KR20170095442A - 기판 반송용 로봇 - Google Patents

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Abstract

기판 반송용 로봇이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 반송용 로봇은, 지지부의 개방된 전면이 지지부의 전면 내측에 위치된 내측씰벨트 및 외측에 위치된 외측씰벨트에 의하여 이중으로 밀폐되므로, 지지부 내부의 파티클이 지지부의 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다. 또한, 내측씰벨트 및 외측씰벨트가 회전 순환하는 구조일 경우, 내측씰벨트 및 외측씰벨트에 설치된 웨이트가 승강부를 지지하므로, 웨이트에 의하여 승강부가 낙하하려는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다.

Description

기판 반송용 로봇 {ROBOT FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 반송하는 기판 반송용 로봇에 관한 것이다.
로봇(Robot)은 작업에 필요한 프로그램들을 제어장치를 통해 실행시켜서 목적에 따른 작업을 수행하며, 다양한 산업 분야에서 널리 사용되고 있다.
기판 반송용 로봇은 반도체 제조 분야 또는 평판표시장치 제조 분야 등에서 널리 사용되며, 카세트(Cassette)에 적재된 기판을 기판처리장치로 이송하거나, 기판처리장치의 기판을 카세트로 이송하거나, 어느 하나의 기판처리장치에서 다른 하나의 기판처리장치로 기판을 이송한다.
일반적으로, 기판 반송용 로봇은 크린룸의 바닥 등에 설치된 이송레일에 설치되며 바닥과 평행하는 방향으로 직선운동가능하게 설치된 직선운동부, 상기 직선운동부에 일단부측이 지지되어 상기 직선운동부와 함께 운동하며 상기 직선운동부에 지지된 부위를 기준으로 회전가능하게 설치된 회전운동부, 상기 회전운동부의 타단부측에 하단부측이 지지되어 상기 회전운동부와 함께 운동하며 상기 직선운동부와 대략 수직을 이루는 전면이 개방된 사각 기둥 형상의 지지부, 상기 지지부에 승강가능하게 설치된 승강부 및 상기 승강부에 설치되어 상기 승강부와 함께 운동하며 기판을 탑재 지지하는 다축 다관절 구조의 기판지지부를 포함한다.
상기 승강부는 상기 지지부의 내부에 회전가능하게 지지 설치된 볼스크류(Ball Screw), 상기 볼스크류에 맞물려 상기 볼스크류가 회전하면 상기 볼스크류를 따라 승강하면서 상기 기판지지부를 승강시키는 볼너트, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동모터, 상기 볼너트와 상기 기판지지부를 연결시키는 연결블럭, 상기 볼너트의 승강운동을 안내하는 가이드레일 및 승강블럭 등을 포함한다.
상기 승강부의 승강시에는, 상기 볼스크류와 접촉하여 운동하는 상기 볼너트, 상기 가이드레일과 접촉하여 운동하는 상기 승강블럭 및 상호 접촉하거나 운동하는 부품들에 의하여, 파티클이 발생한다. 그런데, 전술한 바와 같이, 기판 반송용 로봇은 크린룸에 설치되어 사용되므로 발생된 파티클이 상기 지지부의 개방면을 통하여 크린룸으로 누설되는 것을 방지하여야 한다.
상기 지지부의 파티클이 크린룸으로 누설되는 것을 방지하기 위하여, 상기 지지부의 개방면에 씰벨트(Seal Belt)를 설치하여 상기 지지부의 개방면을 밀폐한다.
그러나, 상기와 같은 종래의 기판 반송용 로봇은, 상기 지지부의 개방면과 상기 씰벨트의 접촉 부위를 통하여 파티클이 누설될 우려가 있다.
기판 반송용 로봇과 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2011-0050558호(2011.05.13) 등에 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 모든 문제점들을 해결할 수 있는 기판 반송용 로봇을 제공하는 것일 수 있다.
본 발명의 다른 목적은 씰벨트를 이중으로 설치하여, 파티클이 누설되는 것을 방지할 수 있는 기판 반송용 로봇을 제공하는 것일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 반송용 로봇은, 직선운동 및 회전가능하게 설치된 위치조절부; 상기 위치조절부에 하단부측이 지지되어 상기 위치조절부와 함께 운동하며 내부에는 공간이 형성되고, 전면은 개방된 지지부; 일부는 상기 지지부의 내부에 위치되고, 다른 일부는 상기 지지부의 개방된 전면 외측에 위치되며, 승강가능하게 설치된 승강부; 상기 지지부의 외측에 위치된 상기 승강부에 지지되어 상기 승강부와 함께 승강하며 기판이 탑재 지지되는 기판지지부; 일측이 상기 지지부의 개방된 전면 내측에 위치되어 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 내측씰벨트(Inner Seal Belt); 일측이 상기 지지부의 개방된 전면 외측에 위치되어 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 외측씰벨트(Outer Seal Belt)를 포함할 수 있다.
