CN108488415A - 真空阀 - Google Patents

真空阀 Download PDF

Info

Publication number
CN108488415A
CN108488415A CN201810089403.6A CN201810089403A CN108488415A CN 108488415 A CN108488415 A CN 108488415A CN 201810089403 A CN201810089403 A CN 201810089403A CN 108488415 A CN108488415 A CN 108488415A
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
vacuum
guide rod
closing unit
guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810089403.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108488415B (zh
Inventor
马丁·内策尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VAT Holding AG
Original Assignee
VAT Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VAT Holding AG filed Critical VAT Holding AG
Publication of CN108488415A publication Critical patent/CN108488415A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108488415B publication Critical patent/CN108488415B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/316—Guiding of the slide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0227—Packings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

本发明涉及一种真空阀，包括阀壳体(1)，该阀壳体在内部具有真空区域(4)；设置在阀壳体(1)的真空区域(4)中的关闭单元(5)，至少一个阀开口(2、3)在真空阀的关闭状态下可由所述关闭单元关闭；纵向驱动装置(11)，由该纵向驱动装置可使得关闭单元(5)在纵向(10)上移位，以便使得关闭单元(5)在释放阀开口(2、3)的位置与遮挡阀开口(2、3)的位置之间移位；纵向引导装置(19)，用来平行于纵向(10)可移动地引导关闭单元(5)，其具有平行于纵向(10)延伸的导杆(20)和至少一个导向件(21)。导向件(21)的至少一个支撑元件(36)设置在相对于阀壳体(1)的真空区域(4)密封的区域中。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，其包括：阀壳体，该阀壳体在内部具有真空区域；设置在阀壳体的真空区域中的关闭单元，至少一个阀开口在真空阀的关闭状态下可由所述关闭单元关闭；纵向驱动装置，由该纵向驱动装置可使得关闭单元在纵向上移位，以便使得关闭单元在释放阀开口的位置与遮挡阀开口的位置之间移位；纵向引导装置，用来平行于纵向可移动地引导关闭单元，所述纵向引导装置具有平行于纵向延伸的导杆和至少一个导向件，其中，导杆安置在阀壳体上，并且关闭单元安置于其上的该导向件平行于纵向可移动地被导杆引导，或者所述至少一个导向件安置在阀壳体上，并且关闭单元安置于其上的导杆平行于纵向可移动地被至少一个导向件引导，以及其中至少一个导向件具有至少一个支撑元件，用来平行于纵向可移动地相对于导杆支撑导向件、或者用来平行于纵向可移动地相对于导向件支撑导杆。
背景技术
由US 9,086,173B2已知一种真空阀，其关闭单元具有第一和第二阀板，这些阀板在真空阀的关闭状态下将阀壳体的对置的第一和第二阀开口封闭。这些阀板被关闭单元的支承单元支撑。该支承单元安置在阀杆上，该阀杆从阀壳体的真空区域伸出。在真空阀的打开状态下，阀开口被释放。为了关闭真空阀，支承单元被设置在真空区域之外的纵向驱动装置通过阀杆的轴向移动而移动至阀开口之前，其中，阀板仍然提升离开阀座。支承单元在此借助纵向引导装置相对于阀壳体在相对的侧面、平行于纵向可移动地被引导。关闭单元具有横向驱动部件，借助于这些横向驱动部件因而将阀板顶压到阀座上。
