KR20210052174A - 진공 챔버 및 리니어스테이지를 이용한 게이트구조 - Google Patents

진공 챔버 및 리니어스테이지를 이용한 게이트구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공 챔버 및 리니어스테이지를 이용한 게이트구조에 관한 것으로 전방에 하우징 개구부가 형성되어 하우징 내부에 진공 환경을 조성하는 프로세스 챔버와 상기 하우징 개구부 방향으로 도어베이스 개구부가 형성되고 내측 상면에 도어베이스 플랜지와 저면에 도어베이스 저면홀이 형성되며 전방에 시료가 출입하는 시료 출입구가 형성되어 상기 하우징 전방 측에 결합하는 도어베이스 및 상기 도어베이스 외측에 결합하여 상기 시료 출입구를 개폐하는 도어를 포함하는 도어유닛과 외주면에 샘플홀더 플랜지가 형성되어 상면에 시료가 적재되는 샘플홀더와 홀더베이스 홀이 형성되어 상측에 상기 샘플홀더가 적재되는 홀더베이스를 포함하는 홀더유닛과 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 홀더베이스를 제 1축으로 이송시키는 이송유닛 및 상기 도어베이스 저면홀에 관통되어 설치되는 푸시바와 상기 푸시바 상단에 결합되고 상기 홀더베이스 홀을 관통하여 상기 샘플홀더 플랜지가 상기 도어베이스 플랜지에 접촉 및 가압되도록 상기 샘플홀더를 이송시키는 푸시블록을 구비하여 상기 도어베이스 하측에 형성되는 벨로우즈 유닛을 포함한다.

Description

진공 챔버 및 리니어스테이지를 이용한 게이트구조{Vacuum Chamber And Gate Structure Using Linear Stage}
본 발명은 진공 챔버 및 리니어스테이지를 이용한 게이트구조에 관한 것이다.
진공 챔버란 진공 상태로 유지되는 공간을 포함하는 장치를 일컬으며 그 예로는 반도체 제조장치, 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope(SEM)), 질량분석기 등과 같은 장치가 있다.
일반적으로 이러한 진공 챔버는 제조, 가공, 검사, 분석 등을 위하여 진공 환경이 조성되는 프로세스 챔버와 상기 프로세스 챔버 내로 시료를 이송시킬 수 있는 트랜스퍼 챔버 및 상기 시료를 반입 또는 반출 시 프로세스 챔버의 진공 환경을 유지하기 위한 로드락 챔버와 게이트 밸브 등을 포함한다.
이러한 종래의 진공 챔버는 상기한 바와 같은 복수 개의 챔버로 구성되어 소형화가 어려울 뿐만 아니라 각 챔버 간의 밀폐를 유지하기 위한 구조들이 비교적 복잡하게 형성되는 문제점이 있다.
또한, 이러한 종래의 진공 챔버는 복수 개의 챔버와 게이트 밸브에 의하여 제조 단가가 상승하며, 복수의 구성으로 인하여 유지보수에 어려움이 따른다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 게이트 밸브를 사용하지 않고 프로세스 챔버 내에 설치되는 이송유닛에 의하여 프로세스 챔버의 진공 상태가 유지되도록 하는 진공 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 소형화에 적합하고 세척 등의 유지보수를 위하여 비교적 간단한 구조와 분해 및 결합이 용이한 진공 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 진공 챔버는 프로세스 챔버와 도어유닛, 홀더유닛, 이송유닛 및 벨로우즈 유닛을 포함한다.
상기 프로세스 챔버는 전방에 하우징 개구부가 형성되어 하우징 내부에 진공 환경을 조성한다.
상기 도어 유닛은 전방 상측에 상기 하우징 개구부 방향으로 도어베이스 개구부가 형성되고 내측 상면에 도어베이스 플랜지와 저면에 도어베리스 저면홀이 형성되어 상기 하우징 전방 측에 결합하는 도어베이스를 포함한다.
또한, 상기 도어 유닛은 상기 도어베이스 외측에 결합하여 상기 도어베이스 개구부를 개폐하는 도어를 더 포함한다.
