JPH0478767A - カセット搬送用台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば液晶テレビを構成するガラス基板で
あるワークをカセットに収容し、クリーンルーム内のプ
ロセス装置間を搬送する際に用いられるカセット搬送用
台車に関する。

（従来の技術） たとえば、液晶用テレビを構成するガラス基板は、近年
、大型化の傾向にある。このガラス基板に対して必要な
作業をなすプロセス装置間を搬送する際には、カセット
に上記ガラス基板を収容し、カセットごと台車に支持し
て搬送するのが一般的である。

従来、第７図に示すように、上記カセットａはカセット
搬送用台車すに収納される。そして、クラス１００ある
いはそれ以上の清浄なりリーンルーム内において、プロ
セス装置相互間を搬送される。上記搬送用台車すは、台
車本体Ｃの脚部下端にキャスタｄ・・・が設けられ、方
向変換自在になっている。台車本体Ｃの上部には手押し
用の把手ｅが設けられる。底部には傾斜台ｆが配置され
ていて、上記カセットａの一端部を載せ、これを傾斜し
た状態で支持する。台車によっては、台車本体Ｃの上面
部に上記傾斜台ｆを載せ、カセットａを傾斜して収納す
るものもある。

上記カセットａ内に収容されるワークであるガラス基板
ｇ・・・は、カセットａに対して垂直方向に、かつ互い
に所定間隙を存している。すなわち、カセットａにはガ
ラス基板ｇ・・・が掛合できる溝が設けられ、互いに所
定間隙を存することによって、ガラス面相互の接触およ
び割れなどの損傷を防止するようになっている。

上記カセットａの一端部のみ傾斜台ｆに載せて傾斜した
状態とすることにより、搬送にともなう振動の影響を最
小限に抑制できる。なぜならば、ガラス基ｔＥｇ・・・
を垂直状態のままで搬送すると、カセットａの掛止溝と
の隙間がガラス基板ｇ・・・の両側面に生じるから、ガ
ラス基板ｇが振動し易い。

これに対して、従来のようにカセットａを傾斜してガラ
ス基板ｇ・・・を掛止溝の一端部側に当接させれば、振
動を抑制できる。上記ガラス基板ｇ・・・の傾斜角度は
、たとえば１００程度か最も振動を抑制可能である。

第８図に示すように、上記カセットａを作業者が持って
、ローダｈ上から台車本体すに移載し、あるいはその逆
に台車本体すからローダｈ上に移載するようになってい
る。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上記ガラス基板ｇ・・・のごときワークは、
近年大型化の傾向にある。それにともなって、搬送時に
許容できるゴミの付着量範囲が非常に小さくなり、現在
、はとんどゴミを付着させてはいけないレベルに達して
いる。

しかるに、ガラス基板ｇ・・・の搬送時において、カセ
ッ）ａの一端部を傾斜台りに載せてガラス基板ｇ・・・
をある程度傾斜させることにより、搬送にともなう振動
の抑制を得られる反面、浮遊するゴミ粒子が付着し易い
状態となる。上記ガラス基板ｇ・・・を完全に垂直に立
位して搬送すれば、ガラス基板ｇ・・・の上部よりゴミ
粒子が落下しても、ゴミ粒子はガラス基板ｇ・・・に付
着し難いことは分かっている。しかしながら、従来の搬
送状態では、ガラス基板ｇ・・・かわずかでも傾斜して
いるところから、垂直に落下してくるゴミ粒子に対する
接触面積が増加するため、垂直姿勢に比べてゴミ粒子の
付着量か多くなる。

また、このような搬送用台車を用いると、特に台車本体
すに対してカセットａを移載する際に、作業者がカセッ
トａを直接持ち上げなければならない。そし、て、作業
者が動作することによって、いわゆる人体ゴミが発塵し
、作業者に最も近い位置にあるカセットａのガラス基板
ｇ・・・に付着し易い。

作業者が何らかの動作をなせば、人体ゴミの発塵がとも
ない、これを完全に抑制することはできない。したがっ
て、作業者とガラス基板ｇ・・・とを常に離間させ、あ
るい全（隔離した状態にすれば、人体ゴミの影響を無視
できる。

