JP2003341834A - 無人搬送車及びそれを利用した加工システム - Google Patents
無人搬送車及びそれを利用した加工システムInfo
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- JP2003341834A JP2003341834A JP2002150733A JP2002150733A JP2003341834A JP 2003341834 A JP2003341834 A JP 2003341834A JP 2002150733 A JP2002150733 A JP 2002150733A JP 2002150733 A JP2002150733 A JP 2002150733A JP 2003341834 A JP2003341834 A JP 2003341834A
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- JP
- Japan
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- negative pressure
- guided vehicle
- vehicle body
- automatic guided
- pressure means
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- Manipulator (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 無人搬送車周囲の無塵化を向上させるように
する。 【解決手段】 無人搬送車１２の車体１５は上板部材１
６と底板部材１７と周壁部材１８とから構成されてい
る。無人搬送車１２の内部には、負圧装置２２及びフィ
ルタ装置２４などが設けられている。この負圧装置２２
は送風装置２３を有して構成されている。負圧装置２２
の送風装置２３が運転されると、無人搬送車１２外部の
空気が内部に吸引され、吸気口２５、ファンケーシング
２３ａ、フィルタ装置２４を通り、そして吐出ダクト２
６から無人搬送車１２下部に吐出されて、外部に流出す
る。
する。 【解決手段】 無人搬送車１２の車体１５は上板部材１
６と底板部材１７と周壁部材１８とから構成されてい
る。無人搬送車１２の内部には、負圧装置２２及びフィ
ルタ装置２４などが設けられている。この負圧装置２２
は送風装置２３を有して構成されている。負圧装置２２
の送風装置２３が運転されると、無人搬送車１２外部の
空気が内部に吸引され、吸気口２５、ファンケーシング
２３ａ、フィルタ装置２４を通り、そして吐出ダクト２
６から無人搬送車１２下部に吐出されて、外部に流出す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
好適する無人搬送車及びそれを利用した加工システムに
関する。
好適する無人搬送車及びそれを利用した加工システムに
関する。
【０００２】
【従来技術】ウェハーを加工する場合には、クリーンル
ームと呼ばれる３０ｃｍ立方に0．1ミクロンの塵が１個
という無塵化が図られた室内で加工する必要がある。そ
して、このような無塵化状態を保つべく、クリーンルー
ムには空気中より塵等を除去するフィルタ装置が設けら
れている。
ームと呼ばれる３０ｃｍ立方に0．1ミクロンの塵が１個
という無塵化が図られた室内で加工する必要がある。そ
して、このような無塵化状態を保つべく、クリーンルー
ムには空気中より塵等を除去するフィルタ装置が設けら
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の技術では、クリーンルーム全体の無塵化を室内に配置
されたフィルタ装置だけで賄おうとしているため、無塵
化が充分にできない場合がある。特に、このようなクリ
ーンルーム内では、ウェハーを搬送する無人搬送車や、
移動時に自車上でウェハーを加工する無人搬送車にロボ
ットアームを搭載した移動ロボットが使用されている
が、これらの周囲で充分に無塵化が図られていないと、
ウェハー加工に悪影響を及ぼしてしまうという問題があ
る。
の技術では、クリーンルーム全体の無塵化を室内に配置
されたフィルタ装置だけで賄おうとしているため、無塵
化が充分にできない場合がある。特に、このようなクリ
ーンルーム内では、ウェハーを搬送する無人搬送車や、
