JP3241456B2 - ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法 - Google Patents
ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、安価な構造でメンテナ
ンスを極めて容易に行なえるゲートバルブ及びこれのメ
ンテナンス方法に関する。
ンスを極めて容易に行なえるゲートバルブ及びこれのメ
ンテナンス方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶表示ディバイスの液晶ガラ
ス基板を製造する場合には、種々の工程があるが、その
一工程として、ガラス基板にスパッタリングを施す工程
がある。ガラス基板が比較的大型である場合、例えば、
３００mm×４００mmである場合には、図１３に示すよう
な装置により、ガラス基板にスパッタリングが施されて
いる。この装置は、基板脱着ステーション１と、エレベ
ータ２と、ローディング室３と、ゲートバルブ４と、ポ
ンプ室５と、加熱室６と、Ｃｒ−スパッタ室７と、Ａｌ
−スパッタ室８と、バッファ室９と、ゲートバルブ１０
と、アンローディング室１１と、ゲートバルブ１２と、
エレベータ１３とを備えている。ゲートバルブ４，１０
により仕切られたポンプ室５、加熱室６、Ｃｒ−スパッ
タ室７、Ａｌ−スパッタ室８、及びバッファ室９は、常
時真空状態に維持されており、ローディング室３及びア
ンローディング室１１は、このための予備室の役割を果
たす。したがって、ガラス基板となる素材のガラス板
（例えば、上記寸法のガラス基板の２つ分の素材）が台
車に載置されて、基板脱着ステーション１からエレベー
タ２を介してローディング室３に搬入される。このと
き、ゲートバルブ４は閉成されており、ローディング室
３が真空にされる。その後、ゲートバルブ４が開成さ
れ、ガラス基板を載置した台車は、ポンプ室５及び加熱
室６を介して、常時真空に維持されているＣｒ−スパッ
タ室７、次いで、Ａｌ−スパッタ室８に搬入され、ガラ
ス基板にＣｒ及びＡｌのスパッタが施される。この後、
ゲートバルブ１０，１２が閉成しアンローディング室１
１が真空にされた状態において、ゲートバルブ１０が開
成されて、ガラス基板を載置した台車は、アンローディ
ング室１１に搬入される。次いで、ゲートバルブ１２が
開成され、ガラス基板を載置した台車は、エレベータ１
３に搬入されて次ぎの工程に移される。
ス基板を製造する場合には、種々の工程があるが、その
一工程として、ガラス基板にスパッタリングを施す工程
がある。ガラス基板が比較的大型である場合、例えば、
３００mm×４００mmである場合には、図１３に示すよう
な装置により、ガラス基板にスパッタリングが施されて
いる。この装置は、基板脱着ステーション１と、エレベ
ータ２と、ローディング室３と、ゲートバルブ４と、ポ
ンプ室５と、加熱室６と、Ｃｒ−スパッタ室７と、Ａｌ
−スパッタ室８と、バッファ室９と、ゲートバルブ１０
と、アンローディング室１１と、ゲートバルブ１２と、
エレベータ１３とを備えている。ゲートバルブ４，１０
により仕切られたポンプ室５、加熱室６、Ｃｒ−スパッ
タ室７、Ａｌ−スパッタ室８、及びバッファ室９は、常
時真空状態に維持されており、ローディング室３及びア
ンローディング室１１は、このための予備室の役割を果
たす。したがって、ガラス基板となる素材のガラス板
（例えば、上記寸法のガラス基板の２つ分の素材）が台
車に載置されて、基板脱着ステーション１からエレベー
タ２を介してローディング室３に搬入される。このと
き、ゲートバルブ４は閉成されており、ローディング室
３が真空にされる。その後、ゲートバルブ４が開成さ
れ、ガラス基板を載置した台車は、ポンプ室５及び加熱
室６を介して、常時真空に維持されているＣｒ−スパッ
タ室７、次いで、Ａｌ−スパッタ室８に搬入され、ガラ
ス基板にＣｒ及びＡｌのスパッタが施される。この後、
ゲートバルブ１０，１２が閉成しアンローディング室１
１が真空にされた状態において、ゲートバルブ１０が開
成されて、ガラス基板を載置した台車は、アンローディ
ング室１１に搬入される。次いで、ゲートバルブ１２が
開成され、ガラス基板を載置した台車は、エレベータ１
３に搬入されて次ぎの工程に移される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したゲートバルブ
４，１０は、このように、スパッタ室７、８等を常時真
空に維持する役割を果たしているが、ゲートバルブ４、
１０の弁体のＯリングは、加熱室６からの熱に晒され、
スパッタ時のガスに晒されていると共に、スパッタされ
