KR890003584B1 - 자기 기록매체의 증착 방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

자기 기록매체의 증착 방법

첨부 도면은 본 발명에서 이용한 자기 기록매체의 증착방법을 설명한 개략도이다.

본 발명은 자기 기록매체의 증착방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 비자성 지지체 위에 강자성 금속의 산화물을 아크 방전식 이온 프레이팅법으로 증착시키는 자기 기록매체의 증착방법에 관한 것이다.

종래의 자기 기록매체는 비자성 지지체위에 r-Fe₂O₃, Co를 도핑(dopping)한 r-Fe₂O₃, Fe₃O₄, Fe₃O₄, r-Fe₂O₃의 의 화합물, CrO₂등의 자성분말 혹은 강자성 합금 분말등의 분말 자성 재료를 염화비닐-초산비닐 공중합체, 스티렌부타디엔 공중합체, 에폭시수지, 포리우레탄수지등의 유기 바인더중에 분산시킨 것을 도포하여 건조시킨 도포형이 사용되어 왔다.

최근 고기록 밀도에의 요구가 높아짐에 따라 진공증착, 스파터링(Sputtering), 이온 프레이팅등의 증기 증착법 혹은 전기도금, 무전해 도금등의 도금법에 의해 형성된 강자성 금속박막을 자기 기록층으로 하는 바인더를 사용하지 않은 소위 비바인더형 자기 기록매체가 주목을 받고 있고 실용화에 노력을 기울이고 있다.

종래의 도포형 자기 기록매체에서는 대부분 강자성 금속보다 포화자화가 낮은 금속산화물을 자성재료로서 사용하고있기 때문에 박막화하면 신호출력이 저하하므로 고밀도 기록에 한계가 있고, 또한 그 제조공정도 복잡하고 용제회수 혹은 공해방지를 위해 대형 부대설비를 요하는 결정을 갖고있다.

상기의 비 바인더형의 자기 기록매체에서는 상기 산화물 보다 큰 포화자화를 갖는 강자성 금속을 바인더와 같은 비자성물질을 함유하지 않은 상태에서 박막으로서 형성시키기 때문에 고밀도 기록화를 위한 초 박막화가 가능하다는 이점이 있고, 더우기 그 제조공정이 보다 간략화 된다.

고밀도 기록용의 자기기록매체에 요구되는 조건의 하나로서 고향자력화, 박막화가 이론적으로도 실험적으로도 제창되고 있고 도포형의 자기 기록매체보다도 박막화가 용이하고 포화자속 밀도도 큰 비 바인더형 자기 기록매체에의 기대가 크다.

따라서 본 발명의 목적은 정자기 특성이 우수하고, 뛰어난 내식성및 내마모성을 지니며 이들의 경시 변화에 따른 기록신호의 감소 혹은 소실이 일어나지 않고, 고밀도 기록의 적용이 가능한 자기 기록매체의 증착방법을 제공하는 데있다.

본 발명은 진공으로 유지하는 진공조 내에 금속캔을 설치하고, 금속캔을 감돌며 공급릴에서 감는 릴로 이송되는 비자성 지지체상에 아크 방전형 이온총으로써 30°- 60°의 입사각으로 금속 자성재료를 경사 증착시킨을 특징으로 하는 자기 기록매체의 증착방법에 관한 것이다.

본 발명에 사용 된 자성 금속재료로서는 Fe, Co, Ni, 등의 금속 혹은, Fe-Co, Co-Ni, Fe-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Y, Co-Au, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cn, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr, Fe-Co-Ni-Cr 등의 강자성 합금이다.

특히 Fe혹은 Fe를 70중량%이상 함유한 합금이 바람직하다.

산소 분위기에서 증착시 Co이외의 강자성 금속(예를 들어 철등)은 산화시키기가 용이하지 않으므로 강자성 금속을 전자 빔등으로 가열 증발시키면서 아크 방전형 이온총으로 이온화 시킨 산소와 반응시킨 후 증착시키면 Co이외의 강자성 금속도 용이하게 산화가 가능하고 산소분위기에서 얻을 수 없는 산화물도 얻을 수 있다.

예를 들어 철을 상기 방법으로 증착시킨 것을 매스스펙트로 스코피를 이용하여 분석해 보면 FexO, FeO, α=fe₂O₃, r-Fe₂O₃', Fe₃O₄등과 그들의 혼합물의 형성 된것을 알 수 있다.

상기의 철의 산화물중 FeO, α-Fe₂O₃는 상온에서 강자성 물질이 아니므로 r-Fe₂O₃혹은 Fe₃O₄가 막중에 형성 되는 것이 바람직하다.

