KR20180094491A

KR20180094491A - 진공밸브

Info

Publication number: KR20180094491A
Application number: KR1020180017730A
Authority: KR
Inventors: 마르틴 네처
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2017-02-15
Filing date: 2018-02-13
Publication date: 2018-08-23
Also published as: KR102523234B1; TWI751273B; JP2018132187A; CN108488415B; TW201833469A; JP7084150B2; CN108488415A; US20180231133A1; US10738896B2

Abstract

진공밸브는, 내부에 진공영역 (4) 을 구비하는 밸브 하우징 (1) 을 포함하고, 상기 진공밸브는 상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 진공영역 (4) 에 배치된 폐쇄유닛 (5) 을 포함하고, 상기 폐쇄유닛에 의해 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 는 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 폐쇄될 수 있고, 상기 진공밸브는 세로방향 드라이브 (11) 를 포함하고, 상기 세로방향 드라이브에 의해 상기 폐쇄유닛 (5) 은 상기 밸브 개구부 (2, 3) 를 해제하는 위치와 상기 밸브 개구부 (2, 3) 를 덮는 위치 사이에서 상기 폐쇄유닛 (5) 을 조절하기 위해 세로방향 (10) 으로 조절될 수 있고, 상기 진공밸브는 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 상기 폐쇄유닛 (5) 을 이동 가능하게 안내하기 위한 세로방향 가이드 (19) 를 포함하고, 상기 세로방향 가이드는 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 뻗어 있는 가이드 로드 (20) 와, 적어도 하나의 가이드 부품 (21) 을 구비한다. 상기 가이드 부품 (21) 의 적어도 하나의 베어링 요소 (36) 는 상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된 영역 안에 배치된다.

Description

진공밸브 {VACUUM VALVE}

본 발명은 진공밸브에 관한 것이며, 상기 진공밸브는, 내부에 진공영역을 구비하는 밸브 하우징 (valve housing) 을 포함하고, 상기 진공밸브는 상기 밸브 하우징의 상기 진공영역에 배치된 폐쇄유닛 (closure unit) 을 포함하고, 상기 폐쇄유닛에 의해 적어도 하나의 밸브 개구부 (valve opening) 는 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 폐쇄될 수 있고, 상기 진공밸브는 세로방향 드라이브 (longitudinal drive) 를 포함하고, 상기 세로방향 드라이브에 의해 상기 폐쇄유닛은 상기 밸브 개구부를 해제하는 위치와 상기 밸브 개구부를 덮는 위치 사이에서 상기 폐쇄유닛을 조절하기 위해 세로방향 (longitudinal direction) 으로 조절될 수 있고, 상기 진공밸브는 상기 세로방향에 대해 평행으로 상기 폐쇄유닛을 이동 가능하게 안내하기 위한 세로방향 가이드 (longitudinal guide) 를 포함하고, 상기 세로방향 가이드는 상기 세로방향에 대해 평행으로 뻗어 있는 가이드 로드 (guide rod) 와, 적어도 하나의 가이드 부품 (guide part) 을 구비하고, 이때 상기 가이드 로드는 상기 밸브 하우징에 부착되고, 상기 폐쇄유닛이 부착되어 있는 상기 가이드 부품은 상기 가이드 로드에 의해 상기 세로방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 또는 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 상기 밸브 하우징에 부착되고, 상기 폐쇄유닛이 부착되어 있는 상기 가이드 로드는 상기 적어도 하나의 가이드 부품에 의해 상기 세로방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 그리고 이때 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 상기 가이드 로드에 대해 상기 가이드 부품을 상기 세로방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 지지하기 위한 또는 상기 가이드 부품에 대해 상기 가이드 로드를 상기 세로방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 지지하기 위한 적어도 하나의 베어링 요소 (bearing element) 를 구비한다.

US 9,086,173 B2 에는, 폐쇄유닛이 제 1 밸브 플레이트 (valve plate) 와 제 2 밸브 플레이트를 구비하는 진공밸브가 나타나 있고, 상기 밸브 플레이트들은 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 밸브 하우징의 마주 보고 있는 제 1 밸브 개구부와 제 2 밸브 개구부를 폐쇄한다. 상기 밸브 플레이트들은 폐쇄유닛의 지지유닛 (support unit) 에 의해 받쳐진다. 상기 지지유닛은 상기 밸브 하우징의 진공영역 밖으로 안내된 밸브 로드 (valve rod) 에 부착된다. 상기 진공밸브의 열린 상태에서 상기 밸브 개구부들은 해제된다.

상기 진공밸브를 닫기 위해, 상기 지지유닛은 진공영역의 외부에 배치된 세로방향 드라이브에 의해 밸브 로드의 축방향 이동을 통해 상기 밸브 개구부 앞으로 이동되고, 이때 상기 밸브 플레이트들은 아직 밸브시트들 (valve seats) 에서 들어올려져 있다. 상기 지지유닛은 이때 세로방향 가이드들을 이용해 마주 보고 있는 측들에서 상기 밸브 하우징에 대해 세로방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내된다. 상기 폐쇄유닛은 가로방향 드라이브 요소들을 구비하고, 상기 가로방향 드라이브 요소들을 이용해 상기 밸브 플레이트들은 그 후 상기 밸브시트들에 밀어붙여진다.

가로방향 드라이브 요소들 대신에, 두 밸브 플레이트들을 밸브시트들에 내리누르기 위해 쐐기 요소들, 롤러 등등과 같은 스프레딩 요소들 (spreading elements) 도 존재할 수 있다. 그러면 이는 상기 진공밸브를 닫을 때 상기 지지유닛이 엔드스톱 (end stop) 에 부딪친 후, 세로방향 드라이브에 의해 야기될 것이다. 이러한 종류의 폐쇄 메커니즘은 선행기술에 다양한 실시들로 알려져 있다.

