JP2003092333A

JP2003092333A - 無人搬送車

Info

Publication number: JP2003092333A
Application number: JP2001283812A
Authority: JP
Inventors: Shuji Akiyama; 収司秋山; Takahiko Murayama; 貴彦村山
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2001-09-18
Filing date: 2001-09-18
Publication date: 2003-03-28
Anticipated expiration: 2021-09-18
Also published as: JP4724334B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ウエハを収納するバッファカセットを傾動自
在に構成した無人搬送車では、ストッパを用いて、該バ
ッファカセットの水平姿勢を規定している。ところが、
このバッファカセットを傾動させるときに、ストッパと
の当接で衝撃が生じ、該バッファカセット内のウエハが
位置ズレを起こしてしまう。【解決手段】傾動自在に構成されたバッファカセット
５と該バッファカセット５の水平姿勢を規定するストッ
パ５７との間に防振手段を介設する。この防振手段は軟
弾性の防振部材５８と硬性の当接部材５９とで構成し
て、前記バッファカセット５又は前記ストッパ５７の何
れか一側に配設するものとし、防振部材５８の当接面は
該当接部材５９の当接面よりも他側に近接する方向にオ
フセットされて配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、半導体製造工場のステーション
間で、半導体ウエハを自動搬送・移載する無人搬送車に
関し、詳しくは、該無人搬送車に搭載したウエハを一時
収納するバッファカセット周辺の構成に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、塵挨の発生が問題となる半導
体製造工場では、半導体ウエハを移載・搬送するため
に、スカラーアーム式のロボットアームと、ウエハを一
時収納するバッファカセットとを搭載した無人搬送車を
自動走行させる技術が知られている。この無人搬送車に
よるウエハの搬送を説明すると、まず、無人搬送車を自
動倉庫前に移動させ、そして、該自動倉庫からロボット
アームでウエハを１枚ずつ取り出してバッファカセット
内の各棚に収納していく。このバッファカセットは、そ
の棚が水平となるように載置されており、該棚の間にウ
エハを保持したロボットアームが挿入される。この挿入
した状態からロボットアームは保持していたウエハを放
し、該ウエハを水平な姿勢でセットする。こうしてバッ
ファカセットにウエハを１枚１枚収納していく。

【０００３】しかし、バッファカセットをこの状態にし
たまま、無人搬送車を走行させると、ウエハが飛び出す
恐れがある。無人搬送車は、前後両方向に走行するよう
になっており、特に、始動時や停止時は、その速度の変
化が大きいため、飛び出す可能性も高い。そこで、挿入
口側を斜上方へ向けるべくバッファカセットを斜めに傾
けることが行われている。具体的構成を説明すると、車
体本体上面に基部フレームを設けて、該基部フレームの
上にバッファカセットを配設する。このとき、バッファ
カセットは基部フレームに対して水平軸まわりで回動自
在に取り付ける。また、基部フレームには、バッファカ
セットを回動させるアクチュエータを内設して、該バッ
ファカセットを水平な姿勢、又は傾けた姿勢に切り替え
ることができるようにする。以上の構成で、無人搬送車
を走行させる際にはアクチュエータを作動させてバッフ
ァカセットを傾けておくことで、中のウエハが飛び出さ
ないようにすることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、アクチュ
エータを作動させて、バッファカセットを傾けた姿勢、
水平な姿勢との間で切り替えるようにしているが、バッ
ファカセットの姿勢が水平からわずかでもズレている
と、ウエハを保持したロボットアームを該バッファカセ
ットへ向けて水平に伸張させたとき、目標とする棚、若
しくはその上の棚が邪魔になって挿入できなくなるおそ
れがある。具体的な数値を挙げて説明すると、各棚の間
隔は通例１０ｍｍ程度であり、ウエハはその直径が８イ
ンチ（約２０ｃｍ）、又は１２インチ（約３０ｃｍ）の
２種類があり、何れもその厚さは１ｍｍ程度で、また、
ロボットアームの先端のウエハを保持する部分は厚さ３
ｍｍ程度である。この結果、バッファカセットが水平姿
勢から計算上±０．１°傾いているだけでも、ウエハを
保持したロボットアームを挿入できないことになる。

