JPS6243339B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は半導体、ガラス板、セラミツク板、
プリント基板などの薄板材（以後ウエハと称す
る。）の収納カセツトの搬送装置に関するもので
ある。

ウエハに金属薄膜の蒸着、フオトレジストの塗
布、ベーキング、露光、現像、エツチング、洗浄
および剥膜などの各処理が順次施されて、たとえ
ば集積回路の製作工程が進められるのであるが、
これらの処理を行う成膜装置、フオトレジスト塗
布装置などにウエハを送りこむに当つては、第１
図に示すようなウエハ収納カセツトにウエハを積
層し、このウエハが収納されたカセツトを人手で
搬送し、前記各処理装置のカセツト載置台上にセ
ツトし、そのハンドリング機構によりウエハを１
枚ずつ取り出すようにされている。

ウエハ収納カセツト１０は、内面に多数個の溝
１１が一定ピツチにて水平に刻設された側板１２
を、連結部材１２′を介して対向結合して構成さ
れ、前記各溝１１にウエハ１３がその周縁部を托
して収納されるのであるが、この収納のために
は、たとえばカセツト１０を角形切欠部を有する
テーブルリフターにセツトし、１対のリングベル
トからなるコンベヤを第１図の矢印方向から前記
角形切欠部に挿入するように設け、このコンベヤ
をその搬送面が最上段の溝１１の中心面に一致す
るよう、前記テーブルリフターによつてカセツト
１０を降下させておいてから前記コンベヤによつ
てウエハ１３を送りこみ、最上段の溝１１に受け
渡し、ついで溝１１のピツチ分だけ前記テーブル
リフターを上昇させ、前記同様にコンベヤから送
られてくるつぎのウエハ１３を上から２段目の溝
１１に受け渡すといつた動作を繰り返すことによ
つて全部の溝１１にウエハ１３をそれに手を触れ
ることなしに収納する方法がとられている。そし
てウエハ１３がカセツト１０の各溝１１に受け渡
しされる際そのオーバランを防止するとともに、
ウエハ１３を垂直方向に対して前後整列させるた
め、カセツト１０を第１図の中間高さ位置の溝１
１にそつて切断し、上方からみた断面図（第２
図）に示されるように、各側板１２にストツパピ
ン１４が各溝１１を貫通して押し込まれている。

またウエハ１３をこのカセツト１０から取り出
すには、前記した収納時における動作を逆方向に
行えばよい。いずれにしてもカセツトを前記した
ウエハの各処理装置のカセツト載置台にセツトす
れば、ウエハの収納ならびに取り出しは前記した
動作またはこれと類似の動作を行うハンドリング
機構によつて自動的に行われるようにされている
のであるが、ウエハ収納カセツト１０それ自体の
前記各処理装置間における搬送は従来主として人
手で行われている。そのために搬送時にウエハに
被服などからのゴミやホコリ等の異物が付着しや
すく、ときにはカセツトからウエハを落下させる
ことがあり、ウエハを落下させずとも、前記スト
ツパピンより前方にウエハをすべり出させ、この
カセツトを前記カセツト載置台にセツトした場合
に、たとえばウエハ有無感知装置の誤動作を招来
するなどの欠点があつた。また一部に行われてい
るウエハ収納カセツトの自動搬送においても従来
の搬送装置では搬送間に伴う振動などにより前記
したウエハのすべり出し、さらには落下が生ずる
欠点を有していた。

この発明は、ウエハをウエハ収納カセツトに収
納し、各処理装置間を搬送する場合における前記
不都合を解消するためになされたものであつて、
ウエハ収納カセツトを挾持し、搬送する際に伴う
振動などによるウエハの収納溝からのすべり出し
を防止するようにしたウエハ収納カセツトの搬送
装置を提供することを目的とし、前記したウエハ
収納カセツトを挾持搬送するようにしたウエハ収
納カセツトの搬送装置において、ウエハ収納カセ
ツトを挟持する機構を、装置本体部に固定された
腕部と、この腕部に傾動自在に係合された傾動制
御桿と、この傾動制御桿に連結されその傾動制御
桿を水平姿勢から傾動させるように駆動する直動
形駆動機と、前記傾動制御桿に係合され、相互の
間隔が狭まることによりウエハ収納カセツトを挟
持する一対のカセツト挟持腕とから構成し、ウエ
ハ収納カセツトの搬送移動時に、前記直動形駆動
機で前記傾動制御桿を傾斜させてカセツト全体を
前上り傾斜姿勢に保持させるようにしたことを特
徴とするウエハ収納カセツトの搬送装置にかかる
ものである。

