JP2003243475A

JP2003243475A - 無人搬送車

Info

Publication number: JP2003243475A
Application number: JP2002038344A
Authority: JP
Inventors: Shuji Akiyama; 収司秋山; Isao Fukuda; 功福田
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-02-15
Filing date: 2002-02-15
Publication date: 2003-08-29

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】該移載手段のウエハ保持手段を作動させるた
めの送気または吸気手段を備えた無人搬送車において、
送気または吸気手段で発生する振動が搬送車本体に伝わ
るのを抑えることを課題とする。【解決手段】吸引孔（ウエハ保持手段）を作動するた
めのエアコンプレッサ６１（送気手段）と、搬送車本体
の載置面との間にエアダンパ７３・７３・・・（防振手
段）を介設し、エアコンプレッサ６１と、エアコンプレ
ッサ６１からの送気を利用して負圧を発生させる真空エ
ジェクタとを備え、真空エジェクタと吸引孔とを連結し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハを移載する
移載手段と、該移載手段のウエハ保持手段を作動させる
ための空圧発生手段とを備えた無人搬送車に関し、詳し
くは、該空圧発生手段で発生する振動を減殺する技術に
関する。

【０００２】

【従来の技術】塵挨の発生が問題となる半導体製造工場
では、半導体ウエハを搬送するために、ウエハを移載す
る移載手段と、ウエハを一時収納するバッファカセット
と、ウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装置とを搭
載した無人搬送車を自動走行させる技術が検討されてい
る。この無人搬送車は、ウエハを、バッファカセット内
に収納して、所定の処理装置まで搬送し、移載手段によ
り該バッファカセットからウエハを1枚ずつ取り出し
て、姿勢合わせ装置にセットし、所定の姿勢・方向に向
けた上で、該処理装置へ移載する。ウエハを移載する際
に、移載手段の支持部でウエハをすくい上げて、単に該
支持部に載せただけでは、移載手段を屈伸させるときの
慣性力などによってウエハの位置ずれや落下が発生する
恐れがある。そこで、ウエハを移載手段の支持部で吸引
保持することが検討されている。この吸引保持をするた
めに負圧発生手段を備えるものとし、負圧発生手段は、
具体的には、送気手段であるエアコンプレッサと、送気
により発生する正圧より負圧を取り出す真空エジェクタ
と、保持バルブと、これらを結ぶ配管などからなる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、試験的
に無人搬送車に前記負圧発生手段を備え、エアコンプレ
ッサを作動させると、エアコンプレッサで発生する振動
が、搬送車本体に伝わるという問題が発生した。この振
動は、高度な品質管理が要求されるウエハにとって好ま
しくなく、製品品質に影響を及ぼす恐れがあった。ま
た、搬送車本体に振動が伝わっていると、移載手段がぶ
れて、相手装置に正確に移載できない上、ウエハを破損
させる恐れがある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するた
めの手段を説明する。まず、請求項１に記載のように、
ウエハを移載する移載手段と、該移載手段のウエハ保持
手段を作動するための送気または吸気手段とを備えた無
人搬送車において、前記送気または吸気手段と、搬送車
本体との間に防振手段を介設した。

【０００５】また、請求項２に記載のように、前記送気
手段としてのエアコンプレッサと、エアコンプレッサか
らの送気を利用して負圧を発生させる真空エジェクタと
を備え、真空エジェクタと前記移載手段のウエハ保持手
段とを連結した。

【０００６】そして、請求項３に記載のように、ウエハ
の姿勢・方向を揃える姿勢合わせ手段を備えた。

【０００７】

【発明の実施の形態】これより、本発明の実施の一形態
を、図面を参照しながら説明する。図１は無人搬送車１
の側面図、図２は枚葉移載装置３の平面図、図３は負圧
発生装置本体６０の側面図、図４は同じく正面図、図５
は負圧発生装置６の配管構成を示す回路図である。

【０００８】まず、無人搬送車１の全体構成について説
明する。図１に示す無人搬送車１は、走行レール２０・
２０上を自動走行する有軌道台車であり、搬送車本体２
が走行輪９・９・９・９により支持されている。本構成
の搬送車１は、スリップを減らす為に全ての走行輪９・
９・９・９に駆動を伝えるように４輪駆動で構成されて
おり、各走行輪９・９・９・９にはそれぞれ駆動モータ
が取り付けられている。しかし、全ての走行輪９・９・
９・９に駆動を伝達する機構は、これに限定することな
く、他の機構でもよい。また、駆動輪は車体前後にそれ
ぞれ設けられていれば、４輪に限らず、その数は限定し
ない。

