JPH0991662A

JPH0991662A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH0991662A
Application number: JP7249048A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Kitaori; 典之北折; Osamu Yoshida; 修吉田; Katsumi Sasaki; 克己佐々木; Junko Ishikawa; 准子石川; Katsumi Endo; 克巳遠藤
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1995-09-27
Filing date: 1995-09-27
Publication date: 1997-04-04
Anticipated expiration: 2015-09-27
Also published as: US5853871A; JP2761859B2

Abstract

(57)【要約】【課題】Ｆｅを材料として用いた場合において、電磁
変換特性に優れ、かつ、耐久性および耐蝕性に富み、走
行安定性に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する
ことである。【解決手段】支持体と、該支持体の一面側に設けられ
たＦｅ，Ｃ及びＯを有する一層または二層以上のＦｅ−
Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の
上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、該ダ
イヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素系
潤滑剤の膜とを具備する磁気記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｆｅ系金属磁性膜
を有する磁気記録媒体に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】磁性膜を蒸着やスパッ
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。例えば、これまでは、主とし
て、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が用いられて
いる。

【０００３】しかし、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等は価格が高
い。この問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。すな
わち、Ｆｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こ
すことも少ない。しかし、Ｆｅを用いた場合において、
全体構成を如何にすれば良いかの検討は開発途中の段階
であり、手探りの状態である。

【０００４】従って、本発明の目的は、Ｆｅを材料とし
て用いた場合において、電磁変換特性に優れ、かつ、耐
久性および耐蝕性に富み、走行安定性に優れた金属薄膜
型の磁気記録媒体を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、支
持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｃ及びＯ
を有する一層または二層以上のＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性
膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダ
イヤモンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライク
カーボン膜の上に設けられたフッ素系潤滑剤の膜とを具
備することを特徴とする磁気記録媒体によって達成され
る。

【０００６】又、支持体と、該支持体の一面側に設けら
れたＦｅ，Ｃ及びＯを有する一層または二層以上のＦｅ
−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜
の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、該
ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素
系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属薄
膜型のバックコート膜とを具備することを特徴とする磁
気記録媒体によって達成される。

【０００７】又、支持体と、該支持体の一面側に設けら
れたＦｅ，Ｃ及びＯを有する一層または二層以上のＦｅ
−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜
の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、該
ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素
系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属薄
膜型のバックコート膜と、該バックコート膜の上に設け
られたフッ素系潤滑剤の膜とを具備することを特徴とす
る磁気記録媒体によって達成される。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明は、支持体と、該支持体の
一面側に設けられたＦｅ，Ｃ及びＯを有する一層または
二層以上のＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−
Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモンドライクカ
ーボン膜と、該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜とを具備するものである。

【０００９】特に、支持体と、該支持体の一面側に設け
られたＦｅ，Ｃ及びＯを有する一層または二層以上のＦ
ｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性
膜の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、
該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属
薄膜型のバックコート膜とを具備するものである、又、
支持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｃ及び
Ｏを有する一層または二層以上のＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁
性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられた
ダイヤモンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライ
クカーボン膜の上に設けられたフッ素系潤滑剤の膜と、
該支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコー
ト膜と、該バックコート膜の上に設けられたフッ素系潤
滑剤の膜とを具備するものである。

【００１０】尚、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と支持体と
の間にＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜以外の磁性膜が設けら
れていても良い。本発明の磁気記録媒体の支持体として
は、磁性を有するものでも、非磁性のものでも良い。代
表的なものとして、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
ブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、
ポリシクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリ
エチレンビスフェノキシカルボキシレート等のポリエス
テル類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフ
ィン類、セルロースアセテートブチレート、セルロース
アセテートプロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ
塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポ
リアミド、ポリカーボネート等の非磁性のプラスチック
材料が挙げられる。勿論、これらに限定されるものでは
ない。又、各種の処理が行われることが有る。例えば、
コロナ放電、あるいはその他適宜な手段による表面処理
がなされる。又、接着性向上の為のポリエステルやポリ
ウレタンあるいはオリゴマー等が塗布されても良い。