代替横向驱动部件，也可以有扩张部件比如楔形部件、滚轮等，以便把两个阀板顶压到阀座上。当支承单元在真空阀关闭情况下到达终端止挡之后，就会由纵向驱动装置引起这种情况。这种关闭机制在现有技术中已知有各种不同的设计。
这种真空阀特别是在真空设备中用于执行真空过程，特别是在半导体技术中或涂层技术中例如用于制造显示屏。要加工的衬底在此穿过这种真空阀，以便使得衬底从一个真空腔转移到相邻的真空腔。对于较大的板形衬底，阀开口构造成缝隙状，也就是说，具有比宽度明显大的长度。随着要加工的衬底的尺寸变大，在水平方向上输送衬底由于弯折危险而日益困难或者无法再实现。因此已知竖直地(直立地或悬垂地)输送或者近乎竖直地输送这种衬底。缝隙状的阀开口为此竖直地定向，或者近乎竖直地定向。关闭单元与此对应地定向。
这种真空阀例如由AT 14814 U已知。为了能以简单的方式对阀进行维护，在该文献中记载到，关闭单元具有至少一个轨道，借助该轨道可以将关闭单元悬挂在轨道上地或者竖立在轨道上地从阀壳体中拉出到维护位置。为此，要么在把阀壳体的壳体部分取下之后安装附加的轨道，沿着这些轨道可以使得关闭单元从阀壳体中移出，要么为了使得关闭单元相当于阀壳体纵向地引导而存在有可伸缩的轨道，借助于这些轨道可以把关闭单元从阀壳体中拉出。
由JP-3241456 B2已知一种类似的真空阀。
由US 6,899,316 B2已知一种真空阀，其中，关闭单元只有一个阀板，以便在真空阀的关闭状态下将阀壳体的阀开口封闭。类似于由US 9,086,173 B2已知的阀，存在有设置在真空区域外部的纵向驱动装置和设置在关闭单元上的横向驱动部件。关闭单元相对于阀壳体在相对侧沿着纵向可移动地引导。
阀壳体的阀开口的关闭也可以只通过关闭件的直线移动来进行，特别是借助于三维的密封面进行，其例如由DE 37 17 724 A1或US 4,921,213 A已知。
发明内容
本发明的目的是，提出开篇所述类型的有利的真空阀，该真空阀特别是适合于使得大型的板形衬底尤其是沿着竖直的或者很大程度上竖直的方向穿过。根据本发明，这通过具有权利要求1的特征的真空阀得以实现。
在本发明的真空阀中，至少一个导向件的至少一个支撑元件设置在相对于阀壳体的真空区域密封的区域中。
该密封的区域可以与大气连通。对该密封区域的泵吸在原则上也是可考虑且可行的。
通过本发明的构造，在至少一个支撑元件的区域中，在关闭单元移位时产生的颗粒不会进入到真空阀的真空区域中，由此保护敏感的衬底免受污物。
有利地，关闭单元悬挂地保持在纵向引导装置上。“关闭单元悬挂地保持在纵向引导装置上”意味着，设置在关闭单元上方的纵向引导装置至少承受着关闭单元的大部分重量、即至少关闭单元重量的50％以上、优选至少基本上关闭单元的全部重量。
通过关闭单元的悬挂设置，该关闭单元可以以相对小的抗弯折刚度来构造，从而能够节省材料成本。在一种有利的实施方式中，在关闭单元的下方的区域内，可以完全省去关闭单元的纵向引导装置。
导向件或相应的导向件可以有益地具有被导杆穿过的贯穿开口。由此实现用于至少一个支撑元件的密封区域的有利构造。优选为此可以使得至少一个导向件与至少一个隔膜波纹管连接，该隔膜波纹管延续了密封的区域，并且导杆延伸穿过该隔膜波纹管。至少沿着在导杆与至少一个导向件之间可相对移动的区域，导杆例如可以具有圆形的横截面。
在本发明的纵向引导装置中，要么可以把导杆安置在阀壳体上，并且关闭单元安置于其上的至少一个导向件沿着导杆平行于纵向相对于导杆可移动、进而相对于阀壳体可移动；要么可以把至少一个导向件安置在阀壳体上，并且关闭单元安置于其上的导杆相对于至少一个导向件平行于纵向相对于至少一个导向件可移动、进而相对于阀壳体可移动。
在一种有利的实施方式中，导杆可以在真空阀的相对的壁之间伸展，至少一个导向件可移动地沿着导杆被引导，其中至少一个导向件设置在阀壳体的内部，以及在相对侧上第一和第二隔膜波纹管与导向件连接，至少一个支撑元件设置在密封的区域中，所述隔膜波纹管使得该密封的区域延续并且导杆延伸穿过所述隔膜波纹管。在另一种可能的实施方式中，阀杆可移动地被第一和第二导向件引导，所述第一和第二导向件在阀壳体的相对侧上在外面设置在阀壳体上，其中，与相应的导向件连接的隔膜波纹管经由阀壳体的相应的开口延伸到阀壳体的内部中。
附图说明
下面参照附图介绍本发明的其它优点和细节。在这些附图中：
图1为在真空阀的打开状态下根据本发明的第一实施例的真空阀的视图；
图2为在图1中的A观察方向上的端部视图；
图3为沿着图2的线BB剖切的剖视图；
图4为沿着图3的线CC剖切的剖视图；
图5为沿着图3的线DD剖切的剖视图；
图6、图7和图8为在真空阀的“半关闭状态下”类似于图3至5的剖视图；