상기 홀더유닛은 외주면에 샘플홀더 플랜지가 형성되어 상면에 시료가 적재되는 샘플홀더를 포함한다.
또한, 상기 홀더유닛은 홀더베이스 홀이 형성되어 상측에 상기 샘플홀더가 적재되는 홀더베이스를 더 포함한다.
상기 이송유닛은 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 홀더유닛을 제 1축으로 이송시킨다.
상기 벨로우즈 유닛은 상기 도어베이스 저면홀에 관통되어 설치되는 푸시바와 상기 푸시바 상단에 결합되고 상기 홀더베이스 홀을 관통하여 상기 샘플홀더 플랜지가 상기 도어베이스 플랜지에 접촉 및 가압되도록 상기 샘플홀더를 이송시키는 푸시블록을 포함한다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛은 상기 도어베이스 하측에 형성된다.
보다 구체적으로 상기 하우징 개구부는 상기 홀더유닛이 출입할 수 있도록 형성된다.
또한, 상기 샘플홀더 저면에 상기 홀더베이스 홀에 삽입되는 돌기부가 형성된다.
한편, 상기 벨로우즈 유닛은 상기 하우징 전방에 결합하는 벨로우즈 유닛 베이스을 포함한다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛은 상기 벨로우즈 유닛 베이스 일측에 결합하여 상면에 경사부가 형성된 캠팔로워 블록을 직선 왕복 운동시키는 서보모터를 더 포함한다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛은 푸시바와 푸시블록 및 상기 캠팔로워 블록의 경사부에 접촉되는 캠팔로워가 구비되어 상기 캠팔로워 블록의 직선 왕복 운동을 따라 상하 운동하는 도어 벨로우즈를 더 포함한다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛은 수직 리니어 가이드가 형성되는 수직 서포트를 더 포함한다.
이때, 상기 도어 벨로우즈는 상기 수직 리니어 가이드와 결합하는 수직 리니어 블록을 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 진공 챔버는 상기 도어베이스 플랜지와 샘플홀더 플랜지 중 어느 일측에 실링부재를 포함한다.
또한, 상기 도어 벨로우즈는 상기 도어베이스 저면홀에 밀폐되도록 결합된다.
한편, 상기 이송유닛은 제 1축과 수직으로 교차하는 제 2축 방향으로 상기 샘플홀더를 이송시킨다.
보다 구체적으로 상기 이송유닛은 일측에 형성되는 제 2축 엔코더와 제 2축 방향으로 연장되어 각각 설치되는 제 2축 고정자와 제 2축 리니어가이드를 포함하여 상기 하우징 내측 저면에 결합하는 슬라이더 베이스를 구비한다.
또한, 상기 이송유닛은 상부에 제 1축 방향으로 연장되어 각각 설치되는 제 1축 고정자와 제 1축 리니어가이드 및 제 1축 스케일과 하부 일측에 형성되는 제 2축 이동자와 제 2축 방향으로 연장되어 설치되는 제 2축 스케일과 상기 제 2축 리니어가이드에 이동 가능하도록 결합되는 제 2축 리니어블록을 포함하여 상기 슬라이더 베이스에 대하여 상대적으로 제 2축 방향으로 직선 운동하는 제 2축 슬라이더를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 이송유닛은 하부에 형성되는 제 1축 이동자와 제 1축 엔코더 및 상기 제 1축 리니어가이드에 이동 가능하도록 결합되는 제 1축 리니어블록을 포함하여 상기 제 2축 슬라이더에 대하여 상대적으로 제 1축 방향으로 직선 운동하는 제 1축 슬라이더를 더 구비할 수 있다.
한편, 상기 제 2축 엔코더와 제 2축 고정자는 각각 상기 하우징의 저면을 관통하여 상기 슬라이더 베이스에 결합된다.