【０００９】一方の走行レール２０には給電線ホルダが
凸設され、該給電線ホルダの上端に、給電線が保持され
ている。該給電線には、電力供給盤から高周波の電流が
流されており、これにより該給電線周りには磁界が発生
して、搬送車１に固定された受電ユニット２５で、該磁
界により発生する誘導起電流を取り出している。そし
て、取り出した電流を増幅し、所定の電圧に変換した
後、整流・平滑して、搬送車１の制御機器や走行輪９・
９・９・９の駆動モータ等へ給電が行われている。ま
た、この走行レール２０・２０に沿って、処理装置や自
動倉庫等が配置されている。

【００１０】搬送車１の搬送車本体２には、その中央に
ウエハ１０を一枚ずつ移載する枚葉移載装置３が配設さ
れ、その前後に、ウエハ１０の姿勢・方向及び中心位置
を揃える姿勢合わせ装置４と、ウエハ１０が収納するバ
ッファカセット５０を支持する支持台５とが配設されて
いる。このバッファカセット５０内には上下に多数段の
棚が設けられ、各棚にウエハ１０・１０・・・が水平に
収納されるようになっている。

【００１１】また、枚葉移載装置３と対向する、バッフ
ァカセット５０の開口部には、ウエハ１０・１０・・・
の端縁を押圧する押圧部材としてのストッパロッド５５
が立設されている。該ストッパロッド５５は、該バッフ
ァカセット５０の開口部の一側端位置と、左右中央位置
との間で移動可能に構成され、搬送車１を走行させる際
には、エアシリンダを作動させて、該ストッパロッド５
５をバッファカセット５０の開口部の左右中央位置まで
移動させ、該バッファカセット５０内に収納されたウエ
ハ１０・１０・・・の端縁に接触させて、該ウエハ１０
・１０・・・の飛出しを防止している。一方、ウエハ１
０・１０を移載する際には、該ストッパロッド５５をバ
ッファカセット５０の一側端位置へ退避させ、ウエハ１
０・１０・・・の出し入れの障害とならないようにして
おく。

【００１２】次に、前記枚葉移載装置３について説明す
る。図１及び図２に示すように、枚葉移載装置３は、移
載手段である移載アーム３０Ｕ・３０Ｌと、基台３８
と、ターンテーブル３９等から成り、基台３８は搬送車
本体２中央に埋設され、該基台３８上にターンテーブル
３９が枢設され、該ターンテーブル３９上に一対の移載
アーム３０Ｕ・３０Ｌが取り付けられている。

【００１３】基台３８は昇降可能に構成され、また、前
記ターンテーブル３９は該基台３８に対して相対回転可
能に構成されている。移載アーム３０Ｕ（３０Ｌ）は、
移載ハンド３１Ｕ（３１Ｌ）と、第１アーム３２Ｕ（３
２Ｌ）と、第２アーム３３Ｕ（３３Ｌ）とでリンク機構
が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドである。
そして、サーボモータ等から成るアクチュエータによ
り、第一アーム３２Ｕ（３２Ｌ）がθ角度回転すると、
第二アーム３３Ｕ（３３Ｌ）が第一アーム３２Ｕ（３２
Ｌ）の回転と逆方向に２θ角度回転し、さらに移載ハン
ド３１Ｕ（３１Ｌ）が第一アーム３２Ｕ（３２Ｌ）の回
転と同方向にθ角度回転するように構成されている。こ
のため、移載ハンド３１Ｕ（３１Ｌ）は、見かけ上直線
運動するようになっている。

【００１４】移載ハンド３１Ｕ（３１Ｌ）は、平面視、
略「凹」字の板状に形成された、ウエハ１０を支持する
部材であり、その二股に分かれた先端部には、ウエハ保
持手段である吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）
が設けられ、後述する負圧発生装置６によって吸引が行
われる。移載の際には、ウエハ１０は、移載ハンド３１
Ｕ（３１Ｌ）によってすくい上げられるとともに、吸引
孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）で吸引され、落ち
ないように保持されながら、移載アーム３０Ｕ（３０
Ｌ）の伸縮、基台３８の昇降およびターンテーブル２３
の回転によって移載される。そして、ウエハ１０を所定
箇所に載置する際には、吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ
・３４Ｌ）での吸引が解除される。