본 실시예들에 따른 기판 반송용 로봇은, 지지부의 개방된 전면이 일측이 지지부의 전면 내측에 위치된 내측씰벨트(Inner Seal Belt) 및 일측이 지지부의 전면 외측에 위치된 외측씰벨트(Outer Seal Belt)에 의하여 이중으로 밀폐되므로, 지지부 내부의 파티클이 지지부의 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다.
또한, 내측씰벨트 및 외측씰벨트가 회전 순환하는 구조일 경우, 내측씰벨트 및 외측씰벨트에 설치된 웨이트가 승강부를 지지하므로, 웨이트에 의하여 승강부가 낙하하려는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다.
또한, 승강부의 볼스크류가 고정되고, 볼너트가 볼스크류에 회전가능하게 설치되어 정역회전하면서 볼스크류를 따라 승강하며, 볼너트의 승강에 의하여 기판지지부가 승강한다. 그러면, 길이가 긴 볼스크류가 회전하지 않으므로, 볼스크류가 진동회전에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 이로 인해 볼스크류의 길이를 상대적으로 길게 형성할 수 있다. 따라서, 기판지지부의 승강 높이를 높이는데 있어서, 상대적으로 제약을 덜 받는 효과가 있을 수 있다.
또한, 볼스크류가 회전하지 않으므로, 볼스크류를 용이하게 설치할 수 있는 효과가 있을 수 있다.
또한, 승강부의 볼스크류의 외주면에 볼너트가 설치되고, 볼너트 상측의 볼스크류의 외주면에 베어링이 설치된다. 그리하여, 볼너트의 길이 방향과 베어링의 길이 방향은 대략 일직선을 이루므로, 승강부 및 승강부가 설치되는 지지부의 볼스크류의 반경 방향측 부피를 감소시킬 수 있는 효과가 있을 수 있다.
또한, 볼너트를 회전시키는 구동모터가 2개 마련된 경우, 어느 하나의 구동모터에 이상이 발생하여도, 다른 하나의 구동모터를 이용하여 볼너트를 회전시킬 수 있으므로 작업의 연속성이 향상될 수 있고, 고장이 나지 않은 다른 하나의 구동모터에 의하여 볼너트가 하강하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송용 로봇의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 지지부 및 승강부의 확대 사시도.
도 3은 내측씰벨트 및 외측씰벨트를 제거한 도 2의 일부 분해 사시도.
도 4는 도 2의 평단면도.
도 5는 도 4에 도시된 베어링 부위의 분해 사시도.
도 6은 도 2의 개략 측단면도.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 반송용 로봇의 평단면도.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 반송용 로봇의 요부 분해 사시도.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
"및/또는"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및/또는 제3항목"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 또는 제3항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결된다 또는 설치된다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 설치될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결된다 또는 설치된다"라고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "∼사이에"와 "바로 ∼사이에" 또는 "∼에 이웃하는"과 "∼에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
이하에서는, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 반송용 로봇에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제1실시예
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송용 로봇의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 지지부 및 승강부의 확대 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송용 로봇은 반도체 또는 평판표시장치를 제조하기 위한 크린룸 등에 설치되어 사용될 수 있으며, 직선운동부(110)와 회전운동부(120)를 가지는 위치조절부, 지지부(130), 승강부(160) 및 기판지지부(170)를 포함할 수 있다. 그리하여, 카세트(Cassette)에 적재된 글라스 또는 실리콘 웨이퍼 등과 같은 기판(S)을 기판처리장치로 이송하거나, 기판처리장치의 기판을 카세트로 이송하거나, 어느 하나의 기판처리장치에서 다른 하나의 기판처리장치로 기판(S)을 이송할 수 있다.
상기 크린룸의 바닥에는 레일 형태의 베이스(50)가 설치될 수 있고, 상기 위치조절부의 직선운동부(110)는 베이스(50)에 설치되어 상기 크린룸의 바닥과 평행하는 방향인 수평으로 직선왕복운동가능하게 설치될 수 있다. 직선운동부(110)는 상기 크린룸의 바닥에 직접 설치될 수도 있는데, 이때에는 직선운동부(110)의 하면에 복수의 휠이 회전가능하게 설치될 수 있다.
상기 위치조절부의 회전운동부(120)는 직선운동부(110)에 일단부측이 지지되어 직선운동부(110)와 함께 운동할 수 있다. 그리고, 회전운동부(120)는 직선운동부(110)에 지지된 부위를 기준으로, 직선운동부(110)에 대하여, 회전가능하게 설치될 수 있다.