图9为沿着图6的线EE剖切的剖视图；
图10和图11为图6的放大的局部剖视图；
图12为在真空阀的完全关闭的状态下类似于图8的剖视图；
图13为真空阀的斜视图，其带有安置在其上的维护辅助装置；
图14为类似于图3的剖视图，然而带有维护辅助装置且处于真空阀的维护位置；
图15和图16为可共同地从阀壳体中拉出的单元的视图和斜视图；
图17至28为本发明的第二实施例的类似于图1至12的视图和剖视图。
具体实施方式
下面参照图1至16介绍本发明的第一实施例。
真空阀具有阀壳体1，该阀壳体带有设置在相对的壁中的第一和第二阀开口2、3，这些阀开口优选具有相同的形状和大小。
真空区域4位于阀壳体1的内部，也就是说，真空阀被构造为，使得：如果第一和第二阀开口2、3(例如被盲法兰)封闭，则在该真空区域4中至少在一定时间内可以维持10-3mbar的真空，所述时间至少为一小时以上。
在真空阀的真空区域4中设置了封闭单元5。该封闭单元5具有被支承单元8支承的第一和第二阀板6、7。支承单元8安置在从真空区域4中伸出来的阀杆9上。为此可以采用已知的真空密封的直线式穿引件。在该实施例中示意性地示出了密封的滑动式引导件。也可以以有利的方式采用波纹管穿引件。
阀杆9朝向纵向10取向，也就是说，阀杆9的纵向中轴线平行于纵向10延伸。
纵向驱动装置11用于使得阀杆9平行于纵向10移动，进而用于使得关闭单元5平行于纵向10移动。在该实施例中，该纵向驱动装置通过两个气动的活塞-气缸单元予以实现，这些活塞-气缸单元通过轭状件12相互连接，并与阀杆9连接。该纵向驱动装置也可以采用其它方式来构造。纵向驱动装置11也可以具有不同于气动地工作的促动器。
第一和第二阀板6、7用于在真空阀的关闭状态下(图12)真空密封地封闭第一和第二阀开口2、3。这些阀板为此顶压到包围阀开口2、3的阀座上。为了密封，以通常的方式采用弹性的密封圈，该密封圈可以分别设置在阀板6、7上、或者设置在密封座上(图中未示出)。
为了使得真空阀从其打开状态(图1至5)关闭，阀板6、7在所述打开状态下分别处于打开位置，首先由纵向驱动装置11使得关闭单元从其释放阀开口的位置移动至遮盖阀开口2、3的位置(图6至11)。在此，在第一和第二阀开口2、3的平行的轴线13、14的方向上观察，阀板6、7完全遮盖阀开口2、3，但在该实施例中仍然提升离开(间隔开)阀座。为了使得阀板6、7从这些中间位置(真空阀的“半关闭”状态)沿横向16移动，以便阀板6、7移位至其关闭位置，采用了支承单元8的横向驱动装置15，其中这些阀板在所述关闭位置顶压到阀座上。这些横向驱动装置在附图中仅仅简化地示出。在该实施例中，所述横向驱动装置是气动地操纵的活塞-气缸单元。在该实施例中，如优选的那样，设置了多个在竖直方向上彼此间隔开的横向驱动装置15。
在所示实施例中，支承单元8具有第一和第二支承杆17、18，这些支承杆垂直于纵向10且垂直于横向16延伸，并通过横向驱动装置15的气缸壳体连接。这在附图中同样仅仅简化地示出。
关闭单元5例如可以类似于在说明书前序部分提到的US 9,086,173B2来构造。
阀开口2、3具有明显大于宽度b的长度l，长度l优选为宽度b的四倍以上。阀开口2、3因而缝隙状地构造。阀板6、7具有与此对应的形状。真空阀因而尤其可以用来穿引板状的衬底。真空阀在此被设计用于竖直地或者至少很大程度上竖直地输送这种板形的衬底。因而在规定的安装状态下，第一和第二阀开口的纵向延展至少很大程度上竖直。有益地，阀开口2、3的纵向延展与垂线的偏差处于最多+/-30°、优选最多+/-20°的范围内。
关闭单元5如优选的那样通过在该实施例中位于关闭单元5上方的纵向引导装置19平行于纵向10可移动地被引导。该纵向引导装置19具有优选圆柱形的导杆20，该导杆朝向纵向10取向，也就是说，导杆20的纵轴线平行于纵向10。在根据图1至16的实施例中，导杆20被阀壳体保持住，且在关闭单元5通过纵向驱动装置11平行于纵向10进行移位时并不运动。被导杆20穿过贯穿开口的套筒形的导向件21由导杆20平行于纵向10可移动地引导。在导向件21上，在其上端区域中安置着支承单元8。由此把关闭单元5悬挂地保持在纵向引导装置19上。纵向引导装置19在此至少承受着支承单元8的重量的主要部分(支承单元8的重量的一半以上)，优选至少基本上承受着支承单元8的全部重量。
导杆(参照真空阀的工作状态)水平地取向，也就是说，纵向10水平地取向。也可以规定与水平线的偏差，该偏差优选小于30°、特别优选小于20°。如果阀开口2、3的纵向延展垂直于导杆20取向，则阀开口2、3的纵向延展由此具有与垂直取向相应的偏差。由此可以把板形的衬底相对于垂直的取向以相应的斜度输送经过阀开口2、3。由此可以相对于衬底的完全垂直的取向更简单地构造用于衬底的输送机构(因为衬底只需支撑在一侧，衬底朝向该侧倾斜)。阀开口2、3的纵向延展的相对于垂直取向倾斜的取向，在导杆20的水平位置情况下，也可以按如下方式来实现：关闭单元与纵向引导装置19连接，使得阀板6、7的纵向延展具有与导杆20的垂直取向的相应偏差。
