KR950000311B1 - 증착장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
제 1 도는 본 발명의 실시예에 있어서의 필름증착장치의 개략단면도.
제 2 도는 본 발명 실시예에 있어서의 증착장치의 증착중의 필름과 캔을 표시한 단면도.
제 3 도는 종래의 필름증착장치를 표시한 개략단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
101 : 필름 102 : 증착재료
103 : 증착원 104 : 캔
105 : 공급로울러 106 : 권취로울러
107b : 프리이로울러 110 : 직류전원
111 : 금속막
본 발명은, 증착장치에 관한 것이다.
최근, 증착장치는, 자기기록테이프, 필름콘덴서 등의, 금속막의 증착에 널리 이용되고 있다.
이하 도면을 참조하면서, 종래의 필름증착장치의 일예에 대해서 설명한다. 제 3 도는 종래의 필름증착장치를 표시한 것이다. 도면에 있어서, (1)은 증착에 의해 막이 퇴적되는 필름, (2)는 증착재료, (3)은 증착재료(2)를 용융하고, 증발시키는 저항가열, 고주파유도가열, 전자비임등의 진공증착원, (4)는 진공증착원(3)에 대향해서 설치되어, 내부에 냉각액이 순환하여, 필름증착면을 냉각하는 캔, (5)는 필름(1)을 캔(4)에 공급하는 공급로울러, (6)은 증착된 필름(1)을 감고, 또 필름(1)과 접촉하는 로울러표면이 테플론등 절연재료의 테이프 및 코우팅으로 피복되고, 어어드와 절연된 권취(卷取)로울러, (7a)는 필름(1)의 권취 및 주행을 보조하고, 필름(1)과 접촉하는, 로울러표면이 테플론등 절연재료의 테이프 및 코우팅으로 피복되어, 어어드와 절연된 프리이로울러, (7b)는 필름(1)의 권취 및 주행을 보조하고, 어어드와 절연되고, 또 필름(1)의 증착면과 도통이 있는 프리이로울러, (8)은 진공체임버, (9)는 진공체임버(8)의 내부를 진공배기하기 위한 진공배기펌프, (10)은 프리이로울러(7b)을 통해서, 증착후의 필름(1)에, 직류의 전압을 인가하는 직류전원이다.
이상과 같이 구성되는 필름증착장치에 대해서, 이하 그 동작에 대해 설명한다.
먼저, 진공체임버(8) 내부를 로우터리펌프, 오일확산펌프, 크라이오펌프등의 진공배기펌프(9)에 의해 5×10-5Torr정도의 진공도까지 진공배기한다. 다음에 공급로울러(5), 캔(4), 권취로울러(6)를 회전한다. 필름(1)은, 공급로울러(5), 프리이로울러(7a), 캔(4), 프리이로울러(7b), 프리이로울러(7a)로 주행하여, 권취로울러(6)에 감겨진다. 다음에, 저항가열, 고주파유도가열, 전자비임등의 진공증착원(3)에 의해서, 증착재료(2)가 용융되어 증발한다. 증발한 입자가 비산하여, 대향하는 캔(4)위를 주행하고 있는 필름(1) 표면위에 퇴적하여 막이 형성된다. 이때, 프리이로울러(7b)를 통해서, 증착후의 필름(1)에, 직류전원(10)으로부터, 정 또는 부의 전압을 인가하고, 필름(1)과, 캔(4)와의 사이에 전위차를 발생시킨다. 그리고, 냉각액이 내부에서 순환하고 있는 캔(4)에 필름(1)이 밀착하고, 냉각되어, 프리이로울러(7b),(7a)와 주행하여, 최후에, 권취로울러(6)에 감겨진다.
그러나, 상기와 같은 구성에서는, 증착초기의 필름은, 어어드전위의 캔과 전위차에 의해 밀착해서 냉각되고, 증착입자의 응축열 및 증발원으로부터의 복사열에 의한 늘어남, 수축, 용융등의 열변형을 방지할 수 있으나, 장시간 증착하였을 경우, 캔의 온도가 상승해가기 때문에 필름의 캔으로의 밀착을 더욱 강력하게 하지 않으면 열변형이 발생한다고 하는 문제점을 가지고 있었다.
본 발명은, 상기 문제점에 비추어, 필름의 캔으로의 밀착력을 향상하고, 증착에 의한 필름의 열변형을 방지하는 증착장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 증착장치는, 어어드와 절연된 캔을 구비한 것이다.
본 발명은, 상기한 구성에 의해서, 증착후의 필름에 직류의 전압이 인가되고, 필름표면의 금속증착막이, 정 또는 부로 대전하였을 경우, 캔표면에 발생하는 역전위를 캔을 어어드와 절연하므로서 누설되지 않도록 하고, 차아지업시키게 된다. 따라서, 필름과 캔과의 밀착력이, 대폭적으로 향상하고, 그 결과, 장시간 증착하였을 경우, 또는 필름이 얇아진 경우에서도, 필름의 늘어남, 수축, 용융등의 열변형을 방지할 수 있어, 권취로울러에 주름없이 감겨지게 된다.