移動時に自車上でウェハーを加工する無人搬送車にロボ
ットアームを搭載した移動ロボットが使用されている
が、これらの周囲で充分に無塵化が図られていないと、
ウェハー加工に悪影響を及ぼしてしまうという問題があ
る。
【０００４】そこで本発明は上記問題に鑑みてなされた
ものであり、特に無人搬送車周囲の無塵化を向上させる
ことが可能な無人搬送車及びそれを利用した加工システ
ムを提供することを目的とする。
ものであり、特に無人搬送車周囲の無塵化を向上させる
ことが可能な無人搬送車及びそれを利用した加工システ
ムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、無人搬送車に負圧手段およびフィルタ手段が設
けられているので、クリーンルーム内、特に無人搬送車
周囲の空気が車体および車体内部の負圧手段を介してフ
ィルタ手段に集められ、このフィルタ手段にて塵および
有機ガスを除去されて車体外部に流出されることにな
り、無人搬送車周囲の無塵化を向上させることができる
という優れた効果がある。
いては、無人搬送車に負圧手段およびフィルタ手段が設
けられているので、クリーンルーム内、特に無人搬送車
周囲の空気が車体および車体内部の負圧手段を介してフ
ィルタ手段に集められ、このフィルタ手段にて塵および
有機ガスを除去されて車体外部に流出されることにな
り、無人搬送車周囲の無塵化を向上させることができる
という優れた効果がある。
【０００６】請求項２記載の発明においては、ロボット
アームの吸入口にて吸入された吸入口周囲の空気が、第
２の負圧手段、負圧手段、およびフィルタ手段を介して
車体外部に流出されるので、ロボットアームの周囲、す
なわちウェハー周囲の空気が集められて無塵化を向上さ
せることができるという優れた効果がある。
アームの吸入口にて吸入された吸入口周囲の空気が、第
２の負圧手段、負圧手段、およびフィルタ手段を介して
車体外部に流出されるので、ロボットアームの周囲、す
なわちウェハー周囲の空気が集められて無塵化を向上さ
せることができるという優れた効果がある。
【０００７】請求項３記載の発明においては、流出空気
が車体下部から出るので、無人搬送車上部に影響を与え
ることが少ない。請求項４記載の発明においては、フィ
ルタ手段を介した空気の吐出口が、車体の下部であり、
かつその吐出方向が地面に対して平行となるような方向
に向けて設けられているので、浮力が発生するような方
向に空気を吐出するのを防ぐことができ、これにより無
人搬送車が停止して作業している際、すなわち無人搬送
車の位置決め精度が求められている際に、余計な振動や
ずれを発生させることなく無塵化を向上させることがで
きるという優れた効果がある。
が車体下部から出るので、無人搬送車上部に影響を与え
ることが少ない。請求項４記載の発明においては、フィ
ルタ手段を介した空気の吐出口が、車体の下部であり、
かつその吐出方向が地面に対して平行となるような方向
に向けて設けられているので、浮力が発生するような方
向に空気を吐出するのを防ぐことができ、これにより無
人搬送車が停止して作業している際、すなわち無人搬送
車の位置決め精度が求められている際に、余計な振動や
ずれを発生させることなく無塵化を向上させることがで
きるという優れた効果がある。
【０００８】請求項５記載の発明においては、負圧手段
に送風装置を用いるから、構成が簡単で済む。請求項６
記載の発明においては、物品を搬送する無人搬送車内に
負圧手段およびフィルタ手段が設けられているので、ク
リーンルーム内を搬送しながらその搬送経路中の空気の
無塵化を図ることができ、無塵化を向上させつつ、クリ
ーンルーム内に設置されているフィルタ装置の寿命を延
ばすことができるという優れた効果がある。
に送風装置を用いるから、構成が簡単で済む。請求項６
記載の発明においては、物品を搬送する無人搬送車内に
負圧手段およびフィルタ手段が設けられているので、ク
リーンルーム内を搬送しながらその搬送経路中の空気の
無塵化を図ることができ、無塵化を向上させつつ、クリ
ーンルーム内に設置されているフィルタ装置の寿命を延
ばすことができるという優れた効果がある。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例につき図
面を参照して説明する。まず、図２において、移動ロボ
ット１１は、無人搬送車１２にロボットアーム１３を搭
