JP2007216089A - スピンコーター - Google Patents
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Abstract
【課題】大型のスピンテーブルを安定して回転可能に支持しつつ、回転軸の軸受の大型化を抑制しかつ安価に製造できるスピンコーターを提供する。
【解決手段】スピンテーブル4の円筒状の回転軸5は、その内周面が本体フレーム2に設けた支持軸3に一対の軸受6,7を介して回転可能に支持されている。モータ20の駆動力が駆動側プーリ18、無端ベルト19および従動側プーリ14を介して回転軸5に減速されて伝達され、回転軸5が回転する。これにより、スピンテーブル4が基板8とともに回転し、基板8上に塗布されたコーティング液が遠心力で拡がり、基板8の上面全体に塗布される。こうして、基板8上に薄膜が形成される。
【選択図】図1
【解決手段】スピンテーブル4の円筒状の回転軸5は、その内周面が本体フレーム2に設けた支持軸3に一対の軸受6,7を介して回転可能に支持されている。モータ20の駆動力が駆動側プーリ18、無端ベルト19および従動側プーリ14を介して回転軸5に減速されて伝達され、回転軸5が回転する。これにより、スピンテーブル4が基板8とともに回転し、基板8上に塗布されたコーティング液が遠心力で拡がり、基板8の上面全体に塗布される。こうして、基板8上に薄膜が形成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば半導体、液晶、あるいはDVD等における基板に薄膜を形成するための薄膜形成装置の技術分野に関し、特に、薄膜が形成される基板を回転させてコーティング液を遠心力で拡げることにより、基板上に薄膜を形成するスピンコーターの技術分野に関する。
例えば半導体、液晶、あるいはDVD等における基板に薄膜を形成する方法の1つとしてスピンコーティング法があり、このスピンコーティング法では薄膜形成装置として、スピンテーブル上に載置した基板上にコーティング液を所定量塗布した後、スピンテーブルを基板とともに回転させてコーティング液を遠心力で基板上面の全体に拡げることにより、基板上に薄膜を形成するスピンコーターが用いられている(例えば、特許文献1および2参照)。
このような従来のスピンコーターでは、スピンテーブルは、その回転軸の外周面が軸受を介して本体フレームに回転可能に支持されている。
特開平6−338447号公報。
特開2002−239443号公報。
ところで、近年、基板はますます大型化が求められている。例えば、従来の基板では長方形基板の長辺で最大1m程度の大きさであるが、今後は長方形基板の長辺で1m50cm以上の非常に大きな基板が求められている。このような大型の基板に薄膜を形成するためには、スピンテーブルも従来に比べてかなり大型にすることが必要となる。
しかし、スピンテーブルを前述のように大型にすると、スピンテーブルの径の大きさの割には回転軸の径が小さくなり、スピンテーブルを安定して回転可能に支持することが難しくなる。そこで、スピンテーブルの大型化に伴い、回転軸の径も大きくすることが考えられる。
しかしながら、前述の従来のスピンコーターでは、スピンテーブルの回転軸の外周面が軸受を介して本体フレームに回転可能に支持されているため、軸受も大型の軸受を用いなければならないばかりでなく、その分、スピンテーブルの回転トルクも大きくしなければならない。このため、モータも大型にせざるを得なく、結果として、コストが増大するという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、大型のスピンテーブルを安定して回転可能に支持しつつ、回転軸の軸受の大型化を抑制しかつ安価に製造できるスピンコーターを提供することである。
前述の課題を解決するために、請求項1に係る発明のスピンコーターは、本体フレームと、回転軸がこの本体フレームに軸受を介して回転可能に支持されかつコーティング液が塗布される基板を上面に支持するスピンテーブルと、前記回転軸を回転する駆動手段とを少なくとも備え、前記駆動手段の駆動力を前記回転軸に伝達して前記スピンテーブルを基板とともに回転させて前記コーティング液を遠心力で拡げることにより、基板上に薄膜を形成するスピンコーターにおいて、前記回転軸が円筒状に形成されているとともに、前記回転軸の内周面が前記軸受を介して前記本体フレームに回転可能に支持されていることを特徴としている。
また、請求項2に係る発明のスピンコーターは、前記本体フレームに支持軸が設けられており、前記回転軸の内周面が前記軸受を介して前記支持軸に回転可能に支持されていることを特徴としている。
更に、請求項3に係る発明のスピンコーターは、前記軸受が、前記回転軸の前記スピンテーブル側に配置された第1の軸受と前記回転軸の前記スピンテーブル側と反対側に配置された第2の軸受とからなり、前記第2の軸受が前記第1の軸受より大きい軸受とされていることを特徴としている。
