JP3516066B2 - 物品搬送装置 - Google Patents
物品搬送装置Info
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- JP3516066B2 JP3516066B2 JP31926093A JP31926093A JP3516066B2 JP 3516066 B2 JP3516066 B2 JP 3516066B2 JP 31926093 A JP31926093 A JP 31926093A JP 31926093 A JP31926093 A JP 31926093A JP 3516066 B2 JP3516066 B2 JP 3516066B2
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- Japan
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- holding
- ring unit
- wafer ring
- wafer
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、物品、例えばウエハ
リングユニットを所定位置へ搬送するに際し安全に搬送
できる物品搬送装置に関する。
リングユニットを所定位置へ搬送するに際し安全に搬送
できる物品搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程の１つにペレットボン
ディング工程がある。この工程では、ペレットボンディ
ング装置のウエハステージに搬送され設置されたウエハ
リングユニットからペレットをピックアップし、その後
直接、あるいは必要に応じて位置決めポジションを経由
して、上記ペレットをリードフレームへ移送し、このリ
ードフレームの所定位置にボンディングする作業が行な
われる。このペレットボンディング工程では、上述のよ
うに、ウエハステージにウエハリングユニットを搬入し
あるいは搬出する必要がある。
ディング工程がある。この工程では、ペレットボンディ
ング装置のウエハステージに搬送され設置されたウエハ
リングユニットからペレットをピックアップし、その後
直接、あるいは必要に応じて位置決めポジションを経由
して、上記ペレットをリードフレームへ移送し、このリ
ードフレームの所定位置にボンディングする作業が行な
われる。このペレットボンディング工程では、上述のよ
うに、ウエハステージにウエハリングユニットを搬入し
あるいは搬出する必要がある。
【０００３】従来のウエハリングユニット搬送装置は、
図６に示すように、ウエハマガジン１内に複数枚収納さ
れたウエハリングユニット２を、吸盤３等の保持機構に
より保持し、この吸盤３を取り付けた搬送機構の搬送ア
ーム４によって、上記ウエハリングユニット２を搬送レ
ール５、６に沿って移動させ、図示しないペレットボン
ディング装置のウエハステージへ搬出する。あるいは使
用済のウエハリングユニット２を、上記ウエハステージ
から吸盤３及び搬送アーム４を用いてウエハマガジン１
へ搬入している。
図６に示すように、ウエハマガジン１内に複数枚収納さ
れたウエハリングユニット２を、吸盤３等の保持機構に
より保持し、この吸盤３を取り付けた搬送機構の搬送ア
ーム４によって、上記ウエハリングユニット２を搬送レ
ール５、６に沿って移動させ、図示しないペレットボン
ディング装置のウエハステージへ搬出する。あるいは使
用済のウエハリングユニット２を、上記ウエハステージ
から吸盤３及び搬送アーム４を用いてウエハマガジン１
へ搬入している。
【０００４】尚、ウエハリングユニット２は、ウエハ７
を粘着シート８を介して、円環形状のウエハリング９に
取り付けたものである。
を粘着シート８を介して、円環形状のウエハリング９に
取り付けたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般に、ウエハリング
ユニット２のウエハリング９には切欠２ａが形成されて
おり、ウエハリングユニット２の径寸法Ｄは切欠寸法ｄ
よりも大きい。また、ウエハマガジン１の収納部の幅寸
法はウエハリングユニット２の径寸法Ｄより大きく、搬
送レール５及び６間の寸法はウエハリングユニット２の
切欠寸法ｄと略等しく設定されている。このため、ウエ
ハリングユニット搬送装置の吸盤３及び搬送アーム４に
より、ウエハリングユニット２をウエハマガジン１から
搬送レール５、６へ搬入する際に、ウエハリングユニッ
ト２の縁部２ｂや周部２ｃが搬送レール５あるいは６に
引っ掛かり、ウエハリングユニット２に損傷を与える虞
れがある。