載して構成されている。この移動ロボット１１は、クリ
ーンルーム内でウエハー加工に使用されるものであり、
無人搬送車１２の上面（後述する上板部材１６の上面）
はユースポイント１４として使用されるようになってい
る。
面を参照して説明する。まず、図２において、移動ロボ
ット１１は、無人搬送車１２にロボットアーム１３を搭
載して構成されている。この移動ロボット１１は、クリ
ーンルーム内でウエハー加工に使用されるものであり、
無人搬送車１２の上面（後述する上板部材１６の上面）
はユースポイント１４として使用されるようになってい
る。
【００１０】この無人搬送車１２の車体１５は、図１、
図３、図４に示すように、上板部材１６と底板部材１７
と周壁部材１８とフレーム１９とから構成されている。
上板部材１６はアルミニウム製の基板１６ａにアルミニ
ウム製の上面板１６ｂを取り付けて構成されている。上
記基板１６ａの上面周縁部には、段部１６ｃが形成され
ており、この段部１６ｃは、上面板１６ｂとで、後述す
る壁板１８ａ〜１８ｄのフランジ部１８ａｆ〜１８ｄｆ
を挿し込んで隠蔽させるための凹部１６ｄを形成してい
る。
図３、図４に示すように、上板部材１６と底板部材１７
と周壁部材１８とフレーム１９とから構成されている。
上板部材１６はアルミニウム製の基板１６ａにアルミニ
ウム製の上面板１６ｂを取り付けて構成されている。上
記基板１６ａの上面周縁部には、段部１６ｃが形成され
ており、この段部１６ｃは、上面板１６ｂとで、後述す
る壁板１８ａ〜１８ｄのフランジ部１８ａｆ〜１８ｄｆ
を挿し込んで隠蔽させるための凹部１６ｄを形成してい
る。
【００１１】前記底板部材１７は適宜のフレーム１９を
介して前記上板部材１６と連結されている。上板部材１
６と底板部材１７との間の外周囲を囲繞する周壁部材１
８は、前後左右の側面を構成するほぼ矩形状のステンレ
ス製の壁板１８ａ〜１８ｄを有すると共に、同じくステ
ンレス製の縦長な継ぎ板１８ｅ〜１８ｈを有する（図５
参照）。前後の壁板１８ａ、１８ｂは左右両端部を円弧
状に形成されている。さらに、各壁板１８ａ〜１８ｄの
上端部には前記凹部１６ｄに挿入されるフランジ部１８
ａｆ〜１８ｄｆが折曲されている。
介して前記上板部材１６と連結されている。上板部材１
６と底板部材１７との間の外周囲を囲繞する周壁部材１
８は、前後左右の側面を構成するほぼ矩形状のステンレ
ス製の壁板１８ａ〜１８ｄを有すると共に、同じくステ
ンレス製の縦長な継ぎ板１８ｅ〜１８ｈを有する（図５
参照）。前後の壁板１８ａ、１８ｂは左右両端部を円弧
状に形成されている。さらに、各壁板１８ａ〜１８ｄの
上端部には前記凹部１６ｄに挿入されるフランジ部１８
ａｆ〜１８ｄｆが折曲されている。
【００１２】これら各壁板１８ａ〜１８ｄはそのフラン
ジ部１８ａｆ〜１８ｄｆが前記凹部１６ｄに挿入された
形態で、且つ、各継ぎ板１８ｅ〜１８ｈにより連結され
た形態で、これら上板部材１６及び底板部材１７並びに
フレーム１９に適宜取付けられており、もって、無人搬
送車１２の車体１５を構成している。
ジ部１８ａｆ〜１８ｄｆが前記凹部１６ｄに挿入された
形態で、且つ、各継ぎ板１８ｅ〜１８ｈにより連結され
た形態で、これら上板部材１６及び底板部材１７並びに
フレーム１９に適宜取付けられており、もって、無人搬
送車１２の車体１５を構成している。
【００１３】前記無人搬送車１２内において、底板部材
１７及びフレーム１９には必要機器として電源装置やロ
ボットコントローラさらには搬送車コントローラなどが
配置されている（なお図には必要機器の一部が図示され
ている）。また、底板部材１７の下面側には、前記搬送
車コントローラによって駆動制御される２つの駆動輪２
０、２０が配設されていると共に、従動輪２１、２１が
配設されている。
１７及びフレーム１９には必要機器として電源装置やロ
ボットコントローラさらには搬送車コントローラなどが
配置されている（なお図には必要機器の一部が図示され
ている）。また、底板部材１７の下面側には、前記搬送
車コントローラによって駆動制御される２つの駆動輪２
０、２０が配設されていると共に、従動輪２１、２１が
配設されている。
【００１４】さて、無人搬送車１２の内部には、図６に
も示すように負圧手段たる負圧装置２２が設けられてい
る。この負圧装置２２は送風装置２３から構成されてい
る。送風装置２３は底板部材１７下面に取り付けられて
おり、ファンケーシング２３ａと、このファンケーシン