る金属等がこのＯリングに付着される。また、上記スパ
ッタ工程では、３．５分に１台車が搬入され、２４時間
稼働の体制で行なわれているため、Ｏリングは常時熱、
ガス、スパッタ金属に晒されていることになる。そのた
め、定期的にゲートバルブ４，１０のメンテナンスが必
要である。
４，１０は、このように、スパッタ室７、８等を常時真
空に維持する役割を果たしているが、ゲートバルブ４、
１０の弁体のＯリングは、加熱室６からの熱に晒され、
スパッタ時のガスに晒されていると共に、スパッタされ
る金属等がこのＯリングに付着される。また、上記スパ
ッタ工程では、３．５分に１台車が搬入され、２４時間
稼働の体制で行なわれているため、Ｏリングは常時熱、
ガス、スパッタ金属に晒されていることになる。そのた
め、定期的にゲートバルブ４，１０のメンテナンスが必
要である。
【０００４】しかしながら、このようなゲートバルブ
４，１０は、比較的大型で高さが約１ｍのものであり、
さらに、弁体は、弁箱のボンネットフランジ、及び弁体
を駆動するエアシリンダに連結されているが、弁体だけ
で重量が略２０kgである。そのため、メンテナンス時
に、これら弁体、ボンネットフランジ、及びエアシリン
ダを一体的に弁箱から取り出しメンテナンス後再びセッ
トすることは極めて困難である。そのため、上記のよう
に、２４時間稼働を行ないたいにも拘らず、従来、メン
テナンスのためのスパッタ工程の中断時間は著しく多く
問題となっている。
４，１０は、比較的大型で高さが約１ｍのものであり、
さらに、弁体は、弁箱のボンネットフランジ、及び弁体
を駆動するエアシリンダに連結されているが、弁体だけ
で重量が略２０kgである。そのため、メンテナンス時
に、これら弁体、ボンネットフランジ、及びエアシリン
ダを一体的に弁箱から取り出しメンテナンス後再びセッ
トすることは極めて困難である。そのため、上記のよう
に、２４時間稼働を行ないたいにも拘らず、従来、メン
テナンスのためのスパッタ工程の中断時間は著しく多く
問題となっている。
【０００５】本発明の目的は、このような課題を解決す
るためになされたものであって、安価な構造でメンテナ
ンスを極めて容易に行なえるゲートバルブ及びこれのメ
ンテナンス方法を提供することにある。
るためになされたものであって、安価な構造でメンテナ
ンスを極めて容易に行なえるゲートバルブ及びこれのメ
ンテナンス方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項１によるゲートバルブは、弁箱内に弁体が水
平方向移動自在に収納され、この移動方向の弁箱の一方
の側部にフランジが着脱自在に取り付けられ、これの反
対側の側部に、弁体を駆動する駆動体が支持されている
ゲートバルブにおいて、フランジが外されて開口した弁
箱の側部の上部及び下部に、弁体を案内するために着脱
自在に取付けられる上側レール及び下側レールと、弁体
と駆動体との連結を解除する解除手段と、上記開口した
側部の上側及び下側レールに沿って弁箱から引き出され
た弁体を固定するストッパと、を備えることを特徴とし
ている。
め、請求項１によるゲートバルブは、弁箱内に弁体が水
平方向移動自在に収納され、この移動方向の弁箱の一方
の側部にフランジが着脱自在に取り付けられ、これの反
対側の側部に、弁体を駆動する駆動体が支持されている
ゲートバルブにおいて、フランジが外されて開口した弁
箱の側部の上部及び下部に、弁体を案内するために着脱
自在に取付けられる上側レール及び下側レールと、弁体
と駆動体との連結を解除する解除手段と、上記開口した
側部の上側及び下側レールに沿って弁箱から引き出され
た弁体を固定するストッパと、を備えることを特徴とし
ている。
【０００７】また、請求項２によるゲートバルブのメン
テナンス方法は、弁箱内に弁体が水平方向移動自在に収
納され、この移動方向の弁箱の一方の側部にフランジが
着脱自在に取り付けられ、これの反対側の側部に、弁体
を駆動する駆動体が支持されているゲートバルブのメン
テナンス方法であって、上記弁箱の側部のフランジを取
り外してこの側部を開口する工程と、開口された弁箱の
側部の上部及び下部に、弁体を案内するための上側レー
ル及び下側レールを着脱自在に取り付ける工程と、弁体
と駆動体との連結を解除する工程と、上記開口した側部
の上側及び下側レールに沿って弁箱から弁体を引き出す
工程と、引き出した弁体をストッパにより上側又は下側
レールに固定する工程と、弁体に所定のメンテナンスを
施した後、弁体を上側及び下側レールに沿って弁箱内に
戻し、上側及び下側レールを取り外し、フランジを弁箱
の側部に取り付ける工程と、を備えることを特徴として
いる。
テナンス方法は、弁箱内に弁体が水平方向移動自在に収