たとえば、上記カセットａを、防塵ケースのように完全
密閉したものに収納し、防塵ケースごと移載すれば、人
体ゴミが付着せずにすむ。その反面、当然、防塵ケース
には蓋体があって、カセットａの出し入れにともない蓋
体を開閉する。そのとき、防塵ケース本体あるいは蓋体
からゴミが発塵して、ガラス基板ｇ・・・に付着する恐
れかある。

このような防塵ケースを用いても、防塵ケース自体の洗
浄管理を徹底しなければならず、手間がかかる。そして
、蓋体を開閉するのはやはり作業者が行うのであるから
、人体ゴミが付着する恐れがある。

作業者をクリーンルーム内に入れずに、すべて遠隔操作
で行なうか、あるいはロボットを装備して完全無人化に
よる自動操作をなせば、人体ゴミに関わる不具合の発生
のないのは当然である。

しかしながら、このような作業場を構成するには、極め
て膨大な投資をなすことによってはじめて可能であり、
さらにその制御が複雑化して、コストがかさむ。したが
って従来と同様、ローコストで行なえる手動による作業
が望ましく、かつ人体ゴミの発塵による影響を可能な限
り抑制しなければならない。

本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その
目的とするところは、可能な限り作業者がワークから離
間した状態でワークの搬送およびプロセス装置に対する
移載作業を手動に行えるようにして、人体ゴミの影響を
最小限に抑制でき、かつワークを垂直状態に支持してカ
セットに収納するとともにワークを直接クランプするこ
とにより、ゴミの付着抑制化および搬送時の振動吸収に
よるワークの保護を得られるカセット搬送用台車を提供
することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段および作用）すなわち本発
明は、互いに所定間隔を存するとともに露出した状態で
複数枚のワークをカセットに収容し、このカセットを支
持して所望位置相互間を搬送するものにおいて、台車本
体に上記カセットを介してワークを垂直に立位して支持
し、この台車本体にクランプ機構を設けて上記ワークを
直接クランプし、ハンドリング機構を操作することによ
り、クランプ機構が上記ワークをクランプした状態のま
ま上記カセットを前後方向に移動可能であり、かつワー
クを上下方向に昇降操作することにより上記クランプ機
構からワークを着脱自在であり、上記台車本体に台車本
体の搬送移動にともなう振動を吸収する防振部材を設け
たことを特徴とするカセット搬送用台車である。

このような構成であるから、ハンドリング機構を操作す
る作業者はワークから離間した位置となり、かつワーク
を垂直に立位するとともに確実にクランプして搬送でき
る。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、ワークであるガラス基板１・・・をカセット
２に収容し、そのカセット２を搬送用台車Ｓに載置して
搬送している状態を示す。上記搬送用台車Ｓは、台車本
体３の脚部４に防振部材５・・・を介してキャスタ６・
・・が設けられ、移動および方向変換可能である。上記
防振部材５は、たとえば防振ゴムであり、搬送にともな
う振動を吸収するようになっている。上記台車本体３の
上端部には手押し用の把手７が設けられる。

第１図および第２図に示すように、上記カセット２は、
下部および両側部に亘って支持杆８・・・が設けられ、
これらの間は開放している。上記支持杆８・・・の相対
向する部位には、所定間隔を存して図示しない掛止溝が
設けられる。上記ガラス基板１・・・は、カセット２の
上記掛止溝に１枚ずつ掛合した状態で収納される。そし
て、各ガラス基板１・・・は全で垂直方向に立位する状
態になっている。

一方、台車本体３の上面部に、前後方向に沿って互いに
並行な一対のガイドレール９．９が敷設され、ベースプ
レート１０の底面に設けられる直線ガイドベアリング１
１．１１が摺動自在に掛合している。上記ベースプレー
ト１０は平面略矩形状になっていて、この上面隅部には
上下スライド軸１２・・・が立設され、上下スライド用
軸受け１３・・・を介してカセットプレート１４が設け
られる。したがって、上記カセットプレート１４は上下
スライド用軸受け１３・・・を介して上下スライド軸１
２・・・に沿って上下動自在に支持される。