이러한 진공밸브들은 특히 진공 공정을 실행하기 위한 진공시설에서, 특별히, 예컨대 스크린을 제조하기 위한, 반도체 기술에서 또는 코팅 기술에서 이용된다. 기판 (substrate) 을 한 진공챔버로부터 이웃한 다른 진공챔버로 나르기 위해, 가공되어야 하는 기판은 이때 이러한 진공밸브를 관통하여 안내된다. 비교적 큰 판 모양의 기판에 있어서 밸브 개구부들은 슬릿 (slit) 모양으로 형성되고, 즉 폭보다 훨씬 큰 길이를 갖는다. 가공되어야 하는 기판의 증가하는 크기와 함께, 상기 기판의 이송은 수평 정렬에 있어서는 좌굴 (buckling) 위험 때문에 점점 더 어려워지거나 또는 더 이상 가능하지 않다. 그렇기 때문에, 이러한 기판의 수직 (서 있는 또는 매달려 있는) 또는 거의 수직인 이송이 이미 알려져 있다. 상기 슬릿 모양의 밸브 개구부들은 이를 위해 수직으로 또는 거의 수직으로 정렬된다. 상기 폐쇄유닛은 이를 위해 부합하여 정렬된다.

이러한 종류의 진공밸브는 예컨대 AT 14814 U 에 나타나 있다. 상기 밸브의 정비를 간단한 방식으로 실행할 수 있기 위해, 이 문헌에는, 폐쇄유닛이 적어도 하나의 레일 (rail) 을 구비하고, 상기 레일을 이용해 상기 폐쇄유닛이 상기 레일에 매달려 있으며 또는 상기 레일 위에 서 있으며 밸브 하우징 밖으로 정비위치로 끌어내질 수 있는 것이 기술되어 있다. 이를 위해, 상기 밸브 하우징의 하우징 부품을 떼어낸 후 추가적인 레일들이 조립되고, 상기 레일들을 따라서 상기 폐쇄유닛은 상기 밸브 하우징 밖으로 주행될 수 있고, 또는 상기 밸브 하우징에 대해 상기 폐쇄유닛을 세로방향으로 안내하기 위해 텔레스코픽 레일들이 존재하고, 상기 텔레스코픽 레일들을 이용해 상기 폐쇄유닛은 상기 밸브 하우징 밖으로 끌어내질 수 있다.

유사한 진공밸브가 JP-3241456 B2 에도 나타나 있다.

US 6,899,316 B2 에, 진공밸브의 닫힌 상태에서 밸브 하우징의 밸브 개구부를 폐쇄하기 위해 폐쇄유닛이 단지 하나의 밸브 플레이트를 구비하는 진공밸브가 나타나 있다. US 9,086,173 B2 로부터 알려져 있는 밸브에서와 유사하게, 진공영역의 외부에 배치된 세로방향 드라이브와, 폐쇄유닛에 배치된 가로방향 드라이브 요소들이 존재한다. 상기 폐쇄유닛은 마주 보고 있는 측들에서 상기 밸브 하우징에 대해 세로방향으로 이동 가능하게 안내된다.

밸브 하우징의 밸브 개구부의 폐쇄는 다만 폐쇄부재의 선형 운동을 통해 실행될 수도 있고, 특히 예컨대 DE 37 17 724 A1 또는 US 4,921,213 A 에 나타나 있는 바와 같이, 3차원적 밀봉면을 이용해 실행될 수 있다.

본 발명의 목적은, 특히 큰 판 모양의 기판을 통과시키기에, 특히 수직 또는 가능한 한 수직인 정렬에 있어서, 적합한, 상기 도입부에서 언급된 종류의 유리한 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 1 항의 특징들을 갖는 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명의 진공밸브에 있어서, 상기 적어도 하나의 가이드 부품의 상기 적어도 하나의 베어링 요소는 상기 밸브 하우징의 상기 진공영역에 대해 밀봉된 영역 안에 배치된다.

이 밀봉된 영역은 대기 (atmosphere) 와 연결되어 있을 수 있다. 이 밀봉된 영역을 펌프 아웃 (pump out) 하는 것도 원칙적으로 있을 수 있고 가능하다.

본 발명에 따른 형성을 통해, 상기 적어도 하나의 베어링 요소의 영역에서 상기 폐쇄유닛의 조절시 생기는 입자들 (particles) 은 상기 진공밸브의 상기 진공영역 안에 도달하지 않고, 이를 통해, 예민한 기판이 오염으로부터 보호된다.

유리하게, 상기 폐쇄유닛은 상기 세로방향 가이드에 매달려 있으며 붙잡혀 있다. 상기 세로방향 가이드에서의 상기 폐쇄유닛의 매달려 있는 고정은, 상기 폐쇄유닛 위에 배치된 상기 세로방향 가이드가 적어도 상기 폐쇄유닛의 무게의 대부분을 지지한다는 것을 의미하고, 즉 적어도 상기 폐쇄유닛의 무게의 50% 를 넘게, 바람직하게는 적어도 본질적으로 상기 폐쇄유닛의 전체 무게를 지지한다는 것을 의미한다.

상기 폐쇄유닛의 상기 매달려 있는 배치를 통해, 그는 비교적 작은 좌굴강성 (buckling stiffness) 을 갖고 형성될 수 있고, 따라서 재료비용이 절약될 수 있다. 상기 폐쇄유닛 아래의 영역에서, 유리한 실시형태에 있어서 완전히 상기 폐쇄유닛의 세로방향 가이드가 생략될 수 있다.

상기 가이드 부품 또는 각각의 가이드 부품은 유리하게 상기 가이드 로드에 의해 관통된 관통 개구부를 구비할 수 있다. 이를 통해, 상기 적어도 하나의 베어링 요소를 위한 상기 밀봉된 영역의 유리한 형성이 가능해진다. 바람직하게는, 이를 위해 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 적어도 하나의 멤브레인 벨로스 (membrane bellows) 와 연결되고, 상기 멤브레인 벨로스는 상기 밀봉된 영역을 연장시키고, 상기 멤브레인 벨로스를 통해 상기 가이드 로드가 뻗어 있다. 상기 가이드 로드는, 적어도 상기 가이드 로드와 상기 적어도 하나의 가이드 부품 사이의 상대적 이동성의 영역에 걸쳐, 예컨대 원형 횡단면을 가질 수 있다.

본 발명에 따른 상기 세로방향 가이드에 있어서, 상기 가이드 로드는 상기 밸브 하우징에 부착되고, 상기 폐쇄유닛이 부착되어 있는 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 상기 가이드 로드에 대해 그리고 이로써 상기 밸브 하우징에 대해 상기 세로방향에 대해 평행으로 상기 가이드 로드를 따라서 이동 가능할 수 있고, 또는 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 상기 밸브 하우징에 부착되고, 상기 폐쇄유닛이 부착되어 있는 상기 가이드 로드는 상기 적어도 하나의 가이드 부품에 대해 상기 세로방향에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 가이드 부품에 대해 그리고 이로써 상기 밸브 하우징에 대해 이동 가능할 수 있다.

