JPS61294635A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPS61294635A
JPS61294635A JP13426485A JP13426485A JPS61294635A JP S61294635 A JPS61294635 A JP S61294635A JP 13426485 A JP13426485 A JP 13426485A JP 13426485 A JP13426485 A JP 13426485A JP S61294635 A JPS61294635 A JP S61294635A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
magnetic recording
magnetic
oxide film
films
Prior art date
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Pending
Application number
JP13426485A
Other languages
English (en)
Inventor
Morimi Hashimoto
母理美 橋本
Hirotsugu Takagi
高木 博嗣
Kenji Suzuki
謙二 鈴木
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、高分子フィルム基体上に強磁性金属の薄膜を
有する磁気記録媒体に関するものである。
[開示の概要] 本明細書及び図面は金属薄膜磁気記録層を有する磁気記
録媒体において、前記金属薄膜磁気記録層と高分子フィ
ルム基体の間に薄膜堆積法により形成されるCo酸化膜
を設けることによって、カールがなく、磁気記録層の基
体に対する密着性の大きい磁気記録媒体を提供する技術
を開示するものである。
[従来の技術] 最近、塗布型磁気記録媒体に変わって、高い保磁力と残
留磁束密度を有する金属薄III型磁気記録媒体が注目
されている。特に高密度記録を達成する方法として、磁
気記録媒体の膜面に垂直方向に磁化容易軸を持つ記録媒
体を用いて厚み方向に信号を記録する垂直記録方式が提
案され(たとえば、層端ら「複合異方性フィルムによる
垂直磁気記録J  (’J、 Iwasaki et 
al。
”PerpendicularMagnetic Re
cording with aComposite A
nisotrop7 Fi1m″IEEE Trans
Magn、、 vol、 WAG−15,05(197
9) > )以後、その媒体としテGo−Cr膜、 G
o −Ru[、Go −0膜等のCO系合金薄膜の垂直
磁気記録媒体の研究が盛んである。
このような金属薄膜型磁気記録媒体は、高分子フィルム
から成る基体上に、真空蒸着、イオンブレーティング、
スパッタ、メッキ等の手段によって直接金属薄膜の磁性
層を形成して得られる。
[発明が解決しようとする問題点] このような薄膜堆積法によって形成された金属薄膜型磁
気記録媒体は、金属薄膜に残留する強い内部応力により
、成膜後磁性層側を凹とするカールが発生することが多
い。カールが生じると、磁気テープのような磁気記録媒
体では走行性悪化、巻き乱れ、ヘッドタッチ不良等の問
題が生じ、また磁気シートのような記録媒体では全く使
用できなくなるという欠点がある。
本発明は上述した金属薄膜型磁気記録媒体の持つカール
を克服し、実用的に優れた磁気記録媒体を提供するもの
である。
[問題点を解決するための手段及び作用]本発明の磁気
記録媒体は、高分子フィルム基体上に薄膜堆積法により
Co酸化膜を形成し、さらにその上に薄膜堆積法により
強磁性金属の磁気記録層を形成したものである。さらに
、本発明の媒体の保wIWR滑層としてco#化物層を
形成しても良い、以下、図面を参照して本発明を説明す
る。
第1図及び第2図は1本発明の磁気記録媒体の構成図で
ある。高分子フィルム基体lは、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリイミド、ポリアミド、アセテート等である
。−Co酸化膜2及び4は真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンブレーティング法等の方法で形成される。強
磁性薄膜3はFa、 Co、旧等の金属又は少なくとも
それらを含む合金であり、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンブレーティング法、メッキ法等によって形成
される。
Co酸化膜は、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等の高分子フィルム上に形成すると、Co酸化膜を外側
にカールする。一方、多くの強磁性金属膜は高分子フィ
ルム上に形成すると金属膜を内側にカールする。したが
って、Co酸化膜と強磁性金属膜を積層することにより
、カールのきわめて小さい磁気記録媒体を得ることがで
きる。Co酸化膜の厚みは強磁性金属膜のみのカールを
補償する厚みに選ばれるべきであり、強磁性金属膜の材
質および厚みに依存し変化する。また、CO#化膜は高
分子フィルムへの付着力がきわめて高く、Co−旧斜方