상기 위치조절부의 직선운동부(110) 및 회전운동부(120)를 적절하게 운동시키면, 기판지지부(170)를 반송하고자 하는 기판(S)측으로 이동시킬 수 있다.
지지부(130)는 상기 위치조절부의 회전운동부(120)의 타단부측에 하단부측이 지지되어 회전운동부(120)와 함께 운동할 수 있고, 승강부(160)는 지지부(130)에 지지 설치되어 지지부(130)의 길이 방향을 따라 승강할 수 있다. 지지부(130)와 승강부(160)에 대해서는 후술한다.
기판지지부(170)는 승강부(160)에 설치되어 승강부(160)와 함께 승강할 수 있다. 기판지지부(170)는 상호 연결된 부위를 기준으로 회전가능하게 설치된 다축 다관절 구조의 복수의 아암(171)을 포함할 수 있다. 이때, 최외곽에 위치된 어느 하나의 아암(171)은 승강부(160)에 회전가능하게 설치될 수 있고, 최외곽에 위치된 다른 하나의 아암(171)의 단부에는 기판(S)이 탑재 지지되는 스포크(173)가 회전가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 기판지지부(170)는 상하로 간격을 가지면서 복수개 설치될 수 있다.
그리하여, 직선운동부(110)를 이동시키고, 회전운동부(120)를 회전시켜, 반송하고자 하는 기판(S)측에 기판지지부(170)를 위치시킨다. 그 후, 승강부(160)를 승강시켜 기판지지부(170)의 스포크(173)를 반송하고자 하는 기판(S)의 하측에 위치시킨 다음, 상호 회전가능하게 연결된 아암(171)을 펼쳐서 스포크(173)를 반송하고자 하는 기판(S)의 하면 하측에 위치시킨다. 그 후, 승강부(160)를 상승시켜, 반송하고자 하는 기판(S)을 스포크(173)에 탑재한 다음, 상호 회전가능하게 연결된 아암(171)을 접으면 반송하고 하는 기판(S)이 반출된다. 그 후, 상기와 같은 동작을 적절한 순서로 수행하여 반출된 기판(S)을 원하는 곳에 반입하면 된다.
먼저, 지지부(130)에 대하여 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 도 3은 내측씰벨트 및 외측씰벨트를 제거한 도 2의 일부 분해 사시도이고, 도 4는 도 2의 평단면도이다.
도시된 바와 같이, 지지부(130)는 지지기둥(131), 제1연장리브(133), 제2연장리브(135), 커버(137), 상부커버(138) 및 하부커버(139)를 포함할 수 있다.
그리고, 지지부(130)의 내부에는 복수의 공간(130a, 130b, 130c, 130d)이 형성될 수 있고, 각 공간(130a, 130b, 130c, 130d)은 상호 구획될 수 있다. 지지부(130)의 구획된 각 공간(130a, 130b, 130c, 130d)에 승강부(160)의 일부 파트가 각각 설치될 수 있다. 이때, 지지부(130)의 구획된 각 공간(130a, 130b, 130c, 130d) 중, 적어도 하나의 공간(130d)에는 승강부(160)의 일부 파트가 설치되지 않을 수 있으며, 승강부(160)의 일부 파트가 설치된 지지부(130)의 구획된 각 공간(130a, 130b, 130c)은 상부커버(138)와 하부커버(139)와 내측씰벨트(Inner Seal Belt)(141) 및 외측씰벨트(Outer Seal Belt)(143)에 의하여 각각 밀폐될 수 있다.
상세히 설명하면, 지지기둥(131)은 단면(斷面) 형상이 대략 사각형인 중공체(中空體)로 형성될 수 있으며, 전면에는 후면측으로 함몰된 함몰부가 형성될 수 있다. 상기 함몰부는 제1공간(130a)을 형성할 수 있고, 지지기둥(131)의 내부는 제4공간(130d)으로 형성될 수 있는데, 이는 후술한다.
제1연장리브(133) 및 제2연장리브(135)는 지지기둥(131)의 후면 양모서리부에서 외측으로 각각 연장되어 형성될 수 있다.
커버(137)는 지지기둥(131)의 후면, 제1연장리브(133) 및 제2연장리브, 지지기둥(131)의 양측면 외측, 그리고 제1연장리브(133) 및 제2연장리브(135)와 대향하는 지지기둥(131)의 전면측 일부를 덮을 수 있다. 그리고, 상부커버(138) 및 하부커버(139)는 커버(137)의 상면 및 하면을 각각 덮을 수 있다.
그러면, 상기 함몰부와 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 공간이 형성될 수 있고, 제1연장리브(133)와 지지기둥(131)의 좌측면과 커버(137)의 좌측면과 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 공간이 형성될 수 있고, 제2연장리브(135)와 지지기둥(131)의 우측면과 커버(137)의 우측면과 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 공간이 형성될 수 있고, 지지기둥(131) 내부와 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 공간이 형성될 수 있다.
