TW201833469A - 真空閥 - Google Patents

真空閥 Download PDF

Info

Publication number
TW201833469A
TW201833469A TW107102901A TW107102901A TW201833469A TW 201833469 A TW201833469 A TW 201833469A TW 107102901 A TW107102901 A TW 107102901A TW 107102901 A TW107102901 A TW 107102901A TW 201833469 A TW201833469 A TW 201833469A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
valve
vacuum
guide
guide rod
valve housing
Prior art date
Application number
TW107102901A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI751273B (zh
Inventor
馬丁 奈特澤
Original Assignee
瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 filed Critical 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司
Publication of TW201833469A publication Critical patent/TW201833469A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI751273B publication Critical patent/TWI751273B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/316—Guiding of the slide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0227—Packings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

本發明涉及一種真空閥，包括閥殼體(1)，該閥殼體在內部具有真空區域(4)；設置在閥殼體(1)的真空區域(4)中的關閉單元(5)，至少一個閥開口(2、3)在真空閥的關閉狀態下可由所述關閉單元關閉；縱向驅動裝置(11)，由該縱向驅動裝置可使得關閉單元(5)在縱向(10)上移位，以便使得關閉單元(5)在釋放閥開口(2、3)的位置與遮擋閥開口(2、3)的位置之間移位；縱向引導裝置(19)，用來平行於縱向(10)可移動地引導關閉單元(5)，其具有平行於縱向(10)延伸的導杆(20)和至少一個導向件(21)。導向件(21)的至少一個支撐元件(36)設置在相對於閥殼體(1)的真空區域(4)密封的區域中。