蒸着膜のごとく高分子フィルムへの付着が弱い磁気記録
層の下びきとして極めて有効である。さらに、Co酸化
膜と上部磁性層とが同一方法で作製できる、あるいは連
続的に作製できるという利点もある。
Co酸化膜は、その酸化の度合すなわち酸素含有率によ
り強磁性又は反強磁性を示す物質である。
したがってCo酸化膜の磁気的特性によっては上部磁性
層の特性と合わせて優れた録再特性の磁気記録媒体とな
る。すなわち、酸素含有量の少ないG。
酸化膜は、飽和磁束密度Bsが大きく、かつ保磁力Hc
が小さいので、上部磁性層を垂直磁化膜とした場合、そ
の裏打ち層の作用をなす。また、酸素含有量を多くして
いくと、飽和磁束密度Bsは低下するが、保磁力Heは
大きくなっていき、Co酸化膜が面内記録層あるいは垂
直磁気記録層の特性を有するようになる。
すなわち、 Co酸化膜がカール防止、付着力の向上の
効果のみでなく、磁気記録層として働くため、再生出力
の向上に寄与する。
[実施例] 以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
実施例1 50gm厚ポリエチレンテレフタレー) (PET )
フィ)L/ ム上に酸素8%を含むアルゴンガス中でG
oをスパッタリングし、Co酸化膜を形成し、さらにス
パッタリングチCo 82vt$ −Cr 18wt%
(7)垂直磁化膜を室温で形成し、5.25インチのフ
ロッピーディスクを作製した。第1図は本発明媒体の構
成図である。下部CO#化膜のBsは15000Gau
ss。
Hc(面内)は800eであり、上部Go−Cr膜のE
sは5800Gauss 、 Hc (垂直)は800
0eである。
第3図は、5−1厚PET上に種々の厚みのGo−Cr
膜のみ、 Co酸化膜のみを成膜したときのカールを曲
率−(mm−1)で示したものである。
γ ここでカールが凹とは蒸着膜を内側にカール、凸とは蒸
着膜を外側にカールすることを示す。
Go−Cr単層の場合は磁性層を内側にカールし、Co
酸化膜のみの場合には磁性層を外側にカールする。した
がってGo−Cr膜とCo酸化膜を積層することにより
カールを制御することができる。
第4図にCo−Cr膜の厚みを0.4 gtsと一定に
し、Go酸化物の厚みを0.01.0.03.0.05
.0.0?。
0.1 gtaと変えたときのカールを示したものであ
るa Co  Cr膜が0.4 gtsの場合にはCo
酸化膜を0.07gm形成したときにカール0となり、
実用上十分平坦なフロッピーディスクか得られた。また
、主磁極厚みが0.2 p、mの片側アクセスタイプの
垂直ヘッドを用いて自己録再を行なった結果、本実施例
二層のフロッピーディスクはGo−Cr単層と比較して
飽和記録電流が約局であった。すなわち、ここでのCo
酸化膜は、Co−Cr垂直磁化膜の裏打ち層の効果をも
つものである。
実施例2 電子ビーム加熱装置を有した磁気テープの連続−成膜装
置により、12ILm厚のポリエチレンテレフタレート
上に6脂Torrの酸素雰囲気中でG。
を蒸着し、Co酸化膜を0.01gm形成した後。
Co 80wt$−旧20wt$の斜め蒸着膜を0.I
 J411形成し、磁気テープを試作した。第1図は本
発明媒体の構成図である。上部磁性層C〇−旧膜のBg
は12000Gauss、 Hcは9200e テあり
、Co酸化膜は非磁性である。
この磁気テープは、長手方向に磁性層を外側に曲率半径
約8c層のカールを生じているが1幅方向にはカールが
ほとんどなく、実用上問題のないカールの大きさである
本発明のテープとCo酸化膜のないCa−旧テープに対
して下記のとおり引っかき試験を行ない、膜の付着強度
の違いを比較した。
・引っかき試験 所定荷重の磁気ヘッドを媒体表面に走行させ。
膜が削れはじめる時点の荷重値(g)を測定する。
試験結果を第1表に示す。
第1表より明らかなように、 Co酸化膜をCa−Ni
膜の下地に設けると、膜の付着強度が2倍以上になった
さらに、本発明の磁気テープとCo酸化膜のないCo−
旧テープに対して、家庭用VTRデツキにより録画再生
実験を行なったところ、 Co酸化膜のないテープは1
回走行により磁性層が削られたのに対して、本発明のテ
ープはスチル再生30分後も再生出力の低下がみられな
かった。
実施例3 電子ビーム加熱装置を有した磁気テープの連続成膜装置
により、12ル履厚のポリイミドフィルム上に4 mT
orrの酸素雰囲気中でCOを蒸着し、Co酸化膜を0
.10ル鵬形成した後。
Co 82wt駕−Cr 18wt$の蒸着膜を0.4
5Bm形成し。
さらにその上にCo酸化膜を0.01%鳳形成した磁気
テープを試作した。成膜温度はCa1l化膜が室温、G
o−Cr膜を200℃にした。第2図は本発明媒体の構
成図である。下部Co酸化膜はBs 8000Gaus
s、Ha (面内) 10000eの面内磁化膜で上部
Go−Or膜はBs 5500Gauss、 Hc (
垂直) 9500eの垂直磁化膜である。最表面のco
#化膜は、媒体の耐摩耗性、耐久性、゛耐食性を向上さ
せるトップコート層の役目を果している。
この磁気テープは幅方向にはほとんどカールがなく、長
子方向には磁性層を内側に曲率半径的10cmのカール
をしているが、実用上はとんど問題はない。
比較例 比較としてCo酸化膜(面内磁化膜)単層0−I IL