第１図のみに示すように、上記ベースプレート１０の把
手７側端部略中央には、操作レバー１５の一端部が支承
具１６を介して回動自在に枢支される。上記操作レバー
１５の他端部は、上記把手７の上方まで延出される。上
記支承具１６側の操作レバー１５には回動レバー１７が
一体に連結され、この一端部に上記ベースプレート１０
の底面に当接する上下動ローラ１８が設けられる。した
がって、上記操作レバー１５を下方に回動操作すれば、
回動レバー１７とともに上下動ローラ１８は上方に回動
してベースプレート１０を押し上げ、この状態から操作
レバー１５を上方に回動操作すれば上下動ローラ１８は
ベースプレート１０の降下をなす。

再び第１図および第２図に示すように、上記カセットプ
レート１４は、その後端部が上記上下スライド用軸受け
１３・・・を介して上下スライド軸１２・・・に支持さ
れ、前端部はこれよりも突出していて、ここに上記カセ
ット２を支持している。なお、カセット２の幅寸法はカ
セットプレート１４の幅寸法よりも大であり、支持され
た状態で両側端部はカセットプレート１４両側縁から突
出している。上記カセットプレート１４の上面から位置
決めピン１９・・・が突出していて、カセット２に設け
られる位置決め用穴２０・・・に掛合する。したがって
、上記操作レバー１５を上下方向に操作することにより
、カセット２を載置した状態でカセットプレート１４が
上下動し、かつ操作レバー１５を前後方向に操作するこ
とにより、直線ガイドベアリング１１．１１がガイドレ
ール９．９に沿って移動し、上記ベースプレート１０と
ともにカセット２を載置したカセットプレート１４が移
動することとなる。このようにして、上記カセット２に
対するハンドリング２１機構が構成される。

一方、台車本体３の上面前端部にはクランプ機構２２が
設けられる。すなわち、台車本体３の上面前端部て、か
つその左右両側には一対のブラ）１ット２３，２３が立
設される。これらブラケット２３．２３は、互いに略し
字状に折曲形成されていて、その先端部にピン２４．２
４を介してクランプレバ−２５，２５が回動自在に枢支
される。

上記クランプレバ−２５，２５もまた略し字状に折曲形
成されていて、直交部が上記ピン２４゜２４に枢支され
る。また、上記直交部には略し字状に折曲形成される板
ばね２６，２６の一片部か取着される。板ばね２６，２
６の他片部は上記カセットプレート１４側に突出してい
て、カセット２を搬送する状態で、カセットプレート１
４の両側部に設けられる抑えローラ２７，２７が当接し
て彎曲酸する。すなわち、板ばね２６，２６を介してク
ランプレバ−２５，２５は互いに内側に回動するよう付
勢される。そしてこの状態で、クランプレバ−２５，２
５の端部はカセット２内に挿入するとともに支持杆８・
・・相互間からガラス基板１・・・の露出する両側縁に
当接する。上記ガラス基板１・・・においては、その両
側縁にクランプレバ−２５，２５が弾性的に当接すると
ころから、垂直状態のままクランプされることになる。

なお、クランプレバ−２５，２５の他端部と上記ブラケ
ット２３．２３の直交部との間には、それぞれ引張りば
ね２８．２８が張設される。これら引張りばね２８，２
８は、ガラス基板ｌ・・・両側縁からクランプレバ−２
５，２５の端部が離間する方向に弾性的に付勢している
。ただし、カセット２の搬送時において、上記板ばね２
６．２６がカセットプレート１４の抑えローラ２７，２
７に掛止している時に発生する力は、上記引張りばね２
８，２８により発生、する力よりも大きくかつそのとき
の両者の差によって発生するガラス基板１・・・のクラ
ンプ力が大きくなり過ぎないように２つのばねのばね定
数を設定している。

第５図に示すように、このようなりランプ機構２２の上
方にカセット２を載置したカセットプレート１４がある
とき、クランプレバ−２５，２５は引張りばね２８，２
８の弾性力を受けて、その−片部がブラケット２３．２
３の水平片部に沿うよう略水平方向に延出し、それまで
ガラス基板１・・・をクランプしていた他片部は略垂直
方向に突出する。上記クランプレバ−２５、２５＋、：
設置：ｉ　ラれる板ばね２６，２６の一片部は、略水平
方向に突出し、再びカセットプレー）１４が降下したと
き上記抑えローラ２７，２７と掛止する位置にある。

