CN101684546B - 软性基板镀膜治具 - Google Patents

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    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

Abstract

本发明涉及一种软性基板镀膜治具，其用于支撑一待镀膜的软性基板。该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机。该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体。该电机包括一个转轴，该转轴固定在该至少一个转动体的一端。该转轴带动该转动体转动，以通过该待镀膜的软性基板带动该至少一个转动体转动，从而使待镀膜的软性基板进行移动镀膜，起到模仿磁控溅镀机台的效果，易于确定镀膜参数同时提高了镀膜参数的精度。

Description

软性基板镀膜治具
技术领域
本发明涉及一种软性基板镀膜技术，尤其涉及一种软性基板镀膜治具。
背景技术
目前，软性基板(flexible substrate)在工业上的应用日益增多，如将软性基板制成软性印刷电路板(flexible printed circuit board)等。软性基板上镀有一层镀膜，根据制成品的需要，存在一侧镀膜及双侧镀膜的软性基板。软性基板采用的材质通常为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC)等材质。这些材质皆会因为在镀膜过程中温度的逐渐上升而受热，从而产生应力形变现象，使得产品易于弯曲，进而发生镀膜厚度分布不均匀的情况。应用于大量生产软性基板的双滚筒式(roll to roll)磁控溅镀机台，采用双滚筒对软性基板进行压制镀膜，从而抑制镀膜厚度分布不均匀的情况。
但是，在批量生产软性基板之前，必须先进行小量试验，从而准确获得有关镀膜参数，如镀膜机的镀膜时间、电压功率、镀膜室的反应性气体(如氩气或氧气等)流量等。但因磁控溅镀机台每分钟的出产量大、且不易进行瞬间有效的关闭控制，不宜进行小量试验。
目前，在小量试验过程中，针对一小段软性基板进行镀膜。但是，该小段软性基板的应力形变现象，严重影响有关镀膜参数的设定。因此，如何采用便宜有效的方式，在磁控溅镀制程中做小量试验成为本领域技术人员的研究重点。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种易于确定镀膜参数的软性基板镀膜治具。
本发明涉及一种软性基板镀膜治具，其用于支撑一待镀膜的软性基板。该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机。该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体。该电机包括一个转轴，该转轴固定在该至少一个转动体的一端。该转轴带动该转动体转动。
与现有技术相比，所述软性基板镀膜治具，通过将待镀膜的软性基板首尾相接并包覆转动体，同时利用电机驱动该至少一个转动体转动，以通过该待镀膜的软性基板带动该至少一个转动体转动，从而使待镀膜的软性基板进行移动镀膜，起到模仿磁控溅镀机台的效果，易于确定镀膜参数同时提高了镀膜参数的精度。
附图说明
图1为本发明第一实施方式提供的一种软性基板镀膜治具的结构示意图。
图2为图1中的软性基板镀膜治具的转动体的结构示意图。
图3为本发明第二实施方式提供的一种软性基板镀膜治具的结构示意图。
图4为本发明第三实施方式提供的一种软性基板镀膜治具的结构示意图。
图5为图4中的软性基板镀膜治具的齿轮传动装置的结构示意图。
图6为本发明第四实施方式提供的一种软性基板镀膜治具的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明实施方式作进一步的详细说明。
请参阅图1，为本发明第一实施方式提供的软性基板镀膜治具100，其用于支撑一待镀膜的软性基板200进行镀膜。该软性基板镀膜治具100包括一个电机30、两个转动体60、70及一个用于活动架设该两个转动体60、70的支架80。该待镀膜的软性基板200首尾相接同时包覆该两个转动体60、70，使其中一个转动体60通过该待镀膜的软性基板200带动另一转动体70转动。进一步说明，转动体的数目并不限于本实施方式中的两个。
