KR960007716Y1 - 캐로졸 아암 구동장치 - Google Patents

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KR960007716Y1
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남윤준
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금성일렉트론 주식회사
문정환
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

요약없음

Description

캐로졸 아암 구동장치
제1도는 종래 캐로졸 아암 구동장치 구성도
제2도의 (가) 내지 (카)도는 종래 캐로졸 아암 동작 설명도
제3도는 본 고안 캐로졸 아암 구동장치 구성도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 마이크로 프로세서12 : 모터구동부
13 : 직류모터14 : 커플러
15 : 직선축기어16 : 회전축기어
17 : 캐로졸 아암18 : 스크류
본 고안은 캐로졸 아암 구동장치에 관한 것으로, 특히 모터로서 캐로졸 아암을 구동시켜 관성에 의한 웨이퍼 미끄러짐이 방지되어 얼라인(Align) 시간이 단축되고 높은 재현성으로 인하여 웨이퍼 처리량이 증가되는 캐로졸 아암 구동장치에 관한 것이다.
종래 캐로졸 아암 구동장치는 제1도에 도시된 바와 같이, 제어 신호를 출력하는 마이크로 프로세서(1)와, 이 마이크로 프로세서(1)에서 제어신호가 입력되면 포트(SB1, SB2)(SB3, SB4)로 솔레노이드 밸브 제어신호를 출력하는 제어부(2)와, 이 제어부(2)의 포트(SB1, SB2)(SB3, SB4)에서 각각 솔레노이드 밸브 제어신호가 입력되면 각각 밸브(EXH, AR1, VACM1) 및 밸브(EXH, VACM2, AR2)의 개폐를 제어하는 솔레노이드 밸브(4)(5)와, 이 솔레노이드 밸브(4)(5)의 밸브(EXH, AR1, VACM1) 및 벨브(EXH, VACM2, AR2)가 개폐되면 공기압에 의해 시계방향으로 180°회전하는 또는 반시계방향으로 180°회전하는 캐로졸 아암(3)으로 구성되어 있다.
종래장치의 작용효과를 제1도 및 제2도를 참조로 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 제2도의 (가) 내지 (카)도를 참조로 종래 캐로졸 아암의 동작을 설명하면 다음과 같다. (가)도에서 로드아암(6)이 웨이퍼(A)를 잡은후 스키너(5)는 내려간다. (나)도에서 다른 웨이퍼(B)가 스피너(5)를 향하여 이동한다. (다)도에서 스피너(5)에 웨이퍼(B)가 안착된다.
(라)도에서 로드아암(6)위애 얹혀진 웨이퍼(A)가 캐로졸 아암(3)으로 이동하고 스피너(5)가 올라온다. (마)도에서 캐로졸 아암(3)이 45°움직이고 로드아암(6)이 스피너(5)에 있는 웨이퍼(B)를 가지러 간다. (바)도에서 캐로졸 아암(3)이 시계방향으로 180°움직이고 다른 웨이퍼(C)가 스피너(5)를 행하여 온다. (사)도에서 캐로졸 아암(3)에 있는 웨이퍼(A)가 척플레이튼(CHUCK PLATEN)에 의해 움직이고 웨이퍼(C)가 스피너(5)에서 프리얼라인(PREALIGN)한다. (아)도에서 인터미디에이트 얼라인 오토포커스 노광후 척플레이튼(CHUCK PLATEN)의 웨이퍼(A)가 캐로졸 아암(3)로 움직인다. 그와 동시에 로드아암(6)이 움직이고 스피너(5)가 올라간다. (자)도에서 로드아암(6)이 캐로졸 아암(3)에 웨이퍼(B)를 놓고 스피너(5)로 되돌아온다. (차)도에서 캐로졸 아암(3)이 45°회전한다. (카)도에서 캐로졸 아암(3)이 반시계방향으로 180°이동한다.