ta 、 Co−0r垂垂直磁化膜層0.45p、mを
それぞれ同一ベースフィルム上に形成し、さらにトープ
コート層としてCo酸化膜o、oi、層をそれぞれの磁
性層の上に形成した。これらの磁気静特性は前記と同程
度であった。
本発明の媒体と比較例の媒体をリング型ヘッド(トラッ
ク幅28絡履、巻き数28ターン)で自己録再を行なっ
た。第5図に再生出力の結果を示す。
曲線7はCo酸化膜面内磁化膜単層媒体再生出力を示し
たグラフである0曲線8はGo−Cr垂直磁化膜単層媒
体の再生出力を示したグラフである0曲線9は本発明媒
体の再生出力を示したグラフである。
本実施例の媒体を使用すると、周波数が低いところでき
面内媒体の出力が得られ、周波数が高いところでは垂直
媒体の出力を得られ、両者の利点を生かした媒体となっ
ていることがわかる。すなわち、本実施例の媒体は高域
で出力が伸びない面内媒体と、低域で出力が落ちる垂直
媒体の欠点を克服した二層媒体である。
し発明の効果」 以上のように、高分子フィルム基体上に薄膜堆積法によ
りCo酸化膜を形成し、さらにその上に薄膜堆積法によ
り強磁性金属の磁気記録層を積層させることにより、カ
ールがなく、基体に対する密着性大の磁気記録媒体を提
供することができる。すなわち、本発明は、磁気テープ
、磁気シート等の磁気記録媒体の走行特性を改善し、巻
き乱れを防止し、ヘッドタッチを良好にするすぐれた効
果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の磁気記録媒体の構成を示す
断面の概略図、第3図はGo−Or膜膜層層びCo酸化
膜単層のカールの膜厚依存性、第4図はCo−0r膜の
下にCo酸化膜を形成した本発明実施例1のフロッピー
ディスクのカール量を表わす図である。第5図は本発明
実施例3における記録再生特性の図である。 1・・・高分子フィルム基体、2・・・Co酸化膜、3
・・・金属薄膜磁気記録層、4・・・Co酸化膜、5・
・・実施例1晴おける Co−Cr単層膜のカール量、 6・・・実施例1におけるCo酸化膜のカール量、7・
・・実施例3における Co酸化膜単層の再生出力、 8・・・実施例3における Co−Cr垂直磁化膜単層の再生出力。 9・・・実施例3における 本発明二層媒体の再生出力。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)高分子フィルム基体の表面に薄膜堆積法により形成
    されたCo酸化膜を有し、さらにその上に薄膜堆積法に
    より形成された強磁性金属の磁気記録層を有することを
    特徴とする磁気記録媒体。 2)高分子フィルム基体の表面に薄膜堆積法により形成
    されたCo酸化膜を有し、さらにその上に薄膜堆積法に
    より形成された強磁性金属の磁性層を有し、さらにその
    上にCo酸化膜を有することを特徴とする磁気記録媒体
JP13426485A 1985-06-21 1985-06-21 磁気記録媒体 Pending JPS61294635A (ja)

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JP13426485A JPS61294635A (ja) 1985-06-21 1985-06-21 磁気記録媒体

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JP13426485A JPS61294635A (ja) 1985-06-21 1985-06-21 磁気記録媒体

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JPS61294635A true JPS61294635A (ja) 1986-12-25

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ID=15124231

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JP13426485A Pending JPS61294635A (ja) 1985-06-21 1985-06-21 磁気記録媒体

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JP (1) JPS61294635A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5558945A (en) * 1993-12-28 1996-09-24 Tdk Corporation Magnetic recording medium
US5674637A (en) * 1993-12-28 1997-10-07 Tdk Corporation Magnetic recording medium

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5558945A (en) * 1993-12-28 1996-09-24 Tdk Corporation Magnetic recording medium
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