Description

真空閥
本發明涉及一種真空閥，其包括：閥殼體，該閥殼體在內部具有真空區域；設置在閥殼體的真空區域中的關閉單元，至少一個閥開口在真空閥的關閉狀態下可由所述關閉單元關閉；縱向驅動裝置，由該縱向驅動裝置可使得關閉單元在縱向上移位，以便使得關閉單元在釋放閥開口的位置與遮擋閥開口的位置之間移位；縱向引導裝置，用來平行於縱向可移動地引導關閉單元，所述縱向引導裝置具有平行於縱向延伸的導杆和至少一個導向件，其中，導杆安置在閥殼體上，並且關閉單元安置於其上的該導向件平行於縱向可移動地被導杆引導，或者所述至少一個導向件安置在閥殼體上，並且關閉單元安置於其上的導杆平行於縱向可移動地被至少一個導向件引導，以及其中至少一個導向件具有至少一個支撐元件，用來平行於縱向可移動地相對於導杆支撐導向件、或者用來平行於縱向可移動地相對於導向件支撐導杆。
由US 9,086,173 B2已知一種真空閥，其關閉單元具有第一和第二閥板，這些閥板在真空閥的關閉狀態下將閥殼體的對置的第一和第二閥開口封閉。這些閥板被關閉單元的支承單元支撐。該支承單元安置在閥杆上，該閥杆從閥殼體的真空區域伸出。在真空閥的打開狀態下，閥 開口被釋放。為了關閉真空閥，支承單元被設置在真空區域之外的縱向驅動裝置通過閥杆的軸向移動而移動至閥開口之前，其中，閥板仍然提升離開閥座。支承單元在此借助縱向引導裝置相對於閥殼體在相對的側面、平行於縱向可移動地被引導。關閉單元具有橫向驅動部件，借助於這些橫向驅動部件因而將閥板頂壓到閥座上。
代替橫向驅動部件，也可以有擴張部件比如楔形部件、滾輪等，以便把兩個閥板頂壓到閥座上。當支承單元在真空閥關閉情況下到達終端止擋之後，就會由縱向驅動裝置引起這種情況。這種關閉機制在現有技術中已知有各種不同的設計。
這種真空閥特別是在真空設備中用於執行真空過程，特別是在半導體技術中或塗層技術中例如用於製造顯示幕。要加工的襯底在此穿過這種真空閥，以便使得襯底從一個真空腔轉移到相鄰的真空腔。對於較大的板形襯底，閥開口構造成縫隙狀，也就是說，具有比寬度明顯大的長度。隨著要加工的襯底的尺寸變大，在水平方向上輸送襯底由於彎折危險而日益困難或者無法再實現。因此已知豎直地(直立地或懸垂地)輸送或者近乎豎直地輸送這種襯底。縫隙狀的閥開口為此豎直地定向，或者近乎豎直地定向。關閉單元與此對應地定向。
這種真空閥例如由AT 14814 U已知。為了能以簡單的方式對閥進行維護，在該文獻中記載到，關閉單元具有至少一個軌道，借助該軌道可以將關閉單元懸掛在軌道上地或者豎立在軌道上地從閥殼體中拉出到維護位置。為此，要麼在把閥殼體的殼體部分取下之後安裝附加的軌道，沿著這些軌道可以使得關閉單元從閥殼體中移出，要麼為了使得關 閉單元相當於閥殼體縱向地引導而存在有可伸縮的軌道，借助於這些軌道可以把關閉單元從閥殼體中拉出。
由JP-3241456 B2已知一種類似的真空閥。
由US 6,899,316 B2已知一種真空閥，其中，關閉單元只有一個閥板，以便在真空閥的關閉狀態下將閥殼體的閥開口封閉。類似於由US 9,086,173 B2已知的閥，存在有設置在真空區域外部的縱向驅動裝置和設置在關閉單元上的橫向驅動部件。關閉單元相對於閥殼體在相對側沿著縱向可移動地引導。
閥殼體的閥開口的關閉也可以只通過關閉件的直線移動來進行，特別是借助於三維的密封面進行，其例如由DE 37 17 724 A1或US 4,921,213 A已知。
本發明的目的是，提出開篇所述類型的有利的真空閥，該真空閥特別是適合於使得大型的板形襯底尤其是沿著豎直的或者很大程度上豎直的方向穿過。根據本發明，這通過具有申請專利範圍第1項的特徵的真空閥得以實現。
在本發明的真空閥中，至少一個導向件的至少一個支撐元件設置在相對於閥殼體的真空區域密封的區域中。
該密封的區域可以與大氣連通。對該密封區域的泵吸在原則上也是可考慮且可行的。
通過本發明的構造，在至少一個支撐元件的區域中，在關閉單元移位時產生的顆粒不會進入到真空閥的真空區域中，由此保護敏感 的襯底免受汙物。
有利地，關閉單元懸掛地保持在縱向引導裝置上。「關閉單元懸掛地保持在縱向引導裝置上」意味著，設置在關閉單元上方的縱向引導裝置至少承受著關閉單元的大部分重量、即至少關閉單元重量的50%以上、優選至少基本上關閉單元的全部重量。