유리한 실시형태에 있어서, 상기 가이드 로드는 상기 진공밸브의 마주 보고 있는 벽들 사이에 뻗어 있고, 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 이동 가능하게 상기 가이드 로드를 따라서 안내될 수 있고, 이때 상기 적어도 하나의 가이드 부품은 상기 밸브 하우징의 내부에 배치되고, 마주 보고 있는 측들에서 제 1 및 제 2 멤브레인 벨로스들은 상기 가이드 부품과 연결되고, 상기 멤브레인 벨로스들은 상기 적어도 하나의 베어링 요소가 배치되어 있는 상기 밀봉된 영역을 연장시키고, 상기 멤브레인 벨로스들을 통해 상기 가이드 로드가 뻗어 있다. 다른 가능한 실시형태에 있어서, 밸브 로드를 이동 가능하게 안내하는 제 1 및 제 2 가이드 부품들은 상기 밸브 하우징의 마주 보고 있는 측들에서 밖에 상기 밸브 하우징에 부착되고, 이때 상기 각각의 가이드 부품과 연결된 상기 멤브레인 벨로스는 상기 밸브 하우징의 각각의 개구부를 통해 상기 밸브 하우징의 내부로 뻗어 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.

도 1 은 진공밸브의 열린 상태에서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공밸브의 도면;
도 2 는 도 1 안의 시선 방향 (A), 정면측 도면;
도 3 은 도 2 의 선 (BB) 을 따른 단면;
도 4 는 도 3 의 선 (CC) 을 따른 단면;
도 5 는 도 3 의 선 (DD) 을 따른 단면;
도 6, 도 7 및 도 8 은 상기 진공밸브의 “반 닫힌”상태에서 도 3 내지 도 5 와 유사한 단면들;
도 9 는 도 6 의 선 (EE) 을 따른 단면;
도 10 및 도 11 은 도 6 의 확대된 섹션들;
도 12 는 상기 진공밸브의 완전히 닫힌 상태에서 도 8 과 유사한 단면;
도 13 은 상기 진공밸브에 부착된 정비 보조장치를 갖는 상기 진공밸브의 사투상도;
도 14 는 도 3 과 유사한, 그러나 상기 정비 보조장치를 갖는 그리고 상기 진공밸브의 정비위치에 있어서의 단면;
도 15 및 도 16 은 함께 밸브 하우징 밖으로 끌어낼 수 있는 유닛의 도면 및 사투상도;
도 17 내지 도 28 은 본 발명의 제 2 실시예를 위한, 도 1 내지 도 12 와 유사한 도면들 및 단면들을 나타낸다.

이하, 본 발명의 제 1 실시예는 도 1 내지 도 16 을 근거로 설명된다.

상기 진공밸브는 마주 보고 있는 벽들 안에 배치된 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 을 구비하고, 상기 밸브 개구부들은 바람직하게는 동일한 형태와 크기를 갖는다.

밸브 하우징 (1) 의 내부에 진공영역 (4) 이 있고, 즉 상기 진공밸브는, 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 가 폐쇄되어 있으면 (예컨대 블라인드 플랜지 (blind flange) 에 의해) 이 진공영역 (4) 안에 적어도, 적어도 1 시간을 초과하는 어느 정도의 시간에 걸쳐 10-3 mbar 의 진공이 유지될 수 있을 정도로 형성된다.

상기 진공밸브의 진공영역 (4) 에 폐쇄유닛 (5) 이 배치된다. 폐쇄유닛 (5) 은 제 1 밸브 플레이트 (6) 와 제 2 밸브 플레이트 (7) 를 구비하고, 상기 밸브 플레이트들은 지지유닛 (8) 에 의해 받쳐진다. 지지유닛 (8) 은 진공영역 (4) 밖으로 안내된 밸브 로드 (9) 에 부착된다. 이를 위해, 공지되어 있는 진공 밀봉적 리니어 피드스루 (linear feed-through) 가 이용될 수 있다. 실시예에 있어서, 밀봉된 슬라이딩 가이드가 도식적으로 도시된다. 유리한 방식으로, 벨로스 피드스루도 이용될 수 있다.

밸브 로드 (9) 는 세로방향 (10) 으로 정렬되고, 즉 밸브 로드 (9) 의 세로방향 중앙축은 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 뻗어 있다.

세로방향 (10) 에 대해 평행으로 밸브 로드 (9) 를 이동시키기 위해 그리고 이로써 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 폐쇄유닛 (5) 을 조절하기 위해 세로방향 드라이브 (11) 가 쓰인다. 실시예에 있어서, 그는 2개의 공압식 피스톤-실린더 유닛들에 의해 실현되고, 상기 피스톤-실린더 유닛들은 요크 (12) 를 통하여 서로 그리고 밸브 로드 (9) 와 연결된다. 상기 세로방향 드라이브는 다른 방식으로도 형성될 수 있다. 세로방향 드라이브 (11) 는 공압식과 다른, 작동된 액추에이터들을 구비할 수도 있다.

제 1 밸브 플레이트 (6) 와 제 2 밸브 플레이트 (7) 는 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 진공 밀봉적으로 폐쇄하기 위해 쓰인다 (도 12). 이를 위해, 상기 밸브 플레이트들은 밸브 개구부들 (2, 3) 을 둘러싸는 밸브시트들에 내리눌려진다. 밀봉하기 위해, 통례적인 방식으로 탄성적 밀봉링이 쓰이고, 상기 탄성적 밀봉링은 각각 밸브 플레이트 (6, 7) 에 또는 밀봉시트 (sealing seat) 에 배치될 수 있다 (도면들에 도시되지 않음).