【００１５】次に、前記姿勢合わせ装置４について説明
する。姿勢合わせ装置４は、ケーシング４０、載置台４
１、投受光形のレーザセンサ４２・４２、オプティカル
キャラクタリーダ（以下「ＯＣＲ」）４３等から成り、
該ケーシング４０は枚葉移載装置３側が開口して、その
入口付近には２組のレーザセンサ４２・４２が配設さ
れ、それぞれ天井側に投光器４２ａ、床側に受光器４２
ｂを配設して構成されている。この２組のレーザセンサ
４２・４２は、外側（ケーシング４０の開口入口側）の
レーザセンサ４２で１２インチのウエハ１０のオリフラ
位置、又はノッチ位置等の切欠位置１０ａを検出し、内
側（ケーシング４０の開口奥側）のレーザセンサ４２で
８インチのウエハ１０のオリフラ位置、又はノッチ位置
等の切欠位置１０ａを検出するように構成されている。

【００１６】また、ケーシング４０の開口の奥側にはＯ
ＣＲ４３が埋設され、該ケーシング４０内に、ＩＤマー
ク１１の付された面を下側にしてウエハ１０をセットし
た場合、該ＩＤマーク１１を該ＯＣＲ４３で読み取るよ
うにするために、ウエハ１０の下側に位置させる。ま
た、ＩＤマーク１１の付された面を上側にしてウエハ１
０をセットした場合は、ＯＣＲ４３はウエハ１０の上側
に位置するようにする。そして、ウエハ１０の両側にＩ
Ｄマークが付されている場合には、ケーシング４０の奥
側に、上下一対のＯＣＲ４３・４３を配置する構成とす
ることが好ましい。

【００１７】また、ケーシング４０内には、ウエハ１０
を載置する載置台４１が設けられている。該載置台４１
は円盤状の形状で、その回転中心には吸引孔が設けら
れ、該吸引孔から同心円状、並びに放射線状に複数の吸
引溝が設けられている。このような構成で、ウエハ１０
を載置台４１上に載置した状態で吸引孔から前記負圧発
生装置６で吸引することによってウエハ１０を吸着・保
持し、載置台４１を回転させたときに、ウエハ１０が遠
心力などで位置ズレしないようにしている。

【００１８】次に、前記負圧発生装置６について説明す
る。負圧発生装置６は送気手段であるエアコンプレッサ
６１と、エアタンク６２と、供給バルブ６３Ｕ・６３Ｌ
・６４と、真空エジェクタ６５Ｕ・６５Ｌ・６６と、こ
れらを結ぶ配管などを備え、図１に示すように、該エア
コンプレッサ６１及びエアタンク６２等から成る負圧発
生装置６の本体６０は、バッファカセット５０下方の搬
送車本体２内に収納されている。図５に示すように、該
エアタンク６２の下流側の配管を分岐させて、それぞれ
供給バルブ６３Ｕ・６３Ｌ・６４を介して真空エジェク
タ６５Ｕ・６５Ｌ・６６に接続し、該真空エジェクタ６
５Ｕからは移載ハンド３０Ｕの吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ
（３４Ｌ・３４Ｌ）に向けて配管し、該真空エジェクタ
６５Ｌからは移載ハンド３０Ｌの吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ
（３４Ｌ・３４Ｌ）に向けて配管し、該真空エジェクタ
６６からは姿勢合わせ装置４の載置台４１上の吸引孔に
向けて配管している。以上のように、真空エジェクタ６
５Ｕ（６５Ｌ）と吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４
Ｌ）とを連結して、真空エジェクタ６５Ｕ（６５Ｌ）か
ら、ウエハ保持手段である吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４
Ｌ・３４Ｌ）に向けて負圧が供給されるようにしてい
る。

【００１９】なお、エアタンク６２の下流側で分岐され
た配管は、上記部材以外に、前記バッファカセット５０
の開口部に設けられたストッパロッド５５をスライドさ
せるエアシリンダ等にも接続されている。