该电机30包括一个转轴31，该转轴31固定在该转动体60的一端，该转轴31的转动带动该转动体60转动。当然，该转轴31可以固定在该转动体70的一端，该转轴31的转动带动该转动体70转动，从而该转动体70通过该待镀膜的软性基板200带动转动体60转动。
在本实施方式中，该转动体60、70具有相同的结构。请结合图2，转动体60包括一个本体62及一个支撑轴20。该本体61中央设置有一个本体通孔61，该支撑轴20通过该本体通孔61贯穿该本体62且与该本体62相对固定，使该本体62通过该支撑轴20活动架设在支架80上。可以理解，该本体62与该支撑轴20可以一体成型，也可以分体成型。
该支架80用于活动架设该转动体60、70。该支架80包括一个基座81及两个相对设置的第一支撑杆82与第二支撑杆83。该第一支撑杆82与该第二支撑杆83分别垂直设置在该基座81上，且该第一支撑杆82与该第二支撑杆83可拆卸地安装在该基座81上。第一支撑杆82与第二支撑杆83上分别设置有供每个支撑轴20通过的支撑轴孔821，该支撑轴20通过对应的支撑轴孔821架设在该支架80上，使每个本体62处于第一支撑杆82与第二支撑杆83之间。其中，该转动体60的支撑轴20固定有转轴31的一端贯穿该第一支撑杆82。
该待镀膜的软性基板200首尾相接同时包覆该转动体60、70，使该转动体60通过该待镀膜的软性基板200带动该转动体70旋转。该待镀膜的软性基板200的首尾相接可通过将该待镀膜的软性基板200的两端叠合后采用黏合方式实现。当然，也可以使该转动体70通过该待镀膜的软性基板200带动该转动体60旋转。为了便于该转动体60通过该待镀膜的软性基板200带动该转动体70旋转，该转动体60、70均为棱柱，从而增大该转动体60、70与该待镀膜的软性基板200之间的摩擦力。
请参阅图3，为本发明第二实施方式提供的软性基板镀膜治具100a，其与第一实施方式提供的软性基板镀膜治具100的区别在于：该软性基板镀膜治具100a只包括一个转动体60a。该电机30a的转轴31a带动该转动体60a转动，使包覆在该转动体60a上的待镀膜的软性基板200进行移动镀膜，起到模仿磁控溅镀机台的效果，易于确定镀膜参数同时提高了镀膜参数的精度。
请一并参阅图4及图5，为本发明第三实施方式提供的软性基板镀膜治具100b，其与第一实施方式提供的软性基板镀膜治具100的区别在于：该软性基板镀膜治具100b还包括一个转动轴40、一个齿轮传动装置50。该齿轮传动装置50包括一个第一齿轮51及一个第二齿轮52。该电机30b的转轴31b固定在该转动轴40的一端，该转动轴40的另一端固定在该第一齿轮51的中心，且该第一齿轮51与该第二齿轮52啮合，与该齿轮传动装置50相接的转动体60b的支撑轴20b的一端固定在该第二齿轮52的中心。可以理解，也可以为转动体70b的支撑轴20b的一端固定在该第二齿轮52的中心。该第二齿轮52靠近该第一齿轮51的端面上具有多个均匀分布的齿521。该第一齿轮51的圆周上分布有与该齿521相匹配的齿511，从而使该第一齿轮51与该第二齿轮52啮合。该电机30b的转轴31b的转动带动该转动轴40转动，从而该转动轴40通过该第一齿轮51与该第二齿轮52啮合，带动该转动体60转动。最后，该转动体60通过该待镀膜的软性基板200带动该转动体70旋转。
请参阅图6，为本发明第四实施方式提供的软性基板镀膜治具100c，其与第三实施方式提供的软性基板镀膜治具100b的区别在于：该软性基板镀膜治具100c还包括一个转动轴载台10及两个扶持杆84，且电机30c的转轴31c固定在该转动轴载台10上，使该转轴31c带动该转动轴载台10转动。该转动轴40c远离该齿轮传动装置50c的一端垂直固定在该转动轴载台10上。在本实施方式中，该转动轴40c通过紧配合方式垂直固定在该转动轴载台10上。该转动轴载台10上设置有一个载台盲孔11，该转动轴40c远离该传动装置50c的一端通过与该载台盲孔11的紧配合方式，使该转动轴40c垂直固定在该转动轴载台10上。该转动轴载台10的转动带动该转动轴40c转动，从而使该转动轴40c向该齿轮传动装置50c提供动力。该两个扶持杆84与该转动轴40c垂直，且该两个扶持杆84上分别设置有一个供该转动轴40c垂直穿过的扶持杆通孔841，从而该两个扶持杆84起到对该转动轴40c扶持的作用，可以理解，该扶持杆84的数量不局限于本实施方式中的两个。