이하, 상기 함몰부와 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 형성되는 공간을 제1공간(130a), 제1연장리브(133)와 지지기둥(131)의 좌측면과 커버(137)의 좌측면과 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 형성되는 공간을 제2공간(130b), 제2연장리브(135)와 지지기둥(131)의 우측면과 커버(137)의 우측면과 상부커버(138) 및 하부커버(139)에 의하여 형성되는 공간을 제3공간(130c) 및 상부커버(138)와 하부커버(139)에 의하여 덮힌 지지기둥(131) 내부의 공간을 제4공간(130d)이라 한다.
그리하여, 제1공간(130a)과 제2공간(130b) 및 제3공간(130c)에는 승강부(160)의 일부 파트가 각각 설치되고, 제4공간(130d)에는 승강부(160)의 일부 파트가 설치되지 않는다. 이때, 제1공간(130a)과 제2공간(130b) 및 제3공간(130c)의 개방된 전면은 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 의하여 이중으로 각각 밀폐될 수 있다.
내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 대해서는 후술한다.
그리고, 승강부(160)의 일부 파트가 설치되지 않는 제4공간(130d)은 청정공간(130da)과 비청정공간(130db)으로 구획될 수 있다. 청정공간(130da)은 제1공간(130a)과 연통되지 않고, 비청정공간(130db)은 제1공간(130a)과 연통될 수 있다. 이때, 청정공간(130da)은 상부커버(138)에 의하여 덮히지 않을 수 있으며, 청정공간(130da)이 상부커버(138)에 의하여 덮히지 않도록, 청정공간(130da)과 대응되는 상부커버(138)의 부위는 개방될 수 있다.
제1공간(130a)과 비청정공간(130db)을 연통시키기 위하여 지지기둥(131)의 전면 하측 부위에는 연통공(131a)(도 3 참조)이 형성될 수 있고, 상호 연통된 제1공간(130a)과 비청정공간(130db)은 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 의하여 밀폐될 수 있다.
지지기둥(131)의 좌측면 하측 부위에는 승강부(160)의 일부 파트에서 발생한 제1공간(130a)의 파티클을 비청정공간(130db)을 통하여 외부로 배출시키기 위한 배출구(131b)(도 3 참조)가 형성될 수 있다. 배출구(131b)는 흡입팬 등과 같은 흡입모듈과 연통될 수 있다.
그리고, 커버(137)의 좌측면 하측 부위 및 커버(137)의 우측면 하측 부위에는 배출구(137a)(137b)(도 2 및 도 3 참조)가 각각 형성될 수 있고, 각 배출구(137a)(137b)를 통하여 승강부(160)의 일부 파트에서 발생한 제2공간(130b)의 파티클 및 승강부(160)의 일부 파트에서 발생한 제3공간(130c)의 파티클이 외부로 배출될 수 있다. 각 배출구(137a)(137b)도 흡입모듈과 연통될 수 있음은 당연하다.
각 배출구(131b)(137a)(137b)와 대응되게 흡입모듈을 각각 설치하여 파티클을 배출할 수도 있고, 하나의 흡입모듈을 이용하여 각 배출구(131b)(137a)(137b)를 통하여 파티클을 배출할 수도 있다.
다음에는, 승강부(160)에 대하여 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 도 4에 도시된 베어링 부위의 분해 사시도이다.
도시된 바와 같이, 승강부(160)는 지지부(130)에 설치되어 기판지지부(170)를 승강시킬 수 있으며, 볼스크류(161), 볼너트(162), 구동모터(164), 하우징(166), 베어링(167), 제1가이드레일(168a), 제1승강블럭(168b), 제2가이드레일(169a) 및 제2승강블럭(169b)을 포함할 수 있다.
볼스크류(161)는 제1공간(130a)에 고정 설치되어 직선운동부(110)와 대략 수직을 이룰 수 있으며, 하단부 및 상단부가 지지기둥(131)의 상측 부위 및 하측 부위에 지지될 수 있다. 볼너트(162)는 볼스크류(161)에 회전가능하게 설치될 수 있으며, 정역회전함에 따라 볼스크류(161)를 따라서 승강할 수 있다. 즉, 볼스크류(161)는 고정되고, 볼너트(162)가 회전하면서 볼스크류(161)를 따라 승강한다. 제1공간(130a)과 제4공간(130d)의 비청정공간(130db)은 상부커버(138)와 하부커버(139)와 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 의하여 밀폐될 수 있다.
