JP3037281B2 - 搬送装置用荷受台および自走搬送装置 - Google Patents
搬送装置用荷受台および自走搬送装置Info
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- JP3037281B2 JP3037281B2 JP27067598A JP27067598A JP3037281B2 JP 3037281 B2 JP3037281 B2 JP 3037281B2 JP 27067598 A JP27067598 A JP 27067598A JP 27067598 A JP27067598 A JP 27067598A JP 3037281 B2 JP3037281 B2 JP 3037281B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置用荷受台
および自走（自動制御）型搬送装置に関し、特に、半導
体製造等に使用される自走（自動制御）型搬送装置（Ａ
ＧＶ；automatedguided vehicle）に用いて好適な搬送
用ウェーハボックス荷受台とそれを備えた自走（自動制
御）型搬送装置に関する。
および自走（自動制御）型搬送装置に関し、特に、半導
体製造等に使用される自走（自動制御）型搬送装置（Ａ
ＧＶ；automatedguided vehicle）に用いて好適な搬送
用ウェーハボックス荷受台とそれを備えた自走（自動制
御）型搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、半導体製造等においてはオートメ
ーション化が進められ、搬送においても無人搬送システ
ムが使用されている。ＡＧＶ搬送システムの概要につい
て図５を参照して説明する。図５に示すように、ＡＧＶ
搬送システムは、ステーション１２間の往来をＡＧＶ１
によって行うものであり、ＡＧＶ１にはウェーハボック
ス１１等を移載する移載フォーク１３が取り付けられて
いる。
ーション化が進められ、搬送においても無人搬送システ
ムが使用されている。ＡＧＶ搬送システムの概要につい
て図５を参照して説明する。図５に示すように、ＡＧＶ
搬送システムは、ステーション１２間の往来をＡＧＶ１
によって行うものであり、ＡＧＶ１にはウェーハボック
ス１１等を移載する移載フォーク１３が取り付けられて
いる。
【０００３】このようなＡＧＶ搬送システムにおいて、
荷受台１４はウェーハボックス１１を目的の場所まで運
ぶ過程において一時仮置きするものであるが、従来の荷
受台１４は図６に示すように、ウェーハボックス１１等
の荷物が荷受台１４で自在に動かないように、上面から
見てウェーハボックス１１の外形よりもやや大きめの寸
法の段差を形成した構造であった。
荷受台１４はウェーハボックス１１を目的の場所まで運
ぶ過程において一時仮置きするものであるが、従来の荷
受台１４は図６に示すように、ウェーハボックス１１等
の荷物が荷受台１４で自在に動かないように、上面から
見てウェーハボックス１１の外形よりもやや大きめの寸
法の段差を形成した構造であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の荷受台
１４では、下記に示す問題点があった。
１４では、下記に示す問題点があった。
【０００５】第１の問題点は、ステーション１２からＡ
ＧＶ１へウェーハボックス１１を移載する時に、ウェー
ハボックス１１が荷受台１４との接触により衝撃を受け
る恐れがあり、その際、ウェーハとウェーハを収納する
カセットとの擦れによりウェーハ表面にキズがついた
り、ウェーハボックス１１内側に付着している微細ゴミ
が飛散してウェーハに付着してしまう恐れがあることで
ある。
ＧＶ１へウェーハボックス１１を移載する時に、ウェー
ハボックス１１が荷受台１４との接触により衝撃を受け
る恐れがあり、その際、ウェーハとウェーハを収納する
カセットとの擦れによりウェーハ表面にキズがついた
り、ウェーハボックス１１内側に付着している微細ゴミ
が飛散してウェーハに付着してしまう恐れがあることで
ある。
【０００６】その理由は、荷受台１４には衝撃を吸収す
る機構はないため、ウェーハボックス１１を荷受台１４
に載置する際に生じる衝撃をウェーハボックス１１が直
に受けてしまうからである。
る機構はないため、ウェーハボックス１１を荷受台１４
に載置する際に生じる衝撃をウェーハボックス１１が直
に受けてしまうからである。
【０００７】第２の問題点は、ＡＧＶ１での搬送時に荷