ユニット２のウエハリング９には切欠２ａが形成されて
おり、ウエハリングユニット２の径寸法Ｄは切欠寸法ｄ
よりも大きい。また、ウエハマガジン１の収納部の幅寸
法はウエハリングユニット２の径寸法Ｄより大きく、搬
送レール５及び６間の寸法はウエハリングユニット２の
切欠寸法ｄと略等しく設定されている。このため、ウエ
ハリングユニット搬送装置の吸盤３及び搬送アーム４に
より、ウエハリングユニット２をウエハマガジン１から
搬送レール５、６へ搬入する際に、ウエハリングユニッ
ト２の縁部２ｂや周部２ｃが搬送レール５あるいは６に
引っ掛かり、ウエハリングユニット２に損傷を与える虞
れがある。
【０００６】この発明は、上述の事情を考慮してなされ
たものであり、ウエハリングユニット等の物品を安全に
搬送できる物品搬送装置を提供することを目的とする。
たものであり、ウエハリングユニット等の物品を安全に
搬送できる物品搬送装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、物品
を保持する保持機構と、この保持機構に連結されて上記
物品を所定位置へ搬送する搬送機構と、を有する物品搬
送装置において、保持機構の物品を保持する保持ブロッ
クの片側に、搬送機構の搬送ブロックと、緩衝ブロック
をこの順で配置し、緩衝ブロックに設けた突出部を搬送
ブロックに設けた貫通孔に通し、該貫通孔から保持ブロ
ックの側に向けて移動可能に突出し、保持ブロックと緩
衝ブロックの間に第１弾性体を介装し、この第１弾性体
の付勢力により、通常時は、保持ブロックを緩衝ブロッ
クの突出部に密着維持可能にし、搬送ブロックと緩衝ブ
ロックの間に第２弾性体を介装し、この第２弾性体の付
勢力により、通常時は、緩衝ブロックを搬送ブロックに
密着維持可能にするようにしたものである。請求項２の
発明は、請求項１の発明において更に、上記保持ブロッ
ク及び上記緩衝ブロックのいずれか一方にテーパ形状の
ピンが設置され、他方にこのピンに嵌合するピン孔が形
成されたものである。請求項３の発明は、請求項１の発
明において更に、上記保持ブロック及び上記緩衝ブロッ
クのいずれか一方にテーパ形状のピンが設置され、他方
にこのピンに嵌合するピン孔が形成されるとともに、上
記搬送ブロック及び上記緩衝ブロックのいずれか一方に
テーパ形状のピンが設置され、他方にこのピンに嵌合す
るピン孔が形成されたものである。
を保持する保持機構と、この保持機構に連結されて上記
物品を所定位置へ搬送する搬送機構と、を有する物品搬
送装置において、保持機構の物品を保持する保持ブロッ
クの片側に、搬送機構の搬送ブロックと、緩衝ブロック
をこの順で配置し、緩衝ブロックに設けた突出部を搬送
ブロックに設けた貫通孔に通し、該貫通孔から保持ブロ
ックの側に向けて移動可能に突出し、保持ブロックと緩
衝ブロックの間に第１弾性体を介装し、この第１弾性体
の付勢力により、通常時は、保持ブロックを緩衝ブロッ
クの突出部に密着維持可能にし、搬送ブロックと緩衝ブ
ロックの間に第２弾性体を介装し、この第２弾性体の付
勢力により、通常時は、緩衝ブロックを搬送ブロックに
密着維持可能にするようにしたものである。請求項２の
発明は、請求項１の発明において更に、上記保持ブロッ
ク及び上記緩衝ブロックのいずれか一方にテーパ形状の
ピンが設置され、他方にこのピンに嵌合するピン孔が形
成されたものである。請求項３の発明は、請求項１の発
明において更に、上記保持ブロック及び上記緩衝ブロッ
クのいずれか一方にテーパ形状のピンが設置され、他方
にこのピンに嵌合するピン孔が形成されるとともに、上
記搬送ブロック及び上記緩衝ブロックのいずれか一方に
テーパ形状のピンが設置され、他方にこのピンに嵌合す
るピン孔が形成されたものである。
【０００８】
【作用】従って、請求項１に記載の物品搬送装置によれ
ば、物品を保持する保持ブロックが、搬送機構に取り付
けられた搬送ブロックに弾性体を介してフローティング
支持されたことから、保持ブロックに保持された物品が
搬送機構による搬送中に搬送レール等の障害物に衝突あ
るいは引っ掛かったときに、保持ブロックは搬送ブロッ
クに対し相対的に移動し、衝突時等の衝撃を吸収でき
る。この結果、物品に損傷を与えることなく安全に搬送
できる。
ば、物品を保持する保持ブロックが、搬送機構に取り付
けられた搬送ブロックに弾性体を介してフローティング
支持されたことから、保持ブロックに保持された物品が
搬送機構による搬送中に搬送レール等の障害物に衝突あ
るいは引っ掛かったときに、保持ブロックは搬送ブロッ
クに対し相対的に移動し、衝突時等の衝撃を吸収でき
る。この結果、物品に損傷を与えることなく安全に搬送
