JPH0446046U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0446046U JPH0446046U JP8930590U JP8930590U JPH0446046U JP H0446046 U JPH0446046 U JP H0446046U JP 8930590 U JP8930590 U JP 8930590U JP 8930590 U JP8930590 U JP 8930590U JP H0446046 U JPH0446046 U JP H0446046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic body
- contact
- recess
- end surface
- piston rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案に係る基板載置搬送装置の停止機
構の一実施例を示し、第１図は基板載置搬送装置
の平面図、第２図はその正面図、第３図は停止機
構とその作動を示し、第３図ａは当接前の状態、
第３図ｂは途中の状態、第３図ｃは停止状態をそ
れぞれ示している。 １……搬送具、４……可動ブロツク、７……小
突起、８……シヨツクアブソーバ、８ａ……ピス
トンロツド、１１……ストツパー、１３……弾性
体。
構の一実施例を示し、第１図は基板載置搬送装置
の平面図、第２図はその正面図、第３図は停止機
構とその作動を示し、第３図ａは当接前の状態、
第３図ｂは途中の状態、第３図ｃは停止状態をそ
れぞれ示している。 １……搬送具、４……可動ブロツク、７……小
突起、８……シヨツクアブソーバ、８ａ……ピス
トンロツド、１１……ストツパー、１３……弾性
体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板を載置して、所定の経路に沿つて移動する
搬送具を移動限界位置においてシヨツクアブソー
バを介して緩衝停止させるよう構成した基板載置
搬送装置の停止機構において、 シヨツクアブソーバのピストンロツドの先端面
または、ピストンロツドと当接するストツパーの
先端面のうち、どちらか一方の先端面に凹部を設
けて、凹部に弾性体を部分的に挿入して弾性体の
一部を凹部から突設し、もう一方の先端面の外縁
を、弾性体との当接時に弾性体よりはみ出た形状
に構成したことによつて、 前記両先端面のうち弾性体の先端面が、もう一
方の先端面に当接して圧縮変形し、弾性体が前記
凹部内に退入した後、前記両先端面が当接するよ
うにしたことを特徴とする基板載置搬送装置の停
止機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8930590U JPH083402Y2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | 基板載置搬送装置の停止機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8930590U JPH083402Y2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | 基板載置搬送装置の停止機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0446046U true JPH0446046U (ja) | 1992-04-20 |
| JPH083402Y2 JPH083402Y2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=31823192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8930590U Expired - Lifetime JPH083402Y2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | 基板載置搬送装置の停止機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083402Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4724334B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
-
1990
- 1990-08-27 JP JP8930590U patent/JPH083402Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4724334B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH083402Y2 (ja) | 1996-01-31 |
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