納され、この移動方向の弁箱の一方の側部にフランジが
着脱自在に取り付けられ、これの反対側の側部に、弁体
を駆動する駆動体が支持されているゲートバルブのメン
テナンス方法であって、上記弁箱の側部のフランジを取
り外してこの側部を開口する工程と、開口された弁箱の
側部の上部及び下部に、弁体を案内するための上側レー
ル及び下側レールを着脱自在に取り付ける工程と、弁体
と駆動体との連結を解除する工程と、上記開口した側部
の上側及び下側レールに沿って弁箱から弁体を引き出す
工程と、引き出した弁体をストッパにより上側又は下側
レールに固定する工程と、弁体に所定のメンテナンスを
施した後、弁体を上側及び下側レールに沿って弁箱内に
戻し、上側及び下側レールを取り外し、フランジを弁箱
の側部に取り付ける工程と、を備えることを特徴として
いる。
【０００８】
【作用】このように構成されているため、ゲートバルブ
をメンテナンスする際には、先ず、弁箱の側部のフラン
ジを取り外してこの側部を開口し、次いで、開口された
弁箱の側部の上部及び下部に、上側レール及び下側レー
ルを取り付ける。その後、上側及び下側レールに沿って
弁箱から弁体を引き出し、弁体をストッパにより上側又
は下側レールに固定し、弁体に所定のメンテナンスを施
す。その後は、これらと逆の工程によりゲートバルブを
元の状態に戻す。
をメンテナンスする際には、先ず、弁箱の側部のフラン
ジを取り外してこの側部を開口し、次いで、開口された
弁箱の側部の上部及び下部に、上側レール及び下側レー
ルを取り付ける。その後、上側及び下側レールに沿って
弁箱から弁体を引き出し、弁体をストッパにより上側又
は下側レールに固定し、弁体に所定のメンテナンスを施
す。その後は、これらと逆の工程によりゲートバルブを
元の状態に戻す。
【０００９】このように、弁体を駆動体から切り離して
弁体のみを弁箱の外側に搬出できるようにし、この状態
でメンテナンスを行なうことができるため、メンテナン
スの作業性が著しく向上する。しかも、このようなメン
テナンスのための構造を設けたとしても、極めて安価で
あり、コストの高騰を招くことがない。
弁体のみを弁箱の外側に搬出できるようにし、この状態
でメンテナンスを行なうことができるため、メンテナン
スの作業性が著しく向上する。しかも、このようなメン
テナンスのための構造を設けたとしても、極めて安価で
あり、コストの高騰を招くことがない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例によるゲートバルブ
及びこれのメンテナンス方法について図面を参照しつつ
説明する。
及びこれのメンテナンス方法について図面を参照しつつ
説明する。
【００１１】本実施例によるゲートバルブ２０は、例え
ば、図１３に示すスパッタ装置において、ローディング
室３と常時真空状態のスパッタ室７等とを仕切るために
設けられている。このゲートバルブ２０は、基本的に
は、図２以下に示す弁体アッセンブリ２５を収納する四
角形筒状の弁箱２１と、弁箱２１の手前の側部に取付け
られるボンネットフランジ２２と、弁箱２１の奥側の側
部に取付けられるメンテナンス蓋２３と、弁体アッセン
ブリ２５を駆動するための駆動体としてのエアシリンダ
２４とを有している。
ば、図１３に示すスパッタ装置において、ローディング
室３と常時真空状態のスパッタ室７等とを仕切るために
設けられている。このゲートバルブ２０は、基本的に
は、図２以下に示す弁体アッセンブリ２５を収納する四
角形筒状の弁箱２１と、弁箱２１の手前の側部に取付け
られるボンネットフランジ２２と、弁箱２１の奥側の側
部に取付けられるメンテナンス蓋２３と、弁体アッセン
ブリ２５を駆動するための駆動体としてのエアシリンダ
２４とを有している。
【００１２】図２及び図３に示すように、弁体アッセン
ブリ２５は、弁箱２１内を水平方向移動自在に収納され
ている。この弁体アッセンブリ２５には、一対の垂直部
材２６，２６と複数の水平部材２７，２７とからなる枠
体２８が設けられている。弁箱２１の上部及び底部に
は、この枠体２８を案内するためのレール３８，３８が
設けられており、この枠体２８の下部には、底部のレー
ル３８上を移動できる複数の車輪３７，３７が設けられ
ている。この枠体２８に対向して弁体本体２９が配置さ
れている。この弁体本体２９の表面側には、弁箱２１の
開口３０を密閉するためのＯリング３１が取付けられて
いると共に、その裏面側には、枠体２８の水平部材２７
に対応して水平部材３２が取付けられている。弁体本体
２９の水平部材３２と、枠体２８の水平部材２７とに
は、一対のリンク部材３３が複数組掛け渡されており、
これにより、水平部材３２と、水平部材２７と、一対の