Fe₃O₄는 경시 변화가 좋지 않으므로 특히 r-Fe₂O₃를 형성 시키는 것이 가장 바람직하다.

상기와 같은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 자기 기록매체는 박막자체가 산화물로 구성되어 있기 때문에 내식성 이 탁월하고 내마모성도 우수하다.

[실시예]

이하 본 발명의 실시예를 설명한다.

제1도는 본 발명에 적용시킨 중착장치의 개략도이다.

이 증착장치(1)은 진공분위기로 유지된 진공조(2)내에 금속캔(3)을 설치하여, 이것을 감돌며 비 자성지지체(4)가 공급릴(5)로 부터 감는 릴(6)에 이송되어 금속캔(3)의 하반에 적당한 거리를 두고 금속자성재료, 예를 들면 Fe 등의 증발원(7)이 배치되어, 이 증발원으로부터 증발한 금속자성입자가 아크방전형 이온총(9)으로부터 이온화 된 산소와 반응하여 셔터(8)에 의해 비 자성지지체(4)위에 소정의 입사각 θ를 갖고 경사 증착되도록 구성되어 있다.

이와 같은 장치를 이용하여 Fe를 1000-2000A°/S의 증발속도를 증발시킴과 동시에 산소분압

Torr에서 아크방전형 이온총으로 산소를 이온화시켜 고분자 필름인 비자성 지지체위에 막 두께 500-2000Ao이 되도록 경사 증착시켰다.

증착시의 증기류의 최저 입사각 θmin은 30°-6-°이었다.

상기와 같이 제조된 자기 기록매체의 항자력 Hc 및 각형비 Rs는 산소분압, 증기류의 최저 입사각, 산소이온 전류등에 의해 콘트롤이 가능하다.

[실시예 1]

고분자 비자성 지지체위에 금속자성재료로 Fe를 사용하고 제1도의 장치를 사용하여 최저 입사각아크방전형 이온총(9)쪽으로 도입되는 산소 분압을 5磋

Torr으로 하고 막 두께 1500 A°로 증착하여 자성층을 형성했다.

이렇게하여 얻어진 자기 기록매체의 정자기 특성은 항자력 Hc=900 Oe 각형비 Rs=83이었다.

이 자기 기록매체를 실시예 1로 했다.

[실시예 2]

아크방전형 이온총(9)쪽으로 도입되는 산소분압을 3磋

Torr으로 하고 그의 조건은 실시예1과 동일하게 했다.

이렇게 하여 얻어진 자기 기록매체의 정자기 특성은 항자력 Hc=1000 Oe, 각형비 Rs=0.80이었다.

[비교예 1]

금속자성 재료로서 Co-2ONi을 사용하고 산소를 도입하지 않고 증착시키고, 그 외의 조건을 실시예 1과 동일하도록 했다.

이와같은 얻어진 자기 기록매체의 정자기 특성은 항자력 Hc=700, Rs=0.95이었다.

이 자기 기록매체를 비교예2로 했다.

[비교예 2]

금속자성 재료로서 Co-20Ni를 사용하고 아크방전형 이온총을 사용하지 않고 산소분압 7磋

Torr의 산소분위계에서 증착시키고, 그외의 조건은 실시예 1과 동일하도록 했다.

이와 같이 얻어진 자기 기록매체의 정자기 특성은 실시예 2와 동일했다.

이 자기 기록매체를 비교예2로 했다.

상기 각 예의 자기 기록매체의 내식성 및 내모성을 측정했다.

내식성은 40 C, 80%RH의 항온항습조에서 10일 유지후 포화자화의 감소를 측정하여 3단계 평가에 의해 판정했다.

내마모성은 8mm VTR 에서 테이프를 10분간 스틸모드에 둔후 자성막면의 헤드 자국의 발생상황을 현미경 관찰하여 이것도 3단계 평가에 의해 판정했다. 결과는 표1과 같다.

[표 1]

*3단계 평가에 의한다.(3이 가장좋음)

이와같이 본 발명의제조방법에의한 자기기록매체는 내식성및 내마모성이뛰어나다는 것을 확실히 알 수 있다.

Claims (1)

1. 진공으로 유지되는 진공조내에 금속캔을 설치하고, 금속캔을 감돌며 공급릴에서 감는릴로 이송되는 비자성 지지체상에 금속자성, 재료를 경사 증착시킴과 동시에 아아크 방전형 이온층으로 이온화시킨 가스를 도입하여 상기 금속 자성재료와 반응시킴을 특징으로 하는 자기기록매체의 증착방법.

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