通過關閉單元的懸掛設置，該關閉單元可以以相對小的抗彎折剛度來構造，從而能夠節省材料成本。在一種有利的實施方式中，在關閉單元的下方的區域內，可以完全省去關閉單元的縱向引導裝置。
導向件或相應的導向件可以有益地具有被導杆穿過的貫穿開口。由此實現用於至少一個支撐元件的密封區域的有利構造。優選為此可以使得至少一個導向件與至少一個隔膜波紋管連接，該隔膜波紋管延續了密封的區域，並且導杆延伸穿過該隔膜波紋管。至少沿著在導杆與至少一個導向件之間可相對移動的區域，導杆例如可以具有圓形的橫截面。
在本發明的縱向引導裝置中，要麼可以把導杆安置在閥殼體上，並且關閉單元安置於其上的至少一個導向件沿著導杆平行於縱向相對於導杆可移動、進而相對於閥殼體可移動；要麼可以把至少一個導向件安置在閥殼體上，並且關閉單元安置於其上的導杆相對於至少一個導向件平行於縱向相對於至少一個導向件可移動、進而相對於閥殼體可移動。
在一種有利的實施方式中，導杆可以在真空閥的相對的壁之間伸展，至少一個導向件可移動地沿著導杆被引導，其中至少一個導向件設置在閥殼體的內部，以及在相對側上第一和第二隔膜波紋管與導向件連接，至少一個支撐元件設置在密封的區域中，所述隔膜波紋管使得該密 封的區域延續並且導杆延伸穿過所述隔膜波紋管。在另一種可能的實施方式中，閥杆可移動地被第一和第二導向件引導，所述第一和第二導向件在閥殼體的相對側上在外面設置在閥殼體上，其中，與相應的導向件連接的隔膜波紋管經由閥殼體的相應的開口延伸到閥殼體的內部中。
1‧‧‧閥殼體
2‧‧‧第一閥開口
3‧‧‧第二閥開口
4‧‧‧真空區域
5‧‧‧關閉單元
6‧‧‧第一閥板
7‧‧‧第二閥板
8‧‧‧支承單元
9‧‧‧閥杆
10‧‧‧縱向
11‧‧‧縱向驅動裝置
12‧‧‧軛狀件
13‧‧‧軸線
14‧‧‧軸線
15‧‧‧橫向驅動裝置
16‧‧‧橫向
17‧‧‧第一支承杆
18‧‧‧第二支承杆
19‧‧‧縱向引導裝置
20‧‧‧導杆
21‧‧‧導向件
22‧‧‧隔膜波紋管
23‧‧‧隔膜波紋管
24‧‧‧端頭件
25‧‧‧密封圈
26‧‧‧連接件
27‧‧‧密封圈
28‧‧‧開口
29‧‧‧密封圈
30‧‧‧插入件
31‧‧‧密封圈
32‧‧‧開口
33‧‧‧連接件
34‧‧‧壁
35‧‧‧支承板
36‧‧‧支撐元件
37‧‧‧驅動殼體
38‧‧‧維護輔助裝置
39‧‧‧保持軌
40‧‧‧支承臂
41‧‧‧連接件
42‧‧‧密封裝置
43‧‧‧壁
44‧‧‧開口
下面參照附圖介紹本發明的其它優點和細節。在這些附圖中：圖1為在真空閥的打開狀態下根據本發明的第一實施例的真空閥的視圖；圖2為在圖1中的A觀察方向上的端部視圖；圖3為沿著圖2的線BB剖切的剖視圖；圖4為沿著圖3的線CC剖切的剖視圖；圖5為沿著圖3的線DD剖切的剖視圖；圖6、圖7和圖8為在真空閥的「半關閉狀態下」類似於圖3至5的剖視圖；圖9為沿著圖6的線EE剖切的剖視圖；圖10和圖11為圖6的放大的局部剖視圖；圖12為在真空閥的完全關閉的狀態下類似於圖8的剖視圖；圖13為真空閥的斜視圖，其帶有安置在其上的維護輔助裝置；圖14為類似於圖3的剖視圖，然而帶有維護輔助裝置且處於真空閥的 維護位置；圖15和圖16為可共同地從閥殼體中拉出的單元的視圖和斜視圖；圖17至28為本發明的第二實施例的類似於圖1至12的視圖和剖視圖。
下面參照圖1至16介紹本發明的第一實施例。
真空閥具有閥殼體1，該閥殼體帶有設置在相對的壁中的第一和第二閥開口2、3，這些閥開口優選具有相同的形狀和大小。
真空區域4位於閥殼體1的內部，也就是說，真空閥被構造為，使得：如果第一和第二閥開口2、3(例如被盲法蘭)封閉，則在該真空區域4中至少在一定時間內可以維持10-3mbar的真空，所述時間至少為一小時以上。
在真空閥的真空區域4中設置了關閉單元5。該關閉單元5具有被支承單元8支承的第一和第二閥板6、7。支承單元8安置在從真空區域4中伸出來的閥杆9上。為此可以採用已知的真空密封的直線式穿引件。在該實施例中示意性地示出了密封的滑動式引導件。也可以以有利的方式採用波紋管穿引件。
閥杆9朝向縱向10取向，也就是說，閥杆9的縱向中軸線平行於縱向10延伸。