이하, 본 발명의 일실시예의 증착장치에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
제 1 도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 증착장치의 개략단면도를 표시한다. 제 2 도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 증착장치의 증착중의 필름과 캔의 단면을 표시한다. 제 1 도에 있어서, (101)은 증착에 의해 막이 퇴적되는 필름, (102)는 증착재료, (103)은 증착재료(102)를 용융하고, 증발시키는 저항가열, 고주파유도가열, 전자비임등의 진공증착원, (104)는 진공증착원(103)에 대향해서 설치되고, 내부에 냉각액이 순환하여, 필름증착면을 냉각회전하고 어어드와 절연된 캔, (105)는 필름(101)을 캔(104)에 공급하는 공급로울러, (106)은 증착된 필름(101)을 감고, 또 필름(101)과 접촉하는, 로울러표면이 테플론등 절연재료의 테이프 및 코우팅으로 피복되어, 어어드와 절연된 권취로울러, (107a)는 필름(101)의 권취 및 주행을 보조하고, 필름(101)과 접촉하는, 로울러표면이 테플론등 절연재료의 테이프 및 코우팅으로 피복되어, 어어드와 절연된 프리이로울러, (107b)는 필름(101)의 권취 및 주행을 보조하고, 어어드와 절연되고, 또 필름(101)의 증착면과 도통이 있는 프리로울러, (108)은 진공체임버, (109)는 진공체임버(108) 내부를 진공배기하기 위한 진공배기펌프, (110)은 프리이로울러(107b)를 통해서, 증착후의 필름(101)에, 직류의 전압을 인가하는 직류전원이다. 제 2 도에 있어서 (111)은 필름(101)표면에 퇴적한 금속막이다. 이상과 같이 구성된 필름증착장치에 대해서, 이하, 제 1 도 및 제 2 도를 사용해서 그 동작을 설명한다.
먼저, 진공체임버(108) 내부를 로우터리펌프, 오일확산펌프, 크라이오펌프등의 진공배기펌프(109)에 의해 5×10-5Torr정도의 진공도까지 진공배기한다. 다음에 공급로울러(105), 캔(104), 권취로울러(106)을 회전한다. 필름(101)은, 공급로울러(105), 프리이로울러(107a), 캔(104), 프리이로울러(107b), 프리이로울러(107a)로 주행하고, 권취로울러(106)에 감겨진다. 다음에, 저항가열, 고주파유도가열, 전지비임등의 진공증착원(103)에 의해서, 증착재료(102)가 용융되어 증발한다. 증발한 입자가 비산하여, 대향하는 캔(104)위를 주행하고 있는 필름(101) 표면위에 퇴적하여 막이 형성된다. 이때, 프리이로울러(107b)를 통해서, 증착후의 필름(101)에 직류전원(110)으로부터, 0∼-500V정도의 전압을 인가하고, 필름(101)과, 캔(104)와의 사이에 전위차를 발생시킨다. 그리고, 냉각액이 내부에서 순환하고 있는 캔(104)에 필름(101)이 밀착하고, 냉각되어, 프리이로울러(107b), (107a)로 주행하여, 최후에, 권취로울러(106)에 감겨진다.
이상과 같이, 본 실시예에 의하면, 필름(101)에 증착된 금속막(111)에, 프리이로울러(107b)를 통해서, 직류전원(110)에 의해서, 부의 전압을 인가하므로서, 어어드와 절연된 캔(104)의 표면에 발생하는 금속막(111)과 역전위인 정의 전위를 누설시키지 않고 차아지업시킬 수 있다. 따라서, 필름(101)과 캔(104)와의 전위차를 크게할 수 있고, 필름(101)의 캔(104)로의 밀착력이 대폭적으로 향상하여, 냉각효율을 향상할 수 있다. 그 결과, 장시간 증착하였을 경우, 또는 필름(101)이 얇아진 경우에서도, 증착입자의 응축열 및 증착원으로부터의 복사열에 의한 필름(101)의 늘어남, 수축, 용융등의 열변형을 방지할 수 있어, 권취로울러(106)에 주름없이 감을 수 있다.
또, 본 실시예에 의해서, FEP등, 테플론계의 필름으로, 내열온도가 200℃ 대단히 낮은 것이라도, 열변형을 방지할 수 있었다.
또한, 본 실시예에 있어서, 증착후의 필름(101)에, 직류전원(110)에 의해서, 부의 전압을 인가하는 것으로 하였으나, 정의 전압을 인가하여 캔(104)에 부위 전위를 차아지업시켜도 되고, 또는 필름(101)과 역전압을 인가해도 된다.
이상과 같이, 본 발명은, 어어드와 절연된 캔을 설치하므로서, 증발입자의 응축열 및, 증착원으로부터의 복사열에 의한 필름의 늘어남, 수축, 용융등의 열변형을 방지할 수 있어, 감는 로울러에 주름이 없이 감을 수 있다.
Claims (1)
- 진공분위기의 유지가 가능한 진공체임버와, 진공체임버내를 감압분위기로 하기 위한 진공펌프와, 증착재료를 구비한 적어도 1개의 진공증착원과, 증착원에 대향해서 설치되어, 필름증착면을 냉각하고, 회전하는 캔과, 필름을 캔에 공급하는 공급로울러와, 증착된 필름을 감는 권취로울러와, 필름의 권취 및 주행을 보조하는 프리이로울러를 가지고, 증착후의 필름에 직류의 전압을 인가하는 전압인가수단을 구비한 필름증착장치에 있어서, 상기 캔이 어어드와 절연되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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