【００２０】エアタンク６２内に貯蔵されたエアはエア
コンプレッサ６１によって圧出され、分岐した後、それ
ぞれの供給バルブ６３Ｕ・６３Ｌ・６４を経て、真空エ
ジェクタ６５Ｕ・６５Ｌ・６６へと圧送される。この供
給バルブ６３Ｕ・６３Ｌ・６４は電磁バルブで構成さ
れ、電気的に開閉が行われるものである。図中の符号６
９はエアタンク６２と配管されるドレンタンクである。

【００２１】各真空エジェクタ６５Ｕ（６５Ｌ、６６）
は高圧口６５ａ（６５ａ、６６ａ）と低圧口６５ｂ（６
５ｂ、６６ｂ）とから成る２つの入口と、１つの出口６
５ｃ（６５ｃ、６６ｃ）とを有する構造で、該高圧口６
５ａ、６５ａ、６６ａにはエアコンプレッサ６１からの
配管が接続され、該低圧口６５ｂ、６５ｂ、６６ｂには
それぞれ移載ハンド３１Ｕの吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３
４Ｌ・３４Ｌ）、移載ハンド３１Ｌの吸引孔３４Ｕ・３
４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）、載置台４１の吸引孔からの配
管が接続されている。なお、真空エジェクタ６５Ｕ（６
５Ｌ）の低圧口と移載ハンド３１Ｕ（３１Ｌ）の吸引孔
３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）との間には、保持バ
ルブ６７Ｕ（６７Ｌ）が介設されている。この保持バル
ブ６７Ｕ・６７Ｌも電磁バルブで構成されている。ま
た、各真空エジェクタ６５Ｕ、６５Ｌ、６６の出口６５
ｃ、６５ｃ、６６ｃからは吐出口へ向けて配管され、エ
アが外部空間へ排気される構成としている。

【００２２】前記供給バルブ６３Ｕ（６３Ｌ、６４）が
開状態で、且つ、枚葉移載装置３にあっては、前記保持
バルブ６７Ｕ（６７Ｌ）も開状態で、エアタンク６２か
らの圧縮エアが真空エジェクタ６５Ｕ（６５Ｌ、６６）
の一方の入口の高圧口６５ａ（６５ａ、６６ａ）から供
給されて、その出口６５ｃ（６５ｃ、６６ｃ）から排出
されると、該圧縮エアに誘引されて、もう一方の入口で
ある低圧口６５ｂ（６５ｂ、６６ｂ）からもエアが吸引
される。そして、この低圧口６５ｂ（６５ｂ、６６ｂ）
から吸引されたエアと高圧口６５ａ（６５ａ、６６ａ）
に供給された圧縮エアは、ともに出口６５ｃ（６５ｃ、
６６ｃ）から吐出口を経て外部空間へ排気される。

【００２３】このような構成で、移載ハンド３１Ｕの吸
引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）（移載ハンド３
１Ｕの吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）、載置
台４１の吸引孔）からエアが吸引されて、該移載ハンド
３１Ｕ（移載ハンド３１Ｌ、該載置台４１）上のウエハ
１０が保持される。枚葉移載装置３については、移載ハ
ンド３１Ｕ（３１Ｌ）上に載置されたウエハ１０によっ
て吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）は密閉され
た状態で、該吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）
から真空エジェクタ６５Ｕ（６５Ｌ）までの配管が、所
定圧以下に減圧されると、前記保持バルブ６７Ｕ（６７
Ｌ）が閉じられ、該保持バルブ６７Ｕ（６７Ｌ）から該
吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ）までの配管が
負圧に維持されて、該移載ハンド３１Ｕ（移載ハンド３
１Ｌ）上にウエハ１０が保持される。

【００２４】このウエハ１０の吸引・保持を解除すると
きには、前記供給バルブ６３Ｕ（６３Ｌ）を閉じ、これ
により真空エジェクタ６５Ｕ（６５Ｌ）の高圧口６５ａ
へは圧縮エアが供給されなくなり、この上で、前記保持
バルブ６７Ｕ（６７Ｌ）を開放する。この結果、外部空
間と連通する吐出口と、真空エジェクタ６５Ｕ（６５
Ｌ）と、移載ハンド３１Ｕの吸引孔３４Ｕ・３４Ｕ（３
４Ｌ・３４Ｌ）（移載ハンド３１Ｕの吸引孔３４Ｕ・３
４Ｕ（３４Ｌ・３４Ｌ））との間の配管が大気圧まで上
昇して、ウエハ１０の吸引・保持が解除される。