このように構成された本発明に係るスピンコーターによれば、スピンコーターの回転軸を円筒状に形成するとともに、この回転軸の内周面を、本体フレームに軸受を介して回転可能に支持しているので、スピンテーブルの回転軸の径を大きくすることができ、しかも軸受の大型化を抑制することができる。したがって、基板を支持するスピンテーブルが前述のように大型になっても、このスピンテーブルを安定してかつ回転可能に支持することができる。これにより、今後ますます求められる大型の基板に対して均一な薄膜を安定してかつ確実に形成することができる。
また、軸受をそれほど大きくしなくても済むので、その分、スピンテーブルの回転トルクも小さくすることができる。したがって、モータの大型化も抑制することができる。そして、軸受およびモータの各大型化を抑制することができることから、コストの増大も抑制することができる。
特に、請求項2に係る発明によれば、回転軸の内周面を、本体フレームに設けた支持軸に支持しているので、回転軸を支持軸に安定して支持することができ、またスピンテーブル4の寸法精度が出し易いとともにスピンテーブルをより一層安定して回転させることができる。
また、請求項3に係る発明によれば、回転軸を回転可能の支持する一対の軸受に関して、回転軸のスピンテーブルと反対側に配置された軸受を回転軸のスピンテーブル側に配置された軸受より大きい軸受にしているので、スピンテーブルに偏荷重が加えられても、この偏荷重を効果的にかつ確実に支持することができる。これにより、スピンテーブルを偏荷重が加えられても安定して回転支持することができる。
以下、図面を用いて本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1は、本発明に係るスピンコーターの実施の形態の一例を模式的に示す図、図2は、図1における要部の部分拡大図である。
図1は、本発明に係るスピンコーターの実施の形態の一例を模式的に示す図、図2は、図1における要部の部分拡大図である。
図1および図2に示すように、この例のスピンコーター1は本体フレーム2を備えており、この本体フレーム2には円筒状の支持軸3が、図1において上方に突出されて固定されている。この支持軸3の外周に、スピンテーブル4の回転軸5の内周面が一対の軸受6,7を介して回転可能に支持されている。この回転軸5は円筒状に形成されているとともにその上部には水平上部板5aが設けられている。
この回転軸5の上端にスピンテーブル4が一体回転可能に固定されている。その場合、スピンテーブル4は径の比較的小さな小径円環板状部材4aと径の比較的大きな大径円環板状部材4bとからなっているとともに、大径円環板状部材4bが小径円環板状部材4aの上面にこれと同芯状にかつ一体に固定されている。そして、小径円環板状部材4aの下面が回転軸5にこれと一体にかつ同芯状に固定されている。このスピンテーブル4の上面には、薄膜が形成される、シリコンウェハ、ガラス基板、あるいは基板ディスク等の基板8が載置されるようになっている。
一対の軸受6,7に関し、スピンテーブル4と反対側の下方の軸受7がスピンテーブル4側の上方の軸受6より大きな力を支持できるように大きな軸受に形成されている。
一対の軸受6,7に関し、スピンテーブル4と反対側の下方の軸受7がスピンテーブル4側の上方の軸受6より大きな力を支持できるように大きな軸受に形成されている。
水平上部板5aの中心部に、円筒状軸部5bが回転軸5および支持軸3と同芯状にかつ下方に突出されて水平上部板5aと一体に設けられている。この円筒状軸部5bの下端部が本体フレーム2に軸受9を介して回転可能に支持されている。
スピンテーブル4上に載置された基板8をスピンテーブル4から上方に押し上げるための円筒状軸部材10が回転軸5の円筒状軸部5bを貫通しかつ円筒状軸部5bと同芯状に設けられており、この円筒状軸部材10は円筒状軸部5bの内周面に一対のスラスト軸受11,12を介して円筒状軸部5bと一体回転可能にかつ円筒状軸部5bに対して軸方向に(図において上下方向に)相対摺動可能に支持されている。そして、円筒状軸部材10は図示しない適宜の上下方向駆動手段で上下動されるようになっている。
円筒状軸部材10の上端には、押し上げテーブル13が一体回転可能に固定されている。その場合、押し上げテーブル13は径の比較的小さな小径円板状部材13aと径の比較的大きな大径円板状部材13bとからなっているとともに、大径円板状部材13bが小径円板状部材13aの上面にこれと同芯状にかつ一体に固定されている。そして、小径円板状部材13aの下面が円筒状軸部材10にこれと一体にかつ同芯状に固定されている。小径円板状部材13aの大きさは小径円環板状部材4aの内周面に嵌入可能な大きさとされおり、また、大径円板状部材13bの大きさは大径円環板状部材4bの内周面に嵌入可能な大きさとされている。更に、図示のように大径円板状部材13bは小径円環板状部材4aの上面に載置可能となっており、大径円板状部材13bが小径円環板状部材4aの上面に載置された状態では、大径円板状部材13bの上面が大径円環板状部材4bの上面と面一にまたはほぼ面一に、つまり実質的に面一になるようにされている。
回転軸5の外周面には、従動側プーリ14が回転軸5と同芯状にかつ一体回転可能に固定されている。従動側プーリ14の上下縁には、後述する無端ベルトをガイドするガイドフランジ14a,14bが形成されている。
