CN217857790U - 异物消除装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开一种异物消除装置,包括吸盘架和清洁组件,吸盘架用以吸附产品;清洁组件包括超声波发生器,超声波发生器具有气流出口,气流出口朝向吸盘架设有产品的一侧;第一接收容器,第一接收容器设于超声波发生器的一侧,并具有第一接收口,第一接收口朝向吸盘架设有产品的一侧。本实用新型技术方案设置超声波发生器,超声波发生器具有朝向吸盘架设有产品的一侧的气流出口,则超声波发生器发出的带有超声波的气流流从气流出口吹出并接触到产品后,其超声波转换为使产品振动的机械能,从而产品振动过程中能够使得其上的异物掉落。

Description

异物消除装置
技术领域
本实用新型涉及异物消除技术领域,特别涉及一种异物消除装置。
背景技术
随着人们对产品科技化、轻量化和智能化的需求,电子行业正在飞速发展,竞争愈加激烈,降本为重中之重。作为电子器件的重要组成部分,芯片在制造过程中需要进行切割和绷膜等工艺。其加工过程中会在芯片表面及侧壁产生硅渣等异物,造成产品的不良。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提出一种异物消除装置,旨在解决芯片在加工过程中,其表面容易残留有异物的问题。
为实现上述目的,本实用新型提出的异物消除装置,包括吸盘架和清洁组件,所述吸盘架用以吸附产品;所述清洁组件包括超声波发生器,超声波发生器具有气流出口,所述气流出口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧;第一接收容器,所述第一接收容器设于所述超声波发生器的一侧,并具有第一接收口,所述第一接收口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧。
可选地,所述异物消除装置还包括离子风发生器,所述离子风发生器设于所述超声波发生器背离所述第一接收容器的一侧,所述离子风发生器具有出风口,所述出风口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧。
可选地,所述异物消除装置还包括第二接收容器,所述第二接收容器设于所述超声波发生器与所述离子风发生器之间,并具有第二接收口,所述第二接收口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧。
可选地,所述第二接收容器的外壁朝所述第二接收容器的内腔方向凹陷形成有凹槽;所述超声波发生器设于所述凹槽内。
可选地,所述超声波发生器包括本体和连接于所述本体的连通管,所述连通管具有所述气流出口,所述连通管转动连接于所述凹槽的槽壁。
可选地,所述第一接收容器还具有第一接头,所述第一接头连通所述第一接收口;
和/或,所述第二接收容器还具有第二接头,所述第二接头连通所述第二接收口。
可选地,所述第一接收容器具有靠近所述超声波发生器的第一侧壁,所述第一侧壁在沿远离所述吸盘架至靠近所述吸盘架的方向上,朝靠近所述超声波发生器的方向倾斜;
和/或,所述第二接收容器具有靠近所述超声波发生器的第二侧壁,所述第二侧壁与所述第一接收容器靠近所述超声波发生器的侧壁平行设置。
可选地,所述异物消除装置还包括:
连接板,所述超声波发生器、所述第一接收容器、所述第二接收容器及所述离子风发生器均固定连接于所述连接板;和
电缸,所述电缸与所述连接板传动连接,以驱动所述连接板运动。
可选地,所述吸盘架包括:
支撑架,所述支撑架的一侧设有连接接头;
吸气块,所述吸气块设于所述支撑架,并连通所述连接接头,所述吸气块用以吸附产品;
吸气机,所述吸气机连通所述连接接头。
可选地,所述吸盘架还包括连接块,所述连接块连接于所述支撑架背离所述吸气块的一侧。
本实用新型技术方案通过设置超声波发生器,超声波发生器具有朝向吸盘架设有产品的一侧的气流出口,则超声波发生器发出的带有超声波的气流流从气流出口吹出并接触到产品后,其超声波转换为使产品振动的机械能,从而产品振动过程中能够使得其上的异物掉落。通过在超声波发生器的一侧还设置第一接收容器,且第一接收容器具有朝向吸盘架设有产品的一侧的第一接收口,则使得产品上的异物掉落后能够通过第一接收口掉落至第一接收容器内,避免异物吹向四周。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本实用新型异物消除装置一实施例的立体结构示意图;
图2为本实用新型异物消除装置一实施例的正视图;
图3为图2中A-A的剖视图。
附图标号说明:
标号 名称 标号 名称
100 吸盘架 110 支撑架
120 吸气块 130 连接接头
140 连接块 141 贯通孔
200 清洁组件 210 超声波发生器
211 连通管 211a 气流出口
220 第一接收容器 221 第一接收口
222 第一侧壁 223 第一接头