밸브 플레이트 (6, 7) 가 각각 개방위치를 차지하는 그의 개방된 상태 (도 1 내지 도 5) 로부터 시작하여 상기 진공밸브를 닫기 위해, 상기 폐쇄유닛은 우선 세로방향 드라이브 (11) 에 의해, 상기 밸브 개구부를 해제하는 그의 위치로부터 밸브 개구부들 (2, 3) 을 덮는 위치로 이동된다 (도 6 내지 도 11). 밸브 플레이트들 (6, 7) 은 이때 밸브 개구부들 (2, 3) 을 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 의 평행하는 축들 (13, 14) 의 방향으로 볼 때 완전히 덮고, 하지만 실시예에서 있어서 상기 밸브시트들에서 아직 들어올려져 있다 (= 거리를 두고 있다). 밸브 플레이트들 (6, 7) 을 그들이 상기 밸브시트들에 밀어붙여지는 그들의 폐쇄위치들로 조절하기 위해, 밸브 플레이트들 (6, 7) 을 이 중간위치들 (= 상기 진공밸브의 “반 닫힌”상태) 로부터 시작하여 가로방향 (16) 으로 이동시키기 위해, 지지유닛 (8) 의 가로방향 드라이브들 (15) 이 쓰인다. 그들은 도면들에 단지 단순화되어 도시된다. 실시예에 있어서, 공압식으로 작동된 피스톤-실린더 유닛들에 관한 것이다. 실시예에 있어서, 바람직한 바와 같이, 수직 방향에서 서로 간격을 둔 다수의 가로방향 드라이브들 (15) 이 제공된다.

지지유닛 (8) 은 도시된 실시예에 있어서 제 1 지지체 로드 (17) 와 제 2 지지체 로드 (18) 를 구비하며, 상기 지지체 로드들은 세로방향 (10) 에 대해 직각으로 그리고 가로방향 (16) 에 대해 직각으로 뻗어 있고, 가로방향 드라이브들 (15) 의 실린더 하우징들을 통해 연결된다. 이는 도면들에 마찬가지로 단지 단순화되어 도시된다.

폐쇄유닛 (5) 은 예컨대 명세서 도입부에 언급된 US 9,086,173 B2 와 유사하게 형성될 수 있다.

밸브 개구부들 (2, 3) 은 폭 (b) 보다 훨씬 큰 길이 (I) 를 가지며, 바람직하게는 길이 (I) 는 폭 (b) 의 4배보다 크다. 즉, 밸브 개구부들 (2, 3) 은 슬릿 모양으로 형성된다. 밸브 플레이트들 (6, 7) 은 이에 부합하는 형태를 갖는다. 그러므로, 상기 진공밸브는 판 모양의 기판을 통과시키기 위해 이용될 수 있다. 상기 진공밸브는 이때 이러한 판 모양의 기판의 서 있는 또는 적어도 가능한 한 서 있는 이송을 위해 설계되어 있다. 그러므로, 상기 제 1 밸브 개구부와 상기 제 2 밸브 개구부의 세로방향 연장부는 예정된 장착상태에서 적어도 가능한 한 수직으로 놓여 있다. 유리하게, 수직선들로부터의 밸브 개구부들 (2, 3) 의 상기 세로방향 연장부의 편차는 기껏해야 +/- 30°, 바람직하게는 기껏해야 +/- 20°의 범위에 있다.

폐쇄유닛 (5) 은, 실시예에 있어서 폐쇄유닛 (5) 위에 있는 세로방향 가이드 (19) 를 통해, 바람직한 바와 같이, 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내된다. 세로방향 가이드 (19) 는, 바람직하게는 원형 원통형의, 가이드 로드 (20) 를 구비하고, 상기 가이드 로드는 세로방향 (10) 으로 정렬되고, 즉 가이드 로드 (20) 의 세로축은 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 있다. 도 1 내지 도 16 에 따른 실시예에 있어서, 가이드 로드 (20) 는 상기 밸브 하우징에 의해 붙잡히고, 세로방향 드라이브 (11) 를 통한 폐쇄유닛 (5) 의, 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 수행되는 조절시 움직이지 않는다. 가이드 로드 (20) 에 의해, 상기 가이드 로드 (20) 에 의해 관통 개구부를 통해 관통된 부싱 (bushing) 모양의 가이드 부품 (21) 은 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내된다. 가이드 부품 (21) 에, 지지유닛 (8) 이 그의 상부 단부의 영역에서 부착된다. 이를 통해, 폐쇄유닛 (5) 은 세로방향 가이드 (19) 에 매달려 있으며 붙잡혀 있다. 세로방향 가이드 (19) 는 이때 적어도 지지유닛 (8) 의 무게의 대부분을 지지하고 (= 지지유닛 (8) 의 무게의 절반보다 많이), 바람직하게는 적어도 본질적으로 지지유닛 (8) 의 전체 무게를 지지한다.

상기 가이드 로드는 (상기 진공밸브의 작동상태와 관련하여) 수평으로 정렬되고, 즉 세로방향 (10) 은 수평으로 정렬된다. 바람직하게는 30°보다 작은, 특히 바람직하게는 20°보다 작은, 수평선으로부터의 편차도 제공될 수 있다. 밸브 개구부들 (2, 3) 의 상기 세로방향 연장부가 가이드 로드 (20) 에 대해 직각으로 정렬되면, 이로써 밸브 개구부들 (2, 3) 의 상기 세로방향 연장부는 수직 정렬로부터의 상응하는 편차를 갖는다. 이로써, 판 모양의 기판들은 수직 정렬에 대한 상응하는 경사에 있어서 밸브 개구부들 (2, 3) 을 통해 이송될 수 있다. 이를 통해, 상기 기판들의 완전히 수직인 정렬에 비하면, 상기 기판들을 위한 이송장치가 보다 간단히 형성될 수 있다 (왜냐하면 상기 기판들은 그들이 기울어져 있는 측에서만 받쳐져야 하기 때문이다). 수직 정렬에 대해 기울어진, 밸브 개구부들 (2, 3) 의 상기 세로방향 연장부의 정렬은, 가이드 로드 (20) 의 수평 자세에 있어서, 밸브 플레이트들 (6, 7) 의 세로방향 연장부가 가이드 로드 (20) 에 대해 직각 정렬로부터의 상응하는 편차를 가질 정도로 상기 폐쇄유닛이 세로방향 가이드 (19) 와 연결됨으로써도 달성될 수 있다.

가이드 로드 (20) 를 따라서 가이드 부품 (21) 을 이동 가능하게 안내하기 위해, 가이드 부품 (21) 을 통한 상기 관통 개구부의 영역에 배치된 베어링 요소들 (36) 이 쓰인다. 베어링 요소들 (36) 들은 도면들에 단지 도식적으로 도시된다. 예컨대, 이러한 베어링 요소들 (36) 은 롤링몸체들 (rolling bodies) 에 의해 형성될 수 있다. 유리한 실시형태에 있어서, 예컨대 볼 순환 가이드들이 제공될 수 있다. 다른 한편으로는, 예컨대 슬라이딩 부싱 또는 슬라이딩 코팅 형태의 적어도 하나의 베어링 요소가 제공될 수도 있다.

