KR100875181B1 - 반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판의 하면을 지지하는 지지로울러의 조정작업을 용이하게 하고 유리기판의 크기에 따라 지지로울러의 수를 변경시키기 용이하도록 한 것이다.

이를 위해, 본 발명은 유리기판의 진행방향과 평행하도록 설치된 지지대(1)에 의해 지지되고, 상기 지지대(1)에 수직하도록 다수개 설치되며, 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 유리기판을 이송시키는 반송샤프트(22)와; 상기 유리기판의 양측 변부를 지지하도록 반송샤프트(22)에 설치되는 반송로울러(3)와; 상기 유리기판의 하면을 지지하며, 외력을 작용함에 의해 상기 반송샤프트(22)의 좌우 방향으로 설치 위치를 가변시키도록 설치되며, 상기 반송샤프트의 외주면과 접면하는 내측면부에 오링(O-ring)이 삽입 설치되는 지지로울러(23):를 포함하여 이루어진 반송장치를 제공한다.

반송장치, 지지로울러

Description

반송장치{transfer apparatus}

도 1은 종래 반송장치를 나타낸 구성도.

도 2는 도 1의 반송장치에 유리기판이 탑재된 상태를 나타낸 상태도.

도 3은 도 1의 반송샤프트 및 지지로울러의 구조를 나타낸 확대도.

도 4는 도 3의 지지로울러의 내부 구조를 나타낸 측면도.

도 5는 본 발명 반송장치를 나타낸 구성도.

도 6a는 도 5의 지지로울러 구조를 나타낸 정면도.

도 6b는 도 6a의 지지로울러를 Ⅰ-Ⅰ선을 따라 절개한 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

2a : 고정홈 3 : 반송로울러

22 : 반송샤프트 23 : 지지로울러

23a : 오링

본 발명은 반송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판의 하면을 지지하는 지지로울러의 설치 위치를 자유롭게 변경할 수 있도록 한 반송장치에 관 한 것이다.

최근 액정표시장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.

상기 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 유리기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 유리기판과, 상기 두 유리기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 유리기판 제작공정, 액정셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.

먼저, 유리기판 제작공정은 세정된 유리기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제작공정과 칼라필터 제작 공정으로 이루어진다.

상기 박막트랜지스터 제작공정은 하부 유리기판 상에 복수의 박막트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하며, 상기 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 상부 유리기판 상에 염료나 안료를 사용하여 R. G. B 색상의 칼라필터층을 형성하여 공통전극을 형성하는 공정을 말한다.

다음으로, 상기 액정셀 공정은 박막트랜지스터 공정과 칼라필터 공정이 완료된 상부 및 하부 유리기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정셀을 제조하는 공정이며, 상기 모듈 공정은 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 박막트랜지스터 액정표시장치 패널과 신호처리 회로 부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정이다.

특히, 액정표시장치의 유리기판 제작공정은 실리콘 반도체 제조공정과 유사하여 유리기판 상에 증착된 박막을 패터닝(Patterning)하기 위해 사진(Photolithography), 식각(Etching), 세정(Cleaning)과 같은 단위공정으로 이루어지는 데, 이와 같은 단위 공정은 상기 박막의 형성에 따라 다수 번에 걸쳐 반복 작업이 필요하다.

여기에서, 상기 유리기판은 반송장치에 의해 각각의 사진, 식각, 세정 및 증착을 위해 각 단위 공정 위치로 반송되어야 할 뿐만 아니라, 상기 식각 및 세정 공정시 공정의 효율을 높이기 위해 반송과 동시에 식각 및 세정 공정이 이루어질 수도 있다.

이러한 반송장치에 관해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 반송장치를 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1의 반송장치에 유리기판이 탑재된 상태를 나타낸 상태도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 반송장치는 유리기판의 진행방향과 평행하게 설치되는 지지대(1)와, 상기 지지대(1)의 길이방향에 수직함과 아울러 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 반송샤프트(2)와, 상기 반송샤프트(2)의 양측에 설치되어 유리기판을 반송시키는 반송로울러(3)와, 상기 반송샤프트(2)에 유리기판의 하면을 지지하도록 설치되는 지지로울러(11)를 포함하여 이루어진다.

상기 반송로울러(3)에는 도 2에 나타난 바와 같이 유리기판(G)의 장방향 또는 단방향의 변부가 탑재되며, 상기 지지로울러(11)는 유리기판(G)의 하면을 지지 하도록 설치된다.

이러한 반송로울러(3)는 그 일단부가 헬리컬 기어(도시하지 않음) 혹은 타임 벨트(도시하지 않음)에 연결되며, 상기 헬리컬 기어 및 타임 벨트는 모터에 연결된다.