【００１１】この支持体の一面側に、斜め蒸着等のＰＶ
Ｄ（フィジカルベーパーデポジション）法によりＦｅ−
Ｃ−Ｏ系金属磁性膜が一層あるいは二層以上設けられ
る。この成膜を、成膜速度が大きな蒸着法を例にとって
説明すると次のようになる。先ず、斜め蒸着装置内を所
定の真空度に排気すると共に、電子銃あるいはその他の
手段によりＦｅ系金属材料を蒸発させ、走行する支持体
上にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させる。この付着・堆
積に際しては、Ｆｅ系金属蒸発粒子あるいは堆積面に向
けて炭素イオンや酸素イオン（又は酸素ガス）等を照射
し、非磁性の支持体上に設ける８００〜５０００Å厚さ
の磁性膜をＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜とする。尚、Ｆ
ｅ：Ｃ：Ｏは５０〜９０ａｔ．％（原子％）：５〜３５
ａｔ．％：５〜３５ａｔ．％が好ましい。より好ましく
は、Ｆｅ：Ｃ：Ｏが６０〜８６ａｔ．％：７〜２５ａ
ｔ．％：７〜２５ａｔ．％である。尚、Ｆｅ以外の金属
元素の含有量は例えば５ｗｔ％以下と言ったように少量
であるから、これらの金属元素による変動は僅かであ
り、Ｆｅ，Ｃ，Ｏのみで規定した。

【００１２】上記磁性膜の表面には保護膜が設けられ
る。この保護膜を構成する材料として、例えばＡｌ，Ｓ
ｉ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ等の金属
の酸化物、窒化物、炭化物あるいはボロンナイトライド
等が考えられるが、本発明ではダイヤモンドライクカー
ボンを選んだ。このダイヤモンドライクカーボンからな
る保護膜は、その厚さが１０〜５００Å程度である。特
に、３０〜２００Å程度が好ましい。

【００１３】ダイヤモンドライクカーボンよりなる保護
膜は、例えばＣＶＤ手段を用いて成膜される。すなわ
ち、真空槽内に配設された供給側ロールから冷却キャン
ロールを経て巻取側ロールに走行している支持体（金属
磁性膜）に対してＣＶＤ装置を作動させ、冷却キャンロ
ールに添接されている金属磁性膜に対して炭化水素系ガ
スのプラズマを吹き付けると、表面にダイヤモンドライ
クカーボン膜が成膜される。ダイヤモンドライクカーボ
ン膜を形成する為の炭化水素系ガスとしては、メタン等
のパラフィン系炭化水素、ベンゼン等の芳香族炭化水
素、あるいはこれらの同族体や誘導体のようなＮを環構
成要素として含む窒素含有環状炭化水素を挙げることが
出来る。又、Ｈ₂，Ｏ₂，Ｎ₂，ＮＨ₃，ＮＯ₂，ＮＯ
等も炭化水素系のガスと併用出来る。

【００１４】支持体の他面（裏面）には、バックコート
層、特に金属薄膜型のバックコート膜（金属系膜）が設
けられる。すなわち、例えば無電解メッキ等の湿式メッ
キ手段、蒸着法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高
周波スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波
マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法など
の乾式メッキ手段により金属系膜が設けられる。尚、こ
のバックコート膜は、その厚さが１０００〜５０００
Å、より好ましくは１５００〜３５００Å程度である。
バックコート膜を構成する金属粒子の材料としては、例
えばＡｌ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｆｅ，Ｔｉなどの
金属が用いられる。又、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭ
ｎ，Ｆｅ，Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二
つ以上）系合金、Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ｔｉ合金等が用い
られる。尚、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭｎ，Ｆｅ，
Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二つ以上）系
合金におけるＣｕ含有量は７０〜９０ａｔ％、Ａｌ含有
量は８〜２５ａｔ％、Ｍｎ含有量が０．５〜４ａｔ％
で、Ｆｅ含有量が０．４〜５ａｔ％で、Ｎｉ含有量が
０．４〜４ａｔ％であり、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉの総含有量
が１〜６ａｔ％であることが好ましい。又、Ａｌ−Ｓｉ
系合金におけるＡｌ含有量は１５〜７０ａｔ％、Ｓｉ含
有量が１５〜７０ａｔ％であることが好ましい。

