JPS6270574A - 差圧維持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧維持装置であって、特に長尺物例えば鋼
板表面上に連続でドライブレーティング、真空蒸着、イ
オンブレーティング、スパッタリングなどを施す際Ａｉ
ｒ　ｔｏ　Ａｉｒ方式で被処理材を真空を維持しつつ連
続的に通板させるための真空を効率よく維持する装置に
関するものである。

〈従来技術とその問題点〉 鋼板のような長尺物の被覆などにおける省力効率化およ
びその投入原料の歩留り向上のためには連続操業の工業
化が必須の条件となる０例えば大気中のコイルに巻かれ
た長尺帯をイオンブレーティング装置を通して被覆して
再び大気中のコイルに巻き取るいわゆるＡｉｒ　ｔｏ　
Ａｉｒの連続操業のためには、イオンブレーティング装
置の入口側および出口側にそれぞれ大気圧から高真空（
〜１Ｏ−５Ｔｏ　ｒ　ｒ）まで順次圧力を低下せしめる
数段の差圧排気室、その差圧排気室の圧力差を維持しつ
つ被処理材を連続通過させる真空封鎖装置、そしてその
差圧排気室並びにイオンブレーティング室を排気して真
空を維持する真空ポンプなどが必要となる。　　そのう
ち、各差圧排気室間の連続通板中の封鎖方法には主とし
てロールの使用による封鎖方法、差圧排気室と差圧排気
室の隙間を小さくする封鎖方法等の手法が考案され、す
でに例えばＵ、　Ｓ、　Ｐａｔｅｎｔｓ　Ｎｏ、　２３
８４５００（１９４５）、　Ｎｏ、２９７２３３０（１
９ｆ３］）、　Ｎｏ、２９９６４１０（１９Ｂり、　Ｎ
ｏ、　３０００３４６．三菱重工技報、　ｖｏｌ、　２
１（１９８４）、　Ｎｏ、Ｂ　Ｐ、１〜７などに開示さ
れており、近年の精密工作技術の進歩と相まって実用化
されている。

しかしながら実際の操業におけるラインスピードの増加
並びに真空封鎖性能の向上のニーズに対応して新たな封
鎖方式が求められている。

従来の封鎖方法では、シールスリットあるいはシールロ
ールと搬送中の長尺帯との摩擦力並びに長尺帯表面の損
傷により搬送速度に限界がある。

搬送速度を増加するにはスリットと搬送される長尺帯と
の空隙を大としなければなにず、そうすると大気の流入
が大となって封鎖性が低下する。

米国特許第３，０００，３４８号によれば回転体の周囲
に気体流入防止のためにリップを多数配置して真空封鎖
性を高めている。しかしながらそのリップの摩耗が著し
く、高速連続操業には適さなかった。

〈発明の目的〉 本発明の目的は、上述した従来技術の問題点を解消し、
簡単な機構により真空封鎖性を維持した状態で、高速で
長尺物を搬送することを可能ならしめる差圧維持装置を
提供しようとするにある。

〈発明の構成〉 すなわち本発明は、圧力差のある二つの空間領域をその
圧力差を維持しつつ長尺物を連続搬送させるための差圧
維持装置であって、回転体と、この回転体の外周に前記
長尺物の搬送方向とほぼ直角をなす方向に配列された少
なくとも１段の複数の円柱状コロと、これらのコロとの
間でシールを行うリップを有するコロ保持器とを備える
ことを特徴とする差圧維持装置を提供するものである。

本発明装置を添付図面に基づいて更に詳細に説明する。

第１図は本発明の差圧維持装置の縦断面図を示す、ここ
に示すのは二段型のベアリング機構の例である０回転体
の回転によって鋼板のような長尺帯３は矢印７の方向に
搬送される０回転体２と長尺帯３との間に密着性は長尺
帯３の搬送方向が矢印７に示されるように湾曲している
ことにより保たれ、したがってその真空封鎖性は充分保
持される。

回転体２の外周に円柱状コロ４，４’、５゜５′が差圧
室内壁１に形成された凹部１′内に多数個配置され保持
されている０円柱状コロ４は回転体２に接触し回転体２
と連動して回転することによりその回転体２の回転を平
滑化し、同時にその真空封鎖性を維持する。

円柱状コロ４′は長尺帯３と接触し長尺帯３並びに回転
体２と連動して回転することにより回転体２の回転を平
滑化して長尺帯３の搬送を容易にし、同時にその真空封
鎖性を維持する０円柱状コロ５．５′はそれぞれ円柱状
コロ４，４′と接触して円柱状コロ４．４′をそれぞれ
同一方向に回転せしめて長尺帯３の走行を安定させ、真
空封鎖性を維持して搬送性を向上させる。

リップ６は一端を差圧排気室内壁ｌに固着させ、他端を
円柱状コロ４，４′に接触させることによって円柱状コ
ロ４．４’、５．５’と真空室内壁ｌとの間の真空封鎖
性を維持する。