受台１４上のウェーハボックス１１が位置ズレを起こし
た場合、その位置を修正する機構がないために、ステー
ション１２とウェーハボックス１１の相対位置がずれ、
ステーション１２前での停止位置によっては移載時に移
載ミスを起こすことがあるということである。
受台１４上のウェーハボックス１１が位置ズレを起こし
た場合、その位置を修正する機構がないために、ステー
ション１２とウェーハボックス１１の相対位置がずれ、
ステーション１２前での停止位置によっては移載時に移
載ミスを起こすことがあるということである。
【０００８】その理由は、荷受台１４に設けた段差は、
ウェーハボックス１１が確実に段差に落ち込むように、
ウェーハボックス１１の外形よりもやや大きい寸法で形
成しているため、ウェーハボックス１１と荷受台１４内
側面との間に空間が生じ、ＡＧＶ１の移動の際にウェー
ハボックス１１が動いてしまうためである。
ウェーハボックス１１が確実に段差に落ち込むように、
ウェーハボックス１１の外形よりもやや大きい寸法で形
成しているため、ウェーハボックス１１と荷受台１４内
側面との間に空間が生じ、ＡＧＶ１の移動の際にウェー
ハボックス１１が動いてしまうためである。
【０００９】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、その主たる目的は、半導体生産ラインで使
用するＡＧＶ搬送システムにおいて、ステーションから
ＡＧＶの荷受台へウェーハボックスを移載する時に発生
する衝撃を緩和することや、ＡＧＶによる搬送中のウェ
ーハボックスの位置ズレを合理的に抑制することが出来
る搬送装置用荷受台およびそれを備えたＡＧＶ搬送装置
を提供することにある。
のであって、その主たる目的は、半導体生産ラインで使
用するＡＧＶ搬送システムにおいて、ステーションから
ＡＧＶの荷受台へウェーハボックスを移載する時に発生
する衝撃を緩和することや、ＡＧＶによる搬送中のウェ
ーハボックスの位置ズレを合理的に抑制することが出来
る搬送装置用荷受台およびそれを備えたＡＧＶ搬送装置
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、一部を切り欠いたリング状の支持棒の端
部に底面パッドと側面パッドとを設けた支持手段が取り
付けられた搬送装置用荷受台であって、被搬送物を載置
して荷受けする際、前記被搬送物の底面に当接する底面
パッドが前記被搬送物の降下に伴って押し下げられ、前
記底面パッドに接続された前記リング状の支持棒が前記
搬送装置用荷受台に設けたガイドに沿ってリングの円周
方向の回転することにより、前記リング状の支持棒の他
側端部に配設された側面パッドが前記被搬送物を側面か
ら押圧する方向に駆動するものである。
に、本発明は、一部を切り欠いたリング状の支持棒の端
部に底面パッドと側面パッドとを設けた支持手段が取り
付けられた搬送装置用荷受台であって、被搬送物を載置
して荷受けする際、前記被搬送物の底面に当接する底面
パッドが前記被搬送物の降下に伴って押し下げられ、前
記底面パッドに接続された前記リング状の支持棒が前記
搬送装置用荷受台に設けたガイドに沿ってリングの円周
方向の回転することにより、前記リング状の支持棒の他
側端部に配設された側面パッドが前記被搬送物を側面か
ら押圧する方向に駆動するものである。
【００１１】本発明においては、可撓性を有する部材
が、前記支持手段の前記底面パッドと前記搬送装置用荷
受台の前記被搬送物載置面との間に配設され、前記底面
パッドの略垂直方向の動きを緩衝する構成とすることも
できる。
が、前記支持手段の前記底面パッドと前記搬送装置用荷
受台の前記被搬送物載置面との間に配設され、前記底面
パッドの略垂直方向の動きを緩衝する構成とすることも
できる。
【００１２】また、本発明は、被搬送物を載置する荷受
台が備えられた自走型搬送装置において、一部を切り欠
いたリング状の支持棒の両端に底面パッドと側面パッド
とを設けた支持手段が、荷受台に設けたガイドに沿って
リングの円周方向に移動可能となるように前記荷受台に
取り付けられ、前記底面パッドと前記荷受台との間に、
可撓性を有する部材を少なくとも含む衝撃緩衝手段を備
え、前記被搬送物を前記荷受台に載置するに際して、前
記衝撃緩衝手段によって前記被搬送物が徐々に降下する
に伴い、前記被搬送物の底面に当接する前記底面パッド
が略垂直方向に押圧され、該底面パッドに連結された前
記支持棒がガイドに沿ってリングの円周方向に回転する