【００１５】又、バックコート膜の成膜時に、酸化性ガ
スや酸素イオンあるいは酸素ラディカルを供給し、金属
系膜の表層部分が酸化されるようにしても良い。あるい
は、反応性に富む窒素化合物、窒素イオンや窒素ラディ
カルを供給し、金属系膜の表層部分が窒化されるように
しても良い。若しくは、反応性に富む炭素化合物、炭素
イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系膜の表層部分
が炭化されるようにしても良い。尚、反応性に富む炭素
化合物、炭素イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系
膜の表層部分を炭化することは、前記ダイヤモンドライ
クカーボン膜に似通って来るから好ましい。

【００１６】上記金属薄膜型の磁性膜や金属薄膜型のバ
ックコート膜は、磁性膜を成膜した後、バックコート膜
を成膜しても良い。逆に、バックコート膜を成膜した
後、磁性膜を成膜しても良い。あるいは、ほぼ同一の工
程で成膜されても良い。尚、工程的には、磁性膜の上に
ダイヤモンドライクカーボン膜が設けられるから、バッ
クコート膜を成膜した後、磁性膜を成膜するようにする
ことが好ましい。

【００１７】上記のようにしてＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性
膜、ダイヤモンドライクカーボン膜、及び金属薄膜型の
バックコート膜が成膜された後、フッ素系潤滑剤の膜が
浸漬あるいは超音波噴霧などの手段により２０〜７０Å
程度の厚さ設けられる。このフッ素系潤滑剤は、ダイヤ
モンドライクカーボン膜上に付けられる。あるいは、ダ
イヤモンドライクカーボン膜と金属薄膜型のバックコー
ト膜上に付けられる。勿論、両面に付ける方が好まし
い。潤滑剤としては、例えば-(C(R)F-CF₂-O)_p-（但
し、ＲはＦ，ＣＦ₃，ＣＨ₃などの基）、特にHOOC-CF₂
(O-C₂F₄)_p(OCF₂)_q-OCF₂-COOH ，F-(CF₂CF₂CF₂O)_n-CF
₂CF₂COOH と言ったようなカルボキシル基変性パーフロ
オロポリエーテル、HOCH₂-CF₂(O-C₂F₄) _p(OCF₂)_q -OC
F₂-CH₂OH，HO-(C₂H₄-O) _m-CH₂-(O-C₂F₄) _p(OCF₂)_q -
OCH₂-(OCH₂CH₂)_n-OH ，F-(CF₂CF₂CF₂O)_n-CF₂CF₂CH₂OH
と言ったようなアルコール変性パーフロオロポリエーテ
ル、又、分子の一方に、又は、一部にアルキル基などの
飽和炭化水素基、あるいは不飽和炭化水素基、若しくは
芳香族炭化水素基、その他の官能基が付いたもの等が挙
げられる。分子量は５００〜５００００のものが好まし
い。具体的には、モンテカチーニ社のＦＯＭＢＬＩＮ
ＺＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮＺＤＯＬ、ダイキン
工業社のデムナムＳＡ等がある。

【００１８】

【実施例１】図１は本発明になる磁気記録媒体（８ｍｍ
ＶＴＲ用磁気テープ）の第１実施例の概略図、図２は金
属磁性膜の成膜装置、図３はダイヤモンドライクカーボ
ン膜の成膜装置、図４はバックコート膜の成膜装置であ
る。図１中、１は７μｍ厚のＰＥＴフィルムである。