가이드 부품 (21) 은 마주 보고 있는 측들에서 각각 진공 밀봉적으로 멤브레인 벨로스 (22, 23) 의 일 단부와 연결되고, 상기 멤브레인 벨로스의 내부에 가이드 로드 (20) 가 뻗어 있다. 다른 단부들에서, 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 은 진공 밀봉적으로 이음피스들 (26, 33) 과 연결된다.

멤브레인 벨로스들 (22, 23) 의 멤브레인들 중, 각각 단부측 멤브레인들만 도시되고, 그들의 중앙 영역들에서 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 은 다만 해칭된 표면들을 통해 도시된다.

멤브레인 벨로스들 (22, 23) 은 그들의 두 단부에 각각 하나의 엔드피스 (end piece, 24) 를 구비하며, 상기 엔드피스는 단부측 멤브레인에 용접된다. 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 을 가이드 부품 (21) 과 연결하기 위해, 인접하는 엔드피스들 (24) 은 가이브 부품 (21) 에 나사결합되고, 이때 밀봉하기 위해, 그 사이에 놓여 있는 밀봉링 (25) 이 제공된다. 멤브레인 벨로스 (22) 의 다른 단부에서의 엔드피스 (24) 는 냄비 모양의 이음피스 (26) 에 연결되고, 이때 밀봉하기 위해, 그 사이에 놓여 있는 밀봉링 (27) 이 제공된다. 냄비 모양의 이음피스 (26) 는 그의 편에서, 밸브 하우징 (1) 의 개구부 (28) 의 영역에서 밖으로부터 상기 밸브 하우징에 나사결합되고 (그 사이에 놓여 있는 밀봉링 (29) 과 함께), 이때 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 은 이로써 이음피스 (26) 와 멤브레인 벨로스 (22) 사이에서 연장된다.

멤브레인 벨로스 (23) 의 다른 단부에서, 그의 엔드피스 (24) 는 삽입피스 (insertion piece, 30) 에 나사결합된다 (그 사이에 놓여 있는 밀봉링 (31) 과 함께). 삽입피스 (30) 는 밸브 하우징 (1) 안의 개구부 (32) 를 통해 이음피스 (33) 의 리세스 (recess) 안으로 끼워 넣어진다. 이음피스 (33) 는 개구부 (32) 의 영역에서 밖으로부터 밸브 하우징 (1) 에 나사결합되고 (그 사이에 놓여 있는 밀봉링 (42) 과 함께), 따라서 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 은 삽입피스 (30) 와 상기 밸브 하우징 안의 개구부 (32) 또는 이음피스 (33) 의 상기 리세스 사이의 틈에서 연장된다.

예컨대 가이드 로드 (20) 가 삽입피스 (30) 의 리세스 안으로 압입됨으로써, 가이드 로드 (20) 는 삽입피스 (30) 와 단단히 연결된다.

가이드 로드 (20) 는 이로써 상기 밸브 하우징의 벽 (34) 과 상기 밸브 하우징의 마주 보고 있는 벽 (43) 사이에 뻗어 있다.

그러므로, 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 과 가이드 로드 (20) 사이에 그리고 가이드 부품 (21) 을 통한 상기 관통 개구부와 가이드 로드 (20) 사이에 있는 공간은 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된다. 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된 이 공간은 멤브레인 벨로스 (23) 의, 가이드 부품 (21) 으로부터 멀리 떨어진 단부에서 실시예에 있어서 삽입피스 (30) 를 통해 폐쇄된다. 원칙적으로, 삽입피스 (30) 가 생략되고, 멤브레인 벨로스 (23) 가 직접적으로 가이드 로드 (20) 와 진공 밀봉적으로 연결되고 (가이드 로드 (20) 의 단부로부터 간격을 두고), 가이드 로드 (20) 의 단부가 직접적으로 이음피스 (33) 의 리세스 안으로 끼워 넣어지는 것도 있을 수 있고 가능하다.

상기 먼저 기술된, 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 으로부터 밀봉된 공간은 대기와 연결되어 있고, 실시예에 있어서 이음피스 (26) 안의 개구부 (44) 를 통해 연결되어 있다. 그 대신에, 이 밀봉된 공간은 원칙적으로 펌프 아웃될 수도 있고 또는 완전히 폐쇄되어 (밀폐적으로 (hermetically) 밀봉되어) 있을 수 있다.

그러므로, 밸브 하우징 (1) 의 내부에는, 상기 밸브 하우징의 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된 공간이 있다. 이 밀봉된 공간 안에, 가이드 로드 (20) 에 대해 가이드 부품 (21) 을 이동 가능하게 안내하기 위한 베어링 요소들 (36) 도 있다.

이음피스 (26) 가 나사결합되어 있는 상기 밸브 하우징의 벽 (34) 은 나머지 밸브 하우징 (1) 에서 떼어낼 수 있다 (도면들에 도시되지 않은 나사들을 푼 후). 밸브 하우징 (1) 의 이 벽 (34) 을 떼어낼 수 있기 위해, 삽입피스 (30) 는 이음피스 (33) 밖으로 끌어내질 수 있다. 즉, 떼어낼 수 있는 벽 (34) 으로부터 떨어져 놓여 있는 가이드 로드 (20) 의 단부를 위해, 마주 보고 있는 벽 (43) 과의 플러그인 연결 (plug-in connection) 이 형성된다.

이 플러그인 연결의 열린 상태에서 가이드 로드 (20) 를 벽 (34) 으로부터 멀리 떨어진 그의 단부의 영역에서 아래로의 하강에 맞서 받치기 위해, U 모양의 지지 금속박판 (35) 이 쓰이고, 상기 지지 금속박판은 도 16 에서 가장 잘 볼 수 있다. 지지 금속박판 (35) 은 일 단부에서 벽 (34) 에 고정되고, 다른 단부에서 가이드 로드 (20) 를 받치고, 실시예에 있어서 상기 지지 금속박판이 멤브레인 벨로스 (23) 의 엔드피스 (24) 가 압입되는 개구부를 구비함으로써 상기 가이드 로드를 받친다. 가이드 로드 (20) 의 충분한 강성에 있어서, 상기 지지 금속박판은 생략될 수도 있다.