ことによって、該支持棒の他端に設けた前記側面パッド
が前記被搬送物の側面を押圧するように略水平方向に駆
動するものである。
台が備えられた自走型搬送装置において、一部を切り欠
いたリング状の支持棒の両端に底面パッドと側面パッド
とを設けた支持手段が、荷受台に設けたガイドに沿って
リングの円周方向に移動可能となるように前記荷受台に
取り付けられ、前記底面パッドと前記荷受台との間に、
可撓性を有する部材を少なくとも含む衝撃緩衝手段を備
え、前記被搬送物を前記荷受台に載置するに際して、前
記衝撃緩衝手段によって前記被搬送物が徐々に降下する
に伴い、前記被搬送物の底面に当接する前記底面パッド
が略垂直方向に押圧され、該底面パッドに連結された前
記支持棒がガイドに沿ってリングの円周方向に回転する
ことによって、該支持棒の他端に設けた前記側面パッド
が前記被搬送物の側面を押圧するように略水平方向に駆
動するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明に係る搬送装置は、その好
ましい一実施の形態において、ＡＧＶ搬送装置の荷受台
（図２の２）に、その一部を切り欠いたリング状の支持
棒（図２の８）の両端に底面パッド（図２の５）と側面
パッド（図２の６）とを備えた支持手段を設けると共
に、底面パッドと荷受台との間にばね（図２の７）を設
け、ウェーハボックスを荷受台に載置するに際し、底面
パッドがウェーハボックスの底面に当接しながらばねの
復元力を受けてゆっくりと略垂直方向に移動するに伴
い、支持棒が荷受台に設けた支持棒ガイド（図２の９）
に沿ってリングの円周方向に回転することによって、側
面パッドがウェーハボックスの側面を押圧するように略
水平方向に駆動するものである。
ましい一実施の形態において、ＡＧＶ搬送装置の荷受台
（図２の２）に、その一部を切り欠いたリング状の支持
棒（図２の８）の両端に底面パッド（図２の５）と側面
パッド（図２の６）とを備えた支持手段を設けると共
に、底面パッドと荷受台との間にばね（図２の７）を設
け、ウェーハボックスを荷受台に載置するに際し、底面
パッドがウェーハボックスの底面に当接しながらばねの
復元力を受けてゆっくりと略垂直方向に移動するに伴
い、支持棒が荷受台に設けた支持棒ガイド（図２の９）
に沿ってリングの円周方向に回転することによって、側
面パッドがウェーハボックスの側面を押圧するように略
水平方向に駆動するものである。
【００１４】上記構成を採用することにより、ウェーハ
ボックスが自重で荷受台に降下するに際して、底面パッ
ドと荷受台との間に設けたばねがウェーハボックスを持
ち上げる方向に作用するために、ウェーハボックスに衝
撃を与えることなく、ゆっくりと荷受台に載置すること
ができる。また、底面パッドと側面パッドとは略円形の
支持棒を介して接続されているため、底面パッドの降下
に応じて側面パッドがウェーハボックスを挟み込みよう
に側面を押圧し、ウェーハボックスを荷受台上で完全に
固定することができる。
ボックスが自重で荷受台に降下するに際して、底面パッ
ドと荷受台との間に設けたばねがウェーハボックスを持
ち上げる方向に作用するために、ウェーハボックスに衝
撃を与えることなく、ゆっくりと荷受台に載置すること
ができる。また、底面パッドと側面パッドとは略円形の
支持棒を介して接続されているため、底面パッドの降下
に応じて側面パッドがウェーハボックスを挟み込みよう
に側面を押圧し、ウェーハボックスを荷受台上で完全に
固定することができる。
【００１５】
【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の一実施例について、図１乃
至図４を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例
を示すＡＧＶ上に取り付けられた荷受台の上面図であ
り、図２は図１のＡ−Ａ線における断面構造を示す断面
図であり、荷受台にウェーハボックスを載置する様子を
説明するものである。また、図３は、荷受台の構造を説
明するための分解図であり、図４は、荷受台の断面図で
ある。
詳細に説明すべく、本発明の一実施例について、図１乃
至図４を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例
を示すＡＧＶ上に取り付けられた荷受台の上面図であ
り、図２は図１のＡ−Ａ線における断面構造を示す断面
図であり、荷受台にウェーハボックスを載置する様子を