230 离子风发生器 231 出风口
240 第二接收容器 241 第二接收口
242 凹槽 243 第二侧壁
244 第二接头 250 连接板
300 产品
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
需要说明,若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……),则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本实用新型要求的保护范围之内。
本实用新型提出一种异物消除装置。
在本实用新型实施例中,请结合参照图1至图3,该异物消除装置包括吸盘架100和清洁组件200,吸盘架100用以吸附产品300;清洁组件200包括超声波发生器210,超声波发生器210具有气流出口211a,气流出口211a朝向吸盘架100设有产品300的一侧;第一接收容器220,第一接收容器220设于超声波发生器210的一侧,并具有第一接收口221,第一接收口221朝向吸盘架100设有产品300的一侧。
本实用新型技术方案中的产品300可以为芯片或者其他容易粘附有异物的物体。通过将产品300吸附至吸盘架100上,则可实现对产品300进行固定的效果,放置产品300在清洁过程中掉落。为了将产品300吸附至吸盘架100上,可通过在吸盘架100上设置吸盘,通过对吸盘进行抽真空以实现对产品300的吸附效果;或者,吸盘架100还可通过电磁铁等将产品300吸附过来,从而实现产品300被稳定吸附至吸盘架100的效果。
为了对产品300上的异物进行清洁,本实用新型技术方案中的异物消除装置还包括清洁组件200,清洁组件200用以清除产品300上的异物。具体地,清洁组件200包括超声波发生器210和第一接收容器220,超声波发生器210可以产生超声波并输出气流,超声波随气流传输,从而带有超声波的气流流动至气流出口211a后从气流出口211a流出。本实用新型技术方案中,气流出口211a朝向吸盘架100设有产品300的一侧,则从气流出口211a吹出的带有超声波的气体能够运动至产品300上,从而超声波接触到产品300后将声能转化成产品300振动的机械能,从而产品300在振动过程中使得被粘附在产品300上的异物被清除。
另外,通过在超声波发生器210的一侧设置第一接收容器220,该第一接收容器220的第一接收口221也朝向吸盘架100设有产品300的一侧,则当产品300在振动过程中使得被粘附在产品300上的异物被清除后,异物通过第接收口掉落至第一接收容器220内。其中,第一接收容器220可以为立方体、圆柱体或者其他形状等。
进一步地,超声波发生器210与第一接收容器220可同步运动,从而当超声波发生器210在对应产品300的区域运动以大面积对产品300上的异物清除过程中,第一接收容器220也随超声波发生器210运动,从而随时承接产品300上掉落下来的异物。其中,定义超声波发生器210的运动方向为前方,则第一接收容器220可设于超声波发生器210的后方,从而当超声波发生器210在一边向前运动,一边对产品300进行清洗后,第一接收容器220能够及时接收到异物。当然,超声波发生器210也可设于固定位置而不运动,此时第一接收容器220可设有一个、两个或者更多个,当第一接收容器220设有多个时,多个第一接收容器220并围绕超声波发生器210的周缘分布。
本实用新型技术方案通过设置超声波发生器210,超声波发生器210具有朝向吸盘架100设有产品300的一侧的气流出口211a,则超声波发生器210发出的带有超声波的气流流从气流出口211a吹出并接触到产品300后,其超声波转换为使产品300振动的机械能,从而产品300振动过程中能够使得其上的异物掉落。通过在超声波发生器210的一侧还设置第一接收容器220,且第一接收容器220具有朝向吸盘架100设有产品300的一侧的第一接收口221,则使得产品300上的异物掉落后能够通过第一接收口221掉落至第一接收容器220内,避免异物吹向四周。
进一步地,如图3所示,异物消除装置还包括离子风发生器230,离子风发生器230设于超声波发生器210背离第一接收容器220的一侧,离子风发生器230具有出风口231,出风口231朝向吸盘架100设有产品300的一侧。
可以理解的是,一些异物可能会带有电荷,仅靠超声波发生器210对产品300的振动,可能难以消除产品300上的带电异物。本实施例中,通过设置离子风发生器230,且设于超声波发生器210背离第一接收容器220的一侧,则可先通过离子风发生器230的出风口231向产品300的方向吹出离子风,从而中和异物上带的电荷,进一步便于超声波发生器210驱动产品300振动时,容易使得已被中和的异物从产品300上掉落下来。
进一步地,如图3所示,异物消除装置还包括第二接收容器240,第二接收容器240设于超声波发生器210与离子风发生器230之间,并具有第二接收口241,第二接收口241朝向吸盘架100设有产品300的一侧。
