JPS62247072A - 真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えばコンデンサ祇や装飾用フィルムのよう
な長尺物を連続的に蒸着処理するのに用いられ得る真空
蒸着装置に関するものである。

［従　来　の　技　術コ 従来、例えばフィルムのような長尺物の連続蒸着に使用
される装置は、添付図面の第５図に例示するように真空
槽Ａ内において蒸着処理すべきフィルムＢを巻出しロー
ルＣから案内ロールＤを介して蒸着ドラムＥのまわりを
通し、そして案内ロールＦを介して巻取りロールＧに巻
取るようにし、蒸着ドラムＥのまわりを通る際に固定配
置された蒸発源Ｈからの蒸発物質が蒸着されるように構
成されており、この場合蒸発源Ｈからの蒸発物質が蒸着
処理すべきフィルムＢ以外に付着するのを極力抑えるた
め蒸着ドラムＥの少なくとも蒸発源ト１に対向した部分
に蒸着ドラムＥに近接させて防着板Ｉが設けられている
。このような蒸着装置の例としては実公昭６０−３１０
８２号、特開昭５４−２８７８２号の各公報に記載のも
のを挙げることができる。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、真空蒸着装置では、蒸発源からの蒸発物質に
よる装置内部特に蒸発源周辺の汚染は避けられず、その
ため一定の稼動時間毎に装置内部を掃除する必要がある
。しかしながら、上述のような従来型の真空蒸着装置で
は、蒸発源周辺の構成部品特に防着板等は固定配置され
ており、防着板と蒸着ドラムとの間の狭い隙間にまわり
込んで付着した蒸発物質を除去するのは相当な時間が要
し、しかも比較的狭い真空槽内で不自然な姿勢での作業
が強いられ、完全に蒸発物質を除去することは不可能で
なくとも極めて困難であり、その結果、装置の実際の稼
働時間が短くなり、また防着板と蒸着ドラムとの間の狭
い隙間の奥の方に付着した蒸発物質が剥がれて蒸着処理
すべきフィルム上に異物として混ざり込む恐れがある。

さらにこのような付着物質の掃除の際に注意深く作業を
行なってもしばしば蒸着ドラムを掃除用具で傷付ける危
険がある。

そこで、本発明の目的は、蒸発源と防着板とマスクとを
備えた蒸発源ユニットを真空槽外へ取出して掃除をでき
るようにすると共に代りの蒸発源と防着板とマスクのユ
ニットとを真空槽内に入れて装置を稼働させることがで
きるようにした真空蒸着装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明による真空蒸着装
置では、真空槽内へ向ってまた真空槽から離れる方向に
走行できしかも真空槽から離れた位置にある時、旋回台
上で旋回できるようにした走行台車の両端部上にそれぞ
れ蒸発源と防着板とマスクとを備えた蒸発源ユニットが
設けられ、またどちらか一方の蒸発源ユニットを真空槽
内に挿置した時その蒸発源ユニットにおける蒸発源を電
源に接続する電源切換装置および真空槽内に挿置した一
方の蒸発源ユニットに冷媒を供給する冷媒供給切換装置
が設けられる。