【０００５】以上のようにバッファカセットの姿勢は厳
密な精度で水平にしておく必要があることに鑑み、バッ
ファカセットが水平な姿勢のときに当接するストッパを
設ける構成が知られ、これによればバッファカセットを
いつも同じ水平姿勢におくことができる。しかし、ウエ
ハを収納したバッファカセットやその付属機器群は相当
の重量物である。また、バッファカセットの傾動に要す
る時間はアイドルタイムになるため、サイクルタイムを
短縮して作業の効率を追求する観点からは、バッファカ
セットの姿勢変更をゆっくり行うことも限界がある。従
って、バッファカセットがストッパに当接した瞬間の衝
撃は小さくない。この衝撃がバッファカセットに伝達さ
れると収納されているウエハの位置ズレの原因となり、
後に、ロボットアームによるウエハのバッファカセット
からの取り出しや他の装置に対する受け渡しが困難とな
ってしまう問題がある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。すなわち、請求項１記載の如く、ウ
エハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッ
ファカセットと、該バッファカセットの姿勢を水平姿勢
及び傾斜姿勢に変更可能な揺動手段と、該バッファカセ
ットの水平姿勢を規定するストッパと、を備える無人搬
送車において、該バッファカセットと該ストッパとの間
に防振手段を介設した。

【０００７】そして、請求項２記載の如く、前記防振手
段は軟弾性の防振部材と硬性の当接部材とで構成して、
前記バッファカセット又は前記ストッパの何れか一側に
配設するものとし、防振部材の当接面は該当接部材の当
接面よりも他側に近接する方向にオフセットされて配置
する。

【０００８】また、請求項３記載の如く、前記ストッパ
の当接面又は前記当接部材の当接面の少なくともいずれ
か一方の高さ位置を調節する高さ調節手段を設ける。

【０００９】

【発明の実施の形態】これより、本発明の実施の一形態
を、図面を参照しながら説明する。図１はクリーンルー
ム内の無人搬送車１の様子を示す斜視図、図２は無人搬
送車１の側面断面図、図３はバッファカセット５の側面
断面図であり、同図（ａ）はバッファカセット５の水平
姿勢を、同図（ｂ）は傾斜姿勢を、それぞれ示す。ま
た、図４はストッパ機構５４の側面図であり、同図
（ａ）はバッファカセット５が水平姿勢に移行する前の
状態を、同図（ｂ）はストッパ機構５４によって水平姿
勢に保持された状態を、それぞれ示す。

【００１０】まず、無人搬送車１の全体構成について説
明する。以下の説明では、図１における矢視Ｆ方向を前
方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、
その他の図面における各構造体の前後左右位置も図１に
準ずるものとする。

【００１１】図１に示すように、無人搬送車１は、走行
レール２０・２０上を自動走行する有軌道台車であり、
車体本体２が走行輪９・９・９・９により支持され、該
走行輪９・９・９・９はそのそれぞれに対応した駆動モ
ータ８・８・８・８（図２）で駆動させることで、走行
レール２０・２０上を四輪駆動で走行させている。尚、
本実施の形態では、スリップを減らす為に全ての走行輪
９・９・９・９に駆動を伝えるようにしており、各走行
輪９・９・９・９にはそれぞれ駆動モータ８・８・８・
８が取り付けられているが、全ての走行輪９・９・９・
９に駆動を伝達する機構は、これに限定することなく、
他の機構でもよい。また、駆動輪は車体前後にそれぞれ
設けられていれば、４輪に限らず、その数は限定しな
い。

【００１２】前記走行レール２０・２０に沿って、処理
装置２１・２１・・・やストッカ２２が並べて配設さ
れ、該ストッカ２２上に複数のカセット２３・２３・・
・が所定間隔を空けて並設されている。各カセット２３
・２３・・・は、その開口を走行レール２０・２０側へ
向けて配置され、該カセット２３内には上下に多数段の
棚が設けられ、各棚にウエハ１０・１０・・・が水平に
収納されている。本実施の形態では、ストッカ２２を平
置型のストッカとしているが、カセット２３の搬出入口
と、多数の棚と、棚と搬出入口との間でカセット２３を
移載するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫であっ
ても良い。

【００１３】図２に示すように、前記無人搬送車１の車
体本体２には、その中央にウエハ１０・１０・・・を移
載する移載装置３が配設され、その前後に、ウエハ１０
・１０・・・の方向及び中心位置を揃える姿勢合わせ装
置４と、ウエハ１０・１０・・・を収納するバッファカ
セット５とが配設されている。