为了沿着导杆20可移动地引导该导向件21，采用了设置在穿过导向件21的穿引开口的区域中的支撑元件36。这些支撑元件36在附图中仅仅示意性地示出。例如，这种支撑元件36可以由滚动体构成。在一种有利的实施方式中，例如可以设置滚珠环绕引导装置。另一方面，例如也可以设置滑动衬套或滑动涂层形式的至少一个支撑元件。
导向件21在相对侧分别真空密封地与隔膜波纹管22、23的一端部连接，导杆20在该端部的内部伸展。隔膜波纹管22、23在另一端部真空密封地与连接件26、33连接。
仅仅分别绘出隔膜波纹管22、23的膜片的端侧，而隔膜波纹管22、23的中间区域仅仅用虚线面示出。
隔膜波纹管22、23在其两端分别具有端头件24，该端头件焊接在端侧的膜片上。为了使得隔膜波纹管22、23与导向件21连接，把邻接的端头件24拧紧到导向件21上，其中，为了密封，设置了位于其间的密封圈25。端头件24在隔膜波纹管22的另一端部与罐形的连接件26连接，其中，为了密封，设置了位于其间的密封圈27。罐形的连接件26本身在阀壳体1的开口28的区域中从外面拧紧到该阀壳体上(带有位于其间的密封圈29)，其中，阀壳体1的真空区域4由此在连接件26与隔膜波纹管22之间延续。
在隔膜波纹管23的另一端，其端头件24拧紧到插入件30上(带有位于其间的密封圈31)。该插入件30穿过阀壳体1中的开口32插入到连接件33的凹部中。连接件33在开口32的区域中从外面拧紧到阀壳体1上(带有位于其间的密封圈42)，使得阀壳体1的真空区域4在插入件30与阀壳体中的开口32或连接件33的凹部之间的间隙中延续。
导杆20与插入件30固定地连接，其方式例如为，导杆20压入到插入件30的凹部中。
导杆20因而在阀壳体的壁34与阀壳体的相对的壁43之间延伸。
位于隔膜波纹管22、23与导杆20之间且位于穿过导向件21的穿引开口与导杆20之间的空间因而相对于阀壳体1的真空区域4密封。相对于阀壳体1的真空区域4密封的空间在隔膜波纹管23的与导向件21分开的端部在该实施例中通过插入件30来封闭。原则上也可考虑且可行的是，省去插入件30，以及隔膜波纹管23直接与导杆20真空密封地连接(与导杆20的端部间隔开)，并且，导杆20的端部直接插入到连接件33的凹部中。
前述的、与阀壳体1的真空区域4密封的空间与大气连通，在该实施例中通过连接件26上的开口44与大气连通。替代地，该密封的空间原则上也可以被泵吸，或者完全封闭(密封地封闭)。
相对于阀壳体的真空区域4密封的空间因而位于阀壳体1的内部。用于可移动地相对于导杆20引导该导向件21的支撑元件36也位于该密封的空间中。
连接件26拧紧在真空阀的壁34上，该壁可从余下的阀壳体1取下(在图中未示出的螺钉打开之后)。为了能把该壁34从阀壳体1取下，可以将插入件30从连接件33拔出。因而针对导杆20的与可取下的壁34远离的端部，设计了与相对的壁43的插塞连接。
为了在该插塞连接的断开状态下使得导杆20在其与壁34分开的端部的区域中受到支撑，以防向下沉降，采用了可从图16最清晰地看到的U形的支承板35。该支承板35在一端固定在壁34上，在另一端支撑着导杆20，在该实施例中的方式为，该支承板具有开口，隔膜波纹管23的端头件24配合到该开口中。在导杆20的刚度足够的情况下，也可以省去支承板。
隔膜波纹管22、23的端头件24也可以全部地或者部分地省去，其中，隔膜波纹管22、23能够以其端部直接焊接到要与其端部连接的部分上。
如已述，也可以省去插入件30，并且导杆20能够以其端部直接经由阀壳体的开口23插入到连接件33中的凹部中。
在足够厚地构造阀壳体的壁的情况下，也可以省去连接件33，导杆20的端部直接插入到阀壳体的壁中的凹部中。
在该实施例中，连接件26的罐形构造用于在真空阀的打开位置容纳缩拢的隔膜波纹管22的一部分。在相应地较大地构造阀壳体的情况下，也可以省去连接件26的罐形构造，该连接件例如仅被构造成顶盖。也可考虑且可行的是，完全省去连接件26，导杆20的端部例如通过焊接直接固定在壁34上。
为了能够在阀壳体和关闭单元5的区域中承受不同的热膨胀，特别是在真空阀被装入其中的真空设备受热时，纵向驱动装置11的驱动壳体37可以沿着垂直于纵向10且垂直于阀开口2、3的轴线13、14的方向可移动地与阀壳体1连接。纵向驱动装置11的重量在此可以被弹性机构承受。这种构造是已知的。也可以规定，沿着垂直于纵向10且垂直于阀开口2、3的轴线13、14的方向可运动地使得阀杆9与关闭单元5连接。