リンク部材３３とにより、リンク機構が構成されてい
る。弁体本体２９の裏面と、枠体２８の垂直部材２６と
の間には、これらを互いに近付けるように付勢する複数
のバネ３４が掛けられている。さらに、枠体２８及び弁
体本体２９が一体的に弁の閉成方向に移動したときに、
これらが各々当接するストッパ３５，３６がメンテナン
ス蓋２３に設けられている。
ブリ２５は、弁箱２１内を水平方向移動自在に収納され
ている。この弁体アッセンブリ２５には、一対の垂直部
材２６，２６と複数の水平部材２７，２７とからなる枠
体２８が設けられている。弁箱２１の上部及び底部に
は、この枠体２８を案内するためのレール３８，３８が
設けられており、この枠体２８の下部には、底部のレー
ル３８上を移動できる複数の車輪３７，３７が設けられ
ている。この枠体２８に対向して弁体本体２９が配置さ
れている。この弁体本体２９の表面側には、弁箱２１の
開口３０を密閉するためのＯリング３１が取付けられて
いると共に、その裏面側には、枠体２８の水平部材２７
に対応して水平部材３２が取付けられている。弁体本体
２９の水平部材３２と、枠体２８の水平部材２７とに
は、一対のリンク部材３３が複数組掛け渡されており、
これにより、水平部材３２と、水平部材２７と、一対の
リンク部材３３とにより、リンク機構が構成されてい
る。弁体本体２９の裏面と、枠体２８の垂直部材２６と
の間には、これらを互いに近付けるように付勢する複数
のバネ３４が掛けられている。さらに、枠体２８及び弁
体本体２９が一体的に弁の閉成方向に移動したときに、
これらが各々当接するストッパ３５，３６がメンテナン
ス蓋２３に設けられている。
【００１３】さらに、図９にも示すように、枠体２８の
垂直部材２６には、二股状のピン受け台３９が設けられ
ており、エアシリンダ２４のピストン４０の先端にも、
このピン受け台３９に嵌合するピン受け台４１が設けら
れ、これらのピン受け台３９，４１が嵌合した状態でこ
れらにピン４２が挿入されている。これにより、エアシ
リンダ２４と枠体２８とが連結されている。
垂直部材２６には、二股状のピン受け台３９が設けられ
ており、エアシリンダ２４のピストン４０の先端にも、
このピン受け台３９に嵌合するピン受け台４１が設けら
れ、これらのピン受け台３９，４１が嵌合した状態でこ
れらにピン４２が挿入されている。これにより、エアシ
リンダ２４と枠体２８とが連結されている。
【００１４】図２及び図３は、弁が閉成した状態を示す
一方、図４及び図５は、弁が開成した状態を示す。ゲー
トバルブはこの開成状態から閉成状態には、以下のよう
に作動する。弁体アッセンブリ２５が図４及び図５に示
す開成状態から閉成方向である右方に移動するとき、リ
ンク部材３３は、水平部材２７，３２に対して斜めにな
っている。そして、図３に示すように、弁体アッセンブ
リ２５が閉成状態の一歩手前まで移動したとき、弁体本
体２９の方が枠体２８より先にストッパ３６に当接す
る。この弁体本体２９の移動が阻止された状態におい
て、枠体２８がバネ３４の付勢力に抗してさらに移動さ
れる。これにより、リンク部材２７が図３に示すように
水平部材２７，３２に対して垂直になるように起き上が
り、弁体本体２９のみが弁箱２１の開口３０の方に移動
され、弁が閉成される。一方、弁が開成される場合に
は、枠体２８が図の左方に移動されると、バネ３４の付
勢力により弁体本体２９が枠体２８に近付くように移動
される。弁体アッセンブリ２５がこの状態において図４
及び図５に示すように移動される。
一方、図４及び図５は、弁が開成した状態を示す。ゲー
トバルブはこの開成状態から閉成状態には、以下のよう
に作動する。弁体アッセンブリ２５が図４及び図５に示
す開成状態から閉成方向である右方に移動するとき、リ
ンク部材３３は、水平部材２７，３２に対して斜めにな
っている。そして、図３に示すように、弁体アッセンブ
リ２５が閉成状態の一歩手前まで移動したとき、弁体本
体２９の方が枠体２８より先にストッパ３６に当接す
る。この弁体本体２９の移動が阻止された状態におい
て、枠体２８がバネ３４の付勢力に抗してさらに移動さ
れる。これにより、リンク部材２７が図３に示すように
水平部材２７，３２に対して垂直になるように起き上が
り、弁体本体２９のみが弁箱２１の開口３０の方に移動
され、弁が閉成される。一方、弁が開成される場合に
は、枠体２８が図の左方に移動されると、バネ３４の付
勢力により弁体本体２９が枠体２８に近付くように移動
される。弁体アッセンブリ２５がこの状態において図４
及び図５に示すように移動される。
【００１５】次に、ゲートバルブのメンテナンスのため
の構造について説明する。
の構造について説明する。