멤브레인 벨로스들 (22, 23) 의 엔드피스들 (24) 은 모두 또는 부분적으로 생략될 수 있고, 이때 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 은 그들의 단부들과 함께 직접적으로, 그들의 단부와 연결되어야 하는 부품들에 용접될 수 있다.

이미 언급한 바와 같이, 삽입피스 (30) 도 생략될 수 있고, 가이드 로드 (20) 는 그의 단부와 함께 직접적으로 상기 밸브 하우징의 개구부 (23) 를 통해 이음피스 (33) 안의 리세스 안으로 끼워 넣어질 수 있다.

상기 밸브 하우징의 벽의 충분히 두꺼운 형성에 있어서, 이음피스 (33) 도 생략될 수 있고, 가이드 로드 (20) 의 단부는 직접적으로 상기 밸브 하우징의 상기 벽 안의 리세스 안으로 끼워 넣어질 수 있다.

이음피스 (26) 의 냄비 모양의 형성은 실시예에 있어서 상기 진공밸브의 개방위치에 있어서 수축된 멤브레인 벨로스 (22) 의 부분을 수용하기 위해 쓰인다. 상기 밸브 하우징의 상응하여 보다 큰 형성에 있어서, 이음피스 (26) 의 냄비 모양의 형성도 생략될 수 있고, 그는 예컨대 다만 뚜껑으로서 형성될 수 있다. 이음피스 (26) 가 완전히 생략되고, 가이드 로드 (20) 의 단부가 직접적으로 벽 (34) 에 고정되는 것이, 예컨대 용접을 통해 고정되는 것이 있을 수 있고 가능하다.

상기 밸브 하우징의 그리고 폐쇄유닛 (5) 의 영역에서의 상이한 열팽창들을 흡수할 수 있기 위해, 특히 상기 진공밸브가 장착되어 있는 진공시설을 가열할시, 세로방향 드라이브 (11) 의 드라이브 하우징 (37) 은 세로방향 (10) 에 대해 직각으로 그리고 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (13, 14) 에 대해 직각으로 있는 방향으로 이동 가능하게 밸브 하우징 (1) 과 연결되어 있을 수 있다. 세로방향 드라이브 (11) 의 무게는 이때 스프링 장치를 통해 흡수될 수 있다. 이러한 종류의 형성들은 공지되어 있다. 세로방향 (10) 에 대해 직각인 그리고 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (13, 14) 에 대해 직각인 방향으로 움직일 수 있는, 폐쇄유닛 (5) 에의 밸브 로드 (9) 의 연결도 제공될 수 있다.

밸브 하우징 (1) 과 드라이브 하우징 (37) 의 움직일 수 있는 연결을 통해 또는 폐쇄유닛 (5) 과 밸브 로드 (9) 의 움직일 수 있는 연결을 통해, 이러한 방식으로, 폐쇄유닛 (5) 의 무게가 세로방향 가이드 (19) 에 의해 지지되는 것도 안전해질 수 있다.

그러므로, 실시예에 있어서, 바람직한 바와 같이 오로지 폐쇄유닛 (5) 위에 세로방향 가이드 (19) 가 존재한다. 다른 실시형태들에 있어서, 상기 폐쇄유닛 아래에 가이드 부품들이 존재할 수도 있고, 상기 가이드 부품들은 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (13, 14) 에 대해 평행인 이동에 맞서 상기 폐쇄유닛을 받치고, 그러나 바람직하게는 폐쇄유닛 (5) 의 무게를 지지하지 않는다.

상기 진공밸브의 정비가 실행되어야 하면, 정비 보조장치 (38) 가 밸브 하우징 (1) 에 부착될 수 있다. 이때, 밸브 하우징 (1) 에 고정된 (특히 나사결합된) 홀딩 레일 (holding rail, 39) 에 관한 것이며, 상기 홀딩 레일은 리니어 가이드를 구비하고, 상기 리니어 가이드를 통하여 지지암 (support arm, 40) 은 이동 가능하게 홀딩 레일 (39) 을 따라서 안내된다. 지지암 (40) 은 밸브 하우징 (1) 의 떼어낼 수 있는 벽 (34) 에 고정된다 (특히 나사결합된다). 그 후, 벽 (34) 의 나사결합은 비틀어 열리고, 벽 (34), 상기 벽 (34) 에서 유지된 세로방향 가이드 (19), 폐쇄유닛 (5), 및 세로방향 드라이브 (11) 를 포함하는 유닛은 밸브 하우징 (1) 의 나머지 부품 밖으로 끌어내진다. 이때, 밸브 하우징 (1) 의 벽 (43) 과, 벽 (34) 으로부터 멀리 떨어진 가이드 로드 (20) 의 단부영역과의 플러그인 연결이 풀린다, 도 14 참조할 것. 상기 끌어내진 유닛은 또 한 번 도 15 및 도 16 에 도시된다 (정비 보조장치 없이).

정비를 끝낸 후 상기 유닛은 다시 밀어 넣어지고, 이때 벽 (34) 으로부터 멀리 떨어진 가이드 로드 (20) 의 단부는 그 위에 배치된 삽입피스 (30) 와 함께 다시 벽의 개구부 (32) 안으로 그리고 이음피스 (33) 의 리세스 안으로 밀어 넣어지고, 즉 상기 플러그인 연결이 다시 닫힌다.

벽 (34) 으로부터 멀리 떨어진 가이드 로드 (20) 의 단부를 위한 플러그인 연결은 변화된 방식으로도 형성될 수 있고, 예컨대 이미 언급한 바와 같이 삽입피스 (30) 없이 형성될 수 있다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서, 상기 기술된 실시예의 상이한 그 밖의 변화들이 있을 수 있고 가능하다. 이렇게, 예컨대 세로방향 (10) 으로 서로 거리를 둔 2개의 가이드 부품들 (21) 이 존재할 수 있고, 상기 가이드 부품들은 멤브레인 벨로스를 통해 서로 연결된다.

본 발명의 제 2 실시예는 도 17 내지 도 28 에 도시된다. 하기에서 기술되는 차이들을 제외하곤, 제 2 실시예의 형성은 상기 제 1 실시예의 형성에 상응하고, 상기 제 1 실시예에 관한 그리고 그의 가능한 변경들에 관한 서술은 제 2 실시예에도 해당된다. 동일한 또는 적어도 유사한 부품들은 상기 제 1 실시예에서와 동일한 참조부호들로 표시된다.