通过驱动壳体37与阀壳体1的可运动的连接，或者通过阀杆9与关闭单元5的可运动的连接，通过这种方式也可以确保关闭单元5的重量被纵向引导装置19承受。
在该实施例中，如优选的那样，因而仅在关闭单元5的上方存在纵向引导装置19。在其它实施方式中，可以在关闭单元下方存在导向件，这些导向件支撑着关闭单元以防平行于阀开口2、3的轴线13、14的移动，但优选不承受关闭单元5的重量。
如果要对真空阀进行维护，则可以将维护辅助装置38安置在阀壳体1上。该维护辅助装置是固定在(特别是拧紧在)阀壳体1上的保持轨39，该保持轨具有直线引导件，支承臂40通过该直线引导件沿着保持轨39可移动地引导。支承臂40固定在(特别是拧紧在)阀壳体1的可取下的壁34上。结果，壁34的拧紧装置被拧上，包括壁34、保持在壁34上的纵向引导装置19、关闭单元5和纵向驱动装置11的单元从阀壳体1的余下部分中拉出。在此，导杆20的与壁34分开的端部区域和阀壳体1的壁43的插塞连接松开，参见图14。拉出的单元再次在图15、16中示出(无维护辅助装置)。
在维护结束之后，该单元又被推入，其中，导杆20的与壁34分开的端部连同布置在其上的插入件30又推入到壁的开口32和连接件33的凹部中，也就是说，插塞连接件又封闭了。
用于导杆20的与壁34分开的端部的插塞连接装置也可以采用改型的方式来构造，比如就像已述那样没有插入件30。
所述实施例的不同的其它改型是可考虑的且是可行的，而不偏离于本发明的范围。因而例如可以设置两个在纵向10上彼此间隔开的通过隔膜波纹管相互连接的导向件21。
本发明的第二实施例在图17至28中示出。撇开下述区别不看，第二实施例的构造相应于第一实施例的构造，第一实施例的和可能的变型的描述也适用于第二实施例。相同的或至少类似的部件标有与第一实施例中相同的附图标记。
第一实施例相比于第一实施例的主要区别在于，在此，关闭单元5安置在纵向引导装置19的导杆20上，其中，在关闭单元5平行于纵向10通过纵向引导装置11移动时导杆20随着关闭单元5移动。这里设置了两个套筒形的导向件21，这些导向件被导杆20穿过且安置在阀壳体1上。
支承单元8在导杆20上的固定例如可以通过套筒形的连接件41进行，该连接件被导杆20穿过，且在导杆20的纵向上不可移动地与其连接。隔膜波纹管22、23的一端真空密封地与连接件41的相对侧连接。隔膜波纹管22、23的另一端真空密封地与导向件21连接。与连接件41的和与导向件21的连接可以采用与第一实施例中隔膜波纹管22、23与导向件21和与连接件26、33的连接类似的方式进行。
用来相对于导向件21可移动地支撑导杆20的支撑元件36可以采用与第一实施例中类似的方式构造。这些支撑元件36位于导向件21的穿引开口的区域中。
隔膜波纹管22、23与导杆20之间的空间相对于阀壳体1的真空区域4密封。此外，该密封的空间延伸穿过连接件41的穿引开口与导杆20之间的间隙。相对于真空区域4密封的空间因而至少部分地位于阀壳体1的内部。从隔膜波纹管的与连接件41分开的端部出发，该密封的空间还延伸经过在导向件21的内部穿引开口与导杆20之间的中间腔，并且还与大气连通(原则上也可以泵吸)。导向件21的支撑元件36所在的区域由此相对于阀壳体1的真空区域4密封。
隔膜波纹管的彼此相向的端部也可以直接与导杆20真空密封地连接，例如焊接到其上。
代替隔膜波纹管22、23，在该第二实施例中，也可以设置带有作为密封装置的密封圈的移动穿引装置，以便导杆20密封地穿过阀壳体的开口28、32从阀壳体中伸出。
为了在该第二实施例中为维护目的能够把壁34连同安置在其上的部件取下来，这里必须首先松开隔膜波纹管23与指配的导向件21的连接。
在本发明的另一实施例中，关闭单元5也可以仅仅被设置用来真空密封地封闭一个单独的阀开口。为了构造在真空阀的打开状态下穿过真空阀的贯穿通道，在阀壳体中，优选在与阀开口相对的壁上，有另一个开口，其中，该另一开口没有阀座。于是，为了在真空阀的关闭状态下把关闭单元5支撑在与纵向引导装置19相对的一侧，可以设置用于关闭单元的相应的支撑元件。
采用本发明的方式构造的这种真空阀因而仅仅具有一个阀开口，以及只有一个阀板。
在本发明的其它实施方式中，为了打开和关闭真空阀，也可以只有一个纵向驱动装置，但没有横向驱动装置。为此，该纵向驱动装置可以在真空阀关闭时操纵相应的扩张件，或者可以存在个三维的密封面。扩张件和三维密封面的这种构造是已知的，例如由在说明书引言部分中提到的文献已知。
附图标记清单
1 阀壳体 23 隔膜波纹管
2 第一阀开口 24 端头件
3 第二阀开口 25 密封圈
4 真空区域 26 连接件
5 关闭单元 27 密封圈
6 第一阀板 28 开口
7 第二阀板 29 密封圈
