JPS6270575A - 連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置 - Google Patents
連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS6270575A JPS6270575A JP20983885A JP20983885A JPS6270575A JP S6270575 A JPS6270575 A JP S6270575A JP 20983885 A JP20983885 A JP 20983885A JP 20983885 A JP20983885 A JP 20983885A JP S6270575 A JPS6270575 A JP S6270575A
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- JP
- Japan
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- rolls
- differential pressure
- sealing device
- dry plating
- pressure sealing
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、鋼板等の長尺物を連続的に、真空蒸着、イオ
ンブレーティング、スパッタリング等のドライプレーテ
ィング法により表面被覆する際に、いわゆるエア拳トウ
・エア（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ）方式と呼ばれる複数の
差圧室によってドライプレーティング室へ徐々に真空度
を高めていくあるいは低減させるための連続ドライプレ
ーティング用差圧シール装置に関する。
ンブレーティング、スパッタリング等のドライプレーテ
ィング法により表面被覆する際に、いわゆるエア拳トウ
・エア（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ）方式と呼ばれる複数の
差圧室によってドライプレーティング室へ徐々に真空度
を高めていくあるいは低減させるための連続ドライプレ
ーティング用差圧シール装置に関する。
〈従来技術とその問題点〉
金属板あるいは鋼板等の長尺物表面上に異種の金属ある
いはセラミック等を蒸着ドライプレーティング処理によ
り表面被覆しようとする試みが今までに数多く提案され
ている。
いはセラミック等を蒸着ドライプレーティング処理によ
り表面被覆しようとする試みが今までに数多く提案され
ている。
この場合、省力化のためにＡｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ方式の
採用により連続的に処理されるが、連続方式によるドラ
イプレーティングは、処理前後に効率よく段階的に真空
度を上げる手法が重要技術として利用されてきた。
採用により連続的に処理されるが、連続方式によるドラ
イプレーティングは、処理前後に効率よく段階的に真空
度を上げる手法が重要技術として利用されてきた。
この技術に関して、今まで数多くの特許が提出され、Ａ
ｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ方式で長尺物を処理するときの真空
技術について原理的な方法のほとんどがすでに特許にな
っている０例えばＵ、Ｓ、ＰａｔｅｎｔｓＮｏ、２３８
４５００（＋９４５）、 Ｎｏ、２９７２３３０（１９
８１）、 Ｎｏ。
ｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ方式で長尺物を処理するときの真空
技術について原理的な方法のほとんどがすでに特許にな
っている０例えばＵ、Ｓ、ＰａｔｅｎｔｓＮｏ、２３８
４５００（＋９４５）、 Ｎｏ、２９７２３３０（１９
８１）、 Ｎｏ。
２９９Ｅｆ４１０（１９１３１） 、三菱重工技法、Ｖ
ａｔ、 ２１（１９８４）。
ａｔ、 ２１（１９８４）。
Ｎｏ、８． Ｐ、１〜７参照。
これらの方法は、いずれも何段かの差圧室を設けてその
各室をそれぞれ排気することにより、大気圧から高真空
室に至るまで順次圧力を低下せしめることで一致してい
るが、その各室の境界でのシール方法が異っている。そ
の主な方法はロールの使用によるシール、差圧室と差圧