이에 따라, 상기 모터의 구동력에 의해 반송로울러(3) 및 지지로울러(11)가 회동되며, 상기 반송로울러(3) 및 지지로울러(11)가 회동됨에 따라 유리기판이 일방향으로 진행하게 되어 유리기판(G)을 이송할 수 있게 된다.

한편, 상기 반송샤프트(2)에는 유리기판의 처짐을 방지하기 위해 지지로울러(11)가 설치되는데, 상기 지지로울러(11)는 유리기판(G)의 길이 및 두께에 따라 설치 위치와 개수를 변경하는 것이 일반적이다.

도 3은 도 1의 반송샤프트 및 지지로울러의 구조를 나타낸 확대도이고, 도 4는 도 3의 지지로울러의 내부 구조를 나타낸 측면도이다.

도 3을 참조하면, 상기 반송샤프트(2)에는 다수개의 고정홈(2a)을 지지로울러(11)의 폭보다 크게 형성하고, 상기 고정홈(2a)에는 볼트(11c)에 의해 위치를 고정하는 구조의 지지로울러(11)를 설치한다.

따라서, 상기 지지로울러(11)를 고정홈(2a)의 임의의 위치에 위치시킨 다음에 볼트(11c)를 조임으로써 상기 지지로울러(11)의 설치 위치를 임의로 조절할 수 있게 된다. 이때, 상기 지지로울러(11)는 고정홈(2a)의 길이에 한정되어 설치 위치를 조절할 수 있다.

이러한 지지로울러(11)는 도 4와 같이 유리기판에 접하는 기판 접촉부(11b)를 고무재질로 형성하고, 반송샤프트(2)와 지지로울러(11)간의 체결력을 강화하기 위해 그 내부에 스테인레스 재질의 가압부재(11a)가 설치된다.

그러나, 이와 같은 구조의 반송장치는 다음과 같은 문제점이 있다.

먼저, 유리기판의 종류, 다시 말해 유리기판의 두께 및 길이에 따라 지지로울러(11)의 위치를 변경해야 하므로, 이러한 유리기판의 종류를 고려하여 반송샤프트(2)의 고정홈(2a)을 가공해야 한다.

또한, 상기 지지로울러(11)는 탑재되는 유리기판의 종류와 유리기판의 휘는 정도를 고려하여 설치하는 개수를 결정해야 하는데, 상기 지지로울러(11)의 수를 늘리는 경우에는 기존의 반송샤프트(2)에 고정홈(2a)을 추가로 형성해야 하므로 지지로울러(11)의 위치 변경이 자유롭지 못한 문제점이 있다.

그리고, 상기 반송샤프트(2)에 지지로울러(11)를 볼트 체결하기 위해 공구를 사용해야 하므로, 협소한 작업 공간에서는 작업이 어려운 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 유리기판의 종류에 지지로울러를 간편하게 위치 변경시키거나 지지로울러를 추가로 설치하기 용이하도록 한 반송장치를 제공함을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 유리기판의 진행방향과 평행하도록 설치된 지지대에 의해 지지되고, 상기 지지대에 수직하도록 다수개 설치되며, 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 유리기판을 이송시키는 반송샤프트와; 상기 유리기판의 양측 변부를 지지하도록 반송샤프트에 설치되는 반송로울러와; 상기 유리기판의 하면을 지지하고, 외력을 작용함에 의해 상기 반송샤프트의 좌우 방향으로 설치 위치를 가변시키도록 설치되며, 상기 반송샤프트의 외주면과 접면하는 내측면부에 오링(O-ring)이 삽입 설치되는 지지로울러를 포함하여 이루어진 반송장치를 제공한다.

본 발명에 따른 반송장치에 관해 종래와 동일한 부분에 대해서는 동일한 도번을 부여하고 동일한 구조에 있어서는 그 설명을 생략하기로 한다.

이하, 본 발명 반송장치에 관해 참조도면 도 5 내지 도 6b를 참조하여 설명하기로 한다.

도 5는 본 발명 반송장치를 나타낸 구성도이고, 도 6a는 도 5의 지지로울러 구조를 나타낸 정면도이며, 도 6b는 도 6a의 지지로울러를 Ⅰ-Ⅰ선을 따라 절개한 사시도이다.

본 발명에 따른 반송장치는 반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 유리기판 및 PDP(플라즈마 디스플레이 패널) 표시장치용 유리기판 등 각종 유리기판을 이송하는 장치이다.