できる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、この発明に係る物品搬送装置の一実施
例が適用されたウエハリングユニット搬送装置を示す平
面図である。図２は、図１の II-II線に沿う断面図であ
る。図３は、図４の III-III線に沿う拡大断面図であ
る。図４は、図３の保持機構の斜視図である。図５は、
図３の保持機構の作用を示す図であり、（Ａ）がウエハ
リングユニット搬出時に過負荷が作用した場合であり、
（Ｂ）がウエハリングユニット搬入時に過負荷が作用し
た場合である。
明する。図１は、この発明に係る物品搬送装置の一実施
例が適用されたウエハリングユニット搬送装置を示す平
面図である。図２は、図１の II-II線に沿う断面図であ
る。図３は、図４の III-III線に沿う拡大断面図であ
る。図４は、図３の保持機構の斜視図である。図５は、
図３の保持機構の作用を示す図であり、（Ａ）がウエハ
リングユニット搬出時に過負荷が作用した場合であり、
（Ｂ）がウエハリングユニット搬入時に過負荷が作用し
た場合である。
【００１０】図１に示すウエハリングユニット搬送装置
１０は、ウエハマガジン１１内に収納されたウエハリン
グユニット２を押し出すプッシャ１２と、押し出された
ウエハリングユニット２を保持する保持機構１３と、こ
の保持機構１３にて保持されたウエハリングユニット２
を搬送する搬送機構１４と、を有して構成される。
１０は、ウエハマガジン１１内に収納されたウエハリン
グユニット２を押し出すプッシャ１２と、押し出された
ウエハリングユニット２を保持する保持機構１３と、こ
の保持機構１３にて保持されたウエハリングユニット２
を搬送する搬送機構１４と、を有して構成される。
【００１１】ウエハマガジン１１は、図１及び図２に示
すように、ウエハリングユニット２を複数枚収納可能と
し、図示しない昇降装置を有する。この昇降装置によ
り、ウエハマガジン１１内に収納されたウエハリングユ
ニット２が上昇して供給位置に位置付けられる。上記プ
ッシャ１２は、ウエハマガジン１１の上記供給位置に設
置され、この供給位置に位置付けられたウエハリングユ
ニット２を、搬送機構１４の搬送レール１５、１６方向
へ押し出す。
すように、ウエハリングユニット２を複数枚収納可能と
し、図示しない昇降装置を有する。この昇降装置によ
り、ウエハマガジン１１内に収納されたウエハリングユ
ニット２が上昇して供給位置に位置付けられる。上記プ
ッシャ１２は、ウエハマガジン１１の上記供給位置に設
置され、この供給位置に位置付けられたウエハリングユ
ニット２を、搬送機構１４の搬送レール１５、１６方向
へ押し出す。
【００１２】搬送機構１４は、一対の搬送レール１５及
び１６と、搬送アーム１７と、アーム駆動部１８とを有
して構成される。搬送レール１５及び１６は、ウエハマ
ガジン１１とペレットボンディング装置のウエハステー
ジ１９との間に対向して配置される。これらの搬送レー
ル１５、１６には受部１５ａ、１６ａとガイド部１５
ｂ、１６ｂがそれぞれ形成され、受部１５ａ及び１６ａ
上にウエハリングユニット２がスライド自在とされる。
び１６と、搬送アーム１７と、アーム駆動部１８とを有
して構成される。搬送レール１５及び１６は、ウエハマ
ガジン１１とペレットボンディング装置のウエハステー
ジ１９との間に対向して配置される。これらの搬送レー
ル１５、１６には受部１５ａ、１６ａとガイド部１５
ｂ、１６ｂがそれぞれ形成され、受部１５ａ及び１６ａ
上にウエハリングユニット２がスライド自在とされる。
【００１３】上記ウエハステージ１９は引延し台２０及
び押下げ板２１を有し、搬入されたウエハリングユニッ
ト２を引延し台２０上に設置し、その後押下げ板２１を
押し下げることによって、ウエハリングユニット２の粘
着シート８を引き延ばす。これにより、ウエハ７がダイ
シングにより分割して形成された多数のペレット間の隙
間が所定寸法に拡大される。
び押下げ板２１を有し、搬入されたウエハリングユニッ
ト２を引延し台２０上に設置し、その後押下げ板２１を
押し下げることによって、ウエハリングユニット２の粘
着シート８を引き延ばす。これにより、ウエハ７がダイ
シングにより分割して形成された多数のペレット間の隙
間が所定寸法に拡大される。
【００１４】アーム駆動部１８は、搬送アーム１７を固
定した駆動ユニット２２と、搬送レール１５及び１６に
平行して延びるラック２３とを有し、駆動ユニット２２
内に、モータに連結されたピニオン（図示せず）を備え
る。このピニオンがラック２３に噛み合い、駆動ユニッ
ト２２のモータの作動により、搬送アーム１７を搬送レ