상기 제 1 실시예에 대한 제 2 실시예의 본질적인 차이는, 여기서 폐쇄유닛 (5) 이 세로방향 가이드 (19) 의 가이드 로드 (20) 에 부착된다는 데에 있고, 이때 가이드 로드 (20) 는, 세로방향 드라이브 (11) 를 통해 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 폐쇄유닛 (5) 을 이동시킬시 폐쇄유닛 (5) 과 함께 이동한다. 여기서, 2개의 슬리브 모양의 가이드 부품들 (21) 이 제공되고, 상기 가이드 부품들은 가이드 로드 (20) 에 의해 관통되고, 밸브 하우징 (1) 에 부착된다.

가이드 로드 (20) 에서의 지지유닛 (8) 의 고정은 예컨대 슬리브 모양의 연결피스 (41) 를 통하여 수행될 수 있고, 상기 연결피스는 가이드 로드 (20) 에 의해 관통되고, 가이드 로드 (20) 의 세로방향으로 이동 불가능하게 그와 연결된다. 연결피스 (41) 의 마주 보고 있는 측들과, 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 의 한 단부들은 진공 밀봉적으로 연결된다. 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 의 다른 단부들은 진공 밀봉적으로 가이드 부품들 (21) 과 연결된다. 연결피스 (41) 와의 그리고 가이드 부품들 (21) 과의 연결들은, 상기 제 1 실시예에서 가이드 부품 (21) 과 그리고 이음피스들 (26, 33) 과 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 과의 연결들과 유사한 방식으로 실시될 수 있다.

가이드 부품들 (21) 에 대해 가이드 로드 (20) 를 이동 가능하게 지지하기 위한 베어링 요소들 (36) 은 상기 제 1 실시예에서와 유사한 방식으로 형성될 수 있다. 이 베어링 요소들 (36) 은 가이드 부품들 (21) 의 관통 개구부들의 영역 안에 있다.

멤브레인 벨로스들 (22, 23) 과 가이드 로드 (20) 사이의 공간은 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된다. 이 밀봉된 공간은 또한 연결피스 (41) 의 관통 개구부와 가이드 로드 (20) 사이의 틈을 통해 뻗어 있다. 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된 상기 공간은 이로써 적어도 부분적으로 밸브 하우징 (1) 의 내부에 있다. 연결피스 (41) 로부터 멀리 떨어진, 상기 멤브레인 벨로스들의 단부들로부터 시작하여, 이 밀봉된 공간은 또한 가이드 부품들 (21) 의 내부 관통 개구부와 가이드 로드 (20) 사이의 중간공간에 걸쳐 뻗어 있고, 또한 대기와 연결되어 있다 (원칙적으로 펌프 아웃될 수도 있다). 그러므로, 가이드 부품들 (21) 의 베어링 요소들 (36) 이 위치해 있는 영역은 밸브 하우징 (1) 의 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된다.

상기 멤브레인 벨로스들의 서로를 향한 단부들은 직접적으로 가이드 로드 (20) 와 진공 밀봉적으로 연결될 수 있고, 예컨대 그에 용접될 수 있다.

멤브레인 벨로스들 (22, 23) 대신에, 이 제 2 실시예에 있어서, 가이드 로드 (20) 를 밀봉되어 상기 밸브 하우징의 개구부들 (28, 32) 을 통해 상기 밸브 하우징 밖으로 안내하기 위해, 밀봉수단으로서의 밀봉링들을 갖는 슬라이딩 피드스루들도 제공될 수 있다.

이 제 2 실시예에 있어서 정비를 목적으로 벽 (34) 을 그에 부착된 부품들과 함께 떼어낼 수 있기 위해, 여기서 우선 멤브레인 벨로스 (23) 와 그에 할당된 가이드 부품 (21) 과의 연결이 풀려야 한다.

본 발명의 그 밖의 실시예에 있어서, 폐쇄유닛 (5) 은 하나의 개별적인 밸브 개구부를 진공 밀봉적으로 폐쇄하기 위해서만 제공될 수도 있다. 상기 진공밸브의 열린 상태에서 상기 진공밸브를 통한 관통채널을 형성하기 위해, 그 밖의 개구부가 상기 밸브 하우징 안에 존재할 것이고, 바람직하게는 상기 밸브 개구부와 마주 보고 있는 벽 안에 존재할 것이고, 이때 이 그 밖의 개구부는 밸브시트를 구비하지 않을 것이다. 그러면, 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 세로방향 가이드 (19) 와 마주 보고 있는 측에서 폐쇄유닛 (5) 을 받치기 위해, 상기 폐쇄유닛을 위한 상응하는 받침요소가 존재할 것이다.

즉, 본 발명에 따른 방식으로 형성된 이러한 진공밸브는 단지 하나의 밸브 개구부와 단지 하나의 밸브 플레이트를 구비할 것이다.

본 발명의 그 밖의 실시형태들에 있어서, 상기 진공밸브를 열고 닫기 위해 단지 하나의 세로방향 드라이브가 존재할 수도 있고, 그러나 가로방향 드라이브는 존재할 수 없다. 이를 위해, 상기 세로방향 드라이브는 상기 진공밸브를 닫을 때 상응하는 스프레딩 부재들을 작동할 수 있고, 또는 3차원적 밀봉면이 존재할 수 있다. 스프레딩 부재들과 3차원적 밀봉면들의 이러한 종류의 형성들은 알려져 있고, 예컨대 명세서 도입부에 언급된 문헌들로부터 알려져 있다.