본 발명에 따른 진공 챔버는 시료의 반입 또는 반출 시 프로세스 챔버 내에 진공 상태를 유지하기 위하여 게이트 벨브를 사용하지 않음으로써, 비교적 저가의 비용으로 구현이 가능하며, 프로세스 챔버 내의 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공 챔버는 비교적 간단한 구조로 소형화에 적합하며, 세척 등의 유지보수성을 향상시킬 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버의 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 도어유닛의 측단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 홀더유닛의 분해 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 이송유닛의 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 이송유닛의 저면 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 벨로우즈 유닛의 사시도.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 벨로우즈 유닛의 정면도.
도 9은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 벨로우즈 유닛의 측단면도.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서 홀더유닛의 이송상태를 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 홀더유닛의 이송상태를 나타낸 도면.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 홀더유닛의 이송상태를 나타낸 도면.
이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1과 2는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버의 사시도와 분해 사시도이다.
도 1과 2를 참조하면, 본 발명에 따른 진공 챔버는 프로세스 챔버(100)와 도어유닛(200)과 홀더유닛(300), 이송유닛(400) 및 벨로우즈 유닛(500)을 포함한다.
상기 프로세스 챔버(100)는 전방에 시료의 반입 또는 반출이 이루어지는 하우징 개구부(111)가 형성되는 하우징(110)과 상기 하우징(110) 외측에 결합되어 상기 하우징(110) 내부 공간에 진공 환경을 조성하는 진공펌프(120)를 포함한다.
보다 구체적으로 상기 하우징(110)은 상측이 개방된 박스 형상의 하우징 바디(110a)와 상기 하우징 바디(110a)의 상측에 결합되는 하우징 커버(110b)를 포함한다.
또한, 상기 하우징 바디(110a)와 하우징 커버(110b)가 결합되는 면에는 실링부재에 의하여 외부 환경과 밀폐가 이루어지도록 한다.
또한, 상기 프로세스 챔버(100)는 내부에 진공 환경을 조절하기 위한 진공 밸브를 포함할 수도 있다.
또한, 상기 프로세스 챔버(100)는 후방 측과 상기 진공펌프(120)가 설치되는 반대측에 하우징(110) 내부를 관찰할 수 있는 창을 더 포함할 수도 있다.
한편, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 도어유닛의 측단면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 도어유닛(200)은 상기 하우징 개구부(111) 방향으로 도어베이스 개구부(211)가 형성되고 내측 상면에 도어베이스 플랜지(213)와 저면에 도어베이스 저면홀(212)이 형성되며 전방에 시료가 출입하는 시료 출입구(214)가 형성되어 상기 하우징(110) 전방 측에 결합하는 도어베이스(210)를 포함한다.
또한, 상기 도어유닛(200)은 상기 도어베이스(210) 외측에 결합하여 상기 시료 출입구(214)를 개폐하는 도어(220)를 더 포함한다.
보다 바람직하게 상기 도어베이스(210)와 상기 하우징(110)이 결합되는 면에는 실링부재에 의하여 외부 환경과 밀폐가 이루어지도록 한다.
또한, 상기 시료 출입구(214)가 형성되는 면은 경사지도록 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 도어(220)는 수동 또는 자동으로 개폐될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 홀더유닛의 분해 사시도이다.
도 4를 참조하면, 상기 홀더유닛(300)은 외주면에 샘플홀더 플랜지(311)가 형성되어 상면에 시료가 적재되는 샘플홀더(310)와 홀더베이스 홀(321)이 형성되어 상측에 상기 샘플홀더(310)가 적재되는 홀더베이스(320)를 포함한다.
보다 바람직하게는 상기 샘플홀더(310)는 상기 홀더베이스(320)에 자중에 의하여 결합되며, 상기 샘플홀더(310)가 전후, 좌우로 유동되지 않도록 상기 샘플홀더(310)의 저면에는 상기 홀더베이스 홀(321)에 삽입될 수 있는 돌기부(312)를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 이송유닛(400)은 상기 하우징(110) 내부에 설치되어 상기 홀더베이스(320)를 제 1축으로 이송시킨다.
또한, 상기 이송유닛(400)은 제 1축과 수직으로 교차하는 제 2축 방향으로 상기 샘플홀더(310)를 이송시킬 수도 있다.
도 5와 6은 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 이송유닛의 사시도와 저면 사시도이다.