8 支承单元 30 插入件
9 阀杆 31 密封圈
10 纵向 32 开口
11 纵向驱动装置 33 连接件
12 轭状件 34 壁
13 轴线 35 支承板
14 轴线 36 支撑元件
15 横向驱动装置 37 驱动壳体
16 横向 38 维护辅助装置
17 第一支承杆 39 保持轨
18 第二支承杆 40 支承臂
19 纵向引导装置 41 连接件
20 导杆 42 密封装置
21 导向件 43 壁
22 隔膜波纹管 44 开口

Claims (15)

1.一种真空阀，包括：
阀壳体(1)，该阀壳体在内部具有真空区域(4)；
设置在该阀壳体(1)的该真空区域(4)中的关闭单元(5)，至少一个阀开口(2、3)在真空阀的关闭状态下能够由所述关闭单元关闭；
纵向驱动装置(11)，由该纵向驱动装置能够使得关闭单元(5)在纵向(10)上移位，以便使得关闭单元(5)在释放阀开口(2、3)的位置与遮挡阀开口(2、3)的位置之间移位；
纵向引导装置(19)，用来平行于纵向(10)可移动地引导关闭单元(5)，其具有平行于纵向(10)延伸的导杆(20)和至少一个导向件(21)，
其中，所述导杆(20)安置在阀壳体(1)上，以及所述关闭单元(5)安置于其上的该导向件(21)平行于纵向(10)可移动地被导杆(20)引导；或者，所述至少一个导向件(21)安置在阀壳体(1)上，以及所述关闭单元(5)安置于其上的该导杆(20)平行于纵向(10)可移动地被至少一个导向件(21)引导，以及
其中，所述至少一个导向件(21)具有至少一个支撑元件(36)，用来平行于纵向(10)可移动地相对于导杆(20)来支撑导向件(21)，或者用来平行于纵向(10)可移动地相对于导向件(21)来支撑导杆(20)，
其特征在于，所述至少一个支撑元件(36)设置在相对于阀壳体(1)的真空区域(4)密封的区域中。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述关闭单元(5)悬挂地保持在所述纵向引导装置(19)上。
3.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述导杆(20)穿过贯穿开口，所述贯穿开口穿过所述至少一个导向件(21)。
4.如权利要求3所述的真空阀，其特征在于，所述导杆(20)具有圆形的横截面。
5.如权利要求3或4所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个导向件(21)与至少一个隔膜波纹管(22、23)连接，该隔膜波纹管延续了所述密封的区域，并且所述导杆(20)延伸穿过该隔膜波纹管。
6.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，可移动地被导杆(20)引导的至少一个导向件(21)被设置在阀壳体(1)的内部。
7.如权利要求6所述的真空阀，其特征在于，与导向件(21)连接的第一和第二隔膜波纹管(22、23)设置在所述至少一个导向件(21)的相对侧上，所述第一和第二隔膜波纹管使得所述至少一个支撑元件(36)设置于其中的、该密封的区域延续，并且所述导杆(20)延伸穿过所述第一和第二隔膜波纹管。
8.如权利要求6或7所述的真空阀，其特征在于，所述导杆(20)在阀壳体(1)的第一壁(34)与阀壳体(1)的相对的第二壁(43)之间延伸，其中该第一壁可从阀壳体(1)的基体取下，其中，所述导杆(20)在第二壁(43)的区域中通过插塞连接与阀壳体(1)连接，其中，在把第一壁(34)从阀壳体(1)的基体取下时，导杆(20)保持与第一壁(34)连接，而插塞连接松开。
9.如权利要求8所述的真空阀，其特征在于，成型的支承板被固定在所述第一壁(34)上，所述导杆(20)支撑在与第一壁(34)分开的端部区域中。
10.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，所述阀杆(20)可移动地被第一和第二导向件(21)引导，所述第一和第二导向件在阀壳体的相对侧上在外面安置在阀壳体上，其中，相应的隔膜波纹管(22、23)经由阀壳体(1)的相应的开口延伸到阀壳体(1)的内部中。
11.如权利要求1至10中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述纵向(10)处于水平，或者相对于水平线具有小于30°的角度。
12.如权利要求1至11中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个支撑元件(36)设置于其内的、该密封的区域与大气连通或者被泵吸。