【００１６】図６に示すように、メンテナンス蓋２３
は、弁箱２１のねじ孔４５に螺合されるボルト４３によ
り取付けられており、ボルト４３が緩められることによ
り、メンテナンス蓋２３は、弁箱２１から取外され、弁
箱２１の側部が開口されるように構成されている。この
取外しの便宜のため、メンテナンス蓋２３には、把手４
４が設けられている。
は、弁箱２１のねじ孔４５に螺合されるボルト４３によ
り取付けられており、ボルト４３が緩められることによ
り、メンテナンス蓋２３は、弁箱２１から取外され、弁
箱２１の側部が開口されるように構成されている。この
取外しの便宜のため、メンテナンス蓋２３には、把手４
４が設けられている。
【００１７】図４、図５、及び図７に示すように、弁箱
２１の上部及び底部のレール３８，３８に、メンテナン
スのための上側レール４６及び下側レール４７が着脱自
在に連結されるように構成されている。すなわち、弁箱
２１の上部及び底部のレール３８，３８の端面には、嵌
合孔４８，４８が形成されており、上側レール４６及び
下側レール４７には、この嵌合孔４８，４８に嵌合する
突起４９，４９が設けられている。上側レール４６及び
下側レール４７の断面形状は、弁箱２１内のレール３
８，３８の断面形状と同一であり、これらの突起４９，
４９が嵌合孔４８，４８に嵌合されて、弁箱２１内のレ
ール３８，３８とレール４６，４７とが整合される。さ
らに、上側レール４６及び下側レール４７が取付けられ
た状態で、これらのレール４６，４７に固定された三角
形のサポート板５０がボルト５１により弁箱２１のねじ
孔４５に取付けられるように構成されている。
２１の上部及び底部のレール３８，３８に、メンテナン
スのための上側レール４６及び下側レール４７が着脱自
在に連結されるように構成されている。すなわち、弁箱
２１の上部及び底部のレール３８，３８の端面には、嵌
合孔４８，４８が形成されており、上側レール４６及び
下側レール４７には、この嵌合孔４８，４８に嵌合する
突起４９，４９が設けられている。上側レール４６及び
下側レール４７の断面形状は、弁箱２１内のレール３
８，３８の断面形状と同一であり、これらの突起４９，
４９が嵌合孔４８，４８に嵌合されて、弁箱２１内のレ
ール３８，３８とレール４６，４７とが整合される。さ
らに、上側レール４６及び下側レール４７が取付けられ
た状態で、これらのレール４６，４７に固定された三角
形のサポート板５０がボルト５１により弁箱２１のねじ
孔４５に取付けられるように構成されている。
【００１８】図８に最もよく示すように、弁体アッセン
ブリ２５とエアシリンダ２４とを連結しているピン４２
を抜くための作業窓５２が弁箱２１に形成されている。
この作業窓５２には、蓋部材５３がボルト５４により取
付けられるようにされている。これにより、図９に最も
よく示すように、この作業窓５２を介して作業者がピン
４２を抜くことができ、弁体アッセンブリ２５とエアシ
リンダ２４との連結を解除することができる。
ブリ２５とエアシリンダ２４とを連結しているピン４２
を抜くための作業窓５２が弁箱２１に形成されている。
この作業窓５２には、蓋部材５３がボルト５４により取
付けられるようにされている。これにより、図９に最も
よく示すように、この作業窓５２を介して作業者がピン
４２を抜くことができ、弁体アッセンブリ２５とエアシ
リンダ２４との連結を解除することができる。
【００１９】図１０に示すように、メンテナンスのため
の上側レール４６及び下側レール４７が開口した弁箱２
１の側部に取付けられた状態において、弁体アッセンブ
リ２５が弁箱２１からこれらのレール４６，４７に沿っ
て外側に引き出される。このとき、図１１に最もよく示
すように、弁体アッセンブリ２５の枠体２８は、レール
４６、４７の端部に設けられたストッパ５５に当接して
移動が阻止される。さらに、枠体２８の内側角部に係合
して弁体アッセンブリ２５をレール４６、４７にロック
するためのロック機構５６が設けられている。このロッ
ク機構５６では、支持部材５７がレール４６、４７に固
定され、この支持部材５７の上端に、係合部材５８の基
端が回動自在に支持されている。この係合部材５８が枠
体２８の内側角部に係合した状態で、この係合部材５８
を回動不能に固定するためのロック捩子５９が支持部材
５７の上端に設けられている。
の上側レール４６及び下側レール４７が開口した弁箱２
１の側部に取付けられた状態において、弁体アッセンブ
リ２５が弁箱２１からこれらのレール４６，４７に沿っ
て外側に引き出される。このとき、図１１に最もよく示
すように、弁体アッセンブリ２５の枠体２８は、レール
４６、４７の端部に設けられたストッパ５５に当接して
移動が阻止される。さらに、枠体２８の内側角部に係合