縱向驅動裝置11用於使得閥杆9平行於縱向10移動，進而用於使得關閉單元5平行於縱向10移動。在該實施例中，該縱向驅動裝置通過兩個氣動的活塞-氣缸單元予以實現，這些活塞-氣缸單元通過軛 狀件12相互連接，並與閥杆9連接。該縱向驅動裝置也可以採用其它方式來構造。縱向驅動裝置11也可以具有不同於氣動地工作的促動器。
第一和第二閥板6、7用於在真空閥的關閉狀態下(圖12)真空密封地封閉第一和第二閥開口2、3。這些閥板為此頂壓到包圍閥開口2、3的閥座上。為了密封，以通常的方式採用彈性的密封圈，該密封圈可以分別設置在閥板6、7上、或者設置在密封座上(圖中未示出)。
為了使得真空閥從其打開狀態(圖1至5)關閉，閥板6、7在所述打開狀態下分別處於打開位置，首先由縱向驅動裝置11使得關閉單元從其釋放閥開口的位置移動至遮蓋閥開口2、3的位置(圖6至11)。在此，在第一和第二閥開口2、3的平行的軸線13、14的方向上觀察，閥板6、7完全遮蓋閥開口2、3，但在該實施例中仍然提升離開(間隔開)閥座。為了使得閥板6、7從這些中間位置(真空閥的「半關閉」狀態)沿橫向16移動，以便閥板6、7移位至其關閉位置，採用了支承單元8的橫向驅動裝置15，其中這些閥板在所述關閉位置頂壓到閥座上。這些橫向驅動裝置在附圖中僅僅簡化地示出。在該實施例中，所述橫向驅動裝置是氣動地操縱的活塞-氣缸單元。在該實施例中，如優選的那樣，設置了多個在豎直方向上彼此間隔開的橫向驅動裝置15。
在所示實施例中，支承單元8具有第一和第二支承杆17、18，這些支承杆垂直於縱向10且垂直於橫向16延伸，並通過橫向驅動裝置15的氣缸殼體連接。這在附圖中同樣僅僅簡化地示出。
關閉單元5例如可以類似於在說明書前序部分提到的US 9,086,173 B2來構造。
閥開口2、3具有明顯大於寬度b的長度l，長度l優選為寬度b的四倍以上。閥開口2、3因而縫隙狀地構造。閥板6、7具有與此對應的形狀。真空閥因而尤其可以用來穿引板狀的襯底。真空閥在此被設計用於豎直地或者至少很大程度上豎直地輸送這種板形的襯底。因而在規定的安裝狀態下，第一和第二閥開口的縱向延展至少很大程度上豎直。有益地，閥開口2、3的縱向延展與垂線的偏差處於最多+/-30°、優選最多+/-20°的範圍內。
關閉單元5如優選的那樣通過在該實施例中位於關閉單元5上方的縱向引導裝置19平行於縱向10可移動地被引導。該縱向引導裝置19具有優選圓柱形的導杆20，該導杆朝向縱向10取向，也就是說，導杆20的縱軸線平行於縱向10。在根據圖1至16的實施例中，導杆20被閥殼體保持住，且在關閉單元5通過縱向驅動裝置11平行於縱向10進行移位時並不運動。被導杆20穿過貫穿開口的套筒形的導向件21由導杆20平行於縱向10可移動地引導。在導向件21上，在其上端區域中安置著支承單元8。由此把關閉單元5懸掛地保持在縱向引導裝置19上。縱向引導裝置19在此至少承受著支承單元8的重量的主要部分(支承單元8的重量的一半以上)，優選至少基本上承受著支承單元8的全部重量。
導杆(參照真空閥的工作狀態)水平地取向，也就是說，縱向10水平地取向。也可以規定與水平線的偏差，該偏差優選小於30°、特別優選小於20°。如果閥開口2、3的縱向延展垂直於導杆20取向，則閥開口2、3的縱向延展由此具有與垂直取向相應的偏差。由此可以把板形的襯底相對於垂直的取向以相應的斜度輸送經過閥開口2、3。由此可 以相對於襯底的完全垂直的取向更簡單地構造用於襯底的輸送機構(因為襯底只需支撐在一側，襯底朝向該側傾斜)。閥開口2、3的縱向延展的相對於垂直取向傾斜的取向，在導杆20的水平位置情況下，也可以按如下方式來實現：關閉單元與縱向引導裝置19連接，使得閥板6、7的縱向延展具有與導杆20的垂直取向的相應偏差。
為了沿著導杆20可移動地引導該導向件21，採用了設置在穿過導向件21的穿引開口的區域中的支撐元件36。這些支撐元件36在附圖中僅僅示意性地示出。例如，這種支撐元件36可以由滾動體構成。在一種有利的實施方式中，例如可以設置滾珠環繞引導裝置。另一方面，例如也可以設置滑動襯套或滑動塗層形式的至少一個支撐元件。
導向件21在相對側分別真空密封地與隔膜波紋管22、23的一端部連接，導杆20在該端部的內部伸展。隔膜波紋管22、23在另一端部真空密封地與連接件26、33連接。
