JP3037281B2 - 搬送装置用荷受台および自走搬送装置 - Google Patents

搬送装置用荷受台および自走搬送装置

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JP3037281B2 JP27067598A JP27067598A JP3037281B2 JP 3037281 B2 JP3037281 B2 JP 3037281B2 JP 27067598 A JP27067598 A JP 27067598A JP 27067598 A JP27067598 A JP 27067598A JP 3037281 B2 JP3037281 B2 JP 3037281B2
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宏明 藤本
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置用荷受台
および自走(自動制御)型搬送装置に関し、特に、半導
体製造等に使用される自走(自動制御)型搬送装置(A
GV;automatedguided vehicle)に用いて好適な搬送
用ウェーハボックス荷受台とそれを備えた自走(自動制
御)型搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、半導体製造等においてはオートメ
ーション化が進められ、搬送においても無人搬送システ
ムが使用されている。AGV搬送システムの概要につい
て図5を参照して説明する。図5に示すように、AGV
搬送システムは、ステーション12間の往来をAGV1
によって行うものであり、AGV1にはウェーハボック
ス11等を移載する移載フォーク13が取り付けられて
いる。
【0003】このようなAGV搬送システムにおいて、
荷受台14はウェーハボックス11を目的の場所まで運
ぶ過程において一時仮置きするものであるが、従来の荷
受台14は図6に示すように、ウェーハボックス11等
の荷物が荷受台14で自在に動かないように、上面から
見てウェーハボックス11の外形よりもやや大きめの寸
法の段差を形成した構造であった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の荷受台
14では、下記に示す問題点があった。
【0005】第1の問題点は、ステーション12からA
GV1へウェーハボックス11を移載する時に、ウェー
ハボックス11が荷受台14との接触により衝撃を受け
る恐れがあり、その際、ウェーハとウェーハを収納する
カセットとの擦れによりウェーハ表面にキズがついた
り、ウェーハボックス11内側に付着している微細ゴミ
が飛散してウェーハに付着してしまう恐れがあることで
ある。
【0006】その理由は、荷受台14には衝撃を吸収す
る機構はないため、ウェーハボックス11を荷受台14
に載置する際に生じる衝撃をウェーハボックス11が直
に受けてしまうからである。
【0007】第2の問題点は、AGV1での搬送時に荷
受台14上のウェーハボックス11が位置ズレを起こし
た場合、その位置を修正する機構がないために、ステー
ション12とウェーハボックス11の相対位置がずれ、
ステーション12前での停止位置によっては移載時に移
載ミスを起こすことがあるということである。
【0008】その理由は、荷受台14に設けた段差は、
ウェーハボックス11が確実に段差に落ち込むように、
ウェーハボックス11の外形よりもやや大きい寸法で形
成しているため、ウェーハボックス11と荷受台14内
側面との間に空間が生じ、AGV1の移動の際にウェー
ハボックス11が動いてしまうためである。
【0009】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、その主たる目的は、半導体生産ラインで使
用するAGV搬送システムにおいて、ステーションから
AGVの荷受台へウェーハボックスを移載する時に発生
する衝撃を緩和することや、AGVによる搬送中のウェ
ーハボックスの位置ズレを合理的に抑制することが出来
搬送装置用荷受台およびそれを備えたAGV搬送装置
を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、一部を切り欠いたリング状の支持棒の端
部に底面パッドと側面パッドとを設けた支持手段が取り
付けられた搬送装置用荷受台であって、被搬送物を載置
て荷受けする際、前記被搬送物の底面に当接する底面
パッドが前記被搬送物の降下に伴って押し下げられ、前
記底面パッドに接続された前記リング状の支持棒が前記
搬送装置用荷受台に設けたガイドに沿ってリングの円周
方向の回転することにより、前記リング状の支持棒の他
側端部に配設された側面パッドが前記被搬送物を側面か
ら押圧する方向に駆動するものである。
【0011】本発明においては、可撓性を有する部材
が、前記支持手段の前記底面パッドと前記搬送装置用荷
受台の前記被搬送物載置面との間に配設され、前記底面
パッドの略垂直方向の動きを緩衝する構成とすることも
できる。
【0012】また、本発明は、被搬送物を載置する荷受
台が備えられた自走型搬送装置において、一部を切り欠
いたリング状の支持棒の両端に底面パッドと側面パッド
とを設けた支持手段が、荷受台に設けたガイドに沿って