볼너트(162)가 볼스크류(161)에 물리적으로 결합되어 승강하므로, 볼너트(162)의 승강시에는 파티클이 발생한다. 그리고, 볼너트(162)의 승강시 발생하는 파티클은 상대적으로 좁은 공간에 제1공간(130a)에 잔류하며, 상기 흡입모듈에 의하여 제1공간(130a)에서 비산하지 않고 지지부(130)의 외부로 배출될 수 있다.
볼스크류(161)의 외주면 및 볼너트(162)의 내주면에는 상호 대응되게 나선홈이 각각 형성될 수 있고, 상기 나선홈에는 볼이 개재될 수 있다. 상기 볼은 볼너트(162)가 볼스크류(161)의 외주면에서 원활하게 회전할 수 있도록 도와준다.
구동모터(164)는 볼너트(162)를 회전시키기 위한 회전력을 제공할 수 있다. 구동모터(164)의 회전력을 볼너트(162)로 전달하기 위하여, 볼너트(162) 및 구동모터(164)의 회전축에는 풀리(163)(165)가 각각 형성될 수 있고, 풀리(163)와 풀리(165)는 벨트에 의하여 상호 연결될 수 있다. 그러므로, 구동모터(164)에 의하여 볼너트(162)가 회전하는 것이다.
하우징(166)의 내부에는 구동모터(164)가 지지 설치될 수 있고, 외면에는 기판지지부(170)의 아암(171)의 단부가 회전가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 하우징(166)은 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 의하여 밀폐된 제1공간(130a)의 외측에 위치되어 베어링(167)에 결합될 수 있으며, 베어링(167)과 함께 승강할 수 있다. 이는 후술한다.
베어링(167)은 볼너트(162)의 상단면(上端面) 상측 볼스크류(161)의 부위에 승강가능하게 설치되어, 볼너트(162)에 의하여 승강할 수 있다. 즉, 베어링(167)은 볼너트(162)의 길이 방향 상측의 볼스크류(161)의 부위에 설치되며, 베어링(167)이 길이 방향과 볼너트(162)의 길이 방향은 대략 일직선을 이룰 수 있다.
그리고, 베어링(167)의 내륜은 볼스크류(161)에 설치되고, 외륜은 하우징(166)에 결합될 수 있다. 설치 공간의 제약으로 인하여, 베어링(167)의 외륜을 하우징(166)과 직접 결합하기 어려울 수 있다. 이러한 이유로, 베어링(167)의 외륜에는 하우징(166)과 결합되는 돌출블럭(167a)이 형성될 수 있다.
그러면, 구동모터(164)에 의하여 볼너트(162)가 회전하면, 볼너트(162)가 볼스크류(161)를 따라 승강하고, 볼너트(161)의 승강에 의하여 볼너트(161)의 상단면측과 하단면이 접촉된 베어링(167)이 승강한다. 베어링(167)에 의하여 하우징(166)이 승강하므로, 기판지지부(170)가 승강하는 것이다.
하우징(166)은 지지부(130)의 외측에 위치되어 볼스크류(161)를 중심으로 회전하지 못하므로, 볼너트(162)가 회전하면 볼너트(162)는 볼스크류(161)를 따라 승강하는 것이다.
제1가이드레일(168a)과 제1승강블럭(168b) 및 제2가이드레일(169a)과 제2승강블럭(169b)은 하우징(166)이 안정되게 승강할 수 있도록 지지함과 동시에 하우징(166)이 회전되는 것을 더욱 방지할 수 있다.
상세히 설명하면, 제1가이드레일(168a) 및 제2가이드레일(169a)은 제2공간(130b) 및 제3공간(130c)을 형성하는 지지기둥(131)의 좌측면 및 우측면에 각각 설치되어 볼스크류(161)와 평행을 이룰 수 있고, 제1승강블럭(168b) 및 제2승강블럭(169b)은 제1가이드레일(168a) 및 제2가이드레일(169a)에 각각 승강가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 제1승강블럭(168b) 및 제2승강블럭(169b)에는 하우징(166)이 각각 결합될 수 있다. 그러면, 제1가이드레일(168a)과 제1승강블럭(168b) 및 제2가이드레일(169a)과 제2승강블럭(169b)에 의하여 하우징(166)이 회전되는 것이 방지되므로, 하우징(166)이 볼너트(162)와 함께 안정되게 승강한다.
제1승강블럭(168b)은 제1가이드레일(168a)에 물리적으로 결합되어 승강하고, 제2승강블럭(169b)은 제2가이드레일(169a)에 물리적으로 결합되어 승강하므로, 제1승강블럭(168b) 및 제2승강블럭(169b)의 승강시에는 파티클이 발생한다. 그리고, 제1승강블럭(168b) 및 제2승강블럭(169b)의 승강시 발생하는 파티클은 상대적으로 좁은 공간인 제2공간(130b) 및 제3공간(130c)에 각각 잔류하며, 상기 흡입모듈에 의하여 제2공간(130b) 및 제3공간(130c)에서 비산하지 않고 지지부(130)의 외부로 배출될 수 있다. 제2공간(130b)은 내측씰벨트(141)와 외측씰벨트(143)에 의하여 밀폐될 수 있고, 제3공간(130c)은 내측씰벨트(141)와 외측씰벨트(143)에 의하여 밀폐될 수 있다.