僅僅分別繪出隔膜波紋管22、23的膜片的端側，而隔膜波紋管22、23的中間區域僅僅用虛線面示出。
隔膜波紋管22、23在其兩端分別具有端頭件24，該端頭件焊接在端側的膜片上。為了使得隔膜波紋管22、23與導向件21連接，把鄰接的端頭件24擰緊到導向件21上，其中，為了密封，設置了位於其間的密封圈25。端頭件24在隔膜波紋管22的另一端部與罐形的連接件26連接，其中，為了密封，設置了位於其間的密封圈27。罐形的連接件26本身在閥殼體1的開口28的區域中從外面擰緊到該閥殼體上(帶有位於其間的密封圈29)，其中，閥殼體1的真空區域4由此在連接件26與 隔膜波紋管22之間延續。
在隔膜波紋管23的另一端，其端頭件24擰緊到插入件30上(帶有位於其間的密封圈31)。該插入件30穿過閥殼體1中的開口32插入到連接件33的凹部中。連接件33在開口32的區域中從外面擰緊到閥殼體1上(帶有位於其間的密封圈42)，使得閥殼體1的真空區域4在插入件30與閥殼體中的開口32或連接件33的凹部之間的間隙中延續。
導杆20與插入件30固定地連接，其方式例如為，導杆20壓入到插入件30的凹部中。
導杆20因而在閥殼體的壁34與閥殼體的相對的壁43之間延伸。
位於隔膜波紋管22、23與導杆20之間且位於穿過導向件21的穿引開口與導杆20之間的空間因而相對於閥殼體1的真空區域4密封。相對於閥殼體1的真空區域4密封的空間在隔膜波紋管23的與導向件21分開的端部在該實施例中通過插入件30來封閉。原則上也可考慮且可行的是，省去插入件30，以及隔膜波紋管23直接與導杆20真空密封地連接(與導杆20的端部間隔開)，並且，導杆20的端部直接插入到連接件33的凹部中。
前述的、與閥殼體1的真空區域4密封的空間與大氣連通，在該實施例中通過連接件26上的開口44與大氣連通。替代地，該密封的空間原則上也可以被泵吸，或者完全封閉(密封地封閉)。
相對於閥殼體的真空區域4密封的空間因而位於閥殼體1的內部。用於可移動地相對於導杆20引導該導向件21的支撐元件36也 位於該密封的空間中。
連接件26擰緊在真空閥的壁34上，該壁可從餘下的閥殼體1取下(在圖中未示出的螺釘打開之後)。為了能把該壁34從閥殼體1取下，可以將插入件30從連接件33拔出。因而針對導杆20的與可取下的壁34遠離的端部，設計了與相對的壁43的插塞連接。
為了在該插塞連接的斷開狀態下使得導杆20在其與壁34分開的端部的區域中受到支撐，以防向下沉降，採用了可從圖16最清晰地看到的U形的支承板35。該支承板35在一端固定在壁34上，在另一端支撐著導杆20，在該實施例中的方式為，該支承板具有開口，隔膜波紋管23的端頭件24配合到該開口中。在導杆20的剛度足夠的情況下，也可以省去支承板。
隔膜波紋管22、23的端頭件24也可以全部地或者部分地省去，其中，隔膜波紋管22、23能夠以其端部直接焊接到要與其端部連接的部分上。
如已述，也可以省去插入件30，並且導杆20能夠以其端部直接經由閥殼體的開口23插入到連接件33中的凹部中。
在足夠厚地構造閥殼體的壁的情況下，也可以省去連接件33，導杆20的端部直接插入到閥殼體的壁中的凹部中。
在該實施例中，連接件26的罐形構造用於在真空閥的打開位置容納縮攏的隔膜波紋管22的一部分。在相應地較大地構造閥殼體的情況下，也可以省去連接件26的罐形構造，該連接件例如僅被構造成頂蓋。也可考慮且可行的是，完全省去連接件26，導杆20的端部例如通 過焊接直接固定在壁34上。
為了能夠在閥殼體和關閉單元5的區域中承受不同的熱膨脹，特別是在真空閥被裝入其中的真空設備受熱時，縱向驅動裝置11的驅動殼體37可以沿著垂直於縱向10且垂直於閥開口2、3的軸線13、14的方向可移動地與閥殼體1連接。縱向驅動裝置11的重量在此可以被彈性機構承受。這種構造是已知的。也可以規定，沿著垂直於縱向10且垂直於閥開口2、3的軸線13、14的方向可運動地使得閥杆9與關閉單元5連接。
通過驅動殼體37與閥殼體1的可運動的連接，或者通過閥杆9與關閉單元5的可運動的連接，通過這種方式也可以確保關閉單元5的重量被縱向引導裝置19承受。