도 5를 참조하여 상기 이송유닛(400)의 세부 구성을 설명하면 하기와 같다.
상기 이송유닛(400)은 일측에 형성되는 제 2축 엔코더(433)와 제 2축 방향으로 연장되어 각각 설치되는 제 2축 고정자(431)와 제 2축 리니어가이드(432)가 구비되어 상기 하우징(110) 내측 저면에 결합하는 슬라이더 베이스(430)를 포함한다.
또한, 상기 이송유닛(400)은 상부에 제 1축 방향으로 연장되어 각각 설치되는 제 1축 고정자(421)와 제 1축 리니어가이드(422) 및 제 1축 스케일(423)과 하부 일측에 형성되는 제 2축 이동자(424)와 제 2축 방향으로 연장되어 설치되는 제 2축 스케일(425)과 상기 제 2축 리니어가이드(432)에 이동 가능하도록 결합되는 제 2축 리니어블록(426)을 포함하여 상기 슬라이더 베이스(430)에 대하여 상대적으로 제 2축 방향으로 직선 운동하는 제 2축 슬라이더(420)를 더 포함한다.
또한, 상기 이송유닛(400)은 하부에 형성되는 제 1축 이동자(411)와 제 1축 엔코더(413) 및 상기 제 1축 리니어가이드(422)에 이동 가능하도록 결합되는 제 1축 리니어블록(412)을 포함하여 상기 제 2축 슬라이더(420)에 대하여 상대적으로 제 1축 방향으로 직선 운동하는 제 1축 슬라이더(410)를 더 포함한다.
보다 구체적으로 상기 슬라이더 베이스(430)에 형성되는 제 2축 엔코더(433)와 제 2축 고정자(431)는 각각 상기 하우징(110)의 저면을 관통하여 상기 슬라이더 베이스(430)에 결합된다.
상기 제 2축 리니어가이드(432)는 적어도 2개 이상으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 2축 슬라이더(420)는 제 2축 고정자(431)와 제 2축 이동자(424) 간의 전류 흐름에 의하여 제 2축 리니어가이드(432)를 따라 제 2축 방향으로 직선 운동을 한다.
또한, 상기 제 2축 슬라이더(420)는 하부에 결합되는 제 2축 스케일(425)과 슬라이더 베이스(430)에 고정 설치된 제 2축 엔코더(433)에 의하여 제어될 수 있다.
또한, 상기 제 1축 리니어가이드(422)는 적어도 2개 이상으로 형성되는 것이 바람직하며, 제 1축 스케일(423)과 제 2축 스케일(425)은 각각 제 1축 엔코더(413)와 제 2축 엔코더(433)에 대응되는 위치에 형성된다.
또한, 상기 제 1축 슬라이더(410)는 제 1축 고정자(421)과 제 1축 이동자(411) 간의 전류 흐름에 의하여 제 1축 리니어가이드(422)를 따라 제 1축 방향으로 직선 운동을 한다.
또한, 상기 제 1축 슬라이더(410)는 제 1축 엔코더(413)와 제 2축 슬라이더(420)에 고정 설치된 제 1축 스케일(423)에 의하여 제어될 수 있다.
또한, 상기 제 1축 슬라이더(410) 상부에는 상기 홀더베이스(320)가 고정 결합된다.
한편, 상기 벨로우즈 유닛(500)은 상기 도어베이스 저면홀(212)에 관통되어 설치되는 푸시바(531)와 상기 푸시바(531) 상단에 결합되고 상기 홀더베이스 홀(321)을 관통하여 상기 샘플홀더 플랜지(311)가 상기 도어베이스 플랜지(213)에 접촉 및 가압되도록 상기 샘플홀더(310)를 이송시키는 푸시블록(532)을 구비하여 상기 도어베이스(210) 하측에 형성된다.
도 7 내지 9는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 벨로우즈 유닛의 사시도, 정면도 및 측단면도이다.
도 7 내지 9를 참조하여 상기 벨로우즈 유닛(500)의 상세 구성을 설명하면 하기와 같다.