説明するものである。また、図３は、荷受台の構造を説
明するための分解図であり、図４は、荷受台の断面図で
ある。
【００１６】まず、図３を用いて、ＡＧＶ１の荷受台１
４の構造について説明する。ＡＧＶ１の荷受台は大きく
分けるとメイン荷受台２とサブ荷受台３と機構部４とか
らなっており、機構部４をメイン荷受台２とサブ荷受台
３とで挟み、ねじ１０で組み付けたものである。機構部
４には、底面パッド５、側面パッド６、ばね７、円形支
持棒８、支持棒ガイド９を備え、円形支持棒８の両端に
は、底面パッド５と側面パッド６が取り付けられてい
る。
４の構造について説明する。ＡＧＶ１の荷受台は大きく
分けるとメイン荷受台２とサブ荷受台３と機構部４とか
らなっており、機構部４をメイン荷受台２とサブ荷受台
３とで挟み、ねじ１０で組み付けたものである。機構部
４には、底面パッド５、側面パッド６、ばね７、円形支
持棒８、支持棒ガイド９を備え、円形支持棒８の両端に
は、底面パッド５と側面パッド６が取り付けられてい
る。
【００１７】円形支持棒８は、支持棒ガイド９を支点と
して、底面パッド５は上下方向に、側面パッド６は左右
方向にそれぞれ動くようになっている。また、ばね７は
円形支持棒８に通されて底面パッド５とメイン荷受台２
との間に取り付けられているため、底面パッド５はメイ
ン荷受台２の平面より上部に突き出ている。
して、底面パッド５は上下方向に、側面パッド６は左右
方向にそれぞれ動くようになっている。また、ばね７は
円形支持棒８に通されて底面パッド５とメイン荷受台２
との間に取り付けられているため、底面パッド５はメイ
ン荷受台２の平面より上部に突き出ている。
【００１８】次に、図２（ａ）乃至（ｃ）と図５を用い
て本実施例の動作について説明する。まず、図２（ａ）
及び図５に示すように、ウェーハボックス１１は、ステ
ーション１２から移載フォーク１３上に載せられてＡＧ
Ｖのメイン荷受台２の真上から下降する。
て本実施例の動作について説明する。まず、図２（ａ）
及び図５に示すように、ウェーハボックス１１は、ステ
ーション１２から移載フォーク１３上に載せられてＡＧ
Ｖのメイン荷受台２の真上から下降する。
【００１９】その後、図２（ｂ）に示すように、ウェー
ハボックス１１は、最初に円形支持棒８の一端に取り付
けられた底面パッド５に接触した後、自重によって下降
を続ける。この時、底面パッド５とメイン荷受台２との
間にはばね７が取り付けられているために、ウェーハボ
ックス１１をゆっくりと下降させることができる。ま
た、側面パッド６は底面パッド５と円形支持棒８で接続
されているため、底面パッド５の下降に連動してメイン
荷受台２の側面よりウェーハボックス１１の側面に向か
って突き出ていく。
ハボックス１１は、最初に円形支持棒８の一端に取り付
けられた底面パッド５に接触した後、自重によって下降
を続ける。この時、底面パッド５とメイン荷受台２との
間にはばね７が取り付けられているために、ウェーハボ
ックス１１をゆっくりと下降させることができる。ま
た、側面パッド６は底面パッド５と円形支持棒８で接続
されているため、底面パッド５の下降に連動してメイン
荷受台２の側面よりウェーハボックス１１の側面に向か
って突き出ていく。
【００２０】そして、図２（ｃ）に示すように、ウェー
ハボックス１１により底面パッド５がメイン荷受台２の
中に完全に押し下げられるとウェーハボックス１１の側
面は、側面パッド６により挟まれる。この時、ばね７の
力を調整することによってウェーハボックス１１に衝撃
を与えることなく荷受台２に移載することができ、ま
た、ウェーハボックス１１の寸法に合わせて円形支持棒
８の形状を調整すれば側面パッド６で完全にウェーハボ
ックス１１を固定することが可能となる。
ハボックス１１により底面パッド５がメイン荷受台２の
中に完全に押し下げられるとウェーハボックス１１の側
面は、側面パッド６により挟まれる。この時、ばね７の
力を調整することによってウェーハボックス１１に衝撃
を与えることなく荷受台２に移載することができ、ま
た、ウェーハボックス１１の寸法に合わせて円形支持棒
８の形状を調整すれば側面パッド６で完全にウェーハボ
ックス１１を固定することが可能となる。
【００２１】なお、ウェーハボックス１１がメイン荷受
台２より取り除かれると、底面パッド５とメイン荷受台
２との間に収縮されたばね７の復元力により、底面パッ
ド５は再びメイン荷受台２の上方に押し出され、側面パ
ッド６はメイン荷受台２の側面に収納される。