在該實施例中，如優選的那樣，因而僅在關閉單元5的上方存在縱向引導裝置19。在其它實施方式中，可以在關閉單元下方存在導向件，這些導向件支撐著關閉單元以防平行於閥開口2、3的軸線13、14的移動，但優選不承受關閉單元5的重量。
如果要對真空閥進行維護，則可以將維護輔助裝置38安置在閥殼體1上。該維護輔助裝置是固定在(特別是擰緊在)閥殼體1上的保持軌39，該保持軌具有直線引導件，支承臂40通過該直線引導件沿著保持軌39可移動地引導。支承臂40固定在(特別是擰緊在)閥殼體1的可取下的壁34上。結果，壁34的擰緊裝置被擰上，包括壁34、保持在壁34上的縱向引導裝置19、關閉單元5和縱向驅動裝置11的單元從閥殼體1的餘下部分中拉出。在此，導杆20的與壁34分開的端部區域和閥 殼體1的壁43的插塞連接鬆開，參見圖14。拉出的單元再次在圖15、16中示出(無維護輔助裝置)。
在維護結束之後，該單元又被推入，其中，導杆20的與壁34分開的端部連同佈置在其上的插入件30又推入到壁的開口32和連接件33的凹部中，也就是說，插塞連接件又封閉了。
用於導杆20的與壁34分開的端部的插塞連接裝置也可以採用改型的方式來構造，比如就像已述那樣沒有插入件30。
所述實施例的不同的其它改型是可考慮的且是可行的，而不偏離於本發明的範圍。因而例如可以設置兩個在縱向10上彼此間隔開的通過隔膜波紋管相互連接的導向件21。
本發明的第二實施例在圖17至28中示出。撇開下述區別不看，第二實施例的構造相應於第一實施例的構造，第一實施例的和可能的變型的描述也適用於第二實施例。相同的或至少類似的部件標有與第一實施例中相同的附圖標記。
第一實施例相比於第一實施例的主要區別在於，在此，關閉單元5安置在縱向引導裝置19的導杆20上，其中，在關閉單元5平行於縱向10通過縱向引導裝置11移動時導杆20隨著關閉單元5移動。這裡設置了兩個套筒形的導向件21，這些導向件被導杆20穿過且安置在閥殼體1上。
支承單元8在導杆20上的固定例如可以通過套筒形的連接件41進行，該連接件被導杆20穿過，且在導杆20的縱向上不可移動地與其連接。隔膜波紋管22、23的一端真空密封地與連接件41的相對側 連接。隔膜波紋管22、23的另一端真空密封地與導向件21連接。與連接件41的和與導向件21的連接可以採用與第一實施例中隔膜波紋管22、23與導向件21和與連接件26、33的連接類似的方式進行。
用來相對於導向件21可移動地支撐導杆20的支撐元件36可以採用與第一實施例中類似的方式構造。這些支撐元件36位於導向件21的穿引開口的區域中。
隔膜波紋管22、23與導杆20之間的空間相對於閥殼體1的真空區域4密封。此外，該密封的空間延伸穿過連接件41的穿引開口與導杆20之間的間隙。相對於真空區域4密封的空間因而至少部分地位於閥殼體1的內部。從隔膜波紋管的與連接件41分開的端部出發，該密封的空間還延伸經過在導向件21的內部穿引開口與導杆20之間的中間腔，並且還與大氣連通(原則上也可以泵吸)。導向件21的支撐元件36所在的區域由此相對於閥殼體1的真空區域4密封。
隔膜波紋管的彼此相向的端部也可以直接與導杆20真空密封地連接，例如焊接到其上。
代替隔膜波紋管22、23，在該第二實施例中，也可以設置帶有作為密封裝置的密封圈的移動穿引裝置，以便導杆20密封地穿過閥殼體的開口28、32從閥殼體中伸出。
為了在該第二實施例中為維護目的能夠把壁34連同安置在其上的部件取下來，這裡必須首先鬆開隔膜波紋管23與指配的導向件21的連接。
在本發明的另一實施例中，關閉單元5也可以僅僅被設置 用來真空密封地封閉一個單獨的閥開口。為了構造在真空閥的打開狀態下穿過真空閥的貫穿通道，在閥殼體中，優選在與閥開口相對的壁上，有另一個開口，其中，該另一開口沒有閥座。於是，為了在真空閥的關閉狀態下把關閉單元5支撐在與縱向引導裝置19相對的一側，可以設置用於關閉單元的相應的支撐元件。
採用本發明的方式構造的這種真空閥因而僅僅具有一個閥開口，以及只有一個閥板。
在本發明的其它實施方式中，為了打開和關閉真空閥，也可以只有一個縱向驅動裝置，但沒有橫向驅動裝置。為此，該縱向驅動裝置可以在真空閥關閉時操縱相應的擴張件，或者可以存在個三維的密封面。擴張件和三維密封面的這種構造是已知的，例如由在說明書引言部分中提到的文獻已知。