【００１４】次に、前記移載装置３について説明する。
移載装置３は、移載アーム３０Ｍ・３０Ｓ、基台３８、
ターンテーブル３９等から成り、基台３８は車体本体２
中央に埋設され、該基台３８上にターンテーブル３９が
枢設され、該ターンテーブル３９上に一対の移載アーム
３０Ｍ・３０Ｓが取り付けられている。

【００１５】前記基台３８は昇降可能に構成され、ま
た、前記ターンテーブル３９は該基台３８に対して相対
回転可能に構成されている。前記移載アーム３０Ｍ（３
０Ｓ）は、移載ハンド３１と、第１アーム３２と、第２
アーム３３とでリンク機構が組まれたスカラーアーム式
のロボットハンドであり、サーボモータ等から成るアク
チュエータにより屈折自在に構成されている。

【００１６】次に、前記姿勢合わせ装置４について説明
する。姿勢合わせ装置４は、ケーシング４０、載置台４
１、オリフラセンサ４２・４２、オプティカルキャラク
タリーダ（以下「ＯＣＲ」）４３等から成り、該ケーシ
ング４０は移載装置３側が開口して、その入口付近には
２組のオリフラセンサ４２・４２が配設され、それぞれ
天井面に投光器４２ａ、床面に受光器４２ｂを埋設して
構成されている。この２組のオリフラセンサ４２・４２
は、外側（ケーシング４０の開口入口側）のオリフラセ
ンサ４２で１２インチのウエハ１０のオリフラ位置（又
はノッチ位置）を検出し、内側（ケーシング４０の開口
奥側）のオリフラセンサ４２で８インチのウエハ１０Ｓ
のオリフラ位置（又はノッチ位置）を検出するように構
成されている。

【００１７】また、ケーシング４０の開口の床面、奥側
にはＯＣＲ４３が埋設され、該ケーシング４０内に、Ｉ
Ｄマークの付された面を下側にしてウエハ１０をセット
し、該ＩＤマーク１１を該ＯＣＲ４３で読み取る構成と
する。尚、ＩＤマークの面を上側にしてウエハ１０をセ
ットしてもよく、この場合、ＯＣＲ４３はケーシング４
０の開口の天井面、奥側に配置し、あるいは、作業過程
でウエハ１０の盤面が上下入れ替わることも考慮して、
図２に示すように、ケーシング４０の開口の天井面、及
び床面の奥側に、上下一対のＯＣＲ４３・４３を配置す
る構成とすることが好ましい。

【００１８】また、ケーシング４０の開口の床面には、
ウエハ１０を載置する載置台４１が設けられている。該
載置台４１は円盤状の形状で、その回転中心には吸着孔
が設けられ、該吸着孔から同心円状、並びに放射線状に
複数の吸着溝が設けられている。この構成で、ウエハ１
０を載置台４１上に載置した状態で吸着孔からエアポン
プで吸引することによってウエハ１０を吸着・保持し、
載置台４１を回転させたときに、ウエハ１０が遠心力で
位置ズレしないようにしている。

【００１９】次に、前記バッファカセット５について説
明する。図２及び図３に示すように、バッファカセット
５は、その入口を前方（移載装置３側）へ向けて可動ベ
ース部材５０上に固定され、該可動ベース部材５０は車
体本体２より立設された基部フレーム（図外）上に配置
されている。該バッファカセット５内には上下に多数段
の棚が設けられ、この棚にウエハ１０・１０・・・が収
納される。

【００２０】詳しくは、該棚はバッファカセット５内の
左右内側面から若干の幅だけ突出されるのみであって、
ウエハ１０の両端下面を支持するだけである。各段の棚
の間口の左右幅はウエハ１０の直径よりも適宜のマージ
ンをもってやや広く形成されているので、ウエハ１０を
吸着保持する移載ハンド３１が多少横方向へブレていて
も、あるいは、ウエハ１０の回転中心と移載ハンド３１
の中心（左右中心）とが一致しないまま保持されていた
としても、該棚の間口からウエハ１０を挿し込むことが
可能である。各段の棚の間口はウエハ１０の直径よりも
やや広く形成され、バッファカセット５の左右内側面
は、入口側は互いに平行とする一方、奥側は「Ｖ」字状
に徐々に狭めた形状とされている。この構成により、バ
ッファカセット５が後述する機構により奥側が下となる
傾斜姿勢とされたときには、ウエハ１０はその自重によ
って奥側へ滑り落ちるとともに、その両側は前記「Ｖ」
字状の部分に案内される。この結果、ウエハ１０が最奥
部まで落ち込んだときには、各ウエハ１０の回転中心が
バッファカセット５の左右中心と一致する位置で綺麗に
揃うことになる。