以下この発明にかかる実施例装置について図面
を参照しながら詳細に説明する。

第３図はこの装置の要部を示す斜視図である。
ウエハ収納カセツト１０を搬送するこの搬送装置
の一部をなす一対の腕部２１には、支持軸２２お
よび門形フレーム２３がそれぞれ固定されてお
り、この支持軸２２の中央位置に傾動制御桿２４
が傾動自在になるように係合され、さらにこの傾
動制御桿２４がその端部にて門形フレーム２３に
エアシリンダ２５を介して連結されている。エア
シリンダ２５はクレビス形のものが用いられてお
り、そのクレビス部が門形フレーム２３に固定し
たブラケツトにピン連接されるとともに、その作
動ロツドが、傾動制御桿２４の端部上面に固定し
たブラケツトに前記同様にピン連接されている。
そしてエアシリンダ２５がその作動ロツドを引き
込んだ場合には傾動制御桿２４は図示のとおり水
平に保持され、その作動ロツドを押し出した場合
には傾動制御桿２４は支持軸２２に対して矢印で
示す反時計方向に回動し、その左端部を下方にし
た前上り傾斜姿勢を保つようにされている。

また傾動制御桿２４には一対の支持兼案内軸２
６がその中央部にて固定されており、支持兼案内
軸２６のそれぞれ端部にカセツト挾持腕２７が摺
動自在なるように係合されている。そしてカセツ
ト挾持腕２７には、２本の支持兼案内軸２６の丁
度中間位置に作動板２８がそれぞれ固定され、こ
の作動板２８に、傾動制御桿２４の下面にそれぞ
れ背中合せに装着された直動形駆動機（この例で
はソレノイド）２９の作動ロツド３０がそれぞれ
連結されている。支持兼案内軸２６には、それぞ
れ端部に抜け止めブツシユ３１が固定されている
とともに、傾動制御桿２４とカセツト挾持腕２７
間に、圧縮コイルばね３２がそれぞれ係合されて
いる。したがつてソレノイド２９に通電がなされ
ていないときは、圧縮コイルばね３２からの弾発
力によつてカセツト挾持腕２７は、支持兼案内軸
２６にそつてそれぞれ外側方向へ摺動させられ、
それぞれの外側面が抜け止めブツシユ３１に当接
し、図示の位置に保たれるようにされている。カ
セツト挾持腕２７は、その内側面にそれぞれゴム
などからなる一対の挾持片３３が接着剤により固
定されている。そしてカセツト挾持腕２７が図示
の位置に保たれている場合には、挾持片３３の挾
持面間の間隔は、カセツト１０の幅寸法Ｂより十
分に大きくなるようにされている。

つぎにこの装置における動作について説明す
る。

いまウエハ１３を収納したカセツト１０が前記
した処理装置の１つのカセツト載置台（図示せ
ず）に拘束されているものとし、このカセツト１
０を前記とは別な処理装置へこの装置によつて搬
送する場合を例にあげて説明する。

エアシリンダ２５によりその作動ロツドを引き
込ませ、傾動制御桿２４を図示のとおり水平状に
しておいて、この装置を左方向からカセツト１０
に図示のように高さをほぼ一致させて接近させ
る。

この場合ソレノイド２９には通電がなされてお
らず、前記したとおりカセツト挾持腕２７はその
間隔が拡げられているので、カセツト挾持腕２７
の挾持片３３をカセツト１０に接触させることな
く、図示のように傾動制御桿２４の前端面に取付
けられたマイクロスイツチ３４の接触片をカセツ
ト１０の連結部材１２′に接触させられる。