更に、本体フレーム2には、駆動側回転軸15が一対の軸受16,17を介して回転可能にかつ支持軸3および回転軸5と平行に支持されている。この駆動側回転軸15の外周面には、従動側プーリ14より小径の駆動側プーリ18が従動側プーリ14と対向して駆動側回転軸15と同芯状にかつ一体回転可能に固定されている。駆動側プーリ18の上下縁には、無端ベルトをガイドするガイドフランジ18a,18bが形成されている。
2つの従動側プーリ14と駆動側プーリ18とには、無端ベルト19が架け渡されており、この無端ベルト19により、駆動側プーリ18の回転が従動側プーリ14に減速されて伝達され、駆動側プーリ18は従動側プーリ14より低速で従動側プーリ14と同方向に回転するようになっている。その場合、無端ベルト19はガイドフランジ14a,14b;18a,18bによりガイドされるので駆動側プーリ18および従動側プーリ14のいずれからも外れることはなく、駆動側プーリ18の回転を従動側プーリ14に安定してかつ確実に伝達する。駆動側回転軸15はモータ20の回転軸20aに連結されており、モータ20の駆動力で回転されるようになっている。このように、駆動側プーリ18、無端ベルト19、および従動側プーリ14により、モータ20の回転を減速して回転軸5に伝達する減速機構が構成されている。なお、この減速機構は、この例のプーリ・ベルト減速機構に限定されることはなく、歯車減速機構等の他の減速機構を用いることもできる。
真空導入管21が円筒状軸部材10を貫通しかつ円筒状軸部材10と同芯状に設けられている。この真空導入管21の上端が小径円板状部材13aに固定されているとともに、真空導入管21の下部が円筒状軸部材10に固定支持されている。小径円板状部材13aに真空導入管21内に常時連通する第1真空導入通路22が形成されているとともに、大径円板状部材13bに第1真空導入通路22に常時連通する第2真空導入通路23が形成されている。第2真空導入通路23は大径円板状部材13bの上面から上方に開口している。なお、図1では第2真空導入通路23は1カ所のみで上方に開口するように示されているが、大径円板状部材13bの上面には上方に開口しかつ第2真空導入通路に連通する同心円状の所定数の円環状溝あるいは螺旋状の溝が形成されていて、第2真空導入通路23は大径円板状部材13bの上面のほぼ全面にわたって平均的に上方に開口されている。
真空導入管21の下端はシールカップリング24を介して固定真空導入管25に連結されており、この固定真空導入管25は図示しない真空源に接続されている。シールカップリング24は従来周知のものであり、真空源の真空導入時に外部からの空気の流入を阻止しつつ真空源側真空導入管25に対して真空導入管21を相対回転可能にするものである。
次に、このように構成されたこの例のスピンコーター1の作用について説明する。
スピンコーター1の非作動時には、円筒状軸部材10および押し上げテーブル13が図示の下限位置にある。押し上げテーブル13の下限位置では、押し上げテーブル13の大径円板状部材13bがスピンテーブル4の小径円環板状部材4aの上面に当接し、大径円板状部材13bの上面とスピンテーブル4の大径円環板状部材4bの上面とが実質的に面一となっている。
スピンコーター1の非作動時には、円筒状軸部材10および押し上げテーブル13が図示の下限位置にある。押し上げテーブル13の下限位置では、押し上げテーブル13の大径円板状部材13bがスピンテーブル4の小径円環板状部材4aの上面に当接し、大径円板状部材13bの上面とスピンテーブル4の大径円環板状部材4bの上面とが実質的に面一となっている。
スピンコーター1のこの状態で、基板8に薄膜を形成するにあたり、図1に二点鎖線で示すように基板8が大径円板状部材13bの上面とスピンテーブル4の大径円環板状部材4bの上面とに載置される。このとき、基板8はその面内中心が回転軸5の中心と一致する所定位置に載置される。
次いで、基板8は真空源から第1および第2真空導入通路22,23を介して導入される真空によって押し上げテーブル13上に吸着保持される。このとき、基板8はスピンテーブル4上にも支持される。
次に、従来のスピンコーターと同様に、図示しないコーティング液供給手段によって、基板8の面内中心を含む所定領域上に所定量のコーティング液が塗布される。次いで、モータ20が駆動され、モータ20の回転が減速機構により減速されて回転軸5に伝達され、回転軸5が支持軸3の外周回りに回転する。これにより、スピンテーブル4および押し上げテーブル13が所定回転数で回転するので基板8も同速度で回転し、基板8上に塗布されたコーティング液が遠心力で基板8の上面全体にわたって拡がる。
コーティング液が基板8の全面に拡がったら、モータ20が停止されてスピンテーブル4および押し上げテーブル13の回転が停止する。こうして、基板8の上面全体にコーティング液の薄膜が形成される。その後、円筒状軸部材10が上昇され、押し上げテーブル13がスピンテーブル4に対して上昇することにより、基板8がスピンテーブル4から上方に所定量押し上げられる。
最後に、真空源からの真空の導入を停止して第1および第2真空導入通路22,23に大気を導入することで、押し上げテーブル13での基板8の吸着保持が解除され、薄膜が形成された基板8が押し上げテーブル13から取り出され、その後円筒状軸部材10および押し上げテーブル13が下降されて図1に示す下限位置にされる。