상기 벨로우즈 유닛(500)은 상면에 수평 리니어 가이드(511)가 설치되고 일측에 서보모터(512)가 구비되어 상기 하우징(110) 전방에 결합하는 벨로우즈 유닛 베이스(510)를 포함한다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛(500)은 저면에 상기 수평 리니어 가이드(512)에 결합하는 수평 리니어 블록(532)이 설치되고 상면에 경사부(531)가 형성되어 상기 서보모터(511)에 의하여 직선 왕복 운동하는 캠팔로워 블록(520)을 더 포함한다.
보다 구체적으로 상기 캠팔로워 블록(520)은 상기 서보모터(512) 회전축에 형성된 나사산에 대응되는 너트가 형성되어 상기 서보모터(511)의 회전 운동에 의하여 직선 왕복 운동을 수행할 수 있다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛(500)은 상기 캠팔로워 블록(520)의 경사부(521)에 접촉되는 캠팔로워(533)가 구비되어 상기 캠팔로워 블록(520)의 직선 왕복 운동을 따라 상하 운동하는 도어 벨로우즈(530)를 더 포함한다.
보다 구체적으로 상기 도어 벨로우즈(530)는 상기 도어베이스 저면홀(212)이 밀폐되도록 상기 도어베이스 저면홀(212) 외주면에 결합한다.
또한, 상기 도어 벨로우즈(530)는 상단에 푸시블록(532)이 결합된 푸시바(531)가 중심부에 형성되고, 상기 하우징(110) 측에 수직 리니어 블록(534)이 형성된다.
한편, 상기 벨로우즈 유닛(500)은 상기 수직 리니어 블록(534)이 결합하는 수직 리니어 가이드(541)가 고정 설치되는 수직 서포트(540)를 저 포함한다.
이에 따라, 상기 도어 벨로우즈(530)는 상기 캠팔로워 블록(520)이 직선 운동하는 경우 상기 캠팔로워(533)가 상기 경사부(521)를 따라 상측 또는 하측으로 이동함으로써, 상기 상기 수직 리니어 가이드(541)를 따라 수직으로 상하 이동된다.
도 10 내지 12는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 챔버에 있어서, 홀더유닛의 이송상태를 나타낸 도면.
보다 구체적으로 도 10은 샘플홀더(310)에 시료를 적재하기 위하여 홀더유닛(300)이 이송된 상태를 나타낸 진공 챔버의 측단면도이다.
또한, 도 11은 샘플홀더(310)에 시료 적재가 완료되고 도어(220)가 밀폐되어 홀더유닛(300)을 프로세스 챔버(100) 내로 이송하기 전에 상태를 나타낸 진공 챔버의 측단면도이다.
또한, 도 12는 시료의 검사, 가공 등을 위하여 홀더유닛(300)을 프로세스 챔버(100) 내로 이송한 상태를 나타낸 진공 챔버의 측단면도이다.
도 10 내지 12를 참조하여 본 발명에 따른 진공 챔버의 작동 방법을 설명하면 하기와 같다.
홀더유닛(300)은 제 1축 슬라이더(410)에 의하여 하우징 개구부(111) 측으로 이송된다.
이때, 도 10에 도시되어 있는 바와 같이 상기 샘플홀더(310)는 상기 하우징 개구부(111)와 도어베이스 개구부(211)를 통하여 도어베이스(210) 내부에 위치한다.
즉, 홀더베이스(320)는 제 1축 슬라이더(410)와 결합되는 일측은 상기 프로세스 챔버(100) 내에 위치하고 상기 샘플홀더(310)가 결합되는 타측은 상기 도어베이스(210) 내에 위치한다.
또한, 상기 샘플홀더(310)는 벨로우즈 유닛(500)에 의하여 상기 홀더베이스(320)와 분리되어 샘플홀더 플랜지(311)가 도어베이스 플랜지(213)에 밀착된다.
보다 구체적으로 상기 샘플홀더(310)는 캠팔로워 블록(520)의 직선 운동에 따라, 경사부(521)를 따라 상측으로 이동하는 도어 벨로우즈(530)에 상측에 형성된 푸시블록(532)에 의하여 상측으로 밀착된다.