して弁体アッセンブリ２５をレール４６、４７にロック
するためのロック機構５６が設けられている。このロッ
ク機構５６では、支持部材５７がレール４６、４７に固
定され、この支持部材５７の上端に、係合部材５８の基
端が回動自在に支持されている。この係合部材５８が枠
体２８の内側角部に係合した状態で、この係合部材５８
を回動不能に固定するためのロック捩子５９が支持部材
５７の上端に設けられている。
【００２０】図１２には、引き出された弁体アッセンブ
リ２５の弁体本体２９側が示されている。この弁体本体
２９に取付けられたＯリング押え６０が取外されて、Ｏ
リング３１等のメンテナンスが行なわれることができ
る。
リ２５の弁体本体２９側が示されている。この弁体本体
２９に取付けられたＯリング押え６０が取外されて、Ｏ
リング３１等のメンテナンスが行なわれることができ
る。
【００２１】次に、図６乃至図１２を参照してゲートバ
ルブのメンテナンスの工程を説明する。
ルブのメンテナンスの工程を説明する。
【００２２】先ず、図６に示すように、ボルト４３を緩
め、メンテナンス蓋２３を弁箱２１から取外す。この
際、取外したメンテナンス蓋２３は、内側面を上向きに
しておくと、シール面が汚れることがない。
め、メンテナンス蓋２３を弁箱２１から取外す。この
際、取外したメンテナンス蓋２３は、内側面を上向きに
しておくと、シール面が汚れることがない。
【００２３】次で、図７に示すように、上側レール４６
及び下側レール４７の突起４９を、開口した弁箱２１内
のレール３８の嵌合孔４８に嵌合するようにして、これ
らレール４６，４７を取付ける。これにより、弁箱２１
内レール３８とレール４６，４７とが整合される。次
で、三角形のサポート板５０をボルト５１により開口し
た弁箱２１に取付ける。
及び下側レール４７の突起４９を、開口した弁箱２１内
のレール３８の嵌合孔４８に嵌合するようにして、これ
らレール４６，４７を取付ける。これにより、弁箱２１
内レール３８とレール４６，４７とが整合される。次
で、三角形のサポート板５０をボルト５１により開口し
た弁箱２１に取付ける。
【００２４】図８に示すように、ボルト５４を緩めて蓋
部材５３を作業窓５２から外して、作業窓５２を開口す
る。図９に示すように、ピン４２をピン受け台３９，４
１から外すことにより、弁体アッセンブリ２５とエアシ
リンダ２４との連結を解除する。
部材５３を作業窓５２から外して、作業窓５２を開口す
る。図９に示すように、ピン４２をピン受け台３９，４
１から外すことにより、弁体アッセンブリ２５とエアシ
リンダ２４との連結を解除する。
【００２５】次で、図１０に示すように、上側レール４
６及び下側レール４７に沿って、弁体アッセンブリ２５
を弁箱２１から外側に取り出す。図１１に示すように、
弁体アッセンブリ２５の枠体２８をレール４６、４７の
端部のストッパ５５に当接させる。これにより弁体アッ
センブリ２５の移動が阻止される。さらに、枠体２８の
内側角部にロック機構５６の係合部材５８を係合させて
ロック捩子５９により係合部材を固定する。これによ
り、弁体アッセンブリ２５は、レール４６、４７にロッ
クされる。
６及び下側レール４７に沿って、弁体アッセンブリ２５
を弁箱２１から外側に取り出す。図１１に示すように、
弁体アッセンブリ２５の枠体２８をレール４６、４７の
端部のストッパ５５に当接させる。これにより弁体アッ
センブリ２５の移動が阻止される。さらに、枠体２８の
内側角部にロック機構５６の係合部材５８を係合させて
ロック捩子５９により係合部材を固定する。これによ
り、弁体アッセンブリ２５は、レール４６、４７にロッ
クされる。
【００２６】図１２に示すように、引き出された弁体ア
ッセンブリ２５の弁体本体２９のＯリング押え６０を取
外して、Ｏリング３１等のメンテナンスを行なう。
ッセンブリ２５の弁体本体２９のＯリング押え６０を取
外して、Ｏリング３１等のメンテナンスを行なう。
【００２７】次に、メンテナンス終了後は、上述した工
程と逆の工程によって、ゲートバルブ２０を元の状態に
戻す。すなわち、図１０に示すように、ロック機構５６
の係合部材５８によるロックを解除する。弁体アッセン
ブリ２５を上側レール４６及び下側レール４７に沿って
弁箱２１内に移動させる。図９に示すように、ピン４２
をピン受け台３９，４１に挿入し、弁体アッセンブリ２
５とエアシリンダ２４とを連結する。図７に示すよう
に、ボルト５１を緩めて三角形のサポート５０を取外す
と共に、上側レール４６及び下側レール４７を弁箱２１
内のレール３８から取外す。図６に示すように、メンテ
ナンス蓋２３を開口した弁箱２１の側面にボルト４３に
より取付ける。これにより、作業は終了する。
