JP4724334B2 - 無人搬送車 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体製造工場のステーション間で、半導体ウエハを自動搬送・移載する無人搬送車に関し、詳しくは、該無人搬送車に搭載したウエハを一時収納するバッファカセット周辺の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、塵挨の発生が問題となる半導体製造工場では、半導体ウエハを移載・搬送するために、スカラーアーム式のロボットアームと、ウエハを一時収納するバッファカセットとを搭載した無人搬送車を自動走行させる技術が知られている。
この無人搬送車によるウエハの搬送を説明すると、まず、無人搬送車を自動倉庫前に移動させ、そして、該自動倉庫からロボットアームでウエハを1枚ずつ取り出してバッファカセット内の各棚に収納していく。
このバッファカセットは、その棚が水平となるように載置されており、該棚の間にウエハを保持したロボットアームが挿入される。この挿入した状態からロボットアームは保持していたウエハを放し、該ウエハを水平な姿勢でセットする。こうしてバッファカセットにウエハを1枚1枚収納していく。
【0003】
しかし、バッファカセットをこの状態にしたまま、無人搬送車を走行させると、ウエハが飛び出す恐れがある。無人搬送車は、前後両方向に走行するようになっており、特に、始動時や停止時は、その速度の変化が大きいため、飛び出す可能性も高い。
そこで、挿入口側を斜上方へ向けるべくバッファカセットを斜めに傾けることが行われている。
具体的構成を説明すると、車体本体上面に基部フレームを設けて、該基部フレームの上にバッファカセットを配設する。このとき、バッファカセットは基部フレームに対して水平軸まわりで回動自在に取り付ける。また、基部フレームには、バッファカセットを回動させるアクチュエータを内設して、該バッファカセットを水平な姿勢、又は傾けた姿勢に切り替えることができるようにする。
以上の構成で、無人搬送車を走行させる際にはアクチュエータを作動させてバッファカセットを傾けておくことで、中のウエハが飛び出さないようにすることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように、アクチュエータを作動させて、バッファカセットを傾けた姿勢、水平な姿勢との間で切り替えるようにしているが、バッファカセットの姿勢が水平からわずかでもズレていると、ウエハを保持したロボットアームを該バッファカセットへ向けて水平に伸張させたとき、目標とする棚、若しくはその上の棚が邪魔になって挿入できなくなるおそれがある。
具体的な数値を挙げて説明すると、各棚の間隔は通例10mm程度であり、ウエハはその直径が8インチ(約20cm)、又は12インチ(約30cm)の2種類があり、何れもその厚さは1mm程度で、また、ロボットアームの先端のウエハを保持する部分は厚さ3mm程度である。この結果、バッファカセットが水平姿勢から計算上±0.1°傾いているだけでも、ウエハを保持したロボットアームを挿入できないことになる。
【0005】
以上のようにバッファカセットの姿勢は厳密な精度で水平にしておく必要があることに鑑み、バッファカセットが水平な姿勢のときに当接するストッパを設ける構成が知られ、これによればバッファカセットをいつも同じ水平姿勢におくことができる。
しかし、ウエハを収納したバッファカセットやその付属機器群は相当の重量物である。また、バッファカセットの傾動に要する時間はアイドルタイムになるため、サイクルタイムを短縮して作業の効率を追求する観点からは、バッファカセットの姿勢変更をゆっくり行うことも限界がある。従って、バッファカセットがストッパに当接した瞬間の衝撃は小さくない。この衝撃がバッファカセットに伝達されると収納されているウエハの位置ズレの原因となり、後に、ロボットアームによるウエハのバッファカセットからの取り出しや他の装置に対する受け渡しが困難となってしまう問題がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