室の隙間を小さくするシール等であるが、これらの方法
は必ずしも効率的にシールできるものではなかった。
各室をそれぞれ排気することにより、大気圧から高真空
室に至るまで順次圧力を低下せしめることで一致してい
るが、その各室の境界でのシール方法が異っている。そ
の主な方法はロールの使用によるシール、差圧室と差圧
室の隙間を小さくするシール等であるが、これらの方法
は必ずしも効率的にシールできるものではなかった。
最近に至り、第２図に示すように、上下ロール２．３の
軸心位置を被処理物１に対して若干変位させて鋼板とロ
ールとのシール面積を大きくすることにより真空シール
効果を高める方法が提案されている（三菱重工技法、Ｖ
ｏｌ、 ２１（１９８４）、 Ｎｏ、８゜Ｐ、１〜７参
照）。
軸心位置を被処理物１に対して若干変位させて鋼板とロ
ールとのシール面積を大きくすることにより真空シール
効果を高める方法が提案されている（三菱重工技法、Ｖ
ｏｌ、 ２１（１９８４）、 Ｎｏ、８゜Ｐ、１〜７参
照）。
また特公昭４５−２４９０号公報には３つの同形ロール
を用いて鋼板との接触面積を大きくすることによって真
空シール効果を高める方法が提案されている。
を用いて鋼板との接触面積を大きくすることによって真
空シール効果を高める方法が提案されている。
しかしこれらの差圧シール方式は、いずれもＡｉｒ−ｔ
ｏ−Ａｉｒの被処理物通板中に被処理物の表・裏面に、
曲げ、弾性張力がかかるものであるが、シール性能面の
みしか考慮されていないため被処理物にかかる、曲げ、
弾性張力が表面と裏面で異なり、このためドライプレー
ティングにより表面被覆した時に表面が均一に被覆され
ないという問題があり、その結果、製品の品質が劣化す
る。
ｏ−Ａｉｒの被処理物通板中に被処理物の表・裏面に、
曲げ、弾性張力がかかるものであるが、シール性能面の
みしか考慮されていないため被処理物にかかる、曲げ、
弾性張力が表面と裏面で異なり、このためドライプレー
ティングにより表面被覆した時に表面が均一に被覆され
ないという問題があり、その結果、製品の品質が劣化す
る。
〈発明の目的〉
本発明の目的は、従来技術の問題点を解決し。
シール効果が良く、しかも表面被覆された処理製品の品
質が向上する連続ドライプレーティング用差圧シール装
置を提供しようとするものである。
質が向上する連続ドライプレーティング用差圧シール装
置を提供しようとするものである。
〈発明の構成〉
最近、本発明者らは一方向性けい素鋼板の仕上焼鈍後の
鋼板表面の酸化物を除去し、あるいはさらに研磨により
中心線平均粗さ０．４色以下の鏡面状態に仕上げた一方
向性けい素鋼板上にイオンブレーティングを施して鋼板
表面上にＴｉ Ｚｒ ＶＮｂ Ｔａ Ｃｒ
Ｎｏ Ｃｏ Ｎｉ Ｍｎ Ａｎ ＢおよびＳ
ｉの窒化物および／または炭化物並びにＡＪＩ、Ｎｉ。
鋼板表面の酸化物を除去し、あるいはさらに研磨により
中心線平均粗さ０．４色以下の鏡面状態に仕上げた一方
向性けい素鋼板上にイオンブレーティングを施して鋼板
表面上にＴｉ Ｚｒ ＶＮｂ Ｔａ Ｃｒ
Ｎｏ Ｃｏ Ｎｉ Ｍｎ Ａｎ ＢおよびＳ
ｉの窒化物および／または炭化物並びにＡＪＩ、Ｎｉ。
Ｃｕ、 Ｗ 、 ＳｉおよびＺｎの酸化物のうちから選
ばれる少なくとも１種以上から成り、それらの地鉄との
混合相を介し仕上げ表面と強固に被着した張力被膜を形
成させると、一方向性けい素鋼板の鉄損低減を有利に達
成し得ることを見出した（特願昭６０−０１３８１号）
。
ばれる少なくとも１種以上から成り、それらの地鉄との
混合相を介し仕上げ表面と強固に被着した張力被膜を形
成させると、一方向性けい素鋼板の鉄損低減を有利に達
成し得ることを見出した（特願昭６０−０１３８１号）
。
本発明者らは上記の張力被膜の被着挙動について研究を
進め、一層の超低鉄損を得るための模索研究を行った結
果、 鏡面仕上げした鋼板を３００℃〜１１００℃の高温状態
下でイオンブレーティング処理すると、鋼板両面の弾性
張力を有効に利用でき、さらに超低鉄損が得られること
が明らかとなり、一方向性けい素鋼板の超低鉄損化が可
能となることを見出した。
進め、一層の超低鉄損を得るための模索研究を行った結
果、 鏡面仕上げした鋼板を３００℃〜１１００℃の高温状態
下でイオンブレーティング処理すると、鋼板両面の弾性
張力を有効に利用でき、さらに超低鉄損が得られること
が明らかとなり、一方向性けい素鋼板の超低鉄損化が可