台２より取り除かれると、底面パッド５とメイン荷受台
２との間に収縮されたばね７の復元力により、底面パッ
ド５は再びメイン荷受台２の上方に押し出され、側面パ
ッド６はメイン荷受台２の側面に収納される。
【００２２】このように、本実施例の荷受台１４には、
両端にパッドが設けられた円形支持棒を備え、ウェーハ
ボックス１１の底面と接触する底面パッド５とメイン荷
受台２との間にばね７が設けられているために、ウェー
ハボックス１１が荷受台に接触する際にばねの力によっ
てその衝撃を和らげることができる。また、底面パッド
５が下がるに従って、円形支持棒８が支持棒ガイド９に
よって回転し、側面パッド６がウェーハボックス１１を
挟み込むように側面から押さえつけるために、ウェーハ
ボックス１１が荷受台１４に完全に固定され、ＡＧＶ１
の移動の際の位置ずれを防ぐことが可能となる。
両端にパッドが設けられた円形支持棒を備え、ウェーハ
ボックス１１の底面と接触する底面パッド５とメイン荷
受台２との間にばね７が設けられているために、ウェー
ハボックス１１が荷受台に接触する際にばねの力によっ
てその衝撃を和らげることができる。また、底面パッド
５が下がるに従って、円形支持棒８が支持棒ガイド９に
よって回転し、側面パッド６がウェーハボックス１１を
挟み込むように側面から押さえつけるために、ウェーハ
ボックス１１が荷受台１４に完全に固定され、ＡＧＶ１
の移動の際の位置ずれを防ぐことが可能となる。
【００２３】なお、本実施例では、底面パッド５とメイ
ン荷受台２との間にばね７を設けた例について説明した
が、本発明は該構造に限定されるものではなく、ウェー
ハボックス１１の降下を遅くする構造、例えば、可撓性
を有する樹脂等の部材を挟む構造や、空気圧、水圧等を
利用した構造を用いることもできる。また、側面パッド
６とウェーハボックス１１との間に可撓性を有する部材
を挟み込む構造によっても同様の効果を得ることができ
る。
ン荷受台２との間にばね７を設けた例について説明した
が、本発明は該構造に限定されるものではなく、ウェー
ハボックス１１の降下を遅くする構造、例えば、可撓性
を有する樹脂等の部材を挟む構造や、空気圧、水圧等を
利用した構造を用いることもできる。また、側面パッド
６とウェーハボックス１１との間に可撓性を有する部材
を挟み込む構造によっても同様の効果を得ることができ
る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
下記記載の効果を奏する。
下記記載の効果を奏する。
【００２５】第１の効果は、ウェーハボックスをＡＧＶ
の荷受台に移載する際に、ウェーハボックスの底面と荷
受台とが接触する時に発生する衝撃を緩和することがで
きることである。その理由は、底面パッドと荷受台との
間に設けたばねの反発力によりウェーハボックスの下降
速度が緩和されるからである。
の荷受台に移載する際に、ウェーハボックスの底面と荷
受台とが接触する時に発生する衝撃を緩和することがで
きることである。その理由は、底面パッドと荷受台との
間に設けたばねの反発力によりウェーハボックスの下降
速度が緩和されるからである。
【００２６】第２の効果は、ＡＧＶによるウェーハボッ
クス搬送時に荷受台上のウェーハボックスの位置ズレが
生じなくなり、ステーションとＡＧＶ間の移載精度が向
上することである。その理由は、底面パッドが下方向に
押し下げられた時に、側面から押し出される側面パッド
がウェーハボックスの側面を押さえつけるため、ウェー
ハボックスと荷受台側面との間にあったスペースがなく
なり、ウェーハボックスを荷受台に完全に固定すること
ができるからである。
クス搬送時に荷受台上のウェーハボックスの位置ズレが
生じなくなり、ステーションとＡＧＶ間の移載精度が向
上することである。その理由は、底面パッドが下方向に
押し下げられた時に、側面から押し出される側面パッド
がウェーハボックスの側面を押さえつけるため、ウェー
ハボックスと荷受台側面との間にあったスペースがなく
なり、ウェーハボックスを荷受台に完全に固定すること
ができるからである。
【図１】本発明の一実施例に係る荷受台の構造を説明す
るための上面図である。
るための上面図である。
【図２】本発明の一実施例に係る荷受台の動作を説明す
るための図であり、図１のＡ−Ａ線における断面図であ
る。
るための図であり、図１のＡ−Ａ線における断面図であ
る。
【図３】本発明の一実施例に係る荷受台の構造を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図４】本発明の一実施例に係る荷受台の支持機構を説