내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 대하여 도 4 및 도 6을 참조하여 설명한다. 도 6은 도 2의 개략 측단면도이다.
도시된 바와 같이, 내측씰벨트(141)는 일측이 지지부(130)의 개방된 전면 내측에 위치되어 지지부(130)의 개방된 전면을 밀폐할 수 있고, 외측씰벨트(143)는 일측이 지지부(130)의 개방된 전면 외측에 위치되어 지지부(130)의 개방된 전면을 밀폐할 수 있다. 따라서, 지지부(130)의 개방된 전면은 내측씰벨트(141)와 외측씰벨트(143)에 의하여 이중으로 밀폐될 수 있다.
내측씰벨트(141)는 일측이 제1공간(130a)의 내부에 위치되어 제1공간(130a)과 연통된 지지부(130)의 지지기둥(131)의 상기 함몰부인 지지부(130)의 중앙부측 개방된 전면을 밀폐하는 제1중간 씰벨트(141a), 일측이 제2공간(130b)의 내부에 위치되어 제2공간(130b)과 연통된 지지부(131)의 지지기둥(131)의 좌측면측 개방된 전면을 밀폐하는 제1좌측 씰벨트(141b) 및 일측이 제3공간(130c)의 내부에 위치되어 제3공간(130c)과 연통된 지지부(130)의 지지기둥(131)의 우측면측 개방된 전면을 밀폐하는 제1우측 씰벨트(141c)를 포함할 수 있다.
그리고, 외측씰벨트(143)는 일측이 제1공간(130a)의 외측에 위치되어 제1공간(130a)과 연통된 지지부(130)의 지지기둥(131)의 상기 함몰부인 지지부(130)의 중앙부측 전면을 밀폐하는 제2중간 씰벨트(143a), 일측이 제2공간(130b)의 외측에 위치되어 제2공간(130b)과 연통된 지지부(131)의 지지기둥(131)의 좌측면측 개방된 전면을 밀폐하는 제2좌측 씰벨트(143b) 및 일측이 제3공간(130c)의 외측에 위치되어 제3공간(130c)과 연통된 지지부(130)의 지지기둥(131)의 우측면측 개방된 전면을 밀폐하는 제2우측 씰벨트(143c)를 포함할 수 있다.
따라서, 제1공간(130a), 제2공간(130b) 및 제3공간(130c)의 개방된 전면은 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 의하여 이중으로 밀폐될 수 있다.
내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)는 지지부(130)의 개방된 전면 → 지지부(130)의 상면측 → 지지부(130)의 후면측 → 지지부(130)의 하면측 → 지지부(130)의 개방된 전면을 따라 폐루프를 이루는 형태로 형성될 수 있다.
지지부(130)의 개방된 전면에 위치된 내측씰벨트(141)의 부위 및 외측씰벨트(143)의 부위는 승강부(160)의 하우징(166)에 결합될 수 있으며, 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)는 하우징(166)을 매개로 각각 폐루프를 이룰 수 있다. 그리고, 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)는 하우징(166)이 승강함에 따라, 하우징(166)에 의하여 회전 순환할 수 있다.
지지부(130)의 전면측 상단부 및 하단부, 후면측 상단부 및 하단부에는 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)를 지지하는 롤러(145)가 각각 설치될 수 있고, 하우징(166)의 배면에는 하우징(166)과 지지부(130)의 개방된 전면 사이를 밀폐하는 별도의 씰링수단이 마련될 수 있다.
지지부(130)의 후면측에 위치된 내측씰벨트(141)의 부위 및 외측씰벨트(143)의 부위에는 웨이트(150)가 설치될 수 있다. 웨이트(150)는 승강부(160)의 승강파트를 지지할 수 있다. 승강부(160)의 상기 승강파트는 볼너트(162), 구동모터(164), 하우징(166), 베어링(167), 제1승강블럭(168b) 및 제2승강블럭(169b)을 포함할 수 있다.
웨이트(150)는 승강부(160)의 상기 승강파트가 상승하면 하강하고, 승강부(160)의 상기 승강파트가 하강하면 상승하도록 설치될 수 있다. 그러면, 승강부(160)의 상기 승강파트가 웨이트(150)에 의하여 지지되므로, 승강부(160)의 상기 승강파트는 웨이트(150)에 의하여 낙하가 방지될 수 있다.