すなわち、請求項1記載の如く、ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカセットと、該バッファカセットの姿勢を水平姿勢及び傾斜姿勢に変更可能な揺動手段と、該バッファカセットの水平姿勢を規定するストッパと、を備える無人搬送車において、該バッファカセットと該ストッパとの間に防振手段を介設し、前記防振手段は軟弾性の防振部材と硬性の当接部材とで構成して、前記バッファカセット又は前記ストッパの何れか一側に配設するものとし、前記当接部材は円柱状に形成され、前記防振部材はドーナツ状に形成されて、その中空部分に前記当接部材が配置され、前記防振部材の当接面は前記当接部材の当接面よりも他側に近接する方向にオフセットされて配置されており、前記バッファカセットを傾斜姿勢から水平姿勢へ移行する際には、前記防振部材は、前記他側に当接して、前記バッファカセットと前記ストッパとの衝突の衝撃を緩和しながら圧縮されていき、前記当接部材は、前記防振部材が圧縮され、前記バッファカセットが水平姿勢となったところで前記他側に当接することとした。
【0007】
そして、請求項2記載の如く、前記ストッパの当接面又は前記当接部材の当接面の少なくともいずれか一方の高さ位置を調節する高さ調節手段を設ける。
【0009】
【発明の実施の形態】
これより、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図1はクリーンルーム内の無人搬送車1の様子を示す斜視図、図2は無人搬送車1の側面断面図、図3はバッファカセット5の側面断面図であり、同図(a)はバッファカセット5の水平姿勢を、同図(b)は傾斜姿勢を、それぞれ示す。また、図4はストッパ機構54の側面図であり、同図(a)はバッファカセット5が水平姿勢に移行する前の状態を、同図(b)はストッパ機構54によって水平姿勢に保持された状態を、それぞれ示す。
【0010】
まず、無人搬送車1の全体構成について説明する。
以下の説明では、図1における矢視F方向を前方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、その他の図面における各構造体の前後左右位置も図1に準ずるものとする。
【0011】
図1に示すように、無人搬送車1は、走行レール20・20上を自動走行する有軌道台車であり、車体本体2が走行輪9・9・9・9により支持され、該走行輪9・9・9・9はそのそれぞれに対応した駆動モータ8・8・8・8(図2)で駆動させることで、走行レール20・20上を四輪駆動で走行させている。
尚、本実施の形態では、スリップを減らす為に全ての走行輪9・9・9・9に駆動を伝えるようにしており、各走行輪9・9・9・9にはそれぞれ駆動モータ8・8・8・8が取り付けられているが、全ての走行輪9・9・9・9に駆動を伝達する機構は、これに限定することなく、他の機構でもよい。また、駆動輪は車体前後にそれぞれ設けられていれば、4輪に限らず、その数は限定しない。
【0012】
前記走行レール20・20に沿って、処理装置21・21・・・やストッカ22が並べて配設され、該ストッカ22上に複数のカセット23・23・・・が所定間隔を空けて並設されている。各カセット23・23・・・は、その開口を走行レール20・20側へ向けて配置され、該カセット23内には上下に多数段の棚が設けられ、各棚にウエハ10・10・・・が水平に収納されている。
本実施の形態では、ストッカ22を平置型のストッカとしているが、カセット23の搬出入口と、多数の棚と、棚と搬出入口との間でカセット23を移載するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫であっても良い。
【0013】
図2に示すように、前記無人搬送車1の車体本体2には、その中央にウエハ10・10・・・を移載する移載装置3が配設され、その前後に、ウエハ10・10・・・の方向及び中心位置を揃える姿勢合わせ装置4と、ウエハ10・10・・・を収納するバッファカセット5とが配設されている。
【0014】
次に、前記移載装置3について説明する。
移載装置3は、移載アーム30M・30S、基台38、ターンテーブル39等から成り、基台38は車体本体2中央に埋設され、該基台38上にターンテーブル39が枢設され、該ターンテーブル39上に一対の移載アーム30M・30Sが取り付けられている。
【0015】
前記基台38は昇降可能に構成され、また、前記ターンテーブル39は該基台38に対して相対回転可能に構成されている。