程と逆の工程によって、ゲートバルブ２０を元の状態に
戻す。すなわち、図１０に示すように、ロック機構５６
の係合部材５８によるロックを解除する。弁体アッセン
ブリ２５を上側レール４６及び下側レール４７に沿って
弁箱２１内に移動させる。図９に示すように、ピン４２
をピン受け台３９，４１に挿入し、弁体アッセンブリ２
５とエアシリンダ２４とを連結する。図７に示すよう
に、ボルト５１を緩めて三角形のサポート５０を取外す
と共に、上側レール４６及び下側レール４７を弁箱２１
内のレール３８から取外す。図６に示すように、メンテ
ナンス蓋２３を開口した弁箱２１の側面にボルト４３に
より取付ける。これにより、作業は終了する。
【００２８】このように構成しているため、弁体アッセ
ンブリ２５をエアシリンダ２３から切り離して弁体アッ
センブリ２５のみを弁箱２１の外側に搬出できるように
し、この状態でメンテナンスを行なうことができるた
め、メンテナンスの作業性が著しく向上する一方、この
ようなメンテナンスのための構造を設けたとしても、極
めて安価であり、コストの高騰を招くことがない。
ンブリ２５をエアシリンダ２３から切り離して弁体アッ
センブリ２５のみを弁箱２１の外側に搬出できるように
し、この状態でメンテナンスを行なうことができるた
め、メンテナンスの作業性が著しく向上する一方、この
ようなメンテナンスのための構造を設けたとしても、極
めて安価であり、コストの高騰を招くことがない。
【００２９】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、種々変形可能であることは勿論であ
る。
れるものではなく、種々変形可能であることは勿論であ
る。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、弁体
を駆動体から切り離して弁体のみを弁箱の外側に搬出で
きるようにし、この状態でメンテナンスを行なうことが
できるため、メンテナンスの作業性が著しく向上する。
しかも、このようなメンテナンスのための構造を設けた
としても、極めて安価であり、コストの高騰を招くこと
がない。
を駆動体から切り離して弁体のみを弁箱の外側に搬出で
きるようにし、この状態でメンテナンスを行なうことが
できるため、メンテナンスの作業性が著しく向上する。
しかも、このようなメンテナンスのための構造を設けた
としても、極めて安価であり、コストの高騰を招くこと
がない。
【図１】本発明の一実施例によるゲートバルブの斜視
図。
図。
【図２】本発明の一実施例によるゲートバルブの縦断面
図であり、弁が閉成した状態を示す図。
図であり、弁が閉成した状態を示す図。
【図３】本発明の一実施例によるゲートバルブの横断面
図であり、弁が閉成した状態を示す図。
図であり、弁が閉成した状態を示す図。
【図４】本発明の一実施例によるゲートバルブの縦断面
図であり、弁が開成した状態を示す図。
図であり、弁が開成した状態を示す図。
【図５】本発明の一実施例によるゲートバルブの横断面
図であり、弁が開成した状態を示す図。
図であり、弁が開成した状態を示す図。
【図６】メンテナンス蓋が取外されたときのゲートバル
ブの斜視図。
ブの斜視図。
【図７】上側レール及び下側レールが装着されるときの
ゲートバルブの斜視図。
ゲートバルブの斜視図。
【図８】作業窓が開口されているときのゲートバルブの
斜視図。
斜視図。
【図９】作業窓の拡大斜視図。
【図１０】弁体アッセンブリが取り出されたときのゲー
トバルブの斜視図。
トバルブの斜視図。
【図１１】弁体アッセンブリが下側レールにロックされ
ているときのゲートバルブの斜視図。
ているときのゲートバルブの斜視図。
【図１２】弁体アッセンブリが取り出されたときの弁体
アッセンブリの斜視図。
アッセンブリの斜視図。
【図１３】スパッタ装置の斜視図である。
２０ ゲートバルブ ２１ 弁箱 ２３ メンテナンス蓋 ２４ エアシリンダ（駆動体） ２５ 弁体アッセンブリ（弁体） ３９ ピン（解除手段） ４６ 上側レール ４７ 下側レール ５６ ロック機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 3/00 - 3/36 F16K 51/02
Claims (2)
- 【請求項１】弁箱内に弁体が水平方向移動自在に収納さ
れ、この移動方向の弁箱の一方の側部にメンテナンス蓋
が着脱自在に取り付けられ、これの反対側の側部に、弁
体を駆動する駆動体が支持されているゲートバルブにお
いて、 メンテナンス蓋が外されて開口した弁箱の側部の上部及
び下部に、弁体を案内するために着脱自在に取付けられ