能となることを見出した。
このような条件を満足しうる連続ラインのイオンブレー
ティング装置の中の特にＡｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ方式の真
空差圧シール方法について詳細な検討を行った。
ティング装置の中の特にＡｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ方式の真
空差圧シール方法について詳細な検討を行った。
その結果、ロールを用いた差圧シール装置においてロー
ルにより鋼板の表φ裏面にかけられる曲げ、すなわち圧
縮、引張を表・裏面で均等にすることによりドライプレ
ーティングによる表面被覆が均質化して鋼板の製品性能
も向上することを知見し、本発明に至ったものである。
ルにより鋼板の表φ裏面にかけられる曲げ、すなわち圧
縮、引張を表・裏面で均等にすることによりドライプレ
ーティングによる表面被覆が均質化して鋼板の製品性能
も向上することを知見し、本発明に至ったものである。
すなわち、本発明は、長尺被処理物を、差圧シール装置
を経て、ドライプレーティング室に減圧シール状態で連
続的に搬送するための連続ドライプレーティング用差圧
シール装置であって、この差圧シール装置は、前記被処
理物を介して接触する３個以上のロールで構成され、該
被処理物の表・裏面が相対的に圧縮・引張を交互に受け
るべく構成され、前記各ロールと前記被処理物との接触
長さは前記各ロールの外周長さの半分未満であることを
特徴とする連続ドライプレーティング用差圧シール装置
を提供するものである。
を経て、ドライプレーティング室に減圧シール状態で連
続的に搬送するための連続ドライプレーティング用差圧
シール装置であって、この差圧シール装置は、前記被処
理物を介して接触する３個以上のロールで構成され、該
被処理物の表・裏面が相対的に圧縮・引張を交互に受け
るべく構成され、前記各ロールと前記被処理物との接触
長さは前記各ロールの外周長さの半分未満であることを
特徴とする連続ドライプレーティング用差圧シール装置
を提供するものである。
以下に本発明を図面に示す好適実施例について詳細に説
明する。
明する。
第１図は、本発明の差圧シール装置の一実施例を示す模
式図である。第１図に示す本発明の差圧シール装置は３
個のロール２．３．４および気密片５．６で構成される
。気密片５．６とロール２．３．４の間には、高圧側か
ら低圧側へ気体が漏出しないよう通常はリップ７が設け
られる。
式図である。第１図に示す本発明の差圧シール装置は３
個のロール２．３．４および気密片５．６で構成される
。気密片５．６とロール２．３．４の間には、高圧側か
ら低圧側へ気体が漏出しないよう通常はリップ７が設け
られる。
ロールは３個以上であればいくつであってもよい、減圧
室１４．１５．１６は、排気口１７より図示しない真空
ポンプによって排気される。
室１４．１５．１６は、排気口１７より図示しない真空
ポンプによって排気される。
減圧室は、一般的には第１図の減圧室１４．１５．１６
のように多段に渡って設けられ、各減圧室間はそれぞれ
本発明のシール装置によってシールされる。
のように多段に渡って設けられ、各減圧室間はそれぞれ
本発明のシール装置によってシールされる。
各減圧室は、本発明のシール装置と図示しない真空ポン
プによりライン方向に進むに従って減圧度すなわち真空
度をあげていき、図示しないドライプレーティング室の
真空度とほぼ同じ位にまで真空度をあげる機構とする。
プによりライン方向に進むに従って減圧度すなわち真空
度をあげていき、図示しないドライプレーティング室の
真空度とほぼ同じ位にまで真空度をあげる機構とする。
本発明は、長尺被処理物ｌとロール２．３，４等の相対
的な位置関係に以下のような特徴がある。
的な位置関係に以下のような特徴がある。
すなわち、長尺被処理物ｌが、ロール２．３．４からロ
ール２′〜、３′″、４′〜に至るまでに交互に折り曲
げ搬送されるよう構成する。第１図の長尺被処理物１は
ロール２，３．４によって上側へ折り曲げ搬送され５次
にロール２’ 、３’ 、４’によって下側へ折り曲げ
られる０次にロール２″、３″、４″によって上側に折
りまげられ搬送される。
ール２′〜、３′″、４′〜に至るまでに交互に折り曲
げ搬送されるよう構成する。第１図の長尺被処理物１は
ロール２，３．４によって上側へ折り曲げ搬送され５次