可以理解的是,通过向产品300上吹离子风,则被离子中和掉电荷的异物可能在离子风的作用下继而会自行掉落。通过在超声波发生器210和离子风发生器230之间设置第二接收容器240,第二接收容器240具有朝向吸盘架100设有产品300的一侧的第二接收口241,则通过离子风吹掉的异物可通过第二接收口241掉落至第二接收容器240内。
进一步地,如图3所示,第二接收容器240的外壁朝第二接收容器240的内腔方向凹陷形成有凹槽242,超声波发生器210设于凹槽242内。
通过将超声波发生器210设于第二容器的凹槽242内,则凹槽242的设置还为超声波发生器210的安装提供了安装空间,从而可减小清洁组件200所占用的空间。另外,超声波发生器210可连接于凹槽242的槽壁上,如此还能为超声波发生器210的安装提供了安装支撑的作用。
进一步地,请结合参照图1至图3,超声波发生器210包括本体和连接于本体的连通管211,连通管211具有气流出口211a,连通管211转动连接于凹槽242的槽壁。
超声波发生器210的本体用以发出超声波并产生气流,通过将连通管211连接本体,则本体发出的带有超声波的气流可流动至连通管211内,并从连通管211的其流出口流出。本实施例中,通过仅将连通管211转动连接于凹槽242的槽壁,则实现了可改变连通管211上的气流出口211a方向的效果,如此设置,则能进一步增大对产品300的清洁范围,提高清洁效果。具体地,该连通管211相对于凹槽242的槽壁转动时,其转动的角度可以为30°、45°、60°、90°、135°、180°、270°或者360°等。优选连通管211的旋转角度为360°,从而能够通过随时调整连通管211的方向,以实现调整气流出口211a的方向,从而能够实现着重对某个范围进行异物消除的效果,还能实现对各个方向进行清洁的效果。
进一步地,请结合参照图1和图3,第一接收容器220还具有第一接头223,第一接头223连通第一接收口221。
通过第一接收容器220具有第一接头223,该第一接头223可连接至第一抽气机,从而第一抽气机对第一接收容器220进行吸气,并可通过第一接收口221对第一接收口221外的气体进行吸气。可以理解的是,当异物从产品300上掉落过程中,且第一抽气机处于开启状态时,则第一抽气机可提供动力和引导作用,以将从产品300上脱落的异物通过第一接收口221进入至第一接收容器220内,避免异物落入第一接收器以外的地方。
本实用新型技术方案中,第二接收容器240还具有第二接头244,第二接头244连通第二接收口241。
通过第二接收容器240具有第二接头244,该第二接头244可连接至第二抽气机,从而第二抽气机对第二接收容器240进行吸气,并可通过第二接收口241对第二接收口241外的气体进行吸气。可以理解的是,当异物从产品300上掉落过程中,且第二抽气机处于开启状态时,则第二抽气机可提供动力和引导作用,以将从产品300上脱落的异物通过第二接收口241进入至第二接收容器240内,避免异物落入第二接收器以外的地方。
进一步地,如图3所示,第一接收容器220具有靠近超声波发生器210的第一侧壁222,第一侧壁222在沿远离吸盘架100至靠近吸盘架100的方向上,朝靠近超声波发生器210的方向倾斜。
需要说明的是,第一接收容器220开设有第一接收口221的壁面为顶壁,第一接收容器220远离产品300的壁面为底壁,连接顶壁与底壁、并与顶壁和底壁共同围合形成有容纳腔的壁面为侧壁。其中靠近超声波发生器210的侧壁为第一侧壁222。通过将第一侧壁222在沿远离吸盘架100至靠近吸盘架100的方向上,朝靠近超声波发生器210的方向倾斜,则使得第一侧壁222对异物落入第一接收容器220后的运动方向具有较好的导向效果,便于异物顺利落入第一接收容器220的底部,避免异物堵塞第一接收口221。
进一步地,如图3所示,第二接收容器240具有靠近超声波发生器210的第二侧壁243,第二侧壁243与第一接收容器220靠近连通管211的侧壁平行设置。
通过将第二接收容器240的第二侧壁243与第一侧壁222平行设置,则使得清洁组件200整体的各部件布局更加紧凑,避免占用较大的空间。
进一步地,如图3所示,为了便于超声波发生器210和第一接收容器220同步运动,甚至还为了便于第二接收容器240和离子风发生器230也与超声波发生器210同步运动,本实施例中,异物消除装置还包括连接板250和电缸,超声波发生器210、第一接收容器220、第二接收容器240及离子风发生器230均固定连接于连接;电缸与连接板250传动连接,以驱动连接板250运动。