ール１５及び１６に沿って移動させる。
定した駆動ユニット２２と、搬送レール１５及び１６に
平行して延びるラック２３とを有し、駆動ユニット２２
内に、モータに連結されたピニオン（図示せず）を備え
る。このピニオンがラック２３に噛み合い、駆動ユニッ
ト２２のモータの作動により、搬送アーム１７を搬送レ
ール１５及び１６に沿って移動させる。
【００１５】搬送アーム１７は、図３及び図４に示すよ
うに、その先端に保持機構１３の搬送ブロック２５を一
体あるいは一体的に固着する。この保持機構１３は、保
持ブロック２４、搬送ブロック２５及び緩衝ブロック２
６が並置され、保持ブロック２４が緩衝ブロック２６に
弾性体としての第１スプリング２７により支持され、緩
衝ブロック２６が搬送ブロック２５に弾性体としての第
２スプリング２８により支持して構成されたものであ
る。
うに、その先端に保持機構１３の搬送ブロック２５を一
体あるいは一体的に固着する。この保持機構１３は、保
持ブロック２４、搬送ブロック２５及び緩衝ブロック２
６が並置され、保持ブロック２４が緩衝ブロック２６に
弾性体としての第１スプリング２７により支持され、緩
衝ブロック２６が搬送ブロック２５に弾性体としての第
２スプリング２８により支持して構成されたものであ
る。
【００１６】保持ブロック２４には、シリンダ２９が設
置され、このシリンダ２９のピストンロッド３０の先端
にチャック３１が取り付けられる。ウエハリングユニッ
ト２のウエハリング９は、このチャック３１及び保持ブ
ロック２４間に挟持されて保持される。また、保持ブロ
ック２４には、先端がテーパ形状の第１案内ピン３２が
固着されており、この第１案内ピン３２が緩衝ブロック
２６の第１案内孔３３に遊嵌可能とされる。この第１案
内孔３３は、緩衝ブロック２６の突出部３４を通り貫通
して形成される。
置され、このシリンダ２９のピストンロッド３０の先端
にチャック３１が取り付けられる。ウエハリングユニッ
ト２のウエハリング９は、このチャック３１及び保持ブ
ロック２４間に挟持されて保持される。また、保持ブロ
ック２４には、先端がテーパ形状の第１案内ピン３２が
固着されており、この第１案内ピン３２が緩衝ブロック
２６の第１案内孔３３に遊嵌可能とされる。この第１案
内孔３３は、緩衝ブロック２６の突出部３４を通り貫通
して形成される。
【００１７】上記第１スプリング２７は、一端が第１案
内ピン３２の先端に係止され、他端が、第１案内孔３３
内を通って緩衝ブロック２６の背面側の係止ピン３５に
係止される。この第１スプリング２７の付勢力により、
第１案内ピン３２が第１案内孔３３内に遊嵌され、同時
に突出部３４の長さが搬送ブロック２５の厚さより長く
形成されているために保持ブロック２４が緩衝ブロック
２６の突出部３４に密着維持される。このとき、突出部
３４は、搬送ブロック２５の貫通孔３６に遊嵌されてい
る。
内ピン３２の先端に係止され、他端が、第１案内孔３３
内を通って緩衝ブロック２６の背面側の係止ピン３５に
係止される。この第１スプリング２７の付勢力により、
第１案内ピン３２が第１案内孔３３内に遊嵌され、同時
に突出部３４の長さが搬送ブロック２５の厚さより長く
形成されているために保持ブロック２４が緩衝ブロック
２６の突出部３４に密着維持される。このとき、突出部
３４は、搬送ブロック２５の貫通孔３６に遊嵌されてい
る。
【００１８】また、緩衝ブロック２６には、突出部３４
の側に第２案内ピン３７が突設される。この第２案内ピ
ン３７の先端もテーパ形状に形成され、搬送ブロック２
５の第２案内孔３８に遊嵌可能とされる。また、上記第
２スプリング２８は、搬送ブロック２５及び緩衝ブロッ
ク２６に埋め込まれた植設ピン３９に係止される。この
第２スプリング２８の付勢力によって、第２案内ピン３
７が第２案内孔３８内に遊嵌され、同時に緩衝ブロック
２６が搬送ブロック２５に密着される。
の側に第２案内ピン３７が突設される。この第２案内ピ
ン３７の先端もテーパ形状に形成され、搬送ブロック２
５の第２案内孔３８に遊嵌可能とされる。また、上記第
２スプリング２８は、搬送ブロック２５及び緩衝ブロッ
ク２６に埋め込まれた植設ピン３９に係止される。この
第２スプリング２８の付勢力によって、第２案内ピン３
７が第２案内孔３８内に遊嵌され、同時に緩衝ブロック
２６が搬送ブロック２５に密着される。
【００１９】上記第１スプリング２７及び第２スプリン
グ２８の付勢力によって、保持ブロック２４は、第１ス
プリング２７、緩衝ブロック２６及び第２スプリング２
８を介して搬送ブロック２５にフローティング支持され
る。これにより、搬送機構１４による搬送方向α、βと