13.如权利要求1至12中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述关闭单元(5)安置在平行于纵向(10)取向的阀杆(9)上。
14.如权利要求1至13中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述关闭单元(5)具有第一和第二阀板(6、7)，借助于所述第一和第二阀板能够在真空阀的关闭状态下使得相对的第一和第二阀开口(2、3)封闭。
15.如权利要求1至14中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个阀开口(2、3)具有垂直于其轴线(13、14)且垂直于纵向(10)测得的长度(l)，该长度的大小为其平行于纵向(10)测得的宽度(b)的四倍以上。
CN201810089403.6A 2017-02-15 2018-01-30 真空阀 Active CN108488415B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT532017 2017-02-15
ATA53/2017 2017-02-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108488415A true CN108488415A (zh) 2018-09-04
CN108488415B CN108488415B (zh) 2021-03-26

Family

ID=63106298

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810089403.6A Active CN108488415B (zh) 2017-02-15 2018-01-30 真空阀

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10738896B2 (zh)
JP (1) JP7084150B2 (zh)
KR (1) KR102523234B1 (zh)
CN (1) CN108488415B (zh)
TW (1) TWI751273B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113167409A (zh) * 2018-11-27 2021-07-23 Vat控股公司 锁定装置、锁定系统以及用于操作锁定装置的方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021114422A1 (de) * 2021-06-04 2022-12-08 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102022114806A1 (de) 2022-06-13 2023-12-14 Vat Holding Ag Ventil

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04236862A (ja) * 1991-01-18 1992-08-25 Irie Koken Kk 無摺動ゲートバルブ
CN2529021Y (zh) * 2002-03-16 2003-01-01 东华工程科技股份有限公司 真空锁气阀
CN101889162A (zh) * 2007-12-06 2010-11-17 Vat控股公司 真空阀
CN103574084A (zh) * 2012-07-19 2014-02-12 Vat控股公司 真空阀
CN103574139A (zh) * 2012-07-19 2014-02-12 Vat控股公司 真空阀
US20150075659A1 (en) * 2013-08-12 2015-03-19 Applied Materials Israel, Ltd. Slit valve with a pressurized gas bearing
US20160084389A1 (en) * 2014-09-24 2016-03-24 Tokyo Electron Limited Gate valve and substrate processing system

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT14814B (de) 1900-05-28 1904-01-25 Albert Brown Elektrische Lampe mit Widerstandsstift zwischen den Kohlenelektroden.