しかして、再び第１図および第２図に示すように、カセ
ット２にワークであるガラス基板１・・・を所定間隙を
存して、かつ垂直方向に立てた状態にして収容する。そ
して、カセットプレート１４に設けられる位置決めピン
１９・・−をカセット２に設けられる位置決め用穴２０
・・・に掛合して、カセット２をカセットプレート１４
上に載置する。上記クランプ機構２２のクランプレバ−
２５，２５はカセット２に露出するガラス基板１・・・
の両側部に接触し、かつ弾性的にクランプする。

作業者Ｍは、台車本体３から突出する把手７をもって一
方のプロセス装置から他方のプロセス装置へクリーンル
ーム内を搬送する。上記クリーンルームの天体Ｙからは
、図中破線矢印で示すクリンエアーシャワーが降り注い
ている。

クリーンルームの床面にある程度の凹凸があり、台車本
体３の移動にともなってキャスタ６・・・から振動が伝
達しても、これらの間に介在する防振ゴム５・・・かそ
の振動を可能な限り吸収する。すなわち、台車本体３上
にあるカセット２およびガラス基板１・・・にその振動
が伝達することは極めて少ない。

そしてまた、この状態でクランプ機構２２かガラス基板
］・・・をクランプしているので、搬送中におけるガラ
ス基板１・・・の振動を完全に抑制でき、割れなどの不
具合発生かない。ガラス基板１・・・は、カセット２に
露出して収容されるとともに互いに狭小の間隙を存して
いるので、クリーンルーム内でダウンフローに沿って下
方に流れるゴミがそれぞれのガラス面に接触することも
有り得る。しかしながら、全てのガラス基板１・・・は
垂直に立位しているので、上方より落下してくるゴミ粒
子がガラス基板１に接触する面積は微小であり、ガラス
面に付着するゴミ粒子はほとんど無い。

第３図に示すように、目的のプロセス装置Ｐまで台車本
体３を移動したら、作業者Ｍは握りの位置を把手７から
操作レバー１５に変え、これを押し下げる。上下動ロー
ラ１８は一体に回動してカセットプレート１４を押し上
げ、カセット２は上昇する。再び第５図に示すように、
カセットプレート１４の抑えローラ２７，２７か板ばね
２６゜２６から離間し、ガラス基板１・・・かクリップ
レバー２５．２５の端部から離間してクランプが解除さ
れる。同時に、クリップレバー２５．２５に引張りばね
２８．２８の弾性力が作用し、クリップしていた端部が
垂直に向くよう回動する。

第４図に示すように、作業者Ｍは操作レバー１５を押し
下げた状態のまま、今度は操作レバー１５を前方に押し
付ける。ガイドレール９，９に沿ってベースプレート１
０がスライドし、ベースプレート１０上の上下スライド
軸１２・・・やカセットプレート１４およびカセット２
が一体になって前方にスライドする。それぞれの寸法関
係から、上記カセット２およびカセットプレート１４前
端部はプロセス装置Ｐの上方部位に対向するようスライ
ドする。上記カセット２が所定位置に到達したら、作業
者Ｍは操作レバー１５を押し上げる。

第６図に示すように、プロセス装置Ｐの上部に設けられ
る受は台３０．３０は左右一対に分かれていて、これら
の間にカセットプレート１４の端部が降下して介挿され
る。上記カセット２は、その両側部かカセットプレート
１４の両側部から突出していて、この突出両端部が上記
プロセス装置Ｐの受は台３０．３０上に支持される。す
なわち、カセット２．のプロセス装置Ｐへの搬送が終了
する。

操作レバー１５の押し上げ操作はさらに継続して行い、
カセットプレート１４がカセット２から離間するまで降
下したことを確認し、今度は操作レバー１５を手前に引
いてカセットプレート１４をプロセス装置Ｐから引き出
す。

結局、これら全ての作業を作業者Ｍが、カセット２から
離間した位置で行うこととなり、操作にともなう人体ゴ
ミの発塵があっても、カセット２に収容されるガラス基
板１・・・まで影響を及ぼすことかない。

なお、作業によっては、プロセス装置Ｐの受は台３０．
３０上に支持されるカセット２を、上記搬送用台車Ｓで
受けて他のプロセス装置へ搬送する場合もある。このと
きは、これまで説明したのと全く逆の操作をなす。すな
わち、カセットプレート１４前端部を、支持されるカセ
ット２の下方部位である受は台３０．３０相互間に介挿
する。

そして操作レバー１５を押し下げてカセットプレート１
４を上昇させ、上記カセットプレート１４上に突出する
位置決めピン１９・・・を、カセット２の位置決め用穴
２０・・・に挿入して、カセットプレート１４上にカセ
ット２を移載する。

つぎに、上記操作レバー１５を手前側−杯まで引いてカ
セット２をプロセス装置Ｐから離間し、さらに操作レバ
ー１５を押し上げてカセット２を下降させると、クリッ
プ機構２２はガラス基板１・・・に掛合する。すなわち
、カセットプレート１４の抑えローラ２７，２７は板ば
ね２６，２６に当接してこれを彎曲変形させながらクラ
ンプレバ−２５，２５ごと引張りばね２８，２８の弾性
力に抗し回動付勢する。カセットプレート１４が完全に
下降した状態でクランプレバ−２５，２５の端部はガラ
ス基板１・・・の両側縁に弾性的に当接し、これをクラ
ンプすることになる。

このように、プロセス装置Ｐから搬送用台車Ｓにカセッ
ト２を移載する場合においても、作業者Ｍはカセット２
から離間した位置で操作するので、作業にともなう人体
ゴミの影響はほとんどない。

なお上記実施例においては、ハンドリング機構２１をカ
セット２から離間し、かつそのほとんど大部分はカセッ
トプレート１４の下部に位置するので、動作にともなう
発塵の影響が極めて少ない。

また、ワークト・・とじてガラス基板を適用して説明し
たが、これに限定されるものではなく、要はゴミ粒子の
付着を避けるべきものの搬送すべてに適用できる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、ワークを垂直に立
てた状態で、かつワークをクランプ機構で直接クランプ
するようにしたので、ゴミ粒子のワークへの付着の抑制
化を図れるとともに搬送にともなう振動からワークの保
護をなし、損傷事故を確実に阻止する。上記カセットの
搬送動作および他のプロセス装置に対する移載動作をハ
ンドリング機構を介して行なうようにしたので、作業者
はカセットから離間した位置になり、人体ゴミの発塵の
影響はほとんとない。防振部材を設けたので、搬送にと
もなうワークへの振動を吸収する。

作業者が手動で台車および各機構に対する必要な操作を
行なうので、ローコストを保持できるなとの種々の効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本発明の一実施例を示し、第１図
はカセット搬送用台車とその搬送状態を示す図、第２図
は第１図の■−■線に沿う縦断面図、第３図および第４
図は互いに第１図とは異なるカセット搬送用台車の搬送
状態を示す図、第５図は第２図とは異なる状態を示すカ
セット搬送用台車の一部縦断面図、第６図はカセット移
載時の概略正面図、第７図および第８図は本発明の従来
例を示し、第７図はカセット搬送用台車とその搬送状態
を示す図、第８図はカセット移載時の概略説明図である
。 ２・・・カセット、１・・・ワーク（ガラス基板）２２
・・・クランプ機構、２１・・・ハンドリング機構、５
・・・防振部材（防振ゴム）。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 互いに所定間隔を存するとともに露出した状態になる複
   数枚のワークをカセットにで収容し、このカセットを支
   持して所望位置相互間を搬送するものにおいて、上記カ
   セットを介しワークを垂直に立位して支持する台車本体
   と、この台車本体に設けられ上記ワークを直接クランプ
   するクランプ機構と、このクランプ機構が上記ワークを
   クランプした状態のまま上記カセットを前後方向に移動
   操作可能であり、かつ上記カセットを上下方向に昇降操
   作することにより上記クランプ機構からワークを着脱自
   在にするハンドリング機構と、上記台車本体に設けられ
   台車本体の搬送移動にともなう振動を吸収する防振部材
   とを具備したことを特徴とするカセット搬送用台車。