逆方向の過負荷が保持ブロック２４に作用したとき、こ
の保持ブロック２４は、搬送ブロック２５に対する相対
位置が変動可能とされる。
グ２８の付勢力によって、保持ブロック２４は、第１ス
プリング２７、緩衝ブロック２６及び第２スプリング２
８を介して搬送ブロック２５にフローティング支持され
る。これにより、搬送機構１４による搬送方向α、βと
逆方向の過負荷が保持ブロック２４に作用したとき、こ
の保持ブロック２４は、搬送ブロック２５に対する相対
位置が変動可能とされる。
【００２０】次に、作用を説明する。ウエハマガジン１
１内でウエハリングユニット２が供給位置に位置付けら
れると、プッシャ１２がそのウエハリングユニット２を
押し出し、この押し出しと同時に、あるいは押し出し後
に、搬送機構１４のアーム駆動部１８における駆動ユニ
ット２２のモータが作動して、搬送アーム１７を介し保
持機構１３をウエハマガジン１１側へβ方向に移動させ
る。次に、保持機構１３のシリンダ２９が作動して、チ
ャック３１及び保持ブロック２４がウエハリングユニッ
ト２のウエハリング９を把持する。
１内でウエハリングユニット２が供給位置に位置付けら
れると、プッシャ１２がそのウエハリングユニット２を
押し出し、この押し出しと同時に、あるいは押し出し後
に、搬送機構１４のアーム駆動部１８における駆動ユニ
ット２２のモータが作動して、搬送アーム１７を介し保
持機構１３をウエハマガジン１１側へβ方向に移動させ
る。次に、保持機構１３のシリンダ２９が作動して、チ
ャック３１及び保持ブロック２４がウエハリングユニッ
ト２のウエハリング９を把持する。
【００２１】その後、駆動ユニット２２のモータが再作
動して、搬送アーム１７を介し保持機構１３をα方向へ
移動させる。これにより、ウエハリングユニット２は、
搬送レール１５及び１６の受部１５ａ及び１６ａ上をス
ライドして、ウエハステージ１９の引延し台２０上に搬
送される。そして、保持機構１３の保持ブロック２４
は、ウエハリングユニット２の把持を解除し、搬送機構
１４の作用で、ペレットボンディング作業の邪魔になら
ない位置に退避する。
動して、搬送アーム１７を介し保持機構１３をα方向へ
移動させる。これにより、ウエハリングユニット２は、
搬送レール１５及び１６の受部１５ａ及び１６ａ上をス
ライドして、ウエハステージ１９の引延し台２０上に搬
送される。そして、保持機構１３の保持ブロック２４
は、ウエハリングユニット２の把持を解除し、搬送機構
１４の作用で、ペレットボンディング作業の邪魔になら
ない位置に退避する。
【００２２】このペレットボンディング作業において
は、ウエハステージ１９の引延し台２０及び押下げ板２
１により、ウエハリングユニット２の粘着シート８が引
き延ばされ、各ペレット（図示せず）がピックアップさ
れる。その後の使用済みのウエハリングユニット２は、
再び保持機構１３の保持ブロック２４及びチャック３１
により把持され、搬送機構１４のアーム駆動部１８にお
ける駆動ユニット２２のモータの作用でβ方向に搬送さ
れ、ウエハマガジン１１内に収納される。
は、ウエハステージ１９の引延し台２０及び押下げ板２
１により、ウエハリングユニット２の粘着シート８が引
き延ばされ、各ペレット（図示せず）がピックアップさ
れる。その後の使用済みのウエハリングユニット２は、
再び保持機構１３の保持ブロック２４及びチャック３１
により把持され、搬送機構１４のアーム駆動部１８にお
ける駆動ユニット２２のモータの作用でβ方向に搬送さ
れ、ウエハマガジン１１内に収納される。
【００２３】上述のウエハリングユニット２の縁部２ｂ
や周部２ｃが搬送レール１５あるいは１６等に引っ掛か
らずまたは衝突しない場合には、保持機構１３における
保持ブロック２４は緩衝ブロック２６の突出部３４に密
着し、緩衝ブロック２６は搬送ブロック２５に密着した
状態に維持される（図３）。
や周部２ｃが搬送レール１５あるいは１６等に引っ掛か
らずまたは衝突しない場合には、保持機構１３における
保持ブロック２４は緩衝ブロック２６の突出部３４に密
着し、緩衝ブロック２６は搬送ブロック２５に密着した
状態に維持される（図３）。
【００２４】ところが、ウエハリングユニット２が図５
（Ａ）に示すようにウエハステージ１９へ搬送される過
程や、図５（Ｂ）に示すようにウエハマガジン１１へ搬
送される過程で、搬送レール１５あるいは１６に引っ掛
かり、または衝突したときには、ウエハリングユニット
２を把持した保持ブロック２４が、第１スプリング２７
の付勢力に抗して緩衝ブロック２６から離れ（図５
（Ａ））、または搬送ブロック２５に密着した緩衝ブロ
ック２６が、第２スプリング２８の付勢力に抗して搬送