하나의 웨이트(150)가 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 동시에 설치될 수도 있고, 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 웨이트(150)가 각각 결합될 수도 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송용 로봇은, 지지부(130)의 개방된 전면이 일측이 지지부(130)의 전면 내측에 위치된 내측씰벨트(141) 및 일측이 지지부(130)의 전면 외측에 위치된 외측씰벨트(143)에 의하여 이중으로 밀폐되므로, 지지부(130) 내부의 파티클이 지지부(130)의 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)가 회전 순환하는 구조일 경우, 내측씰벨트(141) 및 외측씰벨트(143)에 설치된 웨이트(150)에 의하여 승강부(160)의 상기 승강파트가 낙하하는 것이 방지된다.
그리고, 승강부(160)의 볼스크류(161)가 고정 설치되고, 볼너트(162)가 볼스크류(161)에 회전가능하게 설치되어 정역회전하면서 볼스크류(161)를 따라 승강하며, 볼너트(162)의 승강에 의하여 기판지지부(170)가 승강한다. 즉, 볼스크류(161)가 회전하지 않으므로, 볼스크류(161)가 진동회전에 의하여 손상되는 것이 방지될 수 있다. 그러면, 볼스크류(161)의 길이를 상대적으로 길게 형성할 수 있으므로, 기판지지부(170)의 승강 높이를 높이는데, 상대적으로 제약을 덜 받을 수 있다.
그리고, 볼스크류(161)가 회전하지 않으므로, 볼스크류(161)를 용이하게 설치할 수 있다.
그리고, 볼스크류(161)의 외주면에 볼너트(162)가 설치되고, 볼너트(162) 상측의 볼스크류(161)의 외주면에 베어링(167)이 설치된다. 그리하여, 볼너트(162)의 길이 방향과 베어링(167)의 길이 방향은 대략 일직선을 이루므로, 볼너트의 외주면에 베어링이 설치된 종래의 기판 반송용 로봇에 비하여 승강부(160) 및 승강부(160)가 설치되는 지지부(130)의 볼스크류(161)의 반경 방향측 부피가 감소된다.
제2실시예
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 반송용 로봇의 평단면도로서, 제1실시예와의 차이점만을 설명한다.
도시된 바와 같이, 외측씰벨트(243)의 폭은 지지부(230)의 전면의 폭과 대략 대응되게 형성되어 제1공간(230a)과 제2공간(230b) 및 제3공간(230c)을 동시에 밀폐할 수 있다. 이때, 지지부(230)의 후면측에 위치되는 외측씰벨트(243)의 부위는 지지부(230)의 후면 외측에 위치될 수 있다.
제3실시예
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 반송용 로봇의 요부 분해 사시도로서, 제1실시예와의 차이점만을 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 반송용 로봇은 구동모터(364)가 2개 마련될 수 있고, 각 구동모터(364)의 회전축에는 풀리(365)가 각각 형성될 수 있다. 그리고, 볼너트(362)에는 각 구동모터(364)의 풀리(365)와 각각 벨트를 매개로 연결되는 상호 구획된 제1풀리(363a)와 제2풀리(363b)가 형성될 수 있다.
그러면, 어느 하나의 구동모터(364)가 고장이 난 경우에도 다른 하나의 구동모터(364)를 이용하여 볼너트(362)를 회전시킬 수 있으므로 작업의 연속성이 향상될 수 있다.