1 : 밸브 하우징 2 : 제 1 밸브 개구부
3 : 제 2 밸브 개구부 4 : 진공영역
5 : 폐쇄유닛 6 : 제 1 밸브 플레이트
7 : 제 2 밸브 플레이트 8 : 지지유닛
9 : 밸브 로드 10 : 세로방향
11 : 세로방향 드라이브 12 : 요크
13 : 축 14 : 축
15 : 가로방향 드라이브 16 : 가로방향
17 : 제 1 지지체 로드 18 : 제 2 지지체 로드
19 : 세로방향 가이드 20 : 가이드 로드
21 : 가이드 부품 22 : 멤브레인 벨로스
23 : 멤브레인 벨로스 24 : 엔드피스
25 : 밀봉링 26 : 이음피스
27 : 밀봉링 28 : 개구부
29 : 밀봉링 30 : 삽입피스
31 : 밀봉링 32 : 개구부
33 : 이음피스 34 : 벽
35 : 지지 금속박판 36 : 베어링 요소
37 : 드라이브 하우징 38 : 정비 보조장치
39 : 홀딩 레일 40 : 지지암
41 : 연결피스 42 : 시일
43 : 벽 44 : 개구부

Claims

진공밸브로서,
상기 진공밸브는,
- 내부에 진공영역 (4) 을 구비하는 밸브 하우징 (1) 을 포함하고,
- 상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 진공영역 (4) 에 배치된 폐쇄유닛 (5) 을 포함하고, 상기 폐쇄유닛에 의해 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 는 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 폐쇄될 수 있고,
- 세로방향 드라이브 (11) 를 포함하고, 상기 세로방향 드라이브에 의해 상기 폐쇄유닛 (5) 은 상기 밸브 개구부 (2, 3) 를 해제하는 위치와 상기 밸브 개구부 (2, 3) 를 덮는 위치 사이에서 상기 폐쇄유닛 (5) 을 조절하기 위해 세로방향 (10) 으로 조절될 수 있고,
- 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 상기 폐쇄유닛 (5) 을 이동 가능하게 안내하기 위한 세로방향 가이드 (19) 를 포함하고, 상기 세로방향 가이드는 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 뻗어 있는 가이드 로드 (20) 와, 적어도 하나의 가이드 부품 (21) 을 구비하고,
상기 가이드 로드 (20) 는 상기 밸브 하우징 (1) 에 부착되고, 상기 폐쇄유닛 (5) 이 부착되어 있는 상기 가이드 부품 (21) 은 상기 가이드 로드 (20) 에 의해 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 또는 적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 은 상기 밸브 하우징 (1) 에 부착되고, 상기 폐쇄유닛 (5) 이 부착되어 있는 상기 가이드 로드 (20) 는 적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 에 의해 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고,
적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 은 상기 가이드 로드 (20) 에 대해 상기 가이드 부품 (21) 을 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 지지하기 위한 또는 상기 가이드 부품 (21) 에 대해 상기 가이드 로드 (20) 를 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 지지하기 위한 적어도 하나의 베어링 요소 (36) 를 구비하는 진공밸브에 있어서,
상기 적어도 하나의 베어링 요소 (36) 는 상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 진공영역 (4) 에 대해 밀봉된 영역 안에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 폐쇄유닛 (5) 은 상기 세로방향 가이드 (19) 에 매달려 있으며 붙잡혀 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드 로드 (20) 는 적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 을 통한 관통 개구부를 관통하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 3 항에 있어서,
상기 가이드 로드 (20) 는 원형 횡단면을 갖는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 은 적어도 하나의 멤브레인 벨로스 (22, 23) 와 연결되고, 상기 멤브레인 벨로스는 밀봉된 영역을 연장시키고, 상기 멤브레인 벨로스를 통해 상기 가이드 로드 (20) 가 뻗어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 5 항에 있어서,
상기 가이드 로드 (20) 에 의해 이동 가능하게 안내된 적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 은 상기 밸브 하우징 (1) 의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 6 항에 있어서,
적어도 하나의 상기 가이드 부품 (21) 의 마주 보고 있는 측들에, 상기 가이드 부품 (21) 과 연결된 제 1 및 제 2 멤브레인 벨로스들 (22, 23) 이 배치되고, 상기 멤브레인 벨로스들은 상기 적어도 하나의 베어링 요소 (36) 가 배치되어 있는 상기 밀봉된 영역을 연장시키고, 상기 멤브레인 벨로스들을 통해 상기 가이드 로드 (20) 가 뻗어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 가이드 로드 (20) 는 상기 밸브 하우징 (1) 의 기본 몸체에서 떼어낼 수 있는 상기 밸브 하우징 (1) 의 제 1 벽 (34) 과 상기 밸브 하우징 (1) 의 마주 보고 있는 제 2 벽 (43) 사이에 뻗어 있고,
상기 가이드 로드 (20) 는 상기 제 2 벽 (43) 의 영역에서 플러그인 연결 (plug-in connection) 을 통하여 상기 밸브 하우징 (1) 과 연결되고,
상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 기본 몸체에서 상기 제 1 벽 (34) 을 떼어낼 때 상기 가이드 로드 (20) 는 상기 제 1 벽 (34) 과 연결된 채로 있고, 상기 플러그인 연결이 풀리는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 8 항에 있어서,
프로파일형 (profiled) 지지 금속박판 (35) 이 상기 제 1 벽 (34) 에 고정되고, 상기 가이드 로드 (20) 를 상기 제 1 벽 (34) 으로부터 멀리 떨어진 단부영역에서 받치는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 5 항에 있어서,
밸브 로드 (20) 를 이동 가능하게 안내하는 제 1 및 제 2 가이드 부품들 (21) 은 상기 밸브 하우징의 마주 보고 있는 측들에서 밖에 상기 밸브 하우징에 부착되고,
상기 각각의 멤브레인 벨로스 (22, 23) 는 상기 밸브 하우징 (1) 의 각각의 개구부를 통해 상기 밸브 하우징 (1) 의 내부로 뻗어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세로방향 (10) 은 수평으로 있고, 또는 수평선에 대해, 30°보다 작은 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 베어링 요소 (36) 가 내부에 배치되어 있는 상기 밀봉된 영역은 대기와 연결되어 있고 또는 펌프 아웃되는 (pumped out) 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄유닛 (5) 은 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 정렬된 밸브 로드 (9) 에 부착되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄유닛 (5) 은 제 1 밸브 플레이트 (6) 와 제 2 밸브 플레이트 (7) 를 구비하고, 상기 밸브 플레이트들을 이용해 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 마주 보고 있는 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 가 폐쇄될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 하나의 상기 밸브 개구부 (2, 3) 는 그 축 (13, 14) 에 대해 직각으로 그리고 상기 세로방향 (10) 에 대해 직각으로 측정된 길이 (I) 를 가지며, 상기 길이는 상기 세로방향 (10) 에 대해 평행으로 측정된 그의 폭 (b) 의 4배보다 큰 것을 특징으로 하는 진공밸브.