이와 같이 동작하는 캐로졸 아암(3)을 구동하는 장치의 작용을 제1도를 참조로 설명하면 다음과 같다. 마이크로 프로세서(1)에서 제어신호가 입력되면 제어부(2)는 포트(SB1, SB2)(SB, SB4)로 솔레노이드 밸브 제어신호를 출력한다. 솔레노이드 밸브(4)(5)는 제어부(2)에서 입력되는 제어신호에 따라 솔레노이드밸브(4)의 밸브(VACM1)를 개방하고 밸브(AR1)을 폐쇄하고 솔레노이드 밸브(5)의 밸브(AR2)를 개방하고 밸브(VACM2)를 폐쇄하여 캐로졸 아암(3)을 반시계방향으로 회전시키고 솔레노이드 밸브(4)의 밸브(VAM1)를 폐쇄하고 밸브(AR1)를 개방하고 솔레노이드 밸브(5)의 밸브(AR2)을 폐쇄하고 밸브(VACM2)를 개방하여 캐로졸 아암(3)을 시계방향으로 회전시킨다.
그러나 이와 같은 종래 장치는 캐로졸 아암이 에어구동방식에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 빠른 속도로 움직이기 때문에 미세불순물 입자가 발생하고 관성에 의해 웨이퍼가 미끄러짐으로서 얼라인(Align)시간이 지연되고 재현성이 불량하여 웨이퍼 처리량이 감소하는 문제점이 있었다.
본 고안은 이와 같은 종래 장치의 문제점을 감안하여 압축공기를 사용하지 않고 마이크로 프로세서에 의해 제어되는 직류모터로서 시계방향 또는 반시계방향으로 캐로졸 아암을 회전시키는 캐로졸 아암 구동장치를 안출한 것으로 이하 첨부한 도면을 참조로 상세히 설명한다.
본 고안 캐로졸 아암 구동장치는 제3도에 도시된 바와 같이, 모터제어신호를 출력하는 마이크로 프로세서(11)와, 이 마이크로 프로세서(11)에서 모터제어신호가 입력되면 모터정역회전 제어신호를 출력하는 모터구동부(12)와, 이 모터구동부(12)에서 입력되는 모터정역회전 제어신호에 따라 정회전 또는 역회전하는 직류모터(13)와, 이 직류모터(13)의 회전운동을 커플러(14)를 통해 전달받고 회전하는 직선축기어(15)와, 이 직선축기어(15)가 회전하면 스크류(18)로 상부에 고정된 캐로졸 아암(17)을 회전시키는 회전축기어(16)로 구성되어 있다.
본 고안 장치의 작용효과를 제3도를 참조로 상세히 설명하면 다음과 같다.
마이크로 프로세서(11)는 모터제어신호를 출력한다.
이 마이크로 프로세서(11)에서 모터제어신호가 입력되면 모터구 동부(12)는 모터정역회전 제어신호를 출력한다. 이 모터구동부(12)에서 입력되는 모터정역회전 제어신호에 따라 직류모터(13)는 정회전 또는 역회전한다.
직선축기어(15)는 직류모터(13)의 회전운동을 커플러(14)를 통해 전달받고 회전한다. 이 직선축기어(15)가 회전되면 회전축기어(16)가 회전되므로 이 회전축기어(16) 상부에 스크류(18)로 고정된 캐로졸 아암(17)이 회전된다.
이와 같이 구성된 본 고안 장치를 사용하면 미세불순물 발생이 감소되고 관성에 의한 웨이퍼 미끄러짐이 방지되어 얼라인(Align)시간이 단축되고 높은 재현성으로 웨이퍼 처리량이 증가하는 효과가 있게 된다.

Claims (1)

  1. 모터제어신호를 출력하는 마이크로 프로세서(11)와, 이 마이크로 프로세서(11)에서 모터제어신호가 입력되면 모터정역회전 제어신호를 출력하는 모터구동부(12)와, 이 모터구동부(12)에서 입력되는 모터정역회전 제어신호에 따라 정회전 또는 역회전하는 직류모터(13)와, 이 직류모터(13)의 회전운동을 커플러(14)를 통해 전달받고 회전하는 직선축기어(15)와, 이 직선축기어(15)가 회전하면 스크류(18)로 상부에 고정된 캐로졸 아암(17)을 회전시키는 회전축기어(16)로 구성된것을 특징으로 하는 캐로졸 아암 구동장치.
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