前記移載アーム30M(30S)は、移載ハンド31と、第1アーム32と、第2アーム33とでリンク機構が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドであり、サーボモータ等から成るアクチュエータにより屈折自在に構成されている。
【0016】
次に、前記姿勢合わせ装置4について説明する。
姿勢合わせ装置4は、ケーシング40、載置台41、オリフラセンサ42・42、オプティカルキャラクタリーダ(以下「OCR」)43等から成り、該ケーシング40は移載装置3側が開口して、その入口付近には2組のオリフラセンサ42・42が配設され、それぞれ天井面に投光器42a、床面に受光器42bを埋設して構成されている。この2組のオリフラセンサ42・42は、外側(ケーシング40の開口入口側)のオリフラセンサ42で12インチのウエハ10のオリフラ位置(又はノッチ位置)を検出し、内側(ケーシング40の開口奥側)のオリフラセンサ42で8インチのウエハ10Sのオリフラ位置(又はノッチ位置)を検出するように構成されている。
【0017】
また、ケーシング40の開口の床面、奥側にはOCR43が埋設され、該ケーシング40内に、IDマークの付された面を下側にしてウエハ10をセットし、該IDマーク11を該OCR43で読み取る構成とする。尚、IDマークの面を上側にしてウエハ10をセットしてもよく、この場合、OCR43はケーシング40の開口の天井面、奥側に配置し、あるいは、作業過程でウエハ10の盤面が上下入れ替わることも考慮して、図2に示すように、ケーシング40の開口の天井面、及び床面の奥側に、上下一対のOCR43・43を配置する構成とすることが好ましい。
【0018】
また、ケーシング40の開口の床面には、ウエハ10を載置する載置台41が設けられている。該載置台41は円盤状の形状で、その回転中心には吸着孔が設けられ、該吸着孔から同心円状、並びに放射線状に複数の吸着溝が設けられている。この構成で、ウエハ10を載置台41上に載置した状態で吸着孔からエアポンプで吸引することによってウエハ10を吸着・保持し、載置台41を回転させたときに、ウエハ10が遠心力で位置ズレしないようにしている。
【0019】
次に、前記バッファカセット5について説明する。
図2及び図3に示すように、バッファカセット5は、その入口を前方(移載装置3側)へ向けて可動ベース部材50上に固定され、該可動ベース部材50は車体本体2より立設された基部フレーム(図外)上に配置されている。該バッファカセット5内には上下に多数段の棚が設けられ、この棚にウエハ10・10・・・が収納される。
【0020】
詳しくは、該棚はバッファカセット5内の左右内側面から若干の幅だけ突出されるのみであって、ウエハ10の両端下面を支持するだけである。各段の棚の間口の左右幅はウエハ10の直径よりも適宜のマージンをもってやや広く形成されているので、ウエハ10を吸着保持する移載ハンド31が多少横方向へブレていても、あるいは、ウエハ10の回転中心と移載ハンド31の中心(左右中心)とが一致しないまま保持されていたとしても、該棚の間口からウエハ10を挿し込むことが可能である。
各段の棚の間口はウエハ10の直径よりもやや広く形成され、バッファカセット5の左右内側面は、入口側は互いに平行とする一方、奥側は「V」字状に徐々に狭めた形状とされている。この構成により、バッファカセット5が後述する機構により奥側が下となる傾斜姿勢とされたときには、ウエハ10はその自重によって奥側へ滑り落ちるとともに、その両側は前記「V」字状の部分に案内される。この結果、ウエハ10が最奥部まで落ち込んだときには、各ウエハ10の回転中心がバッファカセット5の左右中心と一致する位置で綺麗に揃うことになる。
【0021】
前記可動ベース部材50下面の後端側寄りの位置には、その揺動中心としての回動支点軸56が横設され、該回動支点軸56は、搬送車本体上面に設けられた図示しない基部フレームの後部に軸支されている。バッファカセット5下方における車体本体2には傾動手段たるエアシリンダ52が揺動可能に埋設され、そのシリンダロッド52aは前記基部フレーム内に突出し、該シリンダロッド52a上端は、可動ベース部材50下面に固定したブラケット53に回動自在に連結される。