本発明の別の特徴によれば、上記真空蒸着装置には、さ
らに真空槽内に挿置された走行台車上の一方の蒸発源ユ
ニットを被蒸着物に対して動かす昇降機構が設けられる
。

本発明のさらに別の特徴によれば、上記真空蒸着装置に
は、さらに真空槽外に位置する走行台車上の他方の蒸発
源を予熱する予熱用ヒータが設けられる。

［作　　　　　用］ このように構成した本発明の真空蒸着装置においては、
走行台車の両端部上にそれぞれ蒸発源と防着板とマスク
とを備えた蒸発源ユニットを９ｉ着し、切換使用するこ
とにより、一方の蒸発源ユニットを掃除のため真空槽か
ら取り出している間、他方の蒸発源ユニットを用いて蒸
着作業を続けることができ、真空蒸着装置としての実際
の稼働時間を大幅にのばすことができ、また蒸発源ユニ
ットの掃除は真空槽外で行なうので、掃除を容易にかつ
安全に実施することができる。さらに蒸発源ユニットの
切換のため走行台車を真空槽から引き出して蒸発源ユニ
ットの切換のため旋回させる際に蒸着に使用される側の
蒸発源ユニットに対する冷媒供給も自動的に切換られる
。掃除の終了した蒸発源ユニットの蒸発源は次の使用の
ため予熱用ヒータで予熱でき、これにより蒸発源ユニッ
トの切換後、実際の蒸着動作開始までの準備時間を比較
的短くすることができる。

［実　　施　　例］ 以下、添附図面の第１図〜第４図を参照して本発明の実
施例−について説明する。

第１図には本発明の真空蒸着装置の一実施例の全体構成
の要部を概略的に示し、１は真空槽で、この真空槽１の
一側には走行レール２上を走行できる走行台車３が示さ
れており、走行レール２は、走行台車３全体が仮想線で
示す真空槽１から離れた位置まで移動できるように真空
槽１の一側から横方向にのびている。走行台車３は走行
レール２上を走行する車輪４を備えた台車本体５と、こ
の台車本体５上に軸受（第０図参照）を介して旋回可能
に装着された旋回台６と、旋回台６上に装着され、走行
レール２に沿ってのびる二つの蒸発源ユニット支持枠体
７．８とを有している。そして走行台車３は、真空槽１
の搬入口９から内部に入り込んだ実線で示す作動位置と
仮想線ぐ示す旋回位置との間で動くことができる。各蒸
発源ユニット支持枠体７．８には第１図には示してない
が蒸発源と防着板とマスクとが設けられている。また第
１図において符号１０は準備中の一方の蒸発源ユニット
支持枠体７または８に装着された蒸発源を予熱する適当
な型式の予熱用ヒータである。

第３図には第１．２図に示す装置の細部の詳細を示し、
１１は真空槽壁であり、図面でこの真空槽壁１１の右側
は真空槽内部でありまた真空槽壁１１の左側は真空槽外
である。

２本のレール１２（図面にはそのうちの一方のみを示す
）上には、全体を符号１３で示す走行台車が四つの車輪
１４（図面にはそのうちの二つだけを示す）により図面
上左右に走行できるようにのせられている。車輪１４は
図示してない適当な駆動装置により駆動制御される。各
車輪１４は台車本体１５に装着され、この台車本体１５
は軸受台１５ａを備えている。軸受台１５ａには旋回台
軸受１５ｂを介して旋回台１６が旋回可能に設けられて
いる。旋回台輪受１５ｂの外周部には環状歯車１５ｃを
備え、旋回台１６はこの環状歯車１５ｃを介して図示し
てない適当な駆動装置により旋回駆動される。旋回台１
６の両側にはそれぞれ蒸発源ユニット支持枠体１１．１
８が取付けられており、各蒸発源ユニット支持枠体１７
．１８は真空槽壁１１に設けられた搬入口１９を通って
真空槽内に搬入できるようにされている。台車本体１５
の軸受台１５ａの中心部には冷却水切換ヘッダー２０が
装着されており、その下方端部は配管系２１を介して図
示してない適当な冷却水供給装置に連結される。各蒸発
源ユニット支持枠体１７．１８は同一の構造をもち、こ
こでは蒸発源ユニツｈ支持枠体１８に関してのみ説明す
る。蒸発源ユニット支持枠体１８は真空槽壁１１にシー
ル部材１８ａを介して密封当接して真空槽壁１１に設け
られた搬入口１９を密閉する密封壁１８ｂを備え、この
密封壁１８ｂからのびる枠体部分１８Ｃには図示したよ
うに蒸発源２２と防着板２３とマスク２４とから成る蒸
発源ユニットが取付けられており、防着板２３とマスク
２４とは支持枠２５で支持され、真空槽内に搬入された
時、昇降機構２６により枠体部分１８ｃ上の位置から真
空槽内の被処理物（図示してない）に対する作動位置ま
で上昇される。すなわち昇降機構２６は４本の押上げア
ーム部材２６ａ（第３図には２本だけを示す）を備え、
各押上げアーム部材２６ａは防着板２３とマスク２４と
の支持枠２５の底部の対応した係合部２５ａに係合して
支持枠２５を昇降するように作用する。

