JPH01209242A - キャリア搬送用グリッパー - Google Patents
キャリア搬送用グリッパーInfo
- Publication number
- JPH01209242A JPH01209242A JP63031449A JP3144988A JPH01209242A JP H01209242 A JPH01209242 A JP H01209242A JP 63031449 A JP63031449 A JP 63031449A JP 3144988 A JP3144988 A JP 3144988A JP H01209242 A JPH01209242 A JP H01209242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pawl
- carrier
- motor
- shaft
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 239000002054 inoculum Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェハキャリア搬送用グリッパ−に関するも
のである。
のである。
本発明は、ウェハキャリアの搬送用グリフパーにおいて
チャック爪の開閉をＤＣモータとトグル機構を用いて行
うことにより、マシン非常停止時におけるキャリアの自
然落下とチャフキング時におけるウェハへの衝撃とを同
時に防止するようにしたものである。
チャック爪の開閉をＤＣモータとトグル機構を用いて行
うことにより、マシン非常停止時におけるキャリアの自
然落下とチャフキング時におけるウェハへの衝撃とを同
時に防止するようにしたものである。
従来は、第６図に示すようにウェハへの衝撃を少なくす
る為にサーボモータ１８を用い、ボールネジ１９等を介
して爪２０の開閉速度を制御していた。
る為にサーボモータ１８を用い、ボールネジ１９等を介
して爪２０の開閉速度を制御していた。
上記のようなグリフパーでは、サーボモータやドライバ
ー等を要する為コストがかかると同時に、マシンが非常
停止し電源が切断された場合のキャリア落下防止装置を
別に設けなくてはならないという欠点を有していた。
ー等を要する為コストがかかると同時に、マシンが非常
停止し電源が切断された場合のキャリア落下防止装置を
別に設けなくてはならないという欠点を有していた。
上記問題点を解決する為に本発明においては、チャック
爪の開閉にトグル機構を、その駆動に一般のＤＣモータ
を用いた。 ′ 〔作用〕 上記のような構成によれば、高価なサーボモータやドラ
イバー、それにキャリア落下防止の為の機構を設ける事
なく、ウェハへの衝撃防止とマシン非常停止時のキャリ
ア落下防止とを同時に実現する事ができる。
爪の開閉にトグル機構を、その駆動に一般のＤＣモータ
を用いた。 ′ 〔作用〕 上記のような構成によれば、高価なサーボモータやドラ
イバー、それにキャリア落下防止の為の機構を設ける事
なく、ウェハへの衝撃防止とマシン非常停止時のキャリ
ア落下防止とを同時に実現する事ができる。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第５
図において、グリッパ−のフレーム１は、クリーンロボ
ット２のヘッド部に固定されており、チャック爪３によ
りウェハ２１の入ったキャリア２２を搬送する。第１図
において、チャック爪３は、軸受５を介してフレーム１
に取り付けられた出力軸４に固定されている。出力軸４
は、駆動軸７よリレバー６、ブロック１４．１５よりな
るリンクを介して駆動される。駆動軸７は、軸受８を介
してフレーム１に取り付けられており、ギヤ９．１０を
介してＤＣモータ１１により駆動される。第２図におい
て、ストッパー１２．１３は、フレーム１に固定されて
おり、駆動軸７に固定されたブロック１４の回転を止め
る。センサー１６．１７は、フレーム１に固定されてお
り、ブロック１４を検出する。
図において、グリッパ−のフレーム１は、クリーンロボ
ット２のヘッド部に固定されており、チャック爪３によ
りウェハ２１の入ったキャリア２２を搬送する。第１図
において、チャック爪３は、軸受５を介してフレーム１
に取り付けられた出力軸４に固定されている。出力軸４
は、駆動軸７よリレバー６、ブロック１４．１５よりな
るリンクを介して駆動される。駆動軸７は、軸受８を介
してフレーム１に取り付けられており、ギヤ９．１０を
介してＤＣモータ１１により駆動される。第２図におい
て、ストッパー１２．１３は、フレーム１に固定されて
おり、駆動軸７に固定されたブロック１４の回転を止め
る。センサー１６．１７は、フレーム１に固定されてお
り、ブロック１４を検出する。
次にキャリアチャッキング時の動作について説明する。
第３図は、チャック爪３が開いている状態を示すもので
ある。モータ１１により軸７は反時計回りにセンサー１
７がブロック１４を検出するまで回転し、レバー６、ブ
ロック１５、軸４を介して爪３を開く。第４図は、チャ
ック爪３が閉じる状態を示したものである。モータ１１
により軸７はセンサー１６がブロック１４を検出するま
で時計回りに回転し、前述とは逆に爪３を閉じる。ここ
で、センサー１６がブロック１４を検出する位置は、軸
７と両側のレバー６が一直線上になる位置Ａ（トグル機
構の死点）をわずかに超えた位置Ｂである。又、ストッ
パー１２は、位置Ｂよりさらにわずかに時計回りに回転
した位ＩＣで、ブロック１４に当たるように調整されて
いる。もし、グリッパ−がキャリアを搬送している途中
、すなわち位置Ｂにおいて、トラブルが発生し、チャッ
ク爪３に爪を開かせようとする何らかの外力が働いたと
しても、軸７は時計回り（死点のない側）に回転しよう
とし、結果ブロック１４がストッパー１２に当たりそれ
以上爪は開かない、又、爪の駆動は四つ棒リンク機構の
応用であるから駆動軸７が定速で回転する場合、爪３の
運動特性は第７図のようになり、爪が閉じる時の爪の運
動特性を示すための四つ棒リンク機構の運動特性を示す
。爪３がキャリアをチャッキングする位ＷＢにおける爪
３の回転速度はほぼ０で、運動エネルギーも最小となり
ほぼ０である。
ある。モータ１１により軸７は反時計回りにセンサー１
７がブロック１４を検出するまで回転し、レバー６、ブ
ロック１５、軸４を介して爪３を開く。第４図は、チャ
ック爪３が閉じる状態を示したものである。モータ１１
により軸７はセンサー１６がブロック１４を検出するま
で時計回りに回転し、前述とは逆に爪３を閉じる。ここ
で、センサー１６がブロック１４を検出する位置は、軸
７と両側のレバー６が一直線上になる位置Ａ（トグル機
構の死点）をわずかに超えた位置Ｂである。又、ストッ
パー１２は、位置Ｂよりさらにわずかに時計回りに回転
した位ＩＣで、ブロック１４に当たるように調整されて