前記エアシリンダ52の周囲には、エアシリンダ52の直径より充分大きい直径の逃がし孔2bが設けられ、車体本体2下面へと連通されている。
【0022】
このエアシリンダ52を作動させてシリンダロッド52aを進退させることによって、ブラケット53を介して可動ベース部材50が上昇/下降され、これによりバッファカセット5の可動ベース部材50を該回動支点軸56まわりに上下に傾動させることができる。
なお、空気によって作動する該エアシリンダ52をアクチュエータとして採用することで、バッファカセット5内に収納されるウエハ10・10・・・に振動が極力伝わらないようにしたいという要請に配慮している。即ち、無人搬送車1から処理装置21へ移載の際、常にウエハ10・10・・・の向きを一定にして受け渡し、検査処理の迅速化が図られているのであるが、そのために姿勢合わせ装置4でウエハ10・10・・・のIDマークを読み取るとともに、ウエハ10・10・・・のオリフラ位置(又はノッチ位置)を一定方向に揃え、その揃えた状態のままウエハをバッファカセット5内に収納しているのである。このようにいったん揃えたウエハ10・10・・・が位置ズレしたり回転してしまわないように、エアシリンダ52の空気バネの如き作用によって車両走行中に発生する振動を緩衝させているのである。
【0023】
また、基部フレームの内側にあっては、その前部位置、並びに後部位置にストッパ機構54F・54Bが設けられて、バッファカセット5の水平姿勢及び傾斜姿勢を規定している。本実施例において「水平姿勢」とは、図3(a)に示すように、ウエハ10・10・・・を載置する棚が水平となるときのバッファカセット5の位置姿勢を言い、「傾斜姿勢」とは、同図(b)に示すように、該棚の入口側(前方)が上方へ傾いたときの位置姿勢を言う。
【0024】
バッファカセット5の入口付近にはストッパロッド55が設けられ、該入口を挟んで配置される上下のフレームの左端位置から中央位置にかけて溝部が形成されて、該溝部にストッパロッド55の上下端が挿入され、該溝部に沿ってストッパロッド55が移動可能となっている。
無人搬送車1の停止状態においては該ストッパロッド55はバッファカセット5の入口の左端位置にある。無人搬送車1を走行させる際には(前述の如くバッファカセット5を傾斜させるとともに)、該ストッパロッド55をバッファカセット5の入口の中央位置までスライドさせてウエハ10・10・・・の端部に接触させて保持し、ウエハ10・10・・・の飛び出しを確実に防止する。
【0025】
図3(a)(b)に示すように、回動支点軸56を支持する前記基部フレームの周囲(前後左右)は、第一カバーたる固定カバー51で覆われている。基部フレームの後面を覆う該固定カバー51の部分は、その上部を階段状に後方へ膨出させて膨出部51bとし、バッファカセット5を図3(b)の傾斜姿勢としたときに可動ベース部材50の後端下部が固定カバー51と干渉しないようにしている。
【0026】
また、可動ベース部材50の前面、並びに両側面より移動カバー50aを垂設しておき、この移動カバー50aは、バッファカセット5を傾斜させる際には上昇するように構成している。図3(a)に示す傾斜姿勢のときに、該移動カバー50aの下端と固定カバー51aの上端とは適宜重複するようにしており、また、この傾斜姿勢にある可動ベース部材50と固定カバー後部51bの隙間は極力小さくしておく。これによって、エアシリンダ52で発生した塵挨が外へ飛散しないようになっている。
【0027】
次に前記ストッパ機構54(54F・54B)について説明する。図4(a)(b)はバッファカセット5の水平姿勢を規定するストッパ機構54Fについて説明するものであるが、他方のストッパ機構54Bについても構造は全く同じである。
図4(a)に示すように、ストッパ機構54Fは、その高さ位置が調節可能なアジャスタ付きのメカストッパ57と、可動ベース部材50下面に凸設された当接部50d・50dと、該当接部50d下面に貼設した防振部材58及び当接部材59とで構成されている。
なお、防振部材58及び当接部材59は、メカストッパ57側に設けられていても構わない。
【0028】