にロール２’ 、３’ 、４’によって下側へ折り曲げ
られる０次にロール２″、３″、４″によって上側に折
りまげられ搬送される。
このように、長尺被処理物１が表φ裏面が上下に交互に
折り曲げられることによって表−裏面均等な応力負荷状
態となり、真空蒸着膜の均質性を良好にすることができ
る。
折り曲げられることによって表−裏面均等な応力負荷状
態となり、真空蒸着膜の均質性を良好にすることができ
る。
特公昭４５−２４９０号公報においては３つの同形ロー
ルシール法を用いて鋼板のシール面積を大きくする同様
の方法が提案されているが、各差圧シール装置のロール
構成が被処理板の表・裏面が相対的に圧縮・引張を交互
に受けるべく配置した装置でなく、同一方向にのみ構成
されたものであるためＡｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒの被処理板
通板中での被処理板に与える曲げ、弾性張力が被処理板
衣・裏面で異なるため、被処理板に曲げ変形を生じてド
ライプレーティング膜が均質にならず、良好な磁気特性
を達成することが困難である。
ルシール法を用いて鋼板のシール面積を大きくする同様
の方法が提案されているが、各差圧シール装置のロール
構成が被処理板の表・裏面が相対的に圧縮・引張を交互
に受けるべく配置した装置でなく、同一方向にのみ構成
されたものであるためＡｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒの被処理板
通板中での被処理板に与える曲げ、弾性張力が被処理板
衣・裏面で異なるため、被処理板に曲げ変形を生じてド
ライプレーティング膜が均質にならず、良好な磁気特性
を達成することが困難である。
さらに本発明のシール装置は長尺被処理物と各ロールの
接触長さが各ロールについて、それぞれロールの外周長
さの半分未満となるよう構成される。
接触長さが各ロールについて、それぞれロールの外周長
さの半分未満となるよう構成される。
イオンブレーティングあるいは真空蒸着などのドライプ
レーティング装置本体内部に十分な高真空を達成維持す
るためには、長尺被処理物が通過する細隙からの空気の
洩れはできる限り少なくしなくてはならない、第１図の
模式図から容易に推察されるように、高真空を容易に達
成するためには長尺被処理物とシール用ロール同士の間
隙を小さくすることはいうまでもないが、長尺被処理物
の板厚の変化を考えると、この間隙にも限度がある。
レーティング装置本体内部に十分な高真空を達成維持す
るためには、長尺被処理物が通過する細隙からの空気の
洩れはできる限り少なくしなくてはならない、第１図の
模式図から容易に推察されるように、高真空を容易に達
成するためには長尺被処理物とシール用ロール同士の間
隙を小さくすることはいうまでもないが、長尺被処理物
の板厚の変化を考えると、この間隙にも限度がある。
このため効率的に所定の真空度を達成するためには、こ
れらのロールと鋼板とのシール面積を大きくすることが
不可欠の条件である。しかし、ロールの半周長さ以上の
長尺被処理物とロールの接触を行うと、長尺被処理物に
与える曲げ量が過大となり、処理効果が低減するため、
接触長さはロールの半周長さ未満とする必要がある。
れらのロールと鋼板とのシール面積を大きくすることが
不可欠の条件である。しかし、ロールの半周長さ以上の
長尺被処理物とロールの接触を行うと、長尺被処理物に
与える曲げ量が過大となり、処理効果が低減するため、
接触長さはロールの半周長さ未満とする必要がある。
本発明のシール装置は、第１図に示す実施例に限定され
ることなく、ロールの数が３個以上で被処理板と各ロー
ルの接触が上記の条件を満たす構成をとるものであれば
いかなる構成であってもよい。
ることなく、ロールの数が３個以上で被処理板と各ロー
ルの接触が上記の条件を満たす構成をとるものであれば
いかなる構成であってもよい。
方向性けい素鋼板を例として本発明を説明してきたが、
本発明はこれに限定されるものではなく、長尺被処理物
の連続ドライプレーティングすべてに有効に適用できる
。
本発明はこれに限定されるものではなく、長尺被処理物
の連続ドライプレーティングすべてに有効に適用できる
。
〈発明の効果〉
本発明の差圧シール装置によれば、通板される長尺被処
理物が表・裏面均等の曲げ、弾性張力を受ける状態で、