この接触によりマイクロスイツチ３４が作動
し、この装置の前記接近動作が停止されると同時
にソレノイド２９に通電がなされる。そして作動
ロツド３０がそれぞれ内側方向に引き込まれるこ
とによつて、カセツト挾持腕２７が圧縮コイルば
ね３２の弾発力に抗して、支持兼案内軸２６にそ
つてそれぞれ内側方向へ平行移動を行い、それぞ
れの挾持片３３がカセツト１０の外側面に押圧さ
れる。このようにカセツト挾持腕２７にカセツト
１０を確実に挾持させてから、カセツト１０の前
記したカセツト載置台との拘束を解除する。つい
でエアシリンダ２５を作動させ、その作動ロツド
を押し出させ、傾動制御桿２４を水平位置からた
とえば10゜〜15゜程度傾斜させ、その状態に保
つ。このように傾動制御桿２４に前上り傾斜姿勢
をとらせると、それに一対の支持兼案内軸２６を
介して係合されているカセツト挾持腕２７ならび
にそれに挾持されているカセツト１０はいずれも
同じ前上り傾斜姿勢を保つこととなる。したがつ
てこの装置においては、前記したとおりそれが挾
持するカセツト１０を前上りに傾斜させた状態に
保持しながらつぎの工程の処理装置へ送りこむこ
とから、カセツト１０の各溝１１に収納されてい
るウエハ１３はいずれもその周縁端面が溝１１に
露出するストツパピン１４にそれぞれ自重の分力
にて押し付けられ、搬送間に振動などが加えられ
ることがあつても前方（図では右方向）へすべり
出すことはなく、搬送される。次工程の処理装置
のカセツト載置台にウエハ収納カセツト１０を載
置するに当つては、エアシリンダ２５によりその
作動ロツドを引き込ませ、傾動制御桿２４を水平
状態に復帰させ、それに伴い挾持腕２７を水平姿
勢に、挾持腕２７に挾持されているウエハ収納カ
セツト１０を図示の垂直姿勢にそれぞれさせてか
ら、このウエハ収納カセツト１０を前記台上の所
定位置に載置し、ソレノイド２９への通電をしや
断し、カセツト挾持腕２７を圧縮コイルばね３２
の弾発力によつて外側方向へ押し出させ、ウエハ
収納カセツト１０の挾持を解除するようにすれば
よい。

この実施例においては、カセツトの傾動機構に
エアシリンダ２５を用いているが、他の直動形駆
動機たとえば複動形ソレノイドを用いるようにし
てもよい。また、カセツト挾持腕２７に挾持動作
を行わせる直動形駆動機にソレノイド２９を用い
ているが、この代りにエアシリンダを背中合せに
組合せて用いてもよい。

この場合には、カセツト挾持腕２７の挾持動作
ならびにその解除動作をいずれもエアシリンダに
積極的に行わせうるので、支持兼案内軸２６に係
合した圧縮コイルばね３２は要しない。

以上の説明によつて明らかなように、この発明
にかかるウエハ収納カセツトの搬送装置において
は、従来カセツトに設けられているストツパ部材
の外に拘束部材を付加せずともウエハを拘束する
ことができ、ウエハ収納カセツトをそれにウエハ
を収納した状態で、ウエハの各処理装置の搬送を
行うに当つて、搬送時に伴う振動などによつてウ
エハをカセツトからすべり出させ、ときには落下
させるといつたトラブルを皆無ならしめることが
できるとともに、ウエハの収納をするカセツト搬
送の自動化ができることにより従来主として行わ
れているウエハ収納カセツトの人手による搬送に
おける被服などからの異物のウエハへの付着を防
止でき、かつ生産性の向上に効を奏するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエハ収納カセツトの斜視図、第２図
はその中間高さ位置の溝にそつた断面を上方から
みた断面図、第３図はこの発明にかかる実施例装
置の要部を示した斜視図である。 １０…ウエハ収納カセツト、１１…溝、１２…
側板、１２′…連結部材、１３…ウエハ、１４…
ストツパ部材（ストツパピン）、２４…傾動制御
桿、２５…直動形駆動機（エアシリンダ）、２６
…支持兼案内軸、２７…カセツト挾持腕、２８…
作動板、２９…ソレノイド（直動形駆動機）、３
０…作動ロツド、３２…圧縮コイルばね。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 内面に多数個の溝が一定のピツチにて水平に
   刻設された側板を連結部材を介して対向結合し、
   前記溝にウエハをその周縁部を托してそれぞれ収
   納するようにされ、収納された各ウエハ後方部を
   垂直方向に対して前後整列させ、かつ後方へのウ
   エハの移動を防止するストツパ部材を備えてなる
   ウエハ収納カセツトを適宜挟持する挟持機構を有
   し、ウエハ収納カセツトをその挟持機構で挟持し
   て搬送するようにしたウエハ収納カセツトの搬送
   装置において、前記挟持機構を、装置本体部に固
   定された腕部と、この腕部に傾動自在に係合され
   た傾動制御桿と、この傾動制御桿に連結されその
   傾動制御桿を水平姿勢から傾動させるように駆動
   する直動形駆動機と、前記傾動制御桿に係合さ
   れ、相互の間隔が狭まることによりウエハ収納カ
   セツトを挟持する一対のカセツト挟持腕とから構
   成し、ウエハ収納カセツトの搬送移動時に、前記
   直動形駆動機で前記傾動制御桿を傾斜させてカセ
   ツト全体を前上り傾斜姿勢に保持させるようにし
   たことを特徴とするウエハ収納カセツトの搬送装
   置。