グ２３ａ外部に設けられたファンモータ２３ｂと、ファ
ンケーシング２３ａ内に設けられてファンモータ２３ｂ
によって駆動されるファン（図示せず）とを備えて構成
されている。底板部材１７には吸気口２５が上下に貫通
して形成されており、この吸気口２５は送風装置２３の
ファンケーシング２３ａの吸入口に接続されている。そ
して、このファンケーシング２３ａの吐出口２３ｃはフ
ィルタ手段たるフィルタ装置２４の吸入側に接続されて
いる。
も示すように負圧手段たる負圧装置２２が設けられてい
る。この負圧装置２２は送風装置２３から構成されてい
る。送風装置２３は底板部材１７下面に取り付けられて
おり、ファンケーシング２３ａと、このファンケーシン
グ２３ａ外部に設けられたファンモータ２３ｂと、ファ
ンケーシング２３ａ内に設けられてファンモータ２３ｂ
によって駆動されるファン（図示せず）とを備えて構成
されている。底板部材１７には吸気口２５が上下に貫通
して形成されており、この吸気口２５は送風装置２３の
ファンケーシング２３ａの吸入口に接続されている。そ
して、このファンケーシング２３ａの吐出口２３ｃはフ
ィルタ手段たるフィルタ装置２４の吸入側に接続されて
いる。
【００１５】このフィルタ装置２４は例えばＵＬＰＡ(U
ltra Low Penetration Air)フィルタを内部に備えて構
成されており、このフィルタは塵埃や有機ガスの捕集率
が高いフィルタである。なお、このフィルタとしては、
ＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air)フィルタ
でも良い。
ltra Low Penetration Air)フィルタを内部に備えて構
成されており、このフィルタは塵埃や有機ガスの捕集率
が高いフィルタである。なお、このフィルタとしては、
ＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air)フィルタ
でも良い。
【００１６】上記フィルタ装置２４の吐出側は、底板部
材１７に形成された通気孔（図示せず）を介して、底板
部材１７下面に取り付けられた吐出ダクト２６に連通さ
れており、この吐出ダクト２６はほぼ水平向きに開口す
る吐出口２６ａを備えている。
材１７に形成された通気孔（図示せず）を介して、底板
部材１７下面に取り付けられた吐出ダクト２６に連通さ
れており、この吐出ダクト２６はほぼ水平向きに開口す
る吐出口２６ａを備えている。
【００１７】また、前記ロボットアーム１３には図示し
ないが所定位置に吸入口が設けられており、さらにこの
ロボットアーム１３のベース１３ａ部分に、一部が車体
１５内に位置して第２の負圧手段たる第２の負圧装置２
７（図１参照）が設けられており、これも例えば送風装
置から構成されている。
ないが所定位置に吸入口が設けられており、さらにこの
ロボットアーム１３のベース１３ａ部分に、一部が車体
１５内に位置して第２の負圧手段たる第２の負圧装置２
７（図１参照）が設けられており、これも例えば送風装
置から構成されている。
【００１８】上記構成において、負圧装置２２の送風装
置２３が運転されると、クリーンルーム内、特に無人搬
送車者１２周囲の空気が車体１５の接合部分（例えば上
板部材１６と周壁部材１８との接合部分や、各壁板１８
ａ〜１８ｄと各継ぎ板１８ｅ〜１８ｈとの接合部分に微
小隙間）などから、車体１５内部に吸引されて、ファン
ケーシング２３ａ、フィルタ装置２４を通り、そして吐
出ダクト２６から、底板部材１７の下面つまり無人搬送
車１２外部に流出され、これにて、車体１５内が負圧状
態となる。無人搬送車１２周囲の無塵化を向上させるこ
とができる。
置２３が運転されると、クリーンルーム内、特に無人搬
送車者１２周囲の空気が車体１５の接合部分（例えば上
板部材１６と周壁部材１８との接合部分や、各壁板１８
ａ〜１８ｄと各継ぎ板１８ｅ〜１８ｈとの接合部分に微
小隙間）などから、車体１５内部に吸引されて、ファン
ケーシング２３ａ、フィルタ装置２４を通り、そして吐
出ダクト２６から、底板部材１７の下面つまり無人搬送
車１２外部に流出され、これにて、車体１５内が負圧状
態となる。無人搬送車１２周囲の無塵化を向上させるこ
とができる。
【００１９】そして、上述の場合、さらに第２の負圧装
置２７を駆動することにより、ロボットアーム１３の吸
入口にて吸入された吸入口周囲の空気がこの第２の負圧