Claims (15)

  1. 一種真空閥，包括：閥殼體(1)，該閥殼體在內部具有真空區域(4)；設置在該閥殼體(1)的該真空區域(4)中的關閉單元(5)，至少一個閥開口(2、3)在真空閥的關閉狀態下能夠由所述關閉單元關閉；縱向驅動裝置(11)，由該縱向驅動裝置能夠使得關閉單元(5)在縱向(10)上移位，以便使得關閉單元(5)在釋放閥開口(2、3)的位置與遮擋閥開口(2、3)的位置之間移位；縱向引導裝置(19)，用來平行於縱向(10)可移動地引導關閉單元(5)，其具有平行於縱向(10)延伸的導杆(20)和至少一個導向件(21)，其中，所述導杆(20)安置在閥殼體(1)上，以及所述關閉單元(5)安置於其上的該導向件(21)平行於縱向(10)可移動地被導杆(20)引導；或者，所述至少一個導向件(21)安置在閥殼體(1)上，以及所述關閉單元(5)安置於其上的該導杆(20)平行於縱向(10)可移動地被至少一個導向件(21)引導，以及其中，所述至少一個導向件(21)具有至少一個支撐元件(36)，用來平行於縱向(10)可移動地相對於導杆(20)來支撐導向件(21)，或者用來平行於縱向(10)可移動地相對於導向件(21)來支撐導杆(20)，其特徵為，所述至少一個支撐元件(36)設置在相對於閥殼體(1)的真空區域(4)密封的區域中。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述的真空閥，其特徵為，所述關閉單元(5)懸掛地保持在所述縱向引導裝置(19)上。
  3. 根據申請專利範圍第1項或第2項所述的真空閥，其特徵為，所述導杆(20)穿過貫穿開口，所述貫穿開口穿過所述至少一個導向件(21)。
  4. 根據申請專利範圍第3項所述的真空閥，其特徵為，所述導杆(20)具有圓形的橫截面。
  5. 根據申請專利範圍第3項或第4項所述的真空閥，其特徵為，所述至少一個導向件(21)與至少一個隔膜波紋管(22、23)連接，該隔膜波紋管延續了所述密封的區域，並且所述導杆(20)延伸穿過該隔膜波紋管。
  6. 根據申請專利範圍第5項所述的真空閥，其特徵為，可移動地被導杆(20)引導的至少一個導向件(21)被設置在閥殼體(1)的內部。
  7. 根據申請專利範圍第6項所述的真空閥，其特徵為，與導向件(21)連接的第一和第二隔膜波紋管(22、23)設置在所述至少一個導向件(21)的相對側上，所述第一和第二隔膜波紋管使得所述至少一個支撐元件(36)設置於其中的、該密封的區域延續，並且所述導杆(20)延伸穿過所述第一和第二隔膜波紋管。
  8. 根據申請專利範圍第6項或第7項所述的真空閥，其特徵為，所述導杆(20)在閥殼體(1)的第一壁(34)與閥殼體(1)的相對的第二壁(43)之間延伸，其中該第一壁可從閥殼體(1)的基體取下， 其中，所述導杆(20)在第二壁(43)的區域中通過插塞連接與閥殼體(1)連接，其中，在把第一壁(34)從閥殼體(1)的基體取下時，導杆(20)保持與第一壁(34)連接，而插塞連接鬆開。
  9. 根據申請專利範圍第8項所述的真空閥，其特徵為，成型的支承板被固定在所述第一壁(34)上，所述導杆(20)支撐在與第一壁(34)分開的端部區域中。
  10. 根據申請專利範圍第5項所述的真空閥，其特徵為，所述閥杆(20)可移動地被第一和第二導向件(21)引導，所述第一和第二導向件在閥殼體的相對側上在外面安置在閥殼體上，其中，相應的隔膜波紋管(22、23)經由閥殼體(1)的相應的開口延伸到閥殼體(1)的內部中。
  11. 根據申請專範圍第1項至第10項中任一項所述的真空閥，其特徵為，所述縱向(10)處於水平，或者相對於水平線具有小於30°的角度。
  12. 根據申請專利範圍第1項至第11項中任一項所述的真空閥，其特徵為，所述至少一個支撐元件(36)設置於其內的、該密封的區域與大氣連通或者被泵吸。
  13. 根據申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述的真空閥，其特徵為，所述關閉單元(5)安置在平行於縱向(10)取向的閥杆(9)上。
  14. 根據申請專利範圍第1項至第13項中任一項所述的真空閥，其特徵 為，所述關閉單元(5)具有第一和第二閥板(6、7)，借助於所述第一和第二閥板能夠在真空閥的關閉狀態下使得相對的第一和第二閥開口(2、3)封閉。
  15. 根據申請專利範圍第1項至第14項中任一項所述的真空閥，其特徵為，所述至少一個閥開口(2、3)具有垂直於其軸線(13、14)且垂直於縱向(10)測得的長度(l)，該長度的大小為其平行於縱向(10)測得的寬度(b)的四倍以上。
TW107102901A 2017-02-15 2018-01-26 真空閥 TWI751273B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ATA53/2017 2017-02-15
??A53/2017 2017-02-15
AT532017 2017-02-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201833469A true TW201833469A (zh) 2018-09-16
TWI751273B TWI751273B (zh) 2022-01-01