이때, 상기 샘플홀더 플랜지(311) 또는 도어베이스 플랜지(213) 중 어느 일측에 실링부재가 구비되어 도어베이스(210) 내부는 외부와 차단된다.
또한, 상기 도어 벨로우즈(530)에 형성되는 캠팔로워(533)는 상기 캠팔로워 블록(520)의 경사부(521)의 상측이나 상기 경사부(521)의 상측에 형성되는 직선부에 위치될 수 있다.
한편, 도어(220)는 개방되어 시료 출입구(214)를 통하여 시료가 상기 샘플홀더(310)로 투입될 수 있다.
이때, 상기 프로세스 챔버(100)와 상기 도어베이스(210) 내부 공간은 상기 도어(220)가 개방되었으나, 상기한 바와 같이 샘플홀더 플랜지(311)와 도어베이스 플랜지(213)가 밀착되어 외부와 차단됨으로써 진공 상태로 유지될 수 있다.
이후, 도 11에 도시되어 있는 바와 같이 상기 시료 출입구(214)는 상기 도어(220)에 의하여 폐쇄된다.
또한, 상기 벨로우즈 유닛(500)에 의하여 상기 시료가 적재된 샘플홀더(310)는 상기 홀더베이스(320)에 안착된다.
보다 구체적으로 상기 도어 벨로우즈(530)는 캠팔로워(533)가 캠팔로워 블록(520)의 경사부(521)을 따라 하측으로 이동된다.
이에 따라, 상기 샘플홀더(310)는 자중에 의하여 돌기부(312)가 상기 홀더베이스 홀(321)에 삽입됨으로써 상기 홀더베이스(320)에 결합된다.
이후, 도 12에 도시되어 있는 바와 같이 상시 시료가 적재된 샘플홀더(310)는 제 1축 슬라이더(410)에 의하여 상기 프로세스 챔버(100) 내로 이송된다.
또한, 상기 샘플홀더(310)는 프로브, 비전검사기, 제조장치 등에 의한 검사, 분석 등이 이루어질 수 있도록 제 1축 슬라이더(410)와 제 2축 슬라이더(420)에 의하여 미세한 위치 조정이 가능하므로 시료의 검사, 분석, 제조 등이 용이하게 이루어질 수 있다.
상기한 본 발명의 바람직한 실시 예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
100. 프로세스 챔버
110. 하우징
110a. 하우징 바디
110b. 하우징 커버
111. 하우징 개구부
120. 진공펌프
200. 도어유닛
210. 도어베이스
211. 도어베이스 개구부
212. 도어베이스 저면홀
213. 도어베이스 플랜지
214. 시료 출입구
220. 도어
300. 홀더유닛
310. 샘플홀더
311. 샘플홀더 플랜지
312. 돌기부
320. 홀더베이스
321. 홀더베이스 홀
400. 이송유닛
410. 제 1축 슬라이더
411. 제 1축 이동자
412. 제 1축 리니어블록
413. 제 1축 엔코더
420. 제 2축 슬라이더
421. 제 1축 고정자
422. 제 1축 리니어가이드
423. 제 1축 스케일
424. 제 2축 이동자
425. 제 2축 스케일
426. 제 2축 리니어블록
430. 슬라이더 베이스
431. 제 2축 고정자
432. 제 2축 리니어가이드
433. 제 2축 엔코더
500. 벨로우즈 유닛
510. 벨로우즈 유닛 베이스
511. 수평 리니어 가이드
512. 서보모터
520. 캠팔로워 블록
521. 경사부
522. 수평 리니어 블록
530. 도어 벨로우즈
531. 푸시바
532. 푸시블록
533. 캠팔로워
534. 수직 리니어 블록
540. 수직 서포트
541. 수직 리니어 가이드

Claims (10)

  1. 전방에 하우징 개구부가 형성되어 하우징 내부에 진공 환경을 조성하는 프로세스 챔버;
    상기 하우징 개구부 방향으로 도어베이스 개구부가 형성되고 내측 상면에 도어베이스 플랜지와 저면에 도어베이스 저면홀이 형성되며 전방에 시료가 출입하는 시료 출입구가 형성되어 상기 하우징 전방 측에 결합하는 도어베이스 및 상기 도어베이스 외측에 결합하여 상기 시료 출입구를 개폐하는 도어를 포함하는 도어유닛;
