（より小
さいことが望ましい。さらに前記冷却用回転シリンター
キャン、２／の外周面最下点２ｔよシも、前記小ローラ
ー、２乙の外周面最下点２りを上方に位置せしめること
が好ましい。
基体２２に少なくとも３００以上の入射角で斜方入射蒸
着を行なうために、前記小ローラーλ６の半径ｒは前記
冷却用回転シリンタ′−キャン２／の半径Ｒの（より小
さいことが望ましい。さらに前記冷却用回転シリンター
キャン、２／の外周面最下点２ｔよシも、前記小ローラ
ー、２乙の外周面最下点２りを上方に位置せしめること
が好ましい。
本発明の真空蒸着装置によって磁気記録媒体を製造する
場合、磁性ｉ膜を形成させるための強磁性金属としては
ｐｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−
Ｎｉ 、Ｃｏ−１ｉ 、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ ｉ 、 ｐｅ
−Ｈｈ 、 ：ｐｅ−Ｃｕ 、 Ｃｏ−Ｃｕ。
場合、磁性ｉ膜を形成させるための強磁性金属としては
ｐｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−
Ｎｉ 、Ｃｏ−１ｉ 、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ ｉ 、 ｐｅ
−Ｈｈ 、 ：ｐｅ−Ｃｕ 、 Ｃｏ−Ｃｕ。
Ｃｏ−Ａｕ 、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ 、Ｃｏ−ｐｒ
。
。
Ｃｏ−Ｇａ、 Ｃｏ−８ｍ 、 Ｃｏ−ｐ ｔ 、 Ｎ
ｉ−Ｃｕ。
ｉ−Ｃｕ。
Ｍｎ−Ｂ ｉ 、 Ｍｎ−８ｂ 、 Ｍｎ −Ａ ｌｊ
、 Ｆｅ−Ｃｒ。
、 Ｆｅ−Ｃｒ。
Ｃｏ−Ｃｒ 、Ｎｉ−Ｃｒ 、ｐｅ−Ｃｏ−Ｃｒ 。
Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎ １−Ｃｒ等のような強磁性合金が用
いられる。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体として充分な
出力全与え得る厚さおよび高密度記録の充分性なえる薄
さを必要とすることから一般には０．０１１１ｍ７Ｄ’
ら１．Ｏｔｔｍｓ好ましくは０．／ 、ｔｔ ｍ
からＯ０≠μｍである。テープ状基体としてはポリエチ
レンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、゛ポリ
塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、ポ
リエチレンナフタレートのＬうなプラスチックベース、
あるいはＡｌｌ、Ａｌ１合金、’ｌ’ｉ 、Ｔｉ合金、
ステンレス鋼のような金属帯が用いられる。
いられる。磁性膜の厚さは、磁気記録媒体として充分な
出力全与え得る厚さおよび高密度記録の充分性なえる薄
さを必要とすることから一般には０．０１１１ｍ７Ｄ’
ら１．Ｏｔｔｍｓ好ましくは０．／ 、ｔｔ ｍ
からＯ０≠μｍである。テープ状基体としてはポリエチ
レンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、゛ポリ
塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、ポ
リエチレンナフタレートのＬうなプラスチックベース、
あるいはＡｌｌ、Ａｌ１合金、’ｌ’ｉ 、Ｔｉ合金、
ステンレス鋼のような金属帯が用いられる。
蒸発源加熱方法としては低抗加熱法、レーザービーム加
熱法、高周波加熱方法、電子ビーム加熱法等いずれの方
法も用いうる。蒸発物質の供給方法として線状側斜ある
いは棒状材料を加熱源に送り出す方法も使用できる。
熱法、高周波加熱方法、電子ビーム加熱法等いずれの方
法も用いうる。蒸発物質の供給方法として線状側斜ある
いは棒状材料を加熱源に送り出す方法も使用できる。
また蒸着の際醸化性ガス、活性ガスあるいは不活性ガス
金導入せしめても良い。
金導入せしめても良い。
前記可撓性ベルト２７としては、Ａｌ 、 Ｃｕ 。
Ｔ ’ ＋ステンレス等の金属帯を用いるのが好ましい
。
。
第１図は従来の磁気記録媒体の製造装置要部の側面図、
第２図は本発明による磁気記録媒体の製造装置要部を示
した側面図である。コ／は冷却用回転シリング゛ ４ヤ
ン、２乙は回転小ローラー、２７は可撓性エンドレスベ
ルトである。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社手続補正書 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和！ｇ年特願第 ３ｊＯ１ｊ
号２、発明の名称 磁気記録媒体の製造装置３、補
正をする者 事件との関係 特許出願人件 所 神奈
川県南足柄市中沼２１０番地名 称（５２０）富士写真
フィルム株式会社４、補正の対象 明細書の「発明の
詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 本願明細瞥第６頁第、２０行乃至第７頁Ｍ１行目のｌｆ
記蒸発ビーム・・・・・・になっている。」を削除する
。
第２図は本発明による磁気記録媒体の製造装置要部を示
した側面図である。コ／は冷却用回転シリング゛ ４ヤ
ン、２乙は回転小ローラー、２７は可撓性エンドレスベ
ルトである。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社手続補正書 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和！ｇ年特願第 ３ｊＯ１ｊ
号２、発明の名称 磁気記録媒体の製造装置３、補
正をする者 事件との関係 特許出願人件 所 神奈
川県南足柄市中沼２１０番地名 称（５２０）富士写真
フィルム株式会社４、補正の対象 明細書の「発明の
詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 本願明細瞥第６頁第、２０行乃至第７頁Ｍ１行目のｌｆ
記蒸発ビーム・・・・・・になっている。」を削除する
。
Claims (2)
- （１） 真空雰囲気内に冷却用回転シリンタ′−キャ
ンおよび該キャンに隣接するように回転小ローラーを、
前記キャンの外周面最下点よシも前記小ローラーの外周
面最下点が上方となるように配設すると共に、前記キャ
ンと該小ローラー間に可撓性エンドレスベルトラ張設し
て成り、前記冷却キャンによシ冷却された前記可撓性エ
ンドレスベルトに沿って斜め移動するテープ状基体に、
前記冷却キャンおよび前記小ローラーの下方に配設され
た蒸発源より強磁性材料を斜め蒸着することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造装置。 - （２）曲記冷却用回転シリンダーキャンの半径Ｒ１前記
小ローラーの半径ｒの時、Ｒ〉３ｒとしたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3501583A JPS59160829A (ja) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3501583A JPS59160829A (ja) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59160829A true JPS59160829A (ja) | 1984-09-11 |
Family
ID=12430240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3501583A Pending JPS59160829A (ja) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59160829A (ja) |
-
1983
- 1983-03-03 JP JP3501583A patent/JPS59160829A/ja active Pending
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