防振部材58には軟弾性の部材を使用し、例えば、跳ね返り係数が略ゼロのハネナイト(登録商標)等を使用する。一方、当接部材59には金属等硬性の部材を使用する。該当接部材59は円柱状に形成され、また、防振部材58はドーナツ状に形成されて、その中空部分に当接部材59が配置されている。また、防振部材58の厚みは当接部材59の厚みよりも厚く形成され、そのため、該防振部材58のメカストッパ57上面に対する当接面は、該当接部材59のそれよりも、前記メカストッパ57上面に対し近接するようオフセットされた位置関係にある。
【0029】
この構成によって、前記エアシリンダ52を作動させて、前記バッファカセット5を傾斜姿勢から水平姿勢へ移行させるときは、水平姿勢への移行完了直前に、防振部材58がメカストッパ57の上面に衝突することとなる。このとき、防振部材58はその衝撃を緩和しながら圧縮され、該衝撃が十分に減殺されたところで、図4(b)で示すように、該メカストッパ57の上面に当接部材59が緩やかに当たる。このため、バッファカセット5内に収納されているウエハ10・10・・・へは殆ど衝撃が伝わらないので、ウエハ10・10・・・が位置ズレする心配もない。
【0030】
前記当接部材59がメカストッパ57の上面に当接することで、バッファカセット5は水平姿勢となっている。このように、前方のストッパ機構54Fによって、該バッファカセット5の水平姿勢が規定されるのである。
ストッパ機構54Fのメカストッパ57はアジャスタ付きとし、その高さの微調整が可能となっているので、バッファカセット5が水平姿勢から仮にズレていたとしても、水平姿勢となるよう調節して補正できる。なお、アジャスタが当接部材59側に設けられていても構わない。
【0031】
もし、バッファカセット5が水平になっていなければ、ウエハ10を吸着保持した移載ハンド31を水平に伸張させて該バッファカセット5内に挿入しようとしても、目標とする棚やその上の棚が邪魔になって、上手くいかない。
具体的な寸法を示すと、各棚の間隔は約10mmで、ウエハはその直径が8インチ(約20cm)、又は12インチ(約30cm)の2種類があり、何れもその厚さは1mm程度で、また、移載ハンド31は厚さ3mm程度であり、このため、バッファカセット5が水平から±0.1°傾いているだけでも、その棚へ、ウエハ10を吸着保持した移載ハンド31を挿入できない。
この点、以上に説明した構成によって、バッファカセット5を厳密な精度で水平姿勢とすることができ、支障なくウエハ10・10・・・を該バッファカセット5内へ収納することができる。
【0032】
前記ストッパ機構54Fから回動支点軸56を挟んで後方側にも、全く同様のストッパ機構54Bが傾けた状態で配置され、可動ベース部材50が一定以上傾斜したときにその後部下面をメカストッパ57に当接させることによって、バッファカセット5の傾斜姿勢が規定される。
【0033】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成したので、次のような効果を奏するのである。
すなわち、請求項1のように、ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカセットと、該バッファカセットの姿勢を水平姿勢及び傾斜姿勢に変更可能な揺動手段と、該バッファカセットの水平姿勢を規定するストッパと、を備える無人搬送車において、該バッファカセットと該ストッパとの間に防振手段を介設し、前記防振手段は軟弾性の防振部材と硬性の当接部材とで構成して、前記バッファカセット又は前記ストッパの何れか一側に配設するものとし、前記当接部材は円柱状に形成され、前記防振部材はドーナツ状に形成されて、その中空部分に前記当接部材が配置され、前記防振部材の当接面は前記当接部材の当接面よりも他側に近接する方向にオフセットされて配置されており、前記バッファカセットを傾斜姿勢から水平姿勢へ移行する際には、前記防振部材は、前記他側に当接して、前記バッファカセットと前記ストッパとの衝突の衝撃を緩和しながら圧縮されていき、前記当接部材は、前記防振部材が圧縮され、前記バッファカセットが水平姿勢となったところで前記他側に当接するようにしたので、バッファカセットが傾斜姿勢から水平姿勢に移行する際には、先ず該防振手段が当接して変形しながらその衝撃をやわらかく緩衝し、その緩衝後に当接部材が当接することとなる。従って、バッファカセット内に収納されるウエハへの衝撃が防振手段により緩和されるのでウエハの位置ズレが防止され、同時に、変形しない硬性の当接部材によってバッファカセットはいつも同じ水平姿勢に精度よく保持される。