【００２１】前記可動ベース部材５０下面の後端側寄り
の位置には、その揺動中心としての回動支点軸５６が横
設され、該回動支点軸５６は、搬送車本体上面に設けら
れた図示しない基部フレームの後部に軸支されている。
バッファカセット５下方における車体本体２には傾動手
段たるエアシリンダ５２が揺動可能に埋設され、そのシ
リンダロッド５２ａは前記基部フレーム内に突出し、該
シリンダロッド５２ａ上端は、可動ベース部材５０下面
に固定したブラケット５３に回動自在に連結される。前
記エアシリンダ５２の周囲には、エアシリンダ５２の直
径より充分大きい直径の逃がし孔２ｂが設けられ、車体
本体２下面へと連通されている。

【００２２】このエアシリンダ５２を作動させてシリン
ダロッド５２ａを進退させることによって、ブラケット
５３を介して可動ベース部材５０が上昇／下降され、こ
れによりバッファカセット５の可動ベース部材５０を該
回動支点軸５６まわりに上下に傾動させることができ
る。なお、空気によって作動する該エアシリンダ５２を
アクチュエータとして採用することで、バッファカセッ
ト５内に収納されるウエハ１０・１０・・・に振動が極
力伝わらないようにしたいという要請に配慮している。
即ち、無人搬送車１から処理装置２１へ移載の際、常に
ウエハ１０・１０・・・の向きを一定にして受け渡し、
検査処理の迅速化が図られているのであるが、そのため
に姿勢合わせ装置４でウエハ１０・１０・・・のＩＤマ
ークを読み取るとともに、ウエハ１０・１０・・・のオ
リフラ位置（又はノッチ位置）を一定方向に揃え、その
揃えた状態のままウエハをバッファカセット５内に収納
しているのである。このようにいったん揃えたウエハ１
０・１０・・・が位置ズレしたり回転してしまわないよ
うに、エアシリンダ５２の空気バネの如き作用によって
車両走行中に発生する振動を緩衝させているのである。

【００２３】また、基部フレームの内側にあっては、そ
の前部位置、並びに後部位置にストッパ機構５４Ｆ・５
４Ｂが設けられて、バッファカセット５の水平姿勢及び
傾斜姿勢を規定している。本実施例において「水平姿
勢」とは、図３（ａ）に示すように、ウエハ１０・１０
・・・を載置する棚が水平となるときのバッファカセッ
ト５の位置姿勢を言い、「傾斜姿勢」とは、同図（ｂ）
に示すように、該棚の入口側（前方）が上方へ傾いたと
きの位置姿勢を言う。

【００２４】バッファカセット５の入口付近にはストッ
パロッド５５が設けられ、該入口を挟んで配置される上
下のフレームの左端位置から中央位置にかけて溝部が形
成されて、該溝部にストッパロッド５５の上下端が挿入
され、該溝部に沿ってストッパロッド５５が移動可能と
なっている。無人搬送車１の停止状態においては該スト
ッパロッド５５はバッファカセット５の入口の左端位置
にある。無人搬送車１を走行させる際には（前述の如く
バッファカセット５を傾斜させるとともに）、該ストッ
パロッド５５をバッファカセット５の入口の中央位置ま
でスライドさせてウエハ１０・１０・・・の端部に接触
させて保持し、ウエハ１０・１０・・・の飛び出しを確
実に防止する。

【００２５】図３（ａ）（ｂ）に示すように、回動支点
軸５６を支持する前記基部フレームの周囲（前後左右）
は、第一カバーたる固定カバー５１で覆われている。基
部フレームの後面を覆う該固定カバー５１の部分は、そ
の上部を階段状に後方へ膨出させて膨出部５１ｂとし、
バッファカセット５を図３（ｂ）の傾斜姿勢としたとき
に可動ベース部材５０の後端下部が固定カバー５１と干
渉しないようにしている。