かつロールとの接触長さが一定値未満で、接触面積が大
きいので、シール効果が高く、かつ被処理物の表・裏面
が均質なドライプレーティング膜が製造できて製品品質
が向上する。
理物が表・裏面均等の曲げ、弾性張力を受ける状態で、
かつロールとの接触長さが一定値未満で、接触面積が大
きいので、シール効果が高く、かつ被処理物の表・裏面
が均質なドライプレーティング膜が製造できて製品品質
が向上する。
特に低鉄損方向性けい素鋼板の製造に貢献度が高い。
第１図は１本発明の連続ドライプレーティング用差圧シ
ール装置の一実施例を示す模式図である。 第２図は、従来例の差圧シール装置を示す模式符号の説
明 １・・・長尺被処理物、 ２．３，４．２’ 、３’ 、４’ 、２” 、
３“。 ４″ 、２〜，３”、４”・・・ロール、５．６．５’
、６’ 、５” 、６“、５”’ 、６”・・・
気密片、 ７・・・リップ、１４，１５．１６・・・差圧室、１２
．１７・・・排気口、１３・・・ライン方向。
ール装置の一実施例を示す模式図である。 第２図は、従来例の差圧シール装置を示す模式符号の説
明 １・・・長尺被処理物、 ２．３，４．２’ 、３’ 、４’ 、２” 、
３“。 ４″ 、２〜，３”、４”・・・ロール、５．６．５’
、６’ 、５” 、６“、５”’ 、６”・・・
気密片、 ７・・・リップ、１４，１５．１６・・・差圧室、１２
．１７・・・排気口、１３・・・ライン方向。
Claims (1)
- （１）長尺被処理物を、差圧シール装置を経て、ドライ
プレーティング室に減圧シール状態で連続的に搬送する
ための連続ドライプレーティング用差圧シール装置であ
って、この差圧シール装置は、前記被処理物を介して接
触する３個以上のロールで構成され、該被処理物の表・
裏面が相対的に圧縮・引張を交互に受けるべく構成され
、前記各ロールと前記被処理物との接触長さは前記各ロ
ールの外周長さの半分未満であることを特徴とする連続
ドライプレーティング用差圧シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20983885A JPS6270575A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20983885A JPS6270575A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6270575A true JPS6270575A (ja) | 1987-04-01 |
Family
ID=16579452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20983885A Pending JPS6270575A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6270575A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01287275A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続真空蒸着装置 |
| JP2003027234A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-29 | Hirano Koon Kk | 連続シート状材料の表面処理装置及びそのガスシール構造 |
-
1985
- 1985-09-21 JP JP20983885A patent/JPS6270575A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01287275A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続真空蒸着装置 |
| JPH0768621B2 (ja) * | 1988-05-12 | 1995-07-26 | 三菱重工業株式会社 | 連続真空蒸着装置 |
| JP2003027234A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-29 | Hirano Koon Kk | 連続シート状材料の表面処理装置及びそのガスシール構造 |
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