【００２５】一方、姿勢合わせ装置４の載置台４１は、
その回転中心に吸引孔が設けられるとともに、該吸引孔
から同心円状、並びに放射線状に複数の吸引溝が設けら
れているため、該載置台４１上のウエハ１０と該吸引孔
との間には、該吸引溝を介して隙間ができて、該吸引孔
から真空エジェクタ６６までの配管を負圧には維持でき
ず、常時吸引することにでウエハ１０を載置台４１上に
吸引・保持している。

【００２６】このウエハ１０の吸引・保持を解除すると
きには、前記供給バルブ６４が閉じられ、これにより真
空エジェクタ６６の高圧口６６ａへは圧縮エアが供給さ
れなくなって、低圧口６６ｂからもエアが吸引されなく
なり、外部空間と連通する吐出口から載置台４１の吸引
孔へかけての配管が大気圧まで上昇する結果、ウエハ１
０の吸引・保持が解除される。

【００２７】図３及び図４に示すように、負圧発生装置
６の本体６０は載置板７０上に載置固定され、該載置板
７０と、搬送車本体２との間には複数のエアダンパ７３
・７３・・・が介設されている。詳しくは、搬送車本体
２の負圧発生装置本体６０の収納部に形成された水平面
を載置面２１として、該載置面２１上にスタッド７１・
７１・・・を介してベース板７２を固定し、該ベース板
７２上に防振手段としてエアダンパ７３・７３・・・を
配置して、その上に載置板７０を固定している。

【００２８】以上において、送気手段であるエアコンプ
レッサ６１と、搬送車本体２との間に、防振手段である
エアダンパ７３・７３・・・が介設されている。このよ
うな構成で、振動の発生源となる負圧発生装置本体６０
のエアコンプレッサ６１からの振動が搬送車本体２へ伝
わるのを抑えることができる。この結果、枚葉移載装置
３によりウエハ１０を移載する際にも、処理装置などの
相手装置に対して、正確に受け渡すことができ、信頼性
が向上する。さらに、移載ハンド３１Ｕ・３１Ｌで支持
されているウエハ１０や、バッファカセット５０内に収
納されているウエハ１０・１０・・・への振動伝達が減
殺されて、ウエハ１０の品質低下が防止される。なお、
エアダンパ７３であるが、搬送車本体２を経て移載ハン
ド３１Ｕ（３１Ｌ）へ振動が伝わるのを抑え、移載ハン
ド３１Ｕ（３１Ｌ）の振動が所定値より少なくなるよう
になるものを用いる。具体的には、移載ハンド３１Ｕ
（３１Ｌ）上で、振動測定装置による測定で、０．５Ｇ
（１Ｇ＝９．８ｍ／ｓ²）以下になるようにすることが
好ましい。特に、０．２〜０．４Ｇとなるようなエアダ
ンパ７３を採用することが好ましい。

【００２９】なお、エアダンパ７３・７３・・・以外に
も、載置板７０とベース板７２との間にスプリング等の
防振手段を介設してもよく、あるいは、スプリングとエ
アダンパーとを併用するなど、防振構造は特に限定しな
い。また、負圧発生装置６は、エアコンプレッサ６１
と、エアタンク６２と、供給バルブ６３Ｕ・６３Ｌ・６
４と、真空エジェクタ６５Ｕ・６５Ｌ・６６等とから成
るものに限らず、吸気手段である真空ポンプ等で構成さ
れるものであってもよい。この場合、振動発生源となる
真空ポンプ本体を載置板に載置固定した上で、該載置板
と搬送車本体２との間にエアダンパ等の防振手段を介設
する。