明するための断面図である。
明するための断面図である。
【図５】ＡＧＶでウェーハボックスを運搬する様子を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図６】従来の荷受台の構造を説明するための上面図で
ある。
ある。
１ ＡＧＶ ２ メイン荷受台 ３ サブ荷受台 ４ 機構部 ５ 底面パッド ６ 側面パッド ７ ばね ８ 円形支持棒 ９ 支持棒ガイド １０ ねじ １１ ウェーハボックス １２ ステーション １３ 移載フォーク １４ 荷受台
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 H01L 21/68 B61B 13/00
Claims (5)
- 【請求項１】一部を切り欠いたリング状の支持棒の端部
に底面パッドと側面パッドとを設けた支持手段が取り付
けられた搬送装置用荷受台であって、 被搬送物を載置して荷受けする際、前記被搬送物の底面
に当接する底面パッドが前記被搬送物の降下に伴って押
し下げられ、前記底面パッドに接続された前記リング状
の支持棒が前記搬送装置用荷受台に設けたガイドに沿っ
てリングの円周方向の回転することにより、前記リング
状の支持棒の他側端部に配設された側面パッドが前記被
搬送物を側面から押圧する方向に駆動する、ことを特徴
とする搬送装置用荷受台。 - 【請求項２】可撓性を有する部材が、前記支持手段の前
記底面パッドと前記搬送装置用荷受台の前記被搬送物載
置面との間に配設され、前記底面パッドの略垂直方向の
動きを緩衝する請求項１記載の搬送装置用荷受台。 - 【請求項３】被搬送物を載置する荷受台が備えられた自
走型搬送装置において、 一部を切り欠いたリング状の支持棒の両端に底面パッド
と側面パッドとを設けた支持手段が、荷受台に設けたガ
イドに沿ってリングの円周方向に移動可能となるように
前記荷受台に取り付けられ、 前記底面パッドと前記荷受台との間に、可撓性を有する
部材を少なくとも含む衝撃緩衝手段を備え、 前記被搬送物を前記荷受台に載置するに際して、前記衝
撃緩衝手段によって前記被搬送物が徐々に降下するに伴
い、前記被搬送物の底面に当接する前記底面パッドが略
垂直方向に押圧され、該底面パッドに連結された前記支
持棒がガイドに沿ってリングの円周方向に回転すること
によって、該支持棒の他端に設けた前記側面パッドが前
記被搬送物の側面を押圧するように略水平方向に駆動す
る、ことを特徴とする自走型搬送装置。 - 【請求項４】前記側面パッドと前記被搬送物との間に可
撓性を有する部材を備えた、ことを特徴とする請求項３
記載の自走型搬送装置。 - 【請求項５】前記可撓性を有する部材が、ばねよりなる
請求項３又は４に記載の自走型搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27067598A JP3037281B2 (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | 搬送装置用荷受台および自走搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27067598A JP3037281B2 (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | 搬送装置用荷受台および自走搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000095350A JP2000095350A (ja) | 2000-04-04 |
| JP3037281B2 true JP3037281B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=17489389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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1998
- 1998-09-25 JP JP27067598A patent/JP3037281B2/ja not_active Expired - Fee Related
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