【００１９】２は、図２の装置を用いて、ＰＥＴフィル
ム１の表面に斜め蒸着手段により設けた１８００Å厚の
Ｆｅ−Ｃ−Ｏ（Ｆｅ７５ａｔ．％：Ｃ１５ａｔ．
％：Ｏ１０ａｔ．％）系金属磁性膜である。３は、図３
の装置を用いて、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系磁性膜２上に設
けられた７５Å厚さのダイヤモンドライクカーボン膜で
ある。

【００２０】４は、図４の装置を用いて、ＰＥＴフィル
ム１の裏面に設けたＣｕ−Ａｌ系合金からなる２０００
Å厚の金属系膜（バックコート膜）である。尚、この金
属薄膜型の磁気記録媒体は、先ず、ＰＥＴフィルム１を
図４の蒸着装置（図４中、１はＰＥＴフィルム、１１は
冷却キャンロール、１２はルツボ内（蒸発源）に置かれ
たＣｕ−Ａｌ系合金、１３は電子銃）に装填し、装置内
のルツボに充填されたＣｕ−Ａｌ系合金１２に電子ビー
ムを照射し、酸素ガスを導入しながらＰＥＴフィルム１
の裏面にＣｕ−Ａｌ系合金粒子を蒸着させた後、図２の
斜め蒸着装置（図２中、１はＰＥＴフィルム、２１はル
ツボ内（蒸発源）のＦｅ系金属材料、２２は炭素イオン
照射用イオンガン、２３は酸素イオン照射用イオンガ
ン、２４は電子銃）に案内し、装置内のルツボに充填さ
れたＦｅ系金属材料２１に電子ビームを照射し、炭素イ
オン及び酸素イオンをイオンガン２２，２３で照射しな
がらＰＥＴフィルム１の表面にＦｅ系金属粒子を蒸着さ
せる。その後、図３のＥＣＲプラズマＣＶＤ装置（図３
中、１はＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属系磁性膜が成膜されたＰＥ
Ｔフィルム、３１はＥＣＲプラズマＣＶＤ装置）に案内
し、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系磁性膜２上にダイヤモンドラ
イクカーボン膜３を設ける。

【００２１】５ａ，５ｂは、ダイヤモンドライクカーボ
ン膜３及びバックコート膜４の成膜後、超音波噴霧によ
り設けられた２０Å厚さのフッ素系潤滑剤（ＦＯＭＢＬ
ＩＮＺＤＩＡＣ）の膜である。

【００２２】

【実施例２】実施例１において、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系
磁性膜をＦｅ−Ｃ−Ｏ（Ｆｅ９０ａｔ．％：Ｃ５ａ
ｔ．％：Ｏ５ａｔ．％）系金属磁性膜とした以外は実
施例１に準じて行った。

【００２３】

【実施例３】実施例１において、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系
磁性膜をＦｅ−Ｃ−Ｏ（Ｆｅ６０ａｔ．％：Ｃ３５
ａｔ．％：Ｏ５ａｔ．％）系金属磁性膜とした以外は
実施例１に準じて行った。

【００２４】

【実施例４】実施例１において、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系
磁性膜をＦｅ−Ｃ−Ｏ（Ｆｅ６５ａｔ．％：Ｃ５ａ
ｔ．％：Ｏ３０ａｔ．％）系金属磁性膜とした以外は
実施例１に準じて行った。

【００２５】

【比較例１】実施例１において、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系
磁性膜の代わりにＦｅ金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。

【００２６】

【比較例２】実施例１において、Ｆｅ系金属粒子の蒸着
時に炭素イオンを照射せず、酸素イオンのみを照射し、
Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属系磁性膜の代わりにＦｅ−Ｏ（Ｆｅ
７０ａｔ．％：Ｏ３０ａｔ．％）系金属磁性膜とし
た以外は実施例１に準じて行った。

【００２７】

【比較例３】実施例１において、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜３の代わりにＳｉのターゲットを用い、酸素ガ
スを流しながらＤＣマグネトロンスパッタリングにより
ＳｉＯ_x膜を成膜した以外は実施例１に準じて行った。