図示実施例では蒸発源２２は互いに隣接して並置された
複数個のるつぼを備えているが、当然単一るつぼを備え
た型式にすることもできる。

符号２７は配管系で、蒸発源２２と防着板２３とマスク
２４とから成る蒸発源ユニットへ電力の供給および冷却
水の循環を行ない、この配管系２７は接続端子部２８に
連結され、また接続端子部２８には冷却水切換ヘッダー
２０からの配管系２９が連結されている。

従って、接続端子部２Ｂから蒸発源ユニットまでのびて
いる配管系２７は電力と共に蒸発源ユニットへ冷却水も
循環させるようにしている。また配管系２７は蒸発源２
２に設けられるるつぼの数に相応した数並列に配設され
得る。

走行台車１３が図示位置にある時、接続端子部２８に相
対した位置に電源切換装置３０が固定配置されており、
この電源切換装Ｍ３０は押上げ機構３１を備え、この押
上げ機構３１によって電源切換装置３０を押上げて蒸発
源ユニット支持枠体に設けられた接続端子部２８に接続
させる。また電源切換装置３０はケーブル３２を介して
図示してない電源に接続される。なお第３図において符
号３３はシャッタを表わし、このシャッタ３３は好まし
くは各蒸発源ユニット支持枠体１１．１８の真空槽内に
搬入されない部位に設けられたエアシリンダ（図示して
ない）により操作され得る。

第４図は冷却水切換ヘッダー２０の内部構造を、台車本
体１５と旋回台１６と冷却水切換ヘッダー２０との関連
構造と共に詳細に示し、第３図に対応した部分は同じ符
号で示す。冷却水切換ヘッダー２０は、旋回台１６の部
分１６ａ上に７ランジ３４を介して固定された外筒部材
３５と、この外筒部材３５の内周に軸受３６および軸受
支持体３１により相互に回動可能には嵌め込まれた内筒
部材３８とを備え、外筒部材３５には直径上相対した位
置に連通穴３５ａ〜３５！Ｉ＋　、３５ａ°〜３５ｇ°
が設けられ、また内筒部材３８にも同様に直径上相対し
た位置に連通穴３８ａ〜３８ｄ　、　３８ａ’〜３８ｄ
°および作動側連通穴３８ｅが設けられている。

内筒部材３８に設けられたこれらの連通穴はレール２（
第１図）と平行にのびる軸線上に位置するようにされ、
従って連通穴３８ａ〜３８ｄおよび作動側連通穴３８ｅ
は作動側すなわち真空槽側に位置し、連通穴３８ａ°〜
３８ｄ゛は休止側に位置する。そして旋回台１６上の各
蒸発源ユニット支持枠体１１．１８における蒸発源ユニ
ットの一方が真空槽に組み込まれる位置にあり他方が休
止位置にある時、図示したように内筒部材３８の作動側
の各連通穴３８ａ〜３８ｅは外筒部材３５の対応した連
通穴３５ａ〜３５ｅとそれぞれ連通し、一方向筒部材３
８の休止側の各連通穴３８ａ゛〜３８ｄ′は外筒部材３
５の対応した連通穴３５ａ°〜３５ｄ°とそれぞれ連通
する。外筒部材３５における連通穴３５ａ〜３５ｅおよ
び３５ａ゛〜３５ｅ°はそれぞれ第３図に示す左右の配
管系２９に連結される。内筒部材３８の休止側の連通穴
３８Ｃ°、３８ｄ゛は穴径を小さくされており、休止側
の蒸発源ユニットへの冷却水の循環流量を制限するよう
にしている。また外筒部材３５と内筒部材３８とは複数
個のＯリング３９により図示されたように液密にされて
いる。符号４０は軸受支持体３７上に固定されたカバー
である。