第２図は本発明の差圧維持装置の他の構成例の縦断面図
である。第１図に図示した構成例と同一作用効果の部分
には同一符号で示す、この装置では一段のベアリング機
構４，４′によって長尺帯の搬送性を容易にし、しかも
高い真空封鎖性を維持する。

すなわち、差圧室内壁ｌに形成された凹部１′内にリッ
プ６および円柱状コロ４，４′を回転体２′、長尺帯３
、コロ４，４′との間で真空封鎖性を維持できるよう構
成配置したものである。

なお、本発明にいう回転体は、中空であっても中実であ
っても良い。

第１図、第２図に示す例においても１円柱状コロを差圧
室内壁の凹部内にシール用リップを介して保持するもの
である。この際コロは第２図に示すように一段、第１図
に示すように二段用いてもよいし、これ以上用いてもよ
い。

第３図は本発明の差圧維持装置をホローカソード法によ
る連続イオンブレーティング装置に適用した例の縦断面
図を示す、第３図において第１図に図示した部分と同一
作用効果の部分には同一符号を記す。

図示されない超音波洗浄装置によって洗浄された長尺帯
３は、それぞれ排気口２３，２４．２５に接続されてい
る図示されていない真空ポンプによって順次排気せしめ
られた差圧室９，１０゜１１を経てイオンブレーティン
グ室１２に搬入される。差圧室９への入口および各差圧
室９゜１０．１１間は差圧室内壁ｌおよび第１図または
第２図に例示された本発明による差圧維持装置８によっ
て圧力差が維持される。

イオンブレーティング室１２に搬入された長尺帯３は、
ここで図示されていないＡｒイオン衝撃装置によって洗
浄されたのちホローカソード法によって被覆が施される
。すなわちホローカソードガン２７によって発生した大
を流、低電圧の電子ビーム２８がルツボ１５上に引き出
され蒸発物源３２を加熱蒸発させ、同時にホローカソー
ドガン２７の後部から導入された作動ガスを媒体として
ホローカソード放電によって蒸発物が励起イオン化され
、イオン流１９が発生する。放電のための電源は図示さ
れていない０反応ガスはニードルバルブ１３によって制
御され、導入口１６からイオンブレーティング室１２に
導入される。長尺帯３は接触ロール１７．１８によって
図示されていない電源による負のバイアス電圧が印加さ
れ、加熱装置１４によって適切な温度に加熱保温される
。

そして蒸着物が密着性よく、長尺帯３に被覆される。

被覆された長尺帯３はそれぞれ排気口２９゜３０．３１
に接続された図示されていない真空ポンプで排気される
差圧室２０，２１．２２を経て大気中に搬出される。イ
・オンブレーティング室１２およびそれぞれの差圧室２
０，２１．２２は差圧室内壁ｌおよび本発明による差圧
維持装置８によってその圧力差がａｔ＊される。

なお、本発明の差圧維持装置は、真空装置について説明
してきたが、加圧装置の場合にも同時に使用しうる。

〈発明の効果〉 本発明の差圧維持装置は、簡単な機構で差圧を維持しつ
り長尺物を高速で搬送することを可能ならしめる。

本発明による差圧ｍ持装置を連続イオンブレーティング
装置に適用すると、操業時のラインスピードが約２０％
程度向上することが可能となる。そして工業的大規模の
長時間連続操業が充分期待でき、生産性、経済性に有利
である。

また、本発明の差圧維持装置は真空装置のみならず加圧
装置についても同時に使用可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の差圧維持装置の構成例の
縦断面図である。 第３図は本発明の差圧維持装置を連続イオンブレーティ
ング装置に適用した例の縦断面図である。 符号の説明 １・・・差圧室内壁、１′・・・凹部、２・・・回転体
、３・・・長尺帯、４．４’、５．５’・・・円柱状コ
ロ、６・・・リップ、８・・・真空封鎖装置、９．１０
，１１２０，２１．２２・・・差圧室、１２・・・イオ
ンブレーティング室、 １３・・・ニードルバルブ、１４・・・加熱装置、１５
・・・ルツボ、１６・・・導入口、１７．１８・・・ロ
ール、１９・・・イオン流、２３．２４，２５，２６，
２９，３０．３１・・・排気口、２７・・・ホローカソ
ードガン、２８・・・電子ビーム、３２・・・蒸発物源
ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧力差のある二つの空間領域をその圧力差を維持しつつ
   長尺物を連続搬送させるための差圧維持装置であって、
   回転体と、この回転体の外周に前記長尺物の搬送方向と
   ほぼ直角をなす方向に配列された少なくとも１段の複数
   の円柱状コロと、これらのコロとの間でシールを行うリ
   ップを有するコロ保持器とを備えることを特徴とする差
   圧維持装置。