ブロック２５から離れる（図５（Ｂ））。これにより、
保持ブロック２４に把持されたウエハリングユニット２
に衝撃力等の過大な力（過負荷）が作用せず、ウエハリ
ングユニット２を損傷することなく安全に搬送できる。
（Ａ）に示すようにウエハステージ１９へ搬送される過
程や、図５（Ｂ）に示すようにウエハマガジン１１へ搬
送される過程で、搬送レール１５あるいは１６に引っ掛
かり、または衝突したときには、ウエハリングユニット
２を把持した保持ブロック２４が、第１スプリング２７
の付勢力に抗して緩衝ブロック２６から離れ（図５
（Ａ））、または搬送ブロック２５に密着した緩衝ブロ
ック２６が、第２スプリング２８の付勢力に抗して搬送
ブロック２５から離れる（図５（Ｂ））。これにより、
保持ブロック２４に把持されたウエハリングユニット２
に衝撃力等の過大な力（過負荷）が作用せず、ウエハリ
ングユニット２を損傷することなく安全に搬送できる。
【００２５】尚、上述のように、ウエハリングユニット
２が搬送レール１５及び１６に衝突あるいは引っ掛かっ
て、保持ブロック２４が緩衝ブロック２６から離れ、ま
たは緩衝ブロック２６が搬送ブロック２５から離れたと
きに、これをセンサ４０、４１がそれぞれ検出し、保持
ブロック２４及びチャック３１によるウエハリングユニ
ット２の把持をその場で一度解除するようになってい
る。そしてこの解除によりウエハリングユニット２を一
時的に自由状態とし、その後、把持し直して搬送するよ
うにしている。
２が搬送レール１５及び１６に衝突あるいは引っ掛かっ
て、保持ブロック２４が緩衝ブロック２６から離れ、ま
たは緩衝ブロック２６が搬送ブロック２５から離れたと
きに、これをセンサ４０、４１がそれぞれ検出し、保持
ブロック２４及びチャック３１によるウエハリングユニ
ット２の把持をその場で一度解除するようになってい
る。そしてこの解除によりウエハリングユニット２を一
時的に自由状態とし、その後、把持し直して搬送するよ
うにしている。
【００２６】上記実施例によれば、ウエハリングユニッ
ト２を把持する把持ブロック２４が緩衝ブロック２６に
第１スプリング２７を介して支持され、この緩衝ブロッ
ク２６が搬送ブロック２５に第２スプリング２８を介し
て支持されて、保持ブロック２４は、搬送アーム１７に
取り付けられた搬送ブロック２５にフローティング支持
されている。この結果、保持ブロック２４に把持された
ウエハリングユニット２が搬送機構１４による搬送中に
搬送レール１５、１６等の障害物に衝突し、あるいは引
っ掛かったときに、保持ブロック２４は、搬送ブロック
２５に対して相対的に移動し、衝突時あるいは引っ掛か
り時の衝撃を吸収できるので、ウエハリングユニット２
に損傷を与えることなく安全に搬送できる。
ト２を把持する把持ブロック２４が緩衝ブロック２６に
第１スプリング２７を介して支持され、この緩衝ブロッ
ク２６が搬送ブロック２５に第２スプリング２８を介し
て支持されて、保持ブロック２４は、搬送アーム１７に
取り付けられた搬送ブロック２５にフローティング支持
されている。この結果、保持ブロック２４に把持された
ウエハリングユニット２が搬送機構１４による搬送中に
搬送レール１５、１６等の障害物に衝突し、あるいは引
っ掛かったときに、保持ブロック２４は、搬送ブロック
２５に対して相対的に移動し、衝突時あるいは引っ掛か
り時の衝撃を吸収できるので、ウエハリングユニット２
に損傷を与えることなく安全に搬送できる。
【００２７】また、第１案内ピン３２がテーパ形状に形
成されているので、この第１案内ピン３２は第１案内孔
３３に遊嵌され易く、従って保持ブロック２４が緩衝ブ
ロック２６から離れた後に過負荷（過大な力）が解除さ
れると、保持ブロック２４を容易に定位置に復帰させる
ことができる。同様に、第２案内ピン３７にもテーパが
形成されているので、緩衝ブロック２６が搬送ブロック
２５から離れても、緩衝ブロック２６の第２案内ピン３
７が搬送ブロック２５の第２案内孔３８に遊嵌され易
く、緩衝ブロック２６を容易に定位置に復帰させること
ができる。
成されているので、この第１案内ピン３２は第１案内孔
３３に遊嵌され易く、従って保持ブロック２４が緩衝ブ
ロック２６から離れた後に過負荷（過大な力）が解除さ
れると、保持ブロック２４を容易に定位置に復帰させる
ことができる。同様に、第２案内ピン３７にもテーパが
形成されているので、緩衝ブロック２６が搬送ブロック
２５から離れても、緩衝ブロック２６の第２案内ピン３
７が搬送ブロック２５の第２案内孔３８に遊嵌され易
く、緩衝ブロック２６を容易に定位置に復帰させること
ができる。
【００２８】尚、上記実施例では、保持ブロック２４が