装置２７、負圧装置２２、フィルタ装置２４を介して車
体１５外部に流出されるので、ロボットアーム１３周囲
の空気、すなわちウェハー周囲の空気が集められて無塵
化をさらに向上させることができる。
置２７を駆動することにより、ロボットアーム１３の吸
入口にて吸入された吸入口周囲の空気がこの第２の負圧
装置２７、負圧装置２２、フィルタ装置２４を介して車
体１５外部に流出されるので、ロボットアーム１３周囲
の空気、すなわちウェハー周囲の空気が集められて無塵
化をさらに向上させることができる。
【００２０】特に、負圧装置２２に送風装置を用いるか
ら、構成が比較的簡単で済み、しかも、吐出空気は無人
搬送車１２下部から出すから、無人搬送車１２上部に影
響を与えることが少なく、しかもフィルタ装置２４によ
り無人搬送車１２内部の空気をクリーン化して吐出でき
る。
ら、構成が比較的簡単で済み、しかも、吐出空気は無人
搬送車１２下部から出すから、無人搬送車１２上部に影
響を与えることが少なく、しかもフィルタ装置２４によ
り無人搬送車１２内部の空気をクリーン化して吐出でき
る。
【００２１】さらには、フィルタ装置２４を介した空気
を吐出する吐出口２６ａを車体１５の下部であり且つそ
の吐出方向が地面に対して平行となるような方向に向け
て設けたので、浮力が発生する方向に空気を吐出するの
を防ぐことができ、これにより無人搬送車１２が停止し
て作業している際、すなわち無人搬送車１２の位置決め
精度が求められている際に、余計な振動やずれを発生さ
せることなく無塵化を向上させることができる。
を吐出する吐出口２６ａを車体１５の下部であり且つそ
の吐出方向が地面に対して平行となるような方向に向け
て設けたので、浮力が発生する方向に空気を吐出するの
を防ぐことができ、これにより無人搬送車１２が停止し
て作業している際、すなわち無人搬送車１２の位置決め
精度が求められている際に、余計な振動やずれを発生さ
せることなく無塵化を向上させることができる。
【００２２】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、例えば、負圧装置２２としては送風装置２
３の代わりに真空ポンプなどでも良い。
のではなく、例えば、負圧装置２２としては送風装置２
３の代わりに真空ポンプなどでも良い。
【図１】周壁部材の一部を取り除いて示す全体のやや上
方から見た斜視図
方から見た斜視図
【図２】全体の斜視図
【図３】車体を説明するための分解斜視図
【図４】上板部材及び周壁部材の接合部分の縦断側面図
【図５】周壁部材の横断平面図
【図６】周壁部材の一部を取り除いて示す全体の下方か
ら見た斜視図
ら見た斜視図
【符号の説明】
１１は移動ロボット、１２は無人搬送車、１３はロボッ
トアーム、１４はユースポイント、１５は車体、１６は
上板部材、１６ｃは段部、１６ｄは凹部、１７は底板部
材、１８は周壁部材、１８ａ〜１８ｄは壁板、１８ｅ〜
１８ｈは継ぎ板、２２は負圧装置（負圧手段）、２３は
送風装置、２４はフィルタ装置（フィルタ手段）、２５
は吸気口、２６は吐出ダクトを示す。
トアーム、１４はユースポイント、１５は車体、１６は
上板部材、１６ｃは段部、１６ｄは凹部、１７は底板部
材、１８は周壁部材、１８ａ〜１８ｄは壁板、１８ｅ〜
１８ｈは継ぎ板、２２は負圧装置（負圧手段）、２３は
送風装置、２４はフィルタ装置（フィルタ手段）、２５
は吸気口、２６は吐出ダクトを示す。
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フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
(72)発明者 竹田 滋
東京都港区虎ノ門４丁目２番12号 虎ノ門
４丁目森ビル２号館 株式会社デンソーウ
ェーブ内
Ｆターム(参考） 3C007 AS25 CS08 CY28 WA16
5F031 CA02 FA01 GA35 GA45 GA48
GA58 NA03 NA14
Claims (6)
- 【請求項１】 物品を搬送する無人搬送車において、 前記無人搬送車の車体内部に存在する空気を車体外部に
流出させて前記車体内部を負圧状態とする負圧手段と、 この負圧手段の流出経路中に配置されて、前記負圧手段
にて流出された空気中より塵及び有機ガスを除去して車
体外部に流出させるフィルタ手段と、 を設けることを特徴とする無人搬送車。 - 【請求項２】 前記車体にはロボットアームが搭載され