그리고, 2개의 구동모터(364)가 정지한 상태에서, 어느 하나의 구동모터(364)가 고장이 난 경우, 고장이 나지 않은 다른 하나의 구동모터(364)에 의하여 볼너트(362)의 회전이 방지되므로, 볼너트(362)와 하우징(366)이 하강하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 용량이 큰 하나의 구동모터를 사용하는 것에 비하여 용량이 작은 2개의 구동모터를 사용하면 원가를 절감할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110: 직선운동부
120: 회전운동부
130: 지지부
141: 내측씰벨트
143: 외측씰벨트

Claims (8)

  1. 직선운동 및 회전가능하게 설치된 위치조절부;
    상기 위치조절부에 하단부측이 지지되어 상기 위치조절부와 함께 운동하며 내부에는 공간이 형성되고, 전면은 개방된 지지부;
    일부는 상기 지지부의 내부에 위치되고, 다른 일부는 상기 지지부의 개방된 전면 외측에 위치되며, 승강가능하게 설치된 승강부;
    상기 지지부의 외측에 위치된 상기 승강부에 지지되어 상기 승강부와 함께 승강하며 기판이 탑재 지지되는 기판지지부;
    일측이 상기 지지부의 개방된 전면 내측에 위치되어 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 내측씰벨트(Inner Seal Belt);
    일측이 상기 지지부의 개방된 전면 외측에 위치되어 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 외측씰벨트(Outer Seal Belt)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내측씰벨트 및 상기 외측씰벨트는 상기 지지부의 개방된 전면 → 상기 지지부의 상면측 → 상기 지지부의 후면측 → 상기 지지부의 하면측 → 상기 지지부의 개방된 전면을 따라 폐루프를 이루고,
    상기 지지부의 외측에 위치된 상기 승강부는 상기 지지부의 전면에 위치된 상기 내측씰벨트 및 상기 외측씰벨트에 각각 결합되며,
    상기 내측씰벨트 및 상기 외측씰벨트는 상기 승강부의 승강에 의하여 회전 순환하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지부의 후면측에 위치된 상기 내측씰벨트 및 상기 외측씰벨트에는 상기 승강부의 상승시 하강하고, 상기 승강부의 하강시 상승하는 웨이트가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부는,
    전면에 후면측으로 함몰된 함몰부가 형성되며 중공체(中空體)로 마련된 지지기둥;
    상기 지지기둥의 후면 양모서리부에서 외측으로 각각 연장된 제1연장리브 및 제2연장리브;
    상기 지지기둥의 후면, 상기 제1연장리브 및 상기 제2연장리브, 상기 지지기둥의 양측면 외측, 상기 제1연장리브 및 상기 제2연장리브와 각각 대향하는 상기 지지기둥의 전면측 일부를 덮는 커버;
    상기 커버의 상면 및 하면을 각각 덮는 상부커버 및 하부커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 함몰부와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제1공간, 상기 제1연장리브와 상기 지지기둥의 일측면과 상기 커버와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제2공간, 상기 제2연장리브와 상기 지지기둥의 타측면과 상기 커버와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제3공간 및 상기 지지기둥의 내부와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제4공간이라 할 때,
    상기 내측씰벨트는 일측이 상기 제1공간의 내부에 위치되어 상기 제1공간과 연통된 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 제1중간 씰벨트, 일측이 상기 제2공간의 내부에 위치되어 상기 제2공간과 연통된 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 제1좌측 씰벨트 및 일측이 상기 제3공간의 내부에 위치되어 상기 제3공간과 연통된 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 제1우측 씰벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 외측씰벨트는 일측이 상기 제1공간의 외측에 위치되어 상기 제1공간과 연통된 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 제2중간 씰벨트, 일측이 상기 제2공간의 외측에 위치되어 상기 제2공간과 연통된 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 제2좌측 씰벨트 및 일측이 상기 제3공간의 외측에 위치되어 상기 제3공간과 연통된 상기 지지부의 개방된 전면을 밀폐하는 제2우측 씰벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 함몰부와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제1공간, 상기 제1연장리브와 상기 지지기둥의 일측면과 상기 커버와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제2공간, 상기 제2연장리브와 상기 지지기둥의 타측면과 상기 커버와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제3공간 및 상기 지지기둥의 내부와 상기 상부커버 및 상기 하부커버에 의하여 형성되는 공간을 제4공간이라 할 때,
    상기 승강부는,
    상기 제1공간에 지지 설치된 볼스크류;
    상기 볼스크류에 설치되며 상기 볼스크류와 작용하여 상기 볼스크류를 따라 승강하는 볼너트;
    상기 볼너트의 상단면(上端面) 상측 상기 볼스크류의 부위에 내륜이 설치되고, 상기 볼너트에 의하여 승강하는 베어링;
    상기 제1공간의 외측에 위치되어 상기 베어링의 외륜과 결합되고, 상기 베어링과 함께 승강하며, 상기 기판지지부 및 상기 씰벨트가 결합되는 하우징;
    상기 하우징의 내부에 설치되며 상기 볼너트를 회전시키는 구동모터;
    상기 제2공간 및 상기 제3공간에 각각 지지 설치된 제1가이드레일 및 제2가이드레일;
    상기 제1가이드레일 및 상기 제2가이드레일에 각각 설치되어 상기 제1가이드레일 및 상기 제2가이드레일을 따라 승강하며 상기 하우징에 각각 결합되는 제1승강블럭 및 제2승강블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 볼너트 및 상기 구동모터의 회전축에는 벨트에 의하여 상호 연결되는 풀리가 각각 형성되고,
    상기 볼너트의 상기 풀리는 상호 구획된 제1풀리와 제2풀리를 가지며,
    상기 구동모터는 2개 설치되어 상기 제1풀리 및 상기 제2풀리를 각각 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 로봇.
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JP6220197B2 (ja) * 2013-09-09 2017-10-25 川崎重工業株式会社 ロボット

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190141407A (ko) * 2018-06-14 2019-12-24 세메스 주식회사 버퍼 장치

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