第１スプリング２７、緩衝ブロック２６及び第２スプリ
ング２８を介して搬送ブロック２５にフローティング支
持されるものを述べたが、保持ブロック２４が弾性体に
より、緩衝ブロック２６を介することなく搬送ブロック
２５にフローティング支持されても良い。
第１スプリング２７、緩衝ブロック２６及び第２スプリ
ング２８を介して搬送ブロック２５にフローティング支
持されるものを述べたが、保持ブロック２４が弾性体に
より、緩衝ブロック２６を介することなく搬送ブロック
２５にフローティング支持されても良い。
【００２９】また、上記実施例は、物品搬送装置が、ペ
レットボンディング装置のウエハステージまでウエハリ
ングユニット２を搬送するウエハリングユニット搬送装
置の場合を述べたが、他の物品を搬送する場合にも適用
できる。
レットボンディング装置のウエハステージまでウエハリ
ングユニット２を搬送するウエハリングユニット搬送装
置の場合を述べたが、他の物品を搬送する場合にも適用
できる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る物品搬送
装置によれば、ウエハリングユニット等の物品を安全に
搬送することができる。
装置によれば、ウエハリングユニット等の物品を安全に
搬送することができる。
【図１】図１は、この発明に係る物品搬送装置の一実施
例が適用されたウエハリングユニット搬送装置を示す平
面図である。
例が適用されたウエハリングユニット搬送装置を示す平
面図である。
【図２】図２は、図１の II-II線に沿う断面図である。
【図３】図３は、図４の III-III線に沿う拡大断面図で
ある。
ある。
【図４】図４は、図３の保持機構の斜視図である。
【図５】図５は、図３の保持機構の作用を示す図であ
り、（Ａ）がウエハリングユニット搬出時に過負荷が作
用した場合であり、（Ｂ）がウエハリングユニット搬入
時に過負荷が作用した場合である。
り、（Ａ）がウエハリングユニット搬出時に過負荷が作
用した場合であり、（Ｂ）がウエハリングユニット搬入
時に過負荷が作用した場合である。
【図６】従来のウエハリングユニット搬送装置の作用状
態を示す平面図である。
態を示す平面図である。
２ ウエハリングユニット
１０ ウエハリングユニット搬送装置
１１ ウエハマガジン
１３ 保持機構
１４ 搬送機構
１５、１６ 搬送レール
１７ 搬送アーム
１８ アーム駆動部
１９ ウエハステージ
２４ 保持ブロック
２５ 搬送ブロック
２６ 緩衝ブロック
２７ 第１スプリング
２８ 第２スプリング
３１ チャック
３２ 第１案内ピン
３３ 第１案内孔
３７ 第２案内ピン
３８ 第２案内孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−291144（ＪＰ，Ａ)
特開 昭49−132671（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−77482（ＪＰ，Ａ)
実開 昭62−121093（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭63−116290（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭64−16223（ＪＰ，Ｕ)
実公 昭61−1036（ＪＰ，Ｙ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/06 - 49/07
B25J 1/00 - 21/02
F16F 7/00 - 7/14
Claims (3)
- 【請求項１】 物品を保持する保持機構と、この保持機
構に連結されて上記物品を所定位置へ搬送する搬送機構
と、を有する物品搬送装置において、保持機構の物品を保持する保持ブロックの片側に、搬送
機構の搬送ブロックと、緩衝ブロックをこの順で配置
し、 緩衝ブロックに設けた突出部を搬送ブロックに設けた貫
通孔に通し、該貫通孔から保持ブロックの側に向けて移
動可能に突出し、 保持ブロックと緩衝ブロックの間に第１弾性体を介装
し、この第１弾性体の付勢力により、通常時は、保持ブ
ロックを緩衝ブロックの突出部に密着維持可能にし、 搬送ブロックと緩衝ブロックの間に第２弾性体を介装
し、この第２弾性体の付勢力により、通常時は、緩衝ブ
ロックを搬送ブロックに密着維持可能にする ことを特徴
とする物品搬送装置。 - 【請求項２】 上記保持ブロック及び上記緩衝ブロック
のいずれか一方にテーパ形状のピンが設置され、他方に
このピンに嵌合するピン孔が形成された請求項１に記載