【００２８】

【比較例４】実施例１において、フッ素系潤滑剤の代わ
りにミリスチン酸（潤滑剤）を用いた以外は実施例１に
準じて行った。

【００２９】

【特性】上記各例で得た磁気テープについて、７ＭＨｚ
の輝度信号の再生出力、走行安定性、耐久性、耐蝕性に
ついて調べたので、その結果を表−１に示す。走行安定
性は、ジッターの測定値を目安に、耐久性はスチル耐久
性の結果を目安に、耐蝕性は６０℃、９０％ＲＨ下に１
週間放置した後の飽和磁束密度Ｂｓの低下率を目安とし
た。ジッターの測定は、市販のＨｉ８ｍｍＶＴＲを改造
したものを用い、これにジッターメータをつないで測定
し、スチル耐久性は５時間スチル再生した時の７ＭＨｚ
での輝度信号の出力低下をスペクトルアナライザーを用
いて測定した。

【００３０】表−１再生出力(dB) ジッター(ns) スチル耐久性(dB) 耐蝕性ΔＢｓ(%) 実施例１＋７．４４７ −０．８ −４実施例２＋６．９４９ −１．２ −８実施例３＋７．１４６ −０．３ −２実施例４＋６．６４５ −０．５ −２比較例１測定不能測定不能測定不能 −２６比較例２ −３．８５１ −３．５ −１７比較例３＋７．２５５ −２．１ −１０比較例４＋７．０６９ −２．６ −１２＊再生出力は市販の塗布型メタルテープを基準（０ｄＢ）これによれば、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、この上に
設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、このダイ
ヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素系潤
滑剤の膜との組み合わせになる磁気記録媒体は、これら
の構成要件が一つでも欠けた比較例１，２，３，４の磁
気記録媒体よりも優れたものであることが判る。すなわ
ち、本願発明の組み合わせが如何に大事なものであるか
が判る。

【００３１】例えば、実施例１と比較例１や比較例２と
の対比から判る通り、ダイヤモンドライクカーボン膜、
フッ素系潤滑剤の膜、金属薄膜型のバックコート膜の要
件が満たされても、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の要件を
欠いたならば、電磁変換特性、走行性、耐久性、及び耐
蝕性が劣り、到底に本願発明の特長を奏することが出来
ない。

【００３２】又、実施例１と比較例３との対比から判る
通り、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜、フッ素系潤滑剤の
膜、金属薄膜型のバックコート膜の要件が満たされて
も、ダイヤモンドライクカーボン膜の要件を欠いたなら
ば、耐久性が劣り、到底に本願発明の特長を奏すること
が出来ない。又、実施例１と比較例４との対比から判る
通り、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜、ダイヤモンドライク
カーボン膜、金属薄膜型のバックコート膜の要件が満た
されても、フッ素系潤滑剤の膜の要件を欠いたならば、
走行性、及び耐久性が劣り、到底に本願発明の特長を奏
することが出来ない。

【００３３】

【発明の効果】安価なＦｅを用いて高密度記録に適した
磁気記録媒体が得られる。しかも、この磁気記録媒体
は、電磁変換特性、走行性、耐久性、及び耐蝕性に優れ
たものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる磁気記録媒体の概略図

【図２】金属磁性膜の成膜装置

【図３】ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置

【図４】バックコート膜の成膜装置

【符号の説明】

１支持体２金属磁性膜３ダイヤモンドライクカーボン膜４金属系膜（バックコート膜）５ａ，５ｂフッ素系潤滑剤の膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ２３Ｃ 14/56 Ｃ２３Ｃ 14/56 Ｋ (72)発明者石川准子栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者遠藤克巳栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｃ及びＯを有する
一層または二層以上のＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモ
ンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜とを具備することを特徴とする磁気記録
媒体。
【請求項２】支持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｃ及びＯを有する
一層または二層以上のＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモ
ンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコー
ト膜とを具備することを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】支持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｃ及びＯを有する
一層または二層以上のＦｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモ
ンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコー
ト膜と、該バックコート膜の上に設けられたフッ素系潤滑剤の膜
とを具備することを特徴とする磁気記録媒体。