内筒部材３８は、互いに同軸的に間隔を置いて結合して
設けられた外管４１と中間管４２と内管４３とから成る
三重管構造体に連結され、外管４１は軸受台１５ａに固
定されている。外管４１と中間管４２との間の環状空間
は上部において内筒部材３８の連通穴３８ａ　、　３８
ｂ　、　３８ａ’、３８ｂ°に連通し、また下部におい
て連結管４４を介して蒸発源用冷却水の供給源（図示し
てない）に連結される。中間管４２と内管４３との間の
環状空間は上部において内筒部材３８の作動側の連通穴
３８ｅに連通し、下部において連結管４５を介して防着
板、マスクおよびシャッタ用途ね１水の供給源（図示し
てない）に連結される。さらに内管４３の上部は内筒部
材３８の連通穴３８Ｃ、３８ｄ　。

３８Ｃ゛、３８ｄ°に連通し、それの下部は連結管４６
．４７を介して冷却水の戻り通路に連結される。なお第
４図において外筒部材３５の連通穴３５ｆ　、　３５ｇ
、　３５ｔ°、３５ｇ゛は図示状態では内筒部材３８内
に連通しないが、これらは例えばグリースニップル用と
して用いられ得る。

このように構成した図示装置の動作において、走行台車
（３，１３）は第１図に仮想線で示す旋回位置から実線
で示す作動位置すなわち第３図に示す位置へレール、（
２，１２）上を前進し、蒸発源ユニット支行枠体１８に
おける密封壁１８ｂが真空槽壁１１に当接して搬入口１
９を密閘し、真空槽内は図示してない排気系により排気
される。この状態において昇降機構２６が作動され、そ
れの押上げアーム部材２６ａが防着板２３とマスク２４
との支持枠２５の底部の対応した係合部２５ａに係合し
て支持枠２５を上昇させ、防着板２３とマスク２４とを
所定の位置に位置決めする。一方、電源切換装置３０は
押上げ機構３１により押上げられ蒸発源ユニット支持枠
体に設けられた接続端子部２８に接続され、こうして蒸
発源ユニットは通電され加熱されると共に配管系２９を
介して冷却水切換ヘッダー２０から冷却水が供給され、
所要の蒸着動作が行なわれる。一連の蒸着動作の終了後
、まず電源切換装置３０が押上げ機構３１により下げら
れ、電源が遮断される。そして真空槽内は大気に開放さ
れ、昇降機構２６はド降して防着板２３とマスク２４と
の支持枠２５を蒸発源ユニット支持枠体上に降ろす。そ
の後走行台車（３，１３）は第１図に仮想線で示す旋回
位置にで後退され、そこで１８０°旋回され、次の使用
のため休止位置に移され、鼎除等の必要な保守点検がな
される。