の物品搬送装置。 - 【請求項３】 上記保持ブロック及び上記緩衝ブロック
のいずれか一方にテーパ形状のピンが設置され、他方に
このピンに嵌合するピン孔が形成されるとともに、上記
搬送ブロック及び上記緩衝ブロックのいずれか一方にテ
ーパ形状のピンが設置され、他方にこのピンに嵌合する
ピン孔が形成された請求項１に記載の物品搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31926093A JP3516066B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 物品搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31926093A JP3516066B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 物品搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144751A JPH07144751A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3516066B2 true JP3516066B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=18108216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31926093A Expired - Fee Related JP3516066B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 物品搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3516066B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| JP4614091B2 (ja) * | 2005-08-16 | 2011-01-19 | 株式会社ダイフク | フローティングユニット及び物品支持装置 |
| KR20070095148A (ko) * | 2006-03-20 | 2007-09-28 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 칩 공급 유닛 로딩 장치 |
| JP4684160B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2011-05-18 | 日本メクトロン株式会社 | コンプライアンスモジュール |
| JP2008113031A (ja) * | 2008-01-17 | 2008-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 物体搬送装置および物体搬送方法 |
| JP2011035281A (ja) * | 2009-08-05 | 2011-02-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク収納機構および研削装置 |
| JP5411062B2 (ja) * | 2010-05-19 | 2014-02-12 | 株式会社Ｋｅｃ | ロボットアーム |
| JP5681009B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-03-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 把持用ハンド |
| JP6024267B2 (ja) * | 2012-08-01 | 2016-11-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板保持リング把持機構 |
| CN117533788B (zh) * | 2023-11-10 | 2024-04-19 | 珠海诚锋电子科技有限公司 | 一种自动上下料的圆晶检测设备及其使用方法 |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP31926093A patent/JP3516066B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07144751A (ja) | 1995-06-06 |
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