リングの円周方向に移動可能となるように前記荷受台に
取り付けられ、前記底面パッドと前記荷受台との間に、
可撓性を有する部材を少なくとも含む衝撃緩衝手段を備
え、前記被搬送物を前記荷受台に載置するに際して、前
記衝撃緩衝手段によって前記被搬送物が徐々に降下する
に伴い、前記被搬送物の底面に当接する前記底面パッド
が略垂直方向に押圧され、該底面パッドに連結された前
記支持棒がガイドに沿ってリングの円周方向に回転する
ことによって、該支持棒の他端に設けた前記側面パッド
が前記被搬送物の側面を押圧するように略水平方向に駆
動するものである。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明に係る搬送装置は、その好
ましい一実施の形態において、AGV搬送装置の荷受台
(図2の2)に、その一部を切り欠いたリング状の支持
棒(図2の8)の両端に底面パッド(図2の5)と側面
パッド(図2の6)とを備えた支持手段を設けると共
に、底面パッドと荷受台との間にばね(図2の7)を設
け、ウェーハボックスを荷受台に載置するに際し、底面
パッドがウェーハボックスの底面に当接しながらばねの
復元力を受けてゆっくりと略垂直方向に移動するに伴
い、支持棒が荷受台に設けた支持棒ガイド(図2の9)
に沿ってリングの円周方向に回転することによって、側
面パッドがウェーハボックスの側面を押圧するように略
水平方向に駆動するものである。
【0014】上記構成を採用することにより、ウェーハ
ボックスが自重で荷受台に降下するに際して、底面パッ
ドと荷受台との間に設けたばねがウェーハボックスを持
ち上げる方向に作用するために、ウェーハボックスに衝
撃を与えることなく、ゆっくりと荷受台に載置すること
ができる。また、底面パッドと側面パッドとは略円形の
支持棒を介して接続されているため、底面パッドの降下
に応じて側面パッドがウェーハボックスを挟み込みよう
に側面を押圧し、ウェーハボックスを荷受台上で完全に
固定することができる。
【0015】
【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の一実施例について、図1乃
至図4を参照して説明する。図1は、本発明の一実施例
を示すAGV上に取り付けられた荷受台の上面図であ
り、図2は図1のA−A線における断面構造を示す断面
図であり、荷受台にウェーハボックスを載置する様子を
説明するものである。また、図3は、荷受台の構造を説
明するための分解図であり、図4は、荷受台の断面図で
ある。
【0016】まず、図3を用いて、AGV1の荷受台1
4の構造について説明する。AGV1の荷受台は大きく
分けるとメイン荷受台2とサブ荷受台3と機構部4とか
らなっており、機構部4をメイン荷受台2とサブ荷受台
3とで挟み、ねじ10で組み付けたものである。機構部
4には、底面パッド5、側面パッド6、ばね7、円形支
持棒8、支持棒ガイド9を備え、円形支持棒8の両端に
は、底面パッド5と側面パッド6が取り付けられてい
る。
【0017】円形支持棒8は、支持棒ガイド9を支点と
して、底面パッド5は上下方向に、側面パッド6は左右
方向にそれぞれ動くようになっている。また、ばね7は
円形支持棒8に通されて底面パッド5とメイン荷受台2
との間に取り付けられているため、底面パッド5はメイ
ン荷受台2の平面より上部に突き出ている。
【0018】次に、図2(a)乃至(c)と図5を用い
て本実施例の動作について説明する。まず、図2(a)
及び図5に示すように、ウェーハボックス11は、ステ
ーション12から移載フォーク13上に載せられてAG
Vのメイン荷受台2の真上から下降する。
【0019】その後、図2(b)に示すように、ウェー
ハボックス11は、最初に円形支持棒8の一端に取り付
けられた底面パッド5に接触した後、自重によって下降
を続ける。この時、底面パッド5とメイン荷受台2との
間にはばね7が取り付けられているために、ウェーハボ
ックス11をゆっくりと下降させることができる。ま
た、側面パッド6は底面パッド5と円形支持棒8で接続
されているため、底面パッド5の下降に連動してメイン
荷受台2の側面よりウェーハボックス11の側面に向か
って突き出ていく。
【0020】そして、図2(c)に示すように、ウェー
ハボックス11により底面パッド5がメイン荷受台2の
中に完全に押し下げられるとウェーハボックス11の側
面は、側面パッド6により挟まれる。この時、ばね7の
力を調整することによってウェーハボックス11に衝撃
を与えることなく荷受台2に移載することができ、ま
た、ウェーハボックス11の寸法に合わせて円形支持棒
8の形状を調整すれば側面パッド6で完全にウェーハボ
ックス11を固定することが可能となる。
【0021】なお、ウェーハボックス11がメイン荷受
台2より取り除かれると、底面パッド5とメイン荷受台
2との間に収縮されたばね7の復元力により、底面パッ
ド5は再びメイン荷受台2の上方に押し出され、側面パ
ッド6はメイン荷受台2の側面に収納される。
【0022】このように、本実施例の荷受台14には、
両端にパッドが設けられた円形支持棒を備え、ウェーハ
ボックス11の底面と接触する底面パッド5とメイン荷
受台2との間にばね7が設けられているために、ウェー
ハボックス11が荷受台に接触する際にばねの力によっ
てその衝撃を和らげることができる。また、底面パッド