この例のスピンコーター1によれば、スピンテーブル4の回転軸5を円筒状に形成するとともに、この回転軸5の内周面を、本体フレーム2に設けた支持軸3に軸受6,7を介して回転可能に支持しているので、スピンテーブル4の回転軸5の径を大きくすることができ、しかも軸受6,7の大型化を抑制することができる。したがって、基板8を支持するスピンテーブル4が前述のように大型になっても、このスピンテーブル4を安定してかつ回転可能に支持することができる。これにより、今後ますます求められる大型の基板8に対して均一な薄膜を安定してかつ確実に形成することができる。
しかも、回転軸5の内周面を支持軸3に支持することから、回転軸5を支持軸3に安定して支持することができ、スピンテーブル4の寸法精度が出し易いとともにスピンテーブル4をより一層安定して回転させることができる。
また、軸受6,7をそれほど大きくしなくても済むので、その分、スピンテーブル4の回転トルクも小さくすることができる。したがって、モータ20の大型化も抑制することができる。そして、軸受6,7およびモータ20の各大型化を抑制することができることから、コストの増大も抑制することができる。
更に、回転軸5を回転可能の支持する一対の軸受6,7のうち、スピンテーブル4と反対側の軸受7をスピンテーブル4側の軸受6より大きい軸受にしているので、スピンテーブル4に偏荷重が加えられても、この偏荷重を効果的にかつ確実に支持することができる。これにより、スピンテーブル4を偏荷重が加えられても安定して回転支持することができる。
本発明のスピンコーターは、例えば半導体、液晶、あるいはDVD等における基板に薄膜を形成するための薄膜形成装置において、薄膜が形成される基板を回転させてコーティング液を遠心力で拡げることにより、基板上に薄膜を形成するスピンコーターに利用することができる。特に、前述のような大型の基板に薄膜を形成するスピンコーターに好適に利用することができる。
1…スピンコーター、2…本体フレーム、3…支持軸、4…スピンテーブル、5…回転軸、6,7…軸受、8…基板、10…円筒状軸部材、13…押し上げテーブル、14…従動側プーリ、18…駆動側プーリ、19…無端ベルト、20…モータ
Claims (3)
- 本体フレームと、回転軸がこの本体フレームに軸受を介して回転可能に支持されかつコーティング液が塗布される基板を上面に支持するスピンテーブルと、前記回転軸を回転する駆動手段とを少なくとも備え、前記駆動手段の駆動力を前記回転軸に伝達して前記スピンテーブルを基板とともに回転させて前記コーティング液を遠心力で拡げることにより、基板上に薄膜を形成するスピンコーターにおいて、
前記回転軸が円筒状に形成されているとともに、前記回転軸の内周面が前記軸受を介して前記本体フレームに回転可能に支持されていることを特徴とするスピンコーター。 - 前記本体フレームに支持軸が設けられており、前記回転軸の内周面が前記軸受を介して前記支持軸に回転可能に支持されていることを特徴とする請求項1記載のスピンコーター。
- 前記軸受は、前記回転軸の前記スピンテーブル側に配置された第1の軸受と前記回転軸の前記スピンテーブル側と反対側に配置された第2の軸受とからなり、前記第2の軸受が前記第1の軸受より大きい軸受とされていることを特徴とする請求項2記載のスピンコーター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006036200A JP2007216089A (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | スピンコーター |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2007216089A true JP2007216089A (ja) | 2007-08-30 |
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Family Applications (1)
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JP2006036200A Pending JP2007216089A (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | スピンコーター |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010055664A1 (ja) | 2008-11-12 | 2010-05-20 | ライオン株式会社 | 洗浄剤組成物 |
-
2006
- 2006-02-14 JP JP2006036200A patent/JP2007216089A/ja active Pending
Cited By (1)
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WO2010055664A1 (ja) | 2008-11-12 | 2010-05-20 | ライオン株式会社 | 洗浄剤組成物 |
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