る上側レール及び下側レールと、 弁体と駆動体との連結を解除する解除手段と、 上記開口した側部の上側及び下側レールに沿って弁箱か
ら引き出された弁体を固定するロック機構と、を備える
ことを特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項２】弁箱内に弁体が水平方向移動自在に収納さ
れ、この移動方向の弁箱の一方の側部にメンテナンス蓋
が着脱自在に取り付けられ、これの反対側の側部に、弁
体を駆動する駆動体が支持されているゲートバルブのメ
ンテナンス方法であって、 上記弁箱の側部のメンテナンス蓋を取り外してこの側部
を開口する工程と、 開口された弁箱の側部の上部及び下部に、弁体を案内す
るための上側レール及び下側レールを着脱自在に取り付
ける工程と、 弁体と駆動体との連結を解除する工程と、 上記開口した側部の上側及び下側レールに沿って弁箱か
ら弁体を引き出す工程と、 引き出した弁体をロック機構により上側又は下側レール
に固定する工程と、 弁体に所定のメンテナンスを施した後、弁体を上側及び
下側レールに沿って弁箱内に戻し、上側及び下側レール
を取り外し、メンテナンス蓋を弁箱の側部に取り付ける
工程と、を備えることを特徴とするゲートバルブのメン
テナンス方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28199392A JP3241456B2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28199392A JP3241456B2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129549A JPH06129549A (ja) | 1994-05-10 |
| JP3241456B2 true JP3241456B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=17646735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28199392A Expired - Fee Related JP3241456B2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3241456B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT14814U1 (de) * | 2014-12-19 | 2016-06-15 | Vat Holding Ag | Verschlusseinrichtung, insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung |
| US10738896B2 (en) | 2017-02-15 | 2020-08-11 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4633551B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2011-02-16 | 日本バルカー工業株式会社 | ゲートバルブ |
| US7628381B2 (en) | 2007-03-23 | 2009-12-08 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Method for replacing seals in recreational vehicles gate valves without removing valve housing from plumbing |
-
1992
- 1992-10-20 JP JP28199392A patent/JP3241456B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT14814U1 (de) * | 2014-12-19 | 2016-06-15 | Vat Holding Ag | Verschlusseinrichtung, insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung |
| US10738896B2 (en) | 2017-02-15 | 2020-08-11 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06129549A (ja) | 1994-05-10 |
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