综上所述，所述软性基板镀膜治具，通过将待镀膜的软性基板首尾相接并包覆转动体，同时利用电机驱动该至少一个转动体转动，以通过该待镀膜的软性基板带动该至少一个转动体转动，从而使待镀膜的软性基板进行移动镀膜，起到模仿磁控溅镀机台的效果，易于确定镀膜参数同时提高了镀膜参数的精度。
虽然本发明已以较佳实施方式披露如上，但是，其并非用以限定本发明，另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化等。当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种软性基板镀膜治具，其用于支撑一待镀膜的软性基板，其特征在于，该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机，该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体，该电机包括一个转轴，该转轴固定在该至少一个转动体的一端，该转轴带动该转动体转动。
2.如权利要求1所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该软性基板镀膜治具还包括一个转动轴及一个与该至少一个转动体相连接的齿轮传动装置，该转轴固定在该转动轴的一端，该转动轴的另一端固定在该齿轮传动装置上，该齿轮传动装置固定在该至少一个转动体的一端，该转轴的转动带动该转动轴转动，该转动轴通过该齿轮传动装置带动与该齿轮传动装置相接的转动体转动。
3.如权利要求2所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该齿轮传动装置包括一个第一齿轮及一个第二齿轮，该转动轴的一端固定在该第一齿轮的中心，且该第一齿轮与该第二齿轮啮合，与该齿轮传动装置相接的转动体的一端固定在该第二齿轮的中心。
4.如权利要求3所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该第二齿轮靠近该第一齿轮的端面上具有多个均匀分布的齿。
5.如权利要求1所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该软性基板镀膜治具还包括一个可转动的转动轴载台、一个转动轴及一个齿轮传动装置，该转轴固定在该转动轴载台上，使该转轴带动该转动轴载台转动，该转动轴的一端垂直固定在该转动轴载台上，该转动轴的另一端固定在该齿轮传动装置上，该齿轮传动装置固定在该至少一个转动体的一端，该转动轴载台的转动带动该转动轴转动，该转动轴通过该齿轮传动装置带动与该齿轮传动装置相接的转动体转动。
6.如权利要求1所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该支架包括一个基座及两个垂直设置在该基座上的相对的第一支撑杆与第二支撑杆，且该第一支撑杆与该第二支撑杆能拆卸地安装在该基座上，该至少一个转动体包括一个本体及一个支撑轴，该本体中央设置有一个本体通孔，该支撑轴通过该本体通孔贯穿该本体且与该本体相对固定，第一支撑杆与第二支撑杆上分别设置有供该支撑轴通过的支撑轴孔，该支撑轴通过对应的支撑轴孔架设在该支架上，使该本体处于第一支撑杆与第二支撑杆之间。
7.如权利要求6所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该本体与该支撑轴为一体成型或分体成型结构。
8.如权利要求6所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该本体为棱柱。
9.如权利要求5所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该支架包括至少一个扶持杆，该扶持杆与该转动轴垂直，且该扶持杆上设置有一个供该转动轴垂直穿过的扶持杆通孔。
10.如权利要求5所述的软性基板镀膜治具，其特征在于，该转动轴载台上设置有一个载台盲孔，该转动轴远离该齿轮传动装置的一端通过与该载台盲孔的紧配合方式，使该转动轴垂直固定在该转动轴载台上。
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