【００２６】また、可動ベース部材５０の前面、並びに
両側面より移動カバー５０ａを垂設しておき、この移動
カバー５０ａは、バッファカセット５を傾斜させる際に
は上昇するように構成している。図３（ａ）に示す傾斜
姿勢のときに、該移動カバー５０ａの下端と固定カバー
５１ａの上端とは適宜重複するようにしており、また、
この傾斜姿勢にある可動ベース部材５０と固定カバー後
部５１ｂの隙間は極力小さくしておく。これによって、
エアシリンダ５２で発生した塵挨が外へ飛散しないよう
になっている。

【００２７】次に前記ストッパ機構５４（５４Ｆ・５４
Ｂ）について説明する。図４（ａ）（ｂ）はバッファカ
セット５の水平姿勢を規定するストッパ機構５４Ｆにつ
いて説明するものであるが、他方のストッパ機構５４Ｂ
についても構造は全く同じである。図４（ａ）に示すよ
うに、ストッパ機構５４Ｆは、その高さ位置が調節可能
なアジャスタ付きのメカストッパ５７と、可動ベース部
材５０下面に凸設された当接部５０ｄ・５０ｄと、該当
接部５０ｄ下面に貼設した防振部材５８及び当接部材５
９とで構成されている。なお、防振部材５８及び当接部
材５９は、メカストッパ５７側に設けられていても構わ
ない。

【００２８】防振部材５８には軟弾性の部材を使用し、
例えば、跳ね返り係数が略ゼロのハネナイト（登録商
標）等を使用する。一方、当接部材５９には金属等硬性
の部材を使用する。該当接部材５９は円柱状に形成さ
れ、また、防振部材５８はドーナツ状に形成されて、そ
の中空部分に当接部材５９が配置されている。また、防
振部材５８の厚みは当接部材５９の厚みよりも厚く形成
され、そのため、該当接部材５９のメカストッパ５７上
面に対する当接面は、該防振部材５８のそれよりも、前
記メカストッパ５７上面に対し近接するようオフセット
された位置関係にある。

【００２９】この構成によって、前記エアシリンダ５２
を作動させて、前記バッファカセット５を傾斜姿勢から
水平姿勢へ移行させるときは、水平姿勢への移行完了直
前に、防振部材５８がメカストッパ５７の上面に衝突す
ることとなる。このとき、防振部材５８はその衝撃を緩
和しながら圧縮され、該衝撃が十分に減殺されたところ
で、図４（ｂ）で示すように、該メカストッパ５７の上
面に当接部材５９が緩やかに当たる。このため、バッフ
ァカセット５内に収納されているウエハ１０・１０・・
・へは殆ど衝撃が伝わらないので、ウエハ１０・１０・
・・が位置ズレする心配もない。

【００３０】前記当接部材５９がメカストッパ５７の上
面に当接することで、バッファカセット５は水平姿勢と
なっている。このように、前方のストッパ機構５４Ｆに
よって、該バッファカセット５の水平姿勢が規定される
のである。ストッパ機構５４Ｆのメカストッパ５７はア
ジャスタ付きとし、その高さの微調整が可能となってい
るので、バッファカセット５が水平姿勢から仮にズレて
いたとしても、水平姿勢となるよう調節して補正でき
る。なお、アジャスタが当接部材５９側に設けられてい
ても構わない。

【００３１】もし、バッファカセット５が水平になって
いなければ、ウエハ１０を吸着保持した移載ハンド３１
を水平に伸張させて該バッファカセット５内に挿入しよ
うとしても、目標とする棚やその上の棚が邪魔になっ
て、上手くいかない。具体的な寸法を示すと、各棚の間
隔は約１０ｍｍで、ウエハはその直径が８インチ（約２
０ｃｍ）、又は１２インチ（約３０ｃｍ）の２種類があ
り、何れもその厚さは１ｍｍ程度で、また、移載ハンド
３１は厚さ３ｍｍ程度であり、このため、バッファカセ
ット５が水平から±０．１°傾いているだけでも、その
棚へ、ウエハ１０を吸着保持した移載ハンド３１を挿入
できない。この点、以上に説明した構成によって、バッ
ファカセット５を厳密な精度で水平姿勢とすることがで
き、支障なくウエハ１０・１０・・・を該バッファカセ
ット５内へ収納することができる。

【００３２】前記ストッパ機構５４Ｆから回動支点軸５
６を挟んで後方側にも、全く同様のストッパ機構５４Ｂ
が傾けた状態で配置され、可動ベース部材５０が一定以
上傾斜したときにその後部下面をメカストッパ５７に当
接させることによって、バッファカセット５の傾斜姿勢
が規定される。