通过设置连接板250,且超声波发生器210、第一接收容器220、第二接收容器240及离子风发生器230均连接于连接板250,则使得超声波发生器210、第一接收容器220、第二接收容器240及离子风发生器230呈整体结构,从而当连接板250运动时,则使得超声波发生器210、第一接收容器220、第二接收容器240及离子风发生器230也随连接板250同步运动,从而始终能够实现先通过离子风对带有电荷的异物进行电荷中和,然后再通过超声波发生器210使产品300振动以将被中和掉电荷的异物振落下来。通过将电缸传动连接连接板250,则可实现自动驱动连接板250运动,进而自动实现全范围对产品300进行异物消除的效果。
进一步地,如图1、图2或图3所示,吸盘架100包括支撑架110、吸气块120及吸气机,支撑架110的一侧设有连接接头130;吸气块120设于支撑架110,并连通连接接头130,吸气块120用以吸附产品300;吸气机连通连接接头130。
通过设置支撑架110,则该支撑架110用以为产品300提供支撑基础。吸气块120设于支撑架110并连通连接接头130,连接接头130连通吸气机,则吸气机开启时,可通过该接头吸走吸气块120内的气体,从而吸气块120的内腔形成负压,以便将产品300吸附在其上,实现吸盘架100能够将产品300吸附的效果。
进一步地,如图1、图2或图3所示,吸盘架100还包括连接块140,连接块140连接于支撑架110背离吸气块120的一侧。
通过吸盘架100还包括连接块140,连接块140连接于支撑架110背离吸气块120的一侧,则该连接块140可用以连接至其他设备上,并不会影响对产品300的清洁过程,从而还使得该设备具备对产品300上的异物进行消除的功能。
进一步地,如图1或图3所示,连接块140可呈环状,即连接块140的呈中部贯通的结构,连接块140的中部设有贯通孔141,从而可以实现减轻吸盘架100的重量的效果。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是在本实用新型的发明构思下,利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种异物消除装置,其特征在于,包括:
吸盘架,所述吸盘架用以吸附产品;和
清洁组件,所述清洁组件包括:
超声波发生器,超声波发生器具有气流出口,所述气流出口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧;和
第一接收容器,所述第一接收容器设于所述超声波发生器的一侧,并具有第一接收口,所述第一接收口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧。
2.如权利要求1所述的异物消除装置,其特征在于,所述异物消除装置还包括离子风发生器,所述离子风发生器设于所述超声波发生器背离所述第一接收容器的一侧,所述离子风发生器具有出风口,所述出风口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧。
3.如权利要求2所述的异物消除装置,其特征在于,所述异物消除装置还包括第二接收容器,所述第二接收容器设于所述超声波发生器与所述离子风发生器之间,并具有第二接收口,所述第二接收口朝向所述吸盘架设有所述产品的一侧。
4.如权利要求3所述的异物消除装置,其特征在于,所述第二接收容器的外壁朝所述第二接收容器的内腔方向凹陷形成有凹槽;所述超声波发生器设于所述凹槽内。
5.如权利要求4所述的异物消除装置,其特征在于,所述超声波发生器包括本体和连接于所述本体的连通管,所述连通管具有所述气流出口,所述连通管转动连接于所述凹槽的槽壁。
6.如权利要求3所述的异物消除装置,其特征在于,所述第一接收容器还具有第一接头,所述第一接头连通所述第一接收口;
和/或,所述第二接收容器还具有第二接头,所述第二接头连通所述第二接收口。
7.如权利要求3所述的异物消除装置,其特征在于,所述第一接收容器具有靠近所述超声波发生器的第一侧壁,所述第一侧壁在沿远离所述吸盘架至靠近所述吸盘架的方向上,朝靠近所述超声波发生器的方向倾斜;
和/或,所述第二接收容器具有靠近所述超声波发生器的第二侧壁,所述第二侧壁与所述第一接收容器靠近所述超声波发生器的侧壁平行设置。
8.如权利要求3所述的异物消除装置,其特征在于,所述异物消除装置还包括:
连接板,所述超声波发生器、所述第一接收容器、所述第二接收容器及所述离子风发生器均固定连接于所述连接板;和
电缸,所述电缸与所述连接板传动连接,以驱动所述连接板运动。
9.如权利要求1至8中任意一项所述的异物消除装置,其特征在于,所述吸盘架包括:
支撑架,所述支撑架的一侧设有连接接头;
吸气块,所述吸气块设于所述支撑架,并连通所述连接接头,所述吸气块用以吸附产品;
吸气机,所述吸气机连通所述连接接头。
10.如权利要求9所述的异物消除装置,其特征在于,所述吸盘架还包括连接块,所述连接块连接于所述支撑架背离所述吸气块的一侧。
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