도 5를 참조하면, 상기 반송장치는 유리기판의 진행방향과 평행하도록 설치된 지지대(1)에 의해 지지되고, 상기 지지대(1)에 수직하도록 다수개 설치되며, 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 유리기판을 이송시키는 반송샤프트(22)와, 상기 유리기판의 양측 변부를 지지하도록 반송샤프트(22)에 설치되는 반송로울러(3)와, 상기 유리기판의 하면을 지지하며, 외력을 작용함에 의해 상기 반송샤프트(22)의 좌우 방향으로 설치 위치를 가변시키도록 반송샤프트(22)에 설치되는 지지로울러(23)를 포함하여 이루어진다.

상기 지지로울러(23)는 도 6a와 같이 반송샤프트(22)의 외주면과 접면하는 내측면부에, 다시 말해 지지로울러(23)의 삽입홀 테두리부에 오링(23a)(O-ring)이 삽입 설치된다. 따라서, 상기 지지로울러(23)가 반송샤프트(22)에 삽입됨에 따라 오링(23a)이 반송샤프트(22)를 가압하여 상기 지지로울러(23)를 반송샤프트(22)의 임의의 위치에 고정시킬 수 있도록 된다.

이러한 지지로울러(23)는 장방향이 반송샤프트(22)의 축방향에 수직하도록 타원형으로 형성되며 도 6b와 같이 내측면부에는 적어도 1개 이상의 오링(23a)이 설치된다.

물론, 상기 지지로울러(23)는 타원형뿐만 아니라 원통형으로 형성될 수 있음도 이해 가능하다.

이러한 지지로울러(23)는 그 외주면이 유리기판의 하면에 접촉되므로, 상기 유리기판에 스크레치(scratch)가 발생되지 않도록 하기 위해서는 고무 재질 또는 합성수지로 형성되는 것이 바람직하다.

이러한 반송장치를 사용하여 일정한 유리기판을 제작하던 중에 기존 유리기판 사이즈 및 두께와 다른 유리기판을 제작해야 하는 경우가 발생되면, 상기 지지로울러 사이의 거리를 변경시켜 유리기판의 처짐 정도를 조절해야 한다.

이때, 상기 지지로울러(23)의 설치 위치는 유리기판의 두께나 크기에 따라 달라질 수 있으므로 유리기판이 작게 처지도록 배치하는 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명은 반송샤프트(22)에 지지로울러(23)를 삽입하여 설치하는 구조를 제공함으로써 유리기판의 종류에 따라 간편하게 지지로울러(23)의 위치를 조절하거나 반송샤프트(22)에 지지로울러(23)를 추가로 설치하기 간편하도록 하였 다.

이러한 반송장치를 상술한 바와 같이 구성함에 따라, 상기 지지로울러(23)를 설치할 때에 별도의 볼트 등을 이용한 고정 작업이 필요 없다.

또한, 상기 반송샤프트(22) 가공시 지지로울러(23)의 고정 위치를 고려하지 않아도 되며, 상기 반송샤프트(22)에 별도로 고정홈(2a)을 가동하기 위한 공정을 거치지 않아도 된다.

게다가, 상기 지지로울러(23)의 위치를 조절하거나 추가로 지지로울러(23)를 설치할 때에 별도의 공구를 사용하지 않아도 되므로 좁은 공간에서도 작업이 가능하도록 하였다.

이상에서와 같이, 본 발명은 유리기판의 종류 변경에도 간편하게 대처할 수 있는 반송장치를 제공함으로써 유리기판을 제작할 때에 부대적으로 수반되는 라인 정비에 사용되는 시간을 단축시킬 수 있도록 하였다.

Claims (4)

1. 유리기판의 진행방향과 평행하도록 설치된 지지대에 의해 지지되고, 상기 지지대에 수직하도록 다수개 설치되며, 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 유리기판을 이송시키는 반송샤프트와;

   상기 유리기판의 양측 변부를 지지하도록 반송샤프트에 설치되는 반송로울러와;

   상기 유리기판의 하면을 지지하고, 외력을 작용함에 의해 상기 반송샤프트의 좌우 방향으로 설치 위치를 가변시키도록 설치되며, 상기 반송샤프트의 외주면과 접면하는 내측면부에 오링(O-ring)이 삽입 설치되는 지지로울러를 포함하여 이루어진 반송장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 지지로울러는 장방향이 반송샤프트의 축방향에 수직하도록 타원형 또는 원통형으로 형성됨을 특징으로 하는 반송장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 반송샤프트의 외주면과 접면하는 내측면부에는 적어도 1개의 오링이 설치됨을 특징으로 하는 반송장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 지지로울러의 외주면은 고무 재질 또는 합성수지로 형성됨을 특징으로 하는 반송장치.

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