    외주면에 샘플홀더 플랜지가 형성되어 상면에 시료가 적재되는 샘플홀더와 홀더베이스 홀이 형성되어 상측에 상기 샘플홀더가 적재되는 홀더베이스를 포함하는 홀더유닛;
    상기 하우징 내부에 설치되어 상기 홀더베이스를 제 1축으로 이송시키는 이송유닛; 및
    상기 도어베이스 저면홀에 관통되어 설치되는 푸시바와 상기 푸시바 상단에 결합되고 상기 홀더베이스 홀을 관통하여 상기 샘플홀더 플랜지가 상기 도어베이스 플랜지에 접촉 및 가압되도록 상기 샘플홀더를 이송시키는 푸시블록을 구비하여 상기 도어베이스 하측에 형성되는 벨로우즈 유닛;을 포함하는 진공 챔버.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 이송유닛에 의하여 상기 샘플홀더가 상기 하우징 개구부를 출입하는 진공 챔버.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 샘플홀더 저면에 상기 홀더베이스 홀에 삽입되는 돌기부가 형성되는 진공 챔버.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 벨로우즈 유닛은
    일측에 서보모터와 상면에 수평 리니어가이드가 구비되는 벨로우즈 유닛 베이스;
    저면에 상기 수평 리니어 가이드에 결합하는 수평 리니어 블록이 설치되고 상면에 경사부가 형성되어 상기 서보모터에 의하여 직선 왕복 운동하는 캠팔로워 블록; 및
    푸시바와 푸시블록 및 상기 캠팔로워 블록의 경사부에 접촉되는 캠팔로워가 구비되어 상기 캠팔로워 블록의 직선 왕복 운동을 따라 상하 운동하는 도어 벨로우즈;를 포함하는 진공 챔버.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 벨로우즈 유닛은
    수직 리니어 가이드가 형성되는 수직 서포트를 포함하고,
    상기 도어 벨로우즈는 상기 수직 리니어 가이드와 결합하는 수직 리니어 블록을 더 포함하는 진공 챔버.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도어베이스 플랜지와 샘플홀더 플랜지 중 어느 일측에 실링부재를 포함하는 진공 챔버.
  7. 제 4항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 도어 벨로우즈는 상기 도어베이스 저면홀에 밀폐되도록 결합하는 진공 챔버.
  8. 제 2항에 있어서,
    상기 이송유닛은 제 1축과 수직으로 교차하는 제 2축 방향으로 상기 샘플홀더를 이송시키는 진공 챔버.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 이송유닛은
    일측에 형성되는 제 2축 엔코더와 제 2축 방향으로 연장되어 각각 설치되는 제 2축 고정자와 제 2축 리니어가이드를 포함하여 상기 하우징 내측 저면에 결합하는 슬라이더 베이스;
    상부에 제 1축 방향으로 연장되어 각각 설치되는 제 1축 고정자와 제 1축 리니어가이드 및 제 1축 스케일과 하부 일측에 형성되는 제 2축 이동자와 제 2축 방향으로 연장되어 설치되는 제 2축 스케일과 상기 제 2축 리니어가이드에 이동 가능하도록 결합되는 제 2축 리니어블록을 포함하여 상기 슬라이더 베이스에 대하여 상대적으로 제 2축 방향으로 직선 운동하는 제 2축 슬라이더;
    하부에 형성되는 제 1축 이동자와 제 1축 엔코더 및 상기 제 1축 리니어가이드에 이동 가능하도록 결합되는 제 1축 리니어블록을 포함하여 상기 제 2축 슬라이더에 대하여 상대적으로 제 1축 방향으로 직선 운동하는 제 1축 슬라이더를 포함하는 진공 챔버.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제 2축 엔코더와 제 2축 고정자는 각각 상기 하우징의 저면을 관통하여 상기 슬라이더 베이스에 결합되는 진공 챔버.
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