【００３３】

【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、次の
ような効果を奏するのである。すなわち、請求項１のよ
うに、ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納
するバッファカセットと、該バッファカセットの姿勢を
水平姿勢及び傾斜姿勢に変更可能な揺動手段と、該バッ
ファカセットの水平姿勢を規定するストッパと、を備え
る無人搬送車において、該バッファカセットと該ストッ
パとの間に防振手段を介設することで、バッファカセッ
トが傾斜姿勢から水平姿勢に移行する際にストッパとの
間で発生する衝撃が、防振手段によって緩衝される。従
って、バッファカセット内に収納されているウエハへ伝
達される衝撃が緩和されて、ウエハの位置ズレを防止す
ることができる。

【００３４】そして、請求項２のように、前記防振手段
は軟弾性の防振部材と硬性の当接部材とで構成して、前
記バッファカセット又は前記ストッパの何れか一側に配
設するものとし、防振部材の当接面は該当接部材の当接
面よりも他側に近接する方向にオフセットされて配置す
ることで、バッファカセットが傾斜姿勢から水平姿勢に
移行する際には、先ず該防振手段が当接して変形しなが
らその衝撃をやわらかく緩衝し、その緩衝後に当接部材
が当接することとなる。従って、バッファカセット内に
収納されるウエハへの衝撃が防振手段により緩和される
のでウエハの位置ズレが防止され、同時に、変形しない
硬性の当接部材によってバッファカセットはいつも同じ
水平姿勢に精度よく保持される。

【００３５】また、請求項３のように、前記ストッパ、
若しくは前記当接部材の高さ位置を調節する高さ調節手
段を設けることで、バッファカセットの水平姿勢の微調
整が可能であり、バッファカセットをその精度よい水平
姿勢におくことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルーム内の無人搬送車１の様子を示す
斜視図。

【図２】無人搬送車１の側面断面図。

【図３】バッファカセット５の側面断面図。（ａ）はバ
ッファカセット５の水平姿勢を、（ｂ）は傾斜姿勢を、
それぞれ示す。

【図４】ストッパ機構５４の側面図。（ａ）はバッファ
カセット５が水平姿勢に移行する前の状態を、（ｂ）は
ストッパ機構５４によって水平姿勢に保持された状態
を、それぞれ示す。

【符号の説明】

１無人搬送車２車体本体２ｂ逃がし孔５バッファカセット１０ウエハ５０可動ベース部材５０ｄ当接部５１基部フレーム５２エアシリンダ５４Ｆ・Ｂストッパ機構５６回動支点軸５７メカストッパ５８防振部材５９当接部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村山貴彦京都市伏見区竹田向代町136番地ムラタエンジニアリング株式会社内Ｆターム(参考） 3F022 AA08 CC02 DD01 EE05 FF01 JJ07 KK18 LL12 MM11 MM51 NN01 QQ01 QQ11 5F031 CA02 DA01 DA17 EA01 EA19 EA20 FA01 FA03 FA07 FA11 FA12 FA18 GA08 GA24 GA35 GA36 GA38 GA43 GA47 GA49 GA50 GA58 HA13 HA59 JA04 JA05 JA15 JA17 JA34 JA35 KA02 KA13 KA14 LA15 NA02 NA18 PA21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハを移載する移載装置と、ウエハを
一時収納するバッファカセットと、該バッファカセット
の姿勢を水平姿勢及び傾斜姿勢に変更可能な揺動手段
と、該バッファカセットの水平姿勢を規定するストッパ
と、を備える無人搬送車において、該バッファカセット
と該ストッパとの間に防振手段を介設したことを特徴と
する無人搬送車。
【請求項２】前記防振手段は軟弾性の防振部材と硬性の
当接部材とで構成して、前記バッファカセット又は前記
ストッパの何れか一側に配設するものとし、防振部材の
当接面は該当接部材の当接面よりも他側に近接する方向
にオフセットされて配置されていることを特徴とする、
請求項１記載の無人搬送車。
【請求項３】前記ストッパの当接面又は前記当接部材の
当接面の少なくともいずれか一方の高さ位置を調節する
高さ調節手段を設けたことを特徴とする、請求項２記載
の無人搬送車。