ると共に、前記ロボットアームの所定位置には吸入口及
び前記負圧手段とは別の第２の負圧手段が設けられてお
り、前記吸入口より吸入された前記吸入口周囲の空気
は、前記第２の負圧手段、前記負圧手段、および前記フ
ィルタ手段を介して前記車体外部に流出されることを特
徴とする請求項１記載の無人搬送車。 - 【請求項３】 前記フィルタ手段を介した空気の吐出口
は、前記車体の下部に設けられていることを特徴とする
請求項１又は２記載の無人搬送車。 - 【請求項４】 前記吐出口は、前記車体の下部であり、
かつその吐出方向が地面に対して平行となるような方向
に設けられていることを特徴とする請求項３記載の無人
搬送車。 - 【請求項５】 前記負圧手段は送風装置であることを特
徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の無人搬送
車。 - 【請求項６】 前記無人搬送車をクリーンルーム内で使
用することを特徴とする請求項１ないし５のいずかに記
載の無人搬送車を利用した加工システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002150733A JP2003341834A (ja) | 2002-05-24 | 2002-05-24 | 無人搬送車及びそれを利用した加工システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002150733A JP2003341834A (ja) | 2002-05-24 | 2002-05-24 | 無人搬送車及びそれを利用した加工システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003341834A true JP2003341834A (ja) | 2003-12-03 |
Family
ID=29768513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002150733A Pending JP2003341834A (ja) | 2002-05-24 | 2002-05-24 | 無人搬送車及びそれを利用した加工システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003341834A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2011000673A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Denso Wave Inc | ロボットコントローラのフィルタ |
| DE102014012160A1 (de) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | Kuka Roboter Gmbh | Trägersystem für einen Manipulator |
| CN107344678A (zh) * | 2016-05-05 | 2017-11-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种机器人柔性运输及上下料装置 |
| WO2018054535A1 (de) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | Kuka Roboter Gmbh | Manipulatorsystem mit mitteln zur erzeugung eines luftstroms |
| CN109483234A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-03-19 | 北京卫星制造厂有限公司 | 一种基于移动机器人的智能制造系统及方法 |
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| US10888991B2 (en) | 2017-09-22 | 2021-01-12 | Denso Wave Incorporated | Mobile robot |
-
2002
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