【0034】
そして、請求項2のように、前記ストッパ、若しくは前記当接部材の高さ位置を調節する高さ調節手段を設けることで、バッファカセットの水平姿勢の微調整が可能であり、バッファカセットをその精度よい水平姿勢におくことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】クリーンルーム内の無人搬送車1の様子を示す斜視図。
【図2】無人搬送車1の側面断面図。
【図3】バッファカセット5の側面断面図。(a)はバッファカセット5の水平姿勢を、(b)は傾斜姿勢を、それぞれ示す。
【図4】ストッパ機構54の側面図。(a)はバッファカセット5が水平姿勢に移行する前の状態を、(b)はストッパ機構54によって水平姿勢に保持された状態を、それぞれ示す。
【符号の説明】
1 無人搬送車
2 車体本体
2b 逃がし孔
5 バッファカセット
10 ウエハ
50 可動ベース部材
50d 当接部
51 基部フレーム
52 エアシリンダ
54F・B ストッパ機構
56 回動支点軸
57 メカストッパ
58 防振部材
59 当接部材
Claims (2)
- ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカセットと、該バッファカセットの姿勢を水平姿勢及び傾斜姿勢に変更可能な揺動手段と、該バッファカセットの水平姿勢を規定するストッパと、を備える無人搬送車において、該バッファカセットと該ストッパとの間に防振手段を介設し、
前記防振手段は軟弾性の防振部材と硬性の当接部材とで構成して、前記バッファカセット又は前記ストッパの何れか一側に配設するものとし、前記当接部材は円柱状に形成され、前記防振部材はドーナツ状に形成されて、その中空部分に前記当接部材が配置され、前記防振部材の当接面は前記当接部材の当接面よりも他側に近接する方向にオフセットされて配置されており、
前記バッファカセットを傾斜姿勢から水平姿勢へ移行する際には、前記防振部材は、前記他側に当接して、前記バッファカセットと前記ストッパとの衝突の衝撃を緩和しながら圧縮されていき、
前記当接部材は、前記防振部材が圧縮され、前記バッファカセットが水平姿勢となったところで前記他側に当接することを特徴とする無人搬送車。 - 前記ストッパの当接面又は前記当接部材の当接面の少なくともいずれか一方の高さ位置を調節する高さ調節手段を設けたことを特徴とする、請求項1記載の無人搬送車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001283812A JP4724334B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001283812A JP4724334B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 無人搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003092333A JP2003092333A (ja) | 2003-03-28 |
JP4724334B2 true JP4724334B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=19107257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001283812A Expired - Fee Related JP4724334B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 無人搬送車 |
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---|---|
JP (1) | JP4724334B2 (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003092333A (ja) | 2003-03-28 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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