【００３０】また、本実施の形態では、移載装置に加え
て姿勢合わせ装置４を搬送車１に搭載したが、処理装置
や検査装置側に設けられていれば、姿勢合わせ装置４を
搬送車１に搭載しなくても良い。また、本実施の形態で
は、移載装置によるウエハの保持手段として、負圧発生
装置６を利用して吸引・保持するようにしているが、エ
アコンプレッサの圧送空気により動作するエアシリンダ
を利用し、これらの駆動によりウエハを把持するように
作動するハンド（チャック）形式の把持機構であっても
よい。また、本実施の形態では、エアコンプレッサ６１
の作動回数を減らして、より振動が発生しにくくなるよ
うにエアタンク６２を設けているが、エアタンク６２を
設けない構成としてもよい。また、本実施の形態では、
エアコンプレッサ６１とエアタンク６２の両方をベース
板７２上に配置して、エアダンパ７３により弾性支持す
るようにしているが、振動源であるエアコンプレッサ６
１のみエアダンパ７３により弾性支持するようにしても
良い。

【００３１】さらに、本発明は、非接触給電により走行
レール２０・２０上を走行する無人搬送車１だけに限ら
ず、例えば、バッテリを搭載したレーザーや磁気誘導式
の無人搬送車等の、他の無人搬送車についても採用する
ことができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成したので、
以下に示すような効果を奏する。まず、請求項１のよう
に、ウエハを移載する移載手段と、該移載手段のウエハ
保持手段を作動するための送気または吸気手段とを備え
た無人搬送車において、前記送気または吸気手段と、搬
送車本体との間に防振手段を介設したので、振動の発生
源である送気又は吸気手段から搬送車本体へ伝達される
振動を減らすことができる。この結果、送気又は吸気手
段を利用することでウエハを支持するような移載装置で
在っても、移載手段によりウエハを移載する際に、処理
装置などの相手装置に対して正確に移載することがで
き、特に、ウエハを一枚ずつ吸引保持して移載する枚葉
移載装置に対してはその効果が大である。さらに、移載
手段で支持しているウエハへの振動伝達を抑えることが
でき、ウエハの品質低下が防止される。

【００３３】また、請求項２のように、前記送気手段と
してのエアコンプレッサと、エアコンプレッサからの送
気を利用して負圧を発生させる真空エジェクタとを備
え、真空エジェクタと前記移載手段のウエハ保持手段と
を連結したので、簡単な構成により、ウエハを吸引保持
することができる。また、吸引・保持するための負圧を
発生させるのに、真空エジェクタを採用したことによ
り、真空ポンプを利用した場合に比し、コンパクトにす
ることができ、無人搬送車本体が大型化するのを抑える
ことができる。

【００３４】そして、請求項３のように、ウエハの姿勢
・方向を揃える姿勢合わせ手段を備えたので、処理装置
などの相手装置に姿勢合わせ装置が不要となり、処理装
置の設置面積が減少し、クリーンルームを小型化するこ
とができる。また、送気又は吸気手段を利用して、姿勢
合わせ装置でウエハを支持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】無人搬送車１の側面図。

【図２】枚葉移載装置３の平面図。

【図３】負圧発生装置本体６０の側面図。

【図４】同じく正面図。

【図５】負圧発生装置６の配管構成を示す回路図。

【符号の説明】

１搬送車２車体本体３移載装置４姿勢合わせ装置６負圧発生装置２１載置面６０本体６１エアコンプレッサ６２エアタンク６５Ｕ真空エジェクタ６５Ｌ真空エジェクタ６６真空エジェクタ７０載置板７２ベース板７３エアダンパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者福田功京都市伏見区竹田向代町136番地村田機械株式会社本社工場内Ｆターム(参考） 3F044 AA13 AB11 AB21 BB07 CE03 CE08 CE16 CE33 5F031 CA02 DA17 EA09 FA01 FA07 FA09 GA08 GA10 GA12 GA24 GA35 GA43 GA50 GA58 HA13 HA59 JA05 JA17 JA34 JA35 JA50 LA06 LA15 PA16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハを移載する移載手段と、該移載手
段のウエハ保持手段を作動するための送気または吸気手
段とを備えた無人搬送車において、前記送気または吸気
手段と、搬送車本体との間に防振手段を介設したことを
特徴とする無人搬送車。
【請求項２】前記送気手段としてのエアコンプレッサ
と、エアコンプレッサからの送気を利用して負圧を発生
させる真空エジェクタとを備え、真空エジェクタと前記
移載手段のウエハ保持手段とを連結したことを特徴とす
る請求項１に記載の無人搬送車。
【請求項３】ウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合わせ
手段を備えた、ことを特徴とする請求項１、又は請求項
２に記載の無人搬送車。