一方、休止位置にあった準備中の蒸発源ユニット支持枠
体１７上の蒸発源ユニットが代りに使用される。

［発明の効果１ 以上説明してきたように、本発明による真空蒸着装置に
おいては、走行台車の両端部上にそれぞれ蒸発源と防着
板とマスクとを備えた蒸発源ユニットを装着し、切換使
用するように構成しているので、蒸発源ユニットを真空
槽から取り出して掃除することができ、掃除作業がを容
易かつ安全となるだけでなく、その闇、他方の蒸発源ユ
ニットを用いて蒸着作業を続けることができ、真空蒸着
装置としての実際の稼働時間を大幅にのばすことができ
る。またＮｍｖｔ置は各蒸発源ユニットに対して切換使
用するようにしているので、各蒸発源ユニットに対して
個別に電源装置を設ける必要がなく、装置自体を小形化
することができる。掃除の終了した蒸発源ユニットの蒸
発源は次の使用のため予熱用ヒータで予熱でき、これに
より蒸発源ユニットの切換後、実際の蒸着動作開始まで
の準備時間を大幅に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による真空蒸着装置の一実施例の要部の
概略正面図、第２図は第１図の装置の要部の平面図、第
３図は第１図の装置の細部を示す部分断面正面図、第４
図は第３図の装置の一部を拡大して示す断面図、第５図
は従来の巻取り式連続真空蒸着装置の一例を示す概略線
図である。 図　　　　　中、 １：真空槽、　　　　　　２：走行レール、３：走行台
車、　　　　４：車輪、 ５：台車本体、　　　　６：旋回台、 ７．８：蒸発源ユニット支持枠体、 ９：搬入口、　　　　　　１０：予熱用ヒータ、１１：
真空槽壁、　　　　１２：レール、１３：走行台車、　
　　　１４：車輪、１５：台車本体、　　　　１６：旋
回台、１７．１８：蒸発源ユニット支持枠体、１９：搬
入口、　　　　　２０：冷却水切換ヘッダー、２１：配
管系、　　　　　２２：Ｗｉ発源、２３：防着板、　　
　　　２４：マスク、２５：支持枠、　　　　　２６：
昇降機構、２７：配管系、　　　　　２８：接続端子部
、２９：配管系、　　　　　３０：電源切換装置、３１
：押上げ機構、　　　３２：ケーブル、３３：シャッタ
。 第１図 第２図 第４図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空槽内へ向ってまた真空槽から離れる方向に走
   行できしかも真空槽から離れた位置にある時、旋回台上
   で旋回できるようにした走行台車の両端部上に、蒸発源
   と防着板とマスクとを備えた蒸発源ユニットをそれぞれ
   設け、またどちらか一方の蒸発源ユニットを真空槽内に
   挿置した時その蒸発源ユニットにおける蒸発源を電源に
   接続する電源切換装置および真空槽内に挿置した一方の
   蒸発源ユニットに冷媒を供給する冷媒供給切換装置を設
   けたことを特徴とする真空蒸着装置。
2. （２）真空槽内へ向ってまた真空槽から離れる方向に走
   行できしかも真空槽から離れた位置にある時、旋回台上
   で旋回できるようにした走行台車の両端部上に、蒸発源
   と防着板とマスクとを備えた蒸発源ユニットをそれぞれ
   設け、またどちらか一方の蒸発源ユニットを真空槽内に
   挿置した時その蒸発源ユニットにおける蒸発源を電源に
   接続する電源切換装置および真空槽内に挿置した一方の
   蒸発源ユニットに冷媒を供給する冷媒供給切換装置を設
   け、さらに真空槽内に挿置した一方の蒸発源ユニットを
   被蒸着物に対して動かす昇降機構を設けたことを特徴と
   する真空蒸着装置。
3. （３）真空槽内へ向つてまた真空槽から離れる方向に走
   行できしかも真空槽から離れた位置にある時、旋回台上
   で旋回できるようにした走行台車の両端部上に、蒸発源
   と防着板とマスクとを備えた蒸発源ユニットをそれぞれ
   設け、またどちらか一方の蒸発源ユニットを真空槽内に
   挿置した時その蒸発源ユニットにおける蒸発源を電源に
   接続する電源切換装置および真空槽内に挿置した一方の
   蒸発源ユニットに冷媒を供給する冷媒供給切換装置を設
   け、さらに真空槽外に位置する走行台車上の他方の蒸発
   源ユニットにおける蒸発源を予熱する予熱用ヒータを設
   けたことを特徴とする真空蒸着装置。