5が下がるに従って、円形支持棒8が支持棒ガイド9に
よって回転し、側面パッド6がウェーハボックス11を
挟み込むように側面から押さえつけるために、ウェーハ
ボックス11が荷受台14に完全に固定され、AGV1
の移動の際の位置ずれを防ぐことが可能となる。
【0023】なお、本実施例では、底面パッド5とメイ
ン荷受台2との間にばね7を設けた例について説明した
が、本発明は該構造に限定されるものではなく、ウェー
ハボックス11の降下を遅くする構造、例えば、可撓性
を有する樹脂等の部材を挟む構造や、空気圧、水圧等を
利用した構造を用いることもできる。また、側面パッド
6とウェーハボックス11との間に可撓性を有する部材
を挟み込む構造によっても同様の効果を得ることができ
る。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
下記記載の効果を奏する。
【0025】第1の効果は、ウェーハボックスをAGV
の荷受台に移載する際に、ウェーハボックスの底面と荷
受台とが接触する時に発生する衝撃を緩和することがで
きることである。その理由は、底面パッドと荷受台との
間に設けたばねの反発力によりウェーハボックスの下降
速度が緩和されるからである。
【0026】第2の効果は、AGVによるウェーハボッ
クス搬送時に荷受台上のウェーハボックスの位置ズレが
生じなくなり、ステーションとAGV間の移載精度が向
上することである。その理由は、底面パッドが下方向に
押し下げられた時に、側面から押し出される側面パッド
がウェーハボックスの側面を押さえつけるため、ウェー
ハボックスと荷受台側面との間にあったスペースがなく
なり、ウェーハボックスを荷受台に完全に固定すること
ができるからである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る荷受台の構造を説明す
るための上面図である。
【図2】本発明の一実施例に係る荷受台の動作を説明す
るための図であり、図1のA−A線における断面図であ
る。
【図3】本発明の一実施例に係る荷受台の構造を説明す
るための斜視図である。
【図4】本発明の一実施例に係る荷受台の支持機構を説
明するための断面図である。
【図5】AGVでウェーハボックスを運搬する様子を示
す斜視図である。
【図6】従来の荷受台の構造を説明するための上面図で
ある。
【符号の説明】
1 AGV 2 メイン荷受台 3 サブ荷受台 4 機構部 5 底面パッド 6 側面パッド 7 ばね 8 円形支持棒 9 支持棒ガイド 10 ねじ 11 ウェーハボックス 12 ステーション 13 移載フォーク 14 荷受台
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B65G 1/00 - 1/20 H01L 21/68 B61B 13/00

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一部を切り欠いたリング状の支持棒の端部
    に底面パッドと側面パッドとを設けた支持手段が取り付
    けられた搬送装置用荷受台であって、 被搬送物を載置て荷受けする際、前記被搬送物の底面
    に当接する底面パッドが前記被搬送物の降下に伴って押
    し下げられ、前記底面パッドに接続された前記リング状
    の支持棒が前記搬送装置用荷受台に設けたガイドに沿っ
    てリングの円周方向の回転することにより、前記リング
    状の支持棒の他側端部に配設された側面パッドが前記被
    搬送物を側面から押圧する方向に駆動する、ことを特徴
    とする搬送装置用荷受台。
  2. 【請求項2】可撓性を有する部材が、前記支持手段の前
    記底面パッドと前記搬送装置用荷受台の前記被搬送物載
    置面との間に配設され、前記底面パッドの略垂直方向の
    動きを緩衝する請求項1記載の搬送装置用荷受台。
  3. 【請求項3】被搬送物を載置する荷受台が備えられた
    走型搬送装置において、 一部を切り欠いたリング状の支持棒の両端に底面パッド
    と側面パッドとを設けた支持手段が、荷受台に設けたガ
    イドに沿ってリングの円周方向に移動可能となるように
    前記荷受台に取り付けられ、 前記底面パッドと前記荷受台との間に、可撓性を有する
    部材を少なくとも含む衝撃緩衝手段を備え、 前記被搬送物を前記荷受台に載置するに際して、前記衝
    撃緩衝手段によって前記被搬送物が徐々に降下するに伴
    い、前記被搬送物の底面に当接する前記底面パッドが略
    垂直方向に押圧され、該底面パッドに連結された前記支
    持棒がガイドに沿ってリングの円周方向に回転すること
    によって、該支持棒の他端に設けた前記側面パッドが前
    記被搬送物の側面を押圧するように略水平方向に駆動す
    る、ことを特徴とする自走型搬送装置
  4. 【請求項4】前記側面パッドと前記被搬送物との間に可
    撓性を有する部材を備えた、ことを特徴とする請求項3
    記載の自走型搬送装置
  5. 【請求項5】前記可撓性を有する部材が、ばねよりなる
    請求項3又は4に記載の自走型搬送装置
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