US3258243A (en) 1963-04-02 1966-06-28 Grove Valve & Regulator Co Vacuum valve having a gate member received in retractable guideways
DE3717724A1 (de) 1987-05-26 1988-12-08 Schertler Siegfried Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse
DE3831249A1 (de) 1988-09-14 1990-03-22 Schertler Siegfried Ventilschieber
JP3241456B2 (ja) 1992-10-20 2001-12-25 芝浦メカトロニクス株式会社 ゲートバルブ及びこれのメンテナンス方法
US6899316B2 (en) 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
JP2005240883A (ja) 2004-02-25 2005-09-08 Nippon Valqua Ind Ltd 真空用ゲート弁
KR100629322B1 (ko) 2005-10-14 2006-10-02 주식회사 에이티에스엔지니어링 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브
WO2007134334A2 (en) 2006-05-15 2007-11-22 High Vacuum Apparatus Mfg., Inc Gate valve having service position
US9562612B2 (en) 2012-07-12 2017-02-07 Hva, Llc Pressure control valve assembly
EP2876341B1 (de) 2013-11-21 2015-10-21 VAT Holding AG Verfahren zum Betrieb eines Ventils
KR102270597B1 (ko) * 2014-04-02 2021-06-29 배트 홀딩 아게 진공밸브
JP2016102588A (ja) 2014-11-28 2016-06-02 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04236862A (ja) * 1991-01-18 1992-08-25 Irie Koken Kk 無摺動ゲートバルブ
CN2529021Y (zh) * 2002-03-16 2003-01-01 东华工程科技股份有限公司 真空锁气阀
CN101889162A (zh) * 2007-12-06 2010-11-17 Vat控股公司 真空阀
CN103574084A (zh) * 2012-07-19 2014-02-12 Vat控股公司 真空阀
CN103574139A (zh) * 2012-07-19 2014-02-12 Vat控股公司 真空阀
US20150075659A1 (en) * 2013-08-12 2015-03-19 Applied Materials Israel, Ltd. Slit valve with a pressurized gas bearing
US20160084389A1 (en) * 2014-09-24 2016-03-24 Tokyo Electron Limited Gate valve and substrate processing system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113167409A (zh) * 2018-11-27 2021-07-23 Vat控股公司 锁定装置、锁定系统以及用于操作锁定装置的方法
CN113167409B (zh) * 2018-11-27 2023-08-18 Vat控股公司 锁定装置、锁定系统以及用于操作锁定装置的方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP7084150B2 (ja) 2022-06-14
KR102523234B1 (ko) 2023-04-18
CN108488415B (zh) 2021-03-26
JP2018132187A (ja) 2018-08-23
TW201833469A (zh) 2018-09-16
KR20180094491A (ko) 2018-08-23
TWI751273B (zh) 2022-01-01
US10738896B2 (en) 2020-08-11
US20180231133A1 (en) 2018-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108488415A (zh) 真空阀
US9157538B2 (en) Method of operating a valve
CN106564662B (zh) 一种气缸移动输送式包装袋烘干机
CN103342205B (zh) 一种卡匣及搬运玻璃基板的装置
CN205383430U (zh) 立式气瓶转运充气装置
CA2384903A1 (en) Vacuum holding device
CN104347460B (zh) 晶圆传递腔室
CN103591365B (zh) 阀
KR20230024319A (ko) 용융 설비 및 방법
CN104752257B (zh) 真空腔室的上盖驱动机构及应用其的真空腔室
CN108408465A (zh) 一种可调真空平面吸盘装置
KR100629322B1 (ko) 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브
ITBZ940015A1 (it) Macchina da stampa.
ES2738316T3 (es) Aparato de embalaje que comprende un accionador y procedimiento de operación del aparato de embalaje
CN103574084B (zh) 真空阀
KR101099603B1 (ko) 챔버 및 이를 이용한 기판 처리 방법
CN204094807U (zh) 一种手套箱
CN206263578U (zh) 一种输液器自动装配装置
KR100959821B1 (ko) 글러브박스용 글러브 이송장치
CN103448044B (zh) 组合式吸附加工平台
CN208297067U (zh) 一种化工液体包装检漏装置
CN203176344U (zh) 一种伸缩机构
CN106281993A (zh) 微生物培养鉴定系统及方法
ES2905577T3 (es) Dispositivo para envasar productos a granel en bolsas de boca abierta
CN105883076B (zh) 限位开关包装机的包装盒撑开装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant