JPH071782B2 - キヤリアの搬送装置 - Google Patents
キヤリアの搬送装置Info
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- JPH071782B2 JPH071782B2 JP60057889A JP5788985A JPH071782B2 JP H071782 B2 JPH071782 B2 JP H071782B2 JP 60057889 A JP60057889 A JP 60057889A JP 5788985 A JP5788985 A JP 5788985A JP H071782 B2 JPH071782 B2 JP H071782B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明はウエハやレチクル等の基板を複数収納するキヤ
リアの搬送装置に関する。
リアの搬送装置に関する。
（発明の背景） 従来，例えばウエハを複数枚収納したキヤリアを搬送す
る。搬送装置は，キヤリアを水平状態に保ったまま搬送
していたので，搬送中の振動等によりウエハがキヤリア
からとびだしてきてしまうという欠点を有していた。
る。搬送装置は，キヤリアを水平状態に保ったまま搬送
していたので，搬送中の振動等によりウエハがキヤリア
からとびだしてきてしまうという欠点を有していた。
（発明の目的） 本発明の目的は，上述したような欠点を解決し，ウエハ
等の基板をキヤリア内の所定位置に保つたまま搬送する
ことができるキヤリアの搬送装置を提供することにあ
る。
等の基板をキヤリア内の所定位置に保つたまま搬送する
ことができるキヤリアの搬送装置を提供することにあ
る。
（実施例） 以下，本発明の実施例について詳述する。
第１図は，複数枚のウエハを収納したキヤリアの搬送装
置を示す本実施例の斜視図である。第２図及び第３図は
搬送装置の異なる位置における部分的断面図，第４図は
ウエハキヤリアの部分的断面図，第５図はウエハの収納
状態を検出する場合の説明図である。第２図において,1
は搬送路基部であり，基部１には搬送路に沿つて立ち上
がり部２が設けられている。立ち上がり部２には搬送路
に沿つてスライド基部３が固定されている。第１図に示
したスライド部材4,5,6はそれぞれスライド基部３に嵌
合し，この基部３に沿つてＡ及びＢ方向に摺動可能であ
る。支持部材7,8,9はそれぞれスライド部材4,5,6に固定
されている。チエーン10は一端似てギヤ11に係合し，他
端にてギヤ12に係合している。モータ13はギヤ11を駆動
する為のものである。そしてこのチエーン10は不図示の
部材にて4,5,6に結合されている。ガイド部材14はスラ
イド基部３と平行に設けられ搬送路基部１に固定されて
いる。トレイ15,16,17はそれぞれ下面に溝部15a,16a,17
aを有し，各溝部はそれぞれ支持部材7,8,9の上端にのせ
られる。第１図及び第２図において溝部16a,17aは図示
してないが，溝部15aと同様の構成である。またトレイ1
5,16,17はそれぞれ下面にキヤスター18,19,20を有し，
各キヤスター18,19,20はガイド部材14の上端にのせられ
る。第１図及び第２図においてキヤスター19,20は図示
してないが，キヤスター18と同様の構成である。以上の
ようにトレイ15,16,17は全く同様の構成である。21aと2
1b,22aと22b,23aと23bはそれぞれ支持部材7,8,9に固定
された制限部材であり，それぞれトレイ15,16,17の両側
に伸びている。そして支持部材7,8,9とトレイ15,16,17
との相対的位置が搬送方向A,Bにずれないよう制限して
いる。ガイド部材14は，第１図にてトレイ15及び17が位
置する部分では第２図の図示の如く高さＨを有し，第１
図にてトレイ16が位置する部分では第３図に図示の如く
Ｈよりも低い高さＬを有する。
置を示す本実施例の斜視図である。第２図及び第３図は
搬送装置の異なる位置における部分的断面図，第４図は
ウエハキヤリアの部分的断面図，第５図はウエハの収納
状態を検出する場合の説明図である。第２図において,1
は搬送路基部であり，基部１には搬送路に沿つて立ち上
がり部２が設けられている。立ち上がり部２には搬送路
に沿つてスライド基部３が固定されている。第１図に示
したスライド部材4,5,6はそれぞれスライド基部３に嵌
合し，この基部３に沿つてＡ及びＢ方向に摺動可能であ
る。支持部材7,8,9はそれぞれスライド部材4,5,6に固定
されている。チエーン10は一端似てギヤ11に係合し，他
端にてギヤ12に係合している。モータ13はギヤ11を駆動
する為のものである。そしてこのチエーン10は不図示の
部材にて4,5,6に結合されている。ガイド部材14はスラ
イド基部３と平行に設けられ搬送路基部１に固定されて
いる。トレイ15,16,17はそれぞれ下面に溝部15a,16a,17
aを有し，各溝部はそれぞれ支持部材7,8,9の上端にのせ
られる。第１図及び第２図において溝部16a,17aは図示
してないが，溝部15aと同様の構成である。またトレイ1
5,16,17はそれぞれ下面にキヤスター18,19,20を有し，
各キヤスター18,19,20はガイド部材14の上端にのせられ
る。第１図及び第２図においてキヤスター19,20は図示
してないが，キヤスター18と同様の構成である。以上の
ようにトレイ15,16,17は全く同様の構成である。21aと2
1b,22aと22b,23aと23bはそれぞれ支持部材7,8,9に固定
された制限部材であり，それぞれトレイ15,16,17の両側
に伸びている。そして支持部材7,8,9とトレイ15,16,17
との相対的位置が搬送方向A,Bにずれないよう制限して
いる。ガイド部材14は，第１図にてトレイ15及び17が位
置する部分では第２図の図示の如く高さＨを有し，第１
図にてトレイ16が位置する部分では第３図に図示の如く
Ｈよりも低い高さＬを有する。
したがって第１図にてトレイ16が位置する部分では第３
図に示す如くトレイ16が水平に，また第１図にてトレイ
15,17が位置する部分では各トレイ15,17が第２図に示す
如く右上がりに傾斜する。ウエハキヤリア24,25,26はそ
れぞれトレイ15,16,17に載置されるものである。キヤリ
ア24,25,26はそれぞれ複数の収納段を有し，各収納段に
ウエハ24a,24b,24c……,25a,25b,25c……,26a,26b,26c
……を載置し，それぞれ複数のウエハを収納している。
ウエハはキヤリアの出し入れ側開口部24F,25F,26F,から
出し入れされ，キヤリアの背面側開口部24G,25G,26Gか
らは出し入れできない。一例としてキヤリア24の部分的
断面を第４図に示す。
図に示す如くトレイ16が水平に，また第１図にてトレイ
15,17が位置する部分では各トレイ15,17が第２図に示す
如く右上がりに傾斜する。ウエハキヤリア24,25,26はそ
れぞれトレイ15,16,17に載置されるものである。キヤリ
ア24,25,26はそれぞれ複数の収納段を有し，各収納段に
ウエハ24a,24b,24c……,25a,25b,25c……,26a,26b,26c
……を載置し，それぞれ複数のウエハを収納している。
ウエハはキヤリアの出し入れ側開口部24F,25F,26F,から
出し入れされ，キヤリアの背面側開口部24G,25G,26Gか
らは出し入れできない。一例としてキヤリア24の部分的
断面を第４図に示す。
同図に図示の如く背面側の支柱24Hが存在することによ
り上述の如くキヤリアの背面側（第４図の左側）からウ
エハを出し入れすることができないようになつている。
キヤリア25,26も同様の構成である。第３図に示した昇
降機27は第１図にてトレイ16が位置する部分にトレイが
移送されてきた時にキヤリアをトレイごと上昇するもの
である。投光器28,29はキヤリアの出し入れ側に同じ高
さに配置され，受光器30,31はキヤリアの背面側に投光
器28,29と同じ高さに配置されている。そして受光器30
は投光器28のまた受光器31は投光器29の光を受光する。
スライダ32は，互いに平行に配置されたガイド部材33,3
4により案内され，モータ35により回転するネジ部36に
よりＣ及びＤ方向に進退する。アーム37はスライダ32に
設けられた軸32aを中心に回転可能に設けられている。
アーム37の先端部の上面にはセンサ38が設けられてい
る。
り上述の如くキヤリアの背面側（第４図の左側）からウ
エハを出し入れすることができないようになつている。
キヤリア25,26も同様の構成である。第３図に示した昇
降機27は第１図にてトレイ16が位置する部分にトレイが
移送されてきた時にキヤリアをトレイごと上昇するもの
である。投光器28,29はキヤリアの出し入れ側に同じ高
さに配置され，受光器30,31はキヤリアの背面側に投光
器28,29と同じ高さに配置されている。そして受光器30
は投光器28のまた受光器31は投光器29の光を受光する。
スライダ32は，互いに平行に配置されたガイド部材33,3
4により案内され，モータ35により回転するネジ部36に
よりＣ及びＤ方向に進退する。アーム37はスライダ32に
設けられた軸32aを中心に回転可能に設けられている。
アーム37の先端部の上面にはセンサ38が設けられてい
る。
次に本装置の動作について述べる。第１図の状態からモ
ータ13を駆動すると，ギヤ11を介してチエーン10が駆動
されチエーンに結合したスライド部材4,5,6及び支持部
材7,8,9を介して各トレイ15,16,17がＡ方向に搬送され
る。したがつてこの時第３図の如く水平状態にあるトレ
イ16はガイド部材14の上端部の高さの変化，すなわちＬ
からＨへの変化にしたがつて傾き，第２図の如く傾斜す
る。また第２図の如く傾斜状態にあるトレイ15はガイド
部材14の上端部の高さの変化，すなわちＨからＬの変化
にしたがつて水平状態に移行する。
ータ13を駆動すると，ギヤ11を介してチエーン10が駆動
されチエーンに結合したスライド部材4,5,6及び支持部
材7,8,9を介して各トレイ15,16,17がＡ方向に搬送され
る。したがつてこの時第３図の如く水平状態にあるトレ
イ16はガイド部材14の上端部の高さの変化，すなわちＬ
からＨへの変化にしたがつて傾き，第２図の如く傾斜す
る。また第２図の如く傾斜状態にあるトレイ15はガイド
部材14の上端部の高さの変化，すなわちＨからＬの変化
にしたがつて水平状態に移行する。
そして第１図にてトレイ16が図示された位置までくると
水平状態となる。トレイ17は第２図に示す傾斜状態を保
つたままＡ方向に移動するだけである。このように所定
位置，すなわち第１図にてトレイ16が図示された位置以
外の部分をキヤリアが搬送される時には，キヤリアは第
２図の如く傾斜状態にある。したがつてキヤリア内の各
ウエハは支柱（第４図の24H参照）の当接することはあ
つても出し入れ側開口部24G,25G,26Gから出てしまうこ
とはない。よつて搬送中にキヤリアに振動が加えられて
もキヤリアからウエハが脱落してしまうおそれがない。
キヤリア24が第１図に図示したトレイ16の位置にくる
と，すなわち第３図に状態なると，モータ13による駆動
が停止される。そして昇降機27が動作し，テーブル27a
が上昇する。よつてトレイ15とともにキヤリア24が上昇
せしめられる。第５図は第３図の状態にもたらされたキ
ヤリアを第３図の右側より見た場合の図である。投光器
28,29各段24a′,24b′,24c′……が投光器28,29とおな
じ高さにくるたびに光を投光するよう設けられている。
第５図に示したＸ印は投光器28,29から発せられた光の
位置を示す。したがつて投光器28,29から発せられた光
がともにウエハ24a,24b……によつて遮られれば受光器3
0,31はともに大きな受光出力を得ない。よつて受光器3
0,31の出力よりその段にウエハが正常に配置されている
ことが検出される。また第５図に示したウエハ24cの如
くウエハが正常に配置されていない場合には，投光器2
8,29からの光がともにウエハ24cに遮られない。したが
つて受光器30,31はともに大きな受光出力を得ることに
なる。よつて受光器30,31の出力よりその段にウエハが
正常に配置されていないことが検出される。こうしてキ
ヤリア24の最上段から最下段までウエハの状態が検出さ
れると，第１図のモータ35が駆動され，スライダ32がＣ
方向に移動される。そしてアーム37にキヤリア内にウエ
ハが一枚載せられ，モータ35の逆転によりスライダ32が
Ｄ方向に移動される。その後，スライダ32上でアーム37
が第１図図示の状態から軸32aを中心に回転し，不図示
の機構によりウエハはウエハ検査装置のウエハ検査位置
にローデイングされる。そしてそのウエハの検査が終了
するとアーム37上にウエハが戻され，アーム37が軸32a
を中心に逆方向に回転し，第１図図示の状態に戻る。そ
の後，スライダ32が再度Ｃ方向に移動し，検査されたウ
エハがキヤリア内の元の収納段に戻される。このように
してキヤリアに収納された複数のウエハが検査され，そ
れぞれ元の収納段に戻される。また前述の如く収納段に
正常に配置されていないことを検出されたウエハに関し
ては，キヤリアからのアーム37によるウエハの取り出し
を行なわないよう制御する。したがつてアーム37の先端
が，第５図の如く斜めに配置されたウエハの端部に当接
し，ウエハあるいはアームが破損してしまうことを未然
に防止することができる。さらに本実施例においては，
アーム37の先端部にセンサ38を設けてあるので，アーム
37にウエハが載せられたことを検知することができる。
水平状態となる。トレイ17は第２図に示す傾斜状態を保
つたままＡ方向に移動するだけである。このように所定
位置，すなわち第１図にてトレイ16が図示された位置以
外の部分をキヤリアが搬送される時には，キヤリアは第
２図の如く傾斜状態にある。したがつてキヤリア内の各
ウエハは支柱（第４図の24H参照）の当接することはあ
つても出し入れ側開口部24G,25G,26Gから出てしまうこ
とはない。よつて搬送中にキヤリアに振動が加えられて
もキヤリアからウエハが脱落してしまうおそれがない。
キヤリア24が第１図に図示したトレイ16の位置にくる
と，すなわち第３図に状態なると，モータ13による駆動
が停止される。そして昇降機27が動作し，テーブル27a
が上昇する。よつてトレイ15とともにキヤリア24が上昇
せしめられる。第５図は第３図の状態にもたらされたキ
ヤリアを第３図の右側より見た場合の図である。投光器
28,29各段24a′,24b′,24c′……が投光器28,29とおな
じ高さにくるたびに光を投光するよう設けられている。
第５図に示したＸ印は投光器28,29から発せられた光の
位置を示す。したがつて投光器28,29から発せられた光
がともにウエハ24a,24b……によつて遮られれば受光器3
0,31はともに大きな受光出力を得ない。よつて受光器3
0,31の出力よりその段にウエハが正常に配置されている
ことが検出される。また第５図に示したウエハ24cの如
くウエハが正常に配置されていない場合には，投光器2
8,29からの光がともにウエハ24cに遮られない。したが
つて受光器30,31はともに大きな受光出力を得ることに
なる。よつて受光器30,31の出力よりその段にウエハが
正常に配置されていないことが検出される。こうしてキ
ヤリア24の最上段から最下段までウエハの状態が検出さ
れると，第１図のモータ35が駆動され，スライダ32がＣ
方向に移動される。そしてアーム37にキヤリア内にウエ
ハが一枚載せられ，モータ35の逆転によりスライダ32が
Ｄ方向に移動される。その後，スライダ32上でアーム37
が第１図図示の状態から軸32aを中心に回転し，不図示
の機構によりウエハはウエハ検査装置のウエハ検査位置
にローデイングされる。そしてそのウエハの検査が終了
するとアーム37上にウエハが戻され，アーム37が軸32a
を中心に逆方向に回転し，第１図図示の状態に戻る。そ
の後，スライダ32が再度Ｃ方向に移動し，検査されたウ
エハがキヤリア内の元の収納段に戻される。このように
してキヤリアに収納された複数のウエハが検査され，そ
れぞれ元の収納段に戻される。また前述の如く収納段に
正常に配置されていないことを検出されたウエハに関し
ては，キヤリアからのアーム37によるウエハの取り出し
を行なわないよう制御する。したがつてアーム37の先端
が，第５図の如く斜めに配置されたウエハの端部に当接
し，ウエハあるいはアームが破損してしまうことを未然
に防止することができる。さらに本実施例においては，
アーム37の先端部にセンサ38を設けてあるので，アーム
37にウエハが載せられたことを検知することができる。
以上のようにしてキヤリアに収納された全てのウエハの
検査が終了すると，テーブル27aが下降し，第３図の状
態が復元される。そしてモータ13の作動により検査を終
わつていない別のキヤリアが，第１図にてトレイ16が位
置する部分に位置づけられ上述と同様に検査が成され
る。このようにして搬送路に配置された各キヤリアがＡ
方向あるいはＢ方向に移動され，順次所定位置にもたら
されて，ウエハ検査がなされる。
検査が終了すると，テーブル27aが下降し，第３図の状
態が復元される。そしてモータ13の作動により検査を終
わつていない別のキヤリアが，第１図にてトレイ16が位
置する部分に位置づけられ上述と同様に検査が成され
る。このようにして搬送路に配置された各キヤリアがＡ
方向あるいはＢ方向に移動され，順次所定位置にもたら
されて，ウエハ検査がなされる。
尚，実施例では背面側にウエハの出し入れを行なう開口
部を有しないキヤリアについて述べたが，背面側にもそ
のような開口部を有するキヤリアの場合には以下のよう
に構成すればよい。すなわち所定位置以外ではキヤリア
を傾斜させて搬送するとともに搬送路に沿つて壁を設
け，この壁により搬送中のキヤリアの一方の開口部（背
面側の開口部及び上記実施例で示した出し入れ側開口部
の一方）を覆うとともに，この壁によりキヤリアの傾斜
にしたがつて収納段上を滑つてくるウエハが前記一方の
開口部からとび出してしまうことを防止する。そしてキ
ヤリアが所定位置に近づくにつれこのキヤリアを水平に
戻し，所定位置に至つた時に上述した壁が前記一方の開
口部を覆わないようにすればよい。こうすれば搬送中に
前記一方の開口部あるいは解放された他方の開口部から
ウエハが出てしまうことはない。またキヤリアが所定位
置に位置づけられた時には，前記一方及び／または他方
の開口部からウエハを取り出すことができる。
部を有しないキヤリアについて述べたが，背面側にもそ
のような開口部を有するキヤリアの場合には以下のよう
に構成すればよい。すなわち所定位置以外ではキヤリア
を傾斜させて搬送するとともに搬送路に沿つて壁を設
け，この壁により搬送中のキヤリアの一方の開口部（背
面側の開口部及び上記実施例で示した出し入れ側開口部
の一方）を覆うとともに，この壁によりキヤリアの傾斜
にしたがつて収納段上を滑つてくるウエハが前記一方の
開口部からとび出してしまうことを防止する。そしてキ
ヤリアが所定位置に近づくにつれこのキヤリアを水平に
戻し，所定位置に至つた時に上述した壁が前記一方の開
口部を覆わないようにすればよい。こうすれば搬送中に
前記一方の開口部あるいは解放された他方の開口部から
ウエハが出てしまうことはない。またキヤリアが所定位
置に位置づけられた時には，前記一方及び／または他方
の開口部からウエハを取り出すことができる。
また，これまでウエハを収納するキヤリアの搬送装置に
ついて述べたが，レチクルを収納するキヤリアの搬送装
置についても同様に構成できることはいうまでもない。
ついて述べたが，レチクルを収納するキヤリアの搬送装
置についても同様に構成できることはいうまでもない。
（発明の効果） 以上詳述した如く本発明によれば，キヤリア搬送中にキ
ヤリアからウエハがとびだしてしまうなどの不都合を解
決することができる。
ヤリアからウエハがとびだしてしまうなどの不都合を解
決することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す搬送装置の斜視図，第
２図及び第３図は第１図に示した装置の異なる位置にお
ける断面図，第４図はウエハキヤリアの部分的断面図，
第５図はウエハの収納状態を検出する場合の説明図であ
る。 （主要部分の符号の説明） 14……ガイド部材 15〜17……トレイ 18……キヤスター 24〜26……キヤリア 24a,24b,24c……，……（ウエハ） 25a,25b,25c……，……（ウエハ） 26a,26b,26c……，……（ウエハ）
２図及び第３図は第１図に示した装置の異なる位置にお
ける断面図，第４図はウエハキヤリアの部分的断面図，
第５図はウエハの収納状態を検出する場合の説明図であ
る。 （主要部分の符号の説明） 14……ガイド部材 15〜17……トレイ 18……キヤスター 24〜26……キヤリア 24a,24b,24c……，……（ウエハ） 25a,25b,25c……，……（ウエハ） 26a,26b,26c……，……（ウエハ）
Claims (1)
- 【請求項１】搬送路に沿って平行に延びる立ち上がり部
２とガイド部材14、これらの部２と部材14を上に載せて
支える搬送路基部１、搬送路に沿って立ち上がり部２に
固定されたスライド基部３、この基部３に嵌合し基部３
に沿って摺動可能なスライド部材４、スライド部材４に
固定されたトレイ支持部材７、ガイド部材14の上を走行
するキャスター18、下面の端の方の一端にキャスター18
を備え他端にＶ溝15aを有しＶ溝15aに支持部材７の上端
が緩く嵌合している「キャリアを載せるトレイ」15、搬
送路に沿って配設されスライド部材４と係合したチェー
ン10、チェーン10を支えるギヤ11,12、ギヤ11を回転さ
せるモータ13からなるキャリア搬送装置において、 ガイド部材14は、トレイ15上に載せられるキャリアの開
口部24F側に位置し、スライド基部３は、キャリアの背
面側に位置し、 ガイド部材14の高さは、キャリアの搬送区間のうち主要
区間において高く（Ｈ）、そのため、トレイ15はスライ
ド基部３側からガイド部材14に向かって上に傾斜してお
り、 また、ガイド部材14の高さは、基板の出し入れ位置にお
いて低く（Ｌ）、そのため、トレイ15は水平になってお
り、 更に、ガイド部材14の高さは、キャリアの搬送区間のう
ち主要区間の前後に当たる区間において、高い（Ｈ）状
態から低い状態（Ｌ）又はその反対に徐々に変化してい
ることを特徴とする装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60057889A JPH071782B2 (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | キヤリアの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60057889A JPH071782B2 (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | キヤリアの搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61216442A JPS61216442A (ja) | 1986-09-26 |
| JPH071782B2 true JPH071782B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=13068553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60057889A Expired - Lifetime JPH071782B2 (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | キヤリアの搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071782B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6387427A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-18 | Nikon Corp | 収納ケ−スの昇降装置 |
| JPS63300525A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-07 | Tokyo Electron Ltd | ウエハの搬出入用検出装置 |
| CN114955358B (zh) * | 2022-08-01 | 2022-12-09 | 弥费实业(上海)有限公司 | 传送晶圆盒的驱动机构、装置、方法及存储库 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943540A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ウエハ収納カセツトの搬送装置 |
-
1985
- 1985-03-22 JP JP60057889A patent/JPH071782B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61216442A (ja) | 1986-09-26 |
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