Family

ID=63106298

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107102901A TWI751273B (zh) 2017-02-15 2018-01-26 真空閥

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10738896B2 (zh)
JP (1) JP7084150B2 (zh)
KR (1) KR102523234B1 (zh)
CN (1) CN108488415B (zh)
TW (1) TWI751273B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018129960A1 (de) * 2018-11-27 2020-05-28 Vat Holding Ag Schleusenvorrichtung, Schleusensystem und Verfahren zu einem Betrieb einer Schleusenvorrichtung
DE102021114422A1 (de) * 2021-06-04 2022-12-08 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102022114806A1 (de) 2022-06-13 2023-12-14 Vat Holding Ag Ventil

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT14814B (de) 1900-05-28 1904-01-25 Albert Brown Elektrische Lampe mit Widerstandsstift zwischen den Kohlenelektroden.
US3258243A (en) 1963-04-02 1966-06-28 Grove Valve & Regulator Co Vacuum valve having a gate member received in retractable guideways
DE3717724A1 (de) 1987-05-26 1988-12-08 Schertler Siegfried Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse
DE3831249A1 (de) 1988-09-14 1990-03-22 Schertler Siegfried Ventilschieber
JPH04236862A (ja) * 1991-01-18 1992-08-25 Irie Koken Kk 無摺動ゲートバルブ
JP3241456B2 (ja) 1992-10-20 2001-12-25 芝浦メカトロニクス株式会社 ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法
CN2529021Y (zh) * 2002-03-16 2003-01-01 东华工程科技股份有限公司 真空锁气阀
US6899316B2 (en) 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
JP2005240883A (ja) 2004-02-25 2005-09-08 Nippon Valqua Ind Ltd 真空用ゲート弁
KR100629322B1 (ko) 2005-10-14 2006-10-02 주식회사 에이티에스엔지니어링 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브
US7445019B2 (en) 2006-05-15 2008-11-04 High Vacuum Apparatus Mfg., Inc. Gate valve having service position
DE102007059039A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-18 Vat Holding Ag Vakuumventil
US9562612B2 (en) 2012-07-12 2017-02-07 Hva, Llc Pressure control valve assembly
US9086172B2 (en) * 2012-07-19 2015-07-21 Vat Holding Ag Vacuum valve
US9086173B2 (en) 2012-07-19 2015-07-21 Vat Holding Ag Vacuum valve
US9587749B2 (en) * 2013-08-12 2017-03-07 Applied Materials Israel, Ltd. Slit valve with a pressurized gas bearing
EP2876341B1 (de) 2013-11-21 2015-10-21 VAT Holding AG Verfahren zum Betrieb eines Ventils
KR102270597B1 (ko) * 2014-04-02 2021-06-29 배트 홀딩 아게 진공밸브
JP2016066684A (ja) * 2014-09-24 2016-04-28 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ及び基板処理システム
JP2016102588A (ja) 2014-11-28 2016-06-02 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ

Also Published As

Publication number Publication date
KR102523234B1 (ko) 2023-04-18
KR20180094491A (ko) 2018-08-23
TWI751273B (zh) 2022-01-01
JP2018132187A (ja) 2018-08-23
CN108488415B (zh) 2021-03-26
JP7084150B2 (ja) 2022-06-14
CN108488415A (zh) 2018-09-04
US20180231133A1 (en) 2018-08-16
US10738896B2 (en) 2020-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201833469A (zh) 真空閥
US8348234B2 (en) Vacuum valve
TWI621793B (zh) 真空滑動閘閥
KR102504619B1 (ko) 진공밸브
TWI479097B (zh) Vacuum valve
TWI391591B (zh) 閘閥
JP6115628B2 (ja) ゲートバルブ
TW201728846A (zh) 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
KR20100123862A (ko) 코크스로의 노 챔버 장입 장치
KR20110068879A (ko) 진공밸브
KR102396227B1 (ko) 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어
JP2012067841A (ja) ゲートバルブ
KR101247202B1 (ko) 게이트 밸브 및 이를 포함하는 기판처리장치
KR102237186B1 (ko) 진공 게이트 밸브
JP5253579B2 (ja) 連続鋳造鋳型
US8048259B2 (en) Vacuum processing apparatus
JP2007107655A (ja) ゲート弁
KR101947003B1 (ko) 진공챔버용 게이트밸브
JP2016011719A (ja) ゲートバルブ
KR101092138B1 (ko) 사각 게이트 밸브
JP2001165350A (ja) ゲ−トバルブおよび弁体の取付機構
JP5171960B2 (ja) ロック装置とこのロック装置を開くための方法
JP2010540244A5 (zh)
JP5442640B6 (ja) コークス炉の炉室に石炭を満たす装置
JP2004281613A (ja) 基板処理装置