いる。もし、グリッパ−がキャリアを搬送している途中
、すなわち位置Ｂにおいて、トラブルが発生し、チャッ
ク爪３に爪を開かせようとする何らかの外力が働いたと
しても、軸７は時計回り（死点のない側）に回転しよう
とし、結果ブロック１４がストッパー１２に当たりそれ
以上爪は開かない、又、爪の駆動は四つ棒リンク機構の
応用であるから駆動軸７が定速で回転する場合、爪３の
運動特性は第７図のようになり、爪が閉じる時の爪の運
動特性を示すための四つ棒リンク機構の運動特性を示す
。爪３がキャリアをチャッキングする位ＷＢにおける爪
３の回転速度はほぼ０で、運動エネルギーも最小となり
ほぼ０である。
よってチャッキング時における爪３のキャリア５に与え
る衝撃の大きさは、非常に小さいものであるといえる。
る衝撃の大きさは、非常に小さいものであるといえる。
この発明は、以上説明したように安価なりＣモータを使
用し、簡単な構造のトグル機構を応用する事により、マ
シントラブル時におけるキャリアの自然落下防止と、チ
ャフキング時におけるウェハへの衝撃防止を同時に実現
する事ができる。
用し、簡単な構造のトグル機構を応用する事により、マ
シントラブル時におけるキャリアの自然落下防止と、チ
ャフキング時におけるウェハへの衝撃防止を同時に実現
する事ができる。
第１図は、本発明の実施例を示す′＃１断面図、第２図
は、本発明の実施例を示す横断面図、第３図は、本発明
の実施例の爪の開く状態を示すｙＬ断面図、第４図は、
本発明の実施例の爪の閉じる状態を示す横断面図、第５
図は、本発明の実施例を示す全体斜視図、第６図は、従
来のグリフパーの横断面図、第７図は、本発明の実施例
の爪の運動特性図。 ■・・・フレーム ３・・・チャック爪 ４・・・出力軸 ６・・・レバー ７・・・駆動軸 １１・・・ＤＣモータ １２・・・ストッパー １３・・・ストッパー １６・・・センサー １７・・・センサー １３・・・サーボモータ ２０・・・爪 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 本発明の亥絶ＰＩε示す樅打面図 第１０ 本発明の尖ｌθ汐゛ｊ乞示す種菌面図 本発明の冥沢ｆ゛１のへの開く状酔とホＴ横吋面図第３
図 人文６月のＸ絶１テｊのへの聞し６４人態とホ亨狽茜面
図第４図 本発明の大艶１９″１乞示Ｔ全１本斜視図第５図 弔６図 セ ／ 臣」
は、本発明の実施例を示す横断面図、第３図は、本発明
の実施例の爪の開く状態を示すｙＬ断面図、第４図は、
本発明の実施例の爪の閉じる状態を示す横断面図、第５
図は、本発明の実施例を示す全体斜視図、第６図は、従
来のグリフパーの横断面図、第７図は、本発明の実施例
の爪の運動特性図。 ■・・・フレーム ３・・・チャック爪 ４・・・出力軸 ６・・・レバー ７・・・駆動軸 １１・・・ＤＣモータ １２・・・ストッパー １３・・・ストッパー １６・・・センサー １７・・・センサー １３・・・サーボモータ ２０・・・爪 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 本発明の亥絶ＰＩε示す樅打面図 第１０ 本発明の尖ｌθ汐゛ｊ乞示す種菌面図 本発明の冥沢ｆ゛１のへの開く状酔とホＴ横吋面図第３
図 人文６月のＸ絶１テｊのへの聞し６４人態とホ亨狽茜面
図第４図 本発明の大艶１９″１乞示Ｔ全１本斜視図第５図 弔６図 セ ／ 臣」
Claims (1)
- 少なくともキャリアチャッキング用チャック爪と、前
記チャック爪を駆動する為のリンクと、前記リンクを駆
動するためのモータとからなり、前記チャック爪の開閉
にトグル機構を用い、キャリアチャッキング時の運動エ
ネルギーを最小としたことを特徴とするキャリア搬送用
グリッパー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63031449A JPH01209242A (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | キャリア搬送用グリッパー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63031449A JPH01209242A (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | キャリア搬送用グリッパー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209242A true JPH01209242A (ja) | 1989-08-23 |
Family
ID=12331562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63031449A Pending JPH01209242A (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | キャリア搬送用グリッパー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01209242A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003092333A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| CN112223331A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-01-15 | 烟台工程职业技术学院(烟台市技师学院) | 一种用于机械加工的机械手 |
| CN113427513A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-09-24 | 北京博研盛科科技有限公司 | 一种机械手 |
-
1988
- 1988-02-12 JP JP63031449A patent/JPH01209242A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003092333A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| CN112223331A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-01-15 | 烟台工程职业技术学院(烟台市技师学院) | 一种用于机械加工的机械手 |
| CN113427513A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-09-24 | 北京博研盛科科技有限公司 | 一种机械手 |
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