WO2023053563A1

WO2023053563A1 - 実装システム、部品保持装置、平面モータ装置及び実装方法

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Publication number: WO2023053563A1
Application number: PCT/JP2022/020640
Authority: WO
Inventors: 昌三門田
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2021-09-28
Filing date: 2022-05-18
Publication date: 2023-04-06
Also published as: JPWO2023053563A1

Abstract

本開示の課題は、対象物の実装面に部品を実装する際に可動部の姿勢を安定させることである。本開示に係る実装システム（１０）では、可動部（１）は、保持部（１２）に保持させた部品を対象物の実装面に実装し、制御部（４）は、固定子（２１）の平面に沿って可動部（１）が移動するように可動部（１）を制御する。可動部（１）及び固定子（２１）の一方は、電磁石を含む第１磁石（２２）を有し、他方は、保持部（１２）に保持させた部品を対象物の実装面に実装する際に電磁石と対向する第２磁石（１７）を有する。制御部（４）は、保持部（１２）に保持させた部品を対象物の実装面に実装する際に、電磁石における第２磁石（１７）との対向部分の磁極と第２磁石（１７）における電磁石との対向部分の磁極とが異なるように電磁石の磁極を制御する。

Description

実装システム、部品保持装置、平面モータ装置及び実装方法

　本開示は、一般に実装システム、部品保持装置、平面モータ装置及び実装方法に関し、より詳細には、対象物の実装面に部品を実装する実装システム、部品保持装置、平面モータ装置及び実装方法に関する。

　特許文献１には、基台に載置された基板に対して、基台上方に設けられた平面リニアモータを駆動源とする作業ヘッドに装着されたノズルによって電子部品を実装する電子部品実装装置が記載されている。

　平面リニアモータは、平板状に形成されたプラテンと、当該プラテンと磁気的に結合された３個の可動子と、を有する。３個の可動子は、上記プラテン内を自在に動き回ることができる。

　特許文献１に記載の実装システム（電子部品実装装置）では、対象物（基板）の実装面に部品（電子部品）を実装する際に可動部（作業ヘッド）の姿勢が安定しない場合がある。

特開平９－３０７２８８号公報

　本開示の目的は、対象物の実装面に部品を実装する際に可動部の姿勢を安定させることが可能な実装システム、部品保持装置、平面モータ装置及び実装方法を提供することにある。

　本開示の一態様に係る実装システムは、可動部と、制御部と、を備える。前記可動部は、部品を保持する保持部を含み、前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する。前記制御部は、平面を有する固定子の前記平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を制御する。前記可動部及び前記固定子の一方は、電磁石を含む第１磁石を有する。前記可動部及び前記固定子の他方は、第２磁石を有する。前記第２磁石は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記電磁石と対向する。前記制御部は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に、前記電磁石における前記第２磁石との対向部分の磁極と前記第２磁石における前記電磁石との対向部分の磁極とが異なるように前記電磁石の磁極を制御する。

　本開示の一態様に係る部品保持装置は、前記実装システムに用いられる部品保持装置である。前記部品保持装置は、前記可動部を備える。前記可動部は、可動子を更に含む。前記可動子は、前記保持部が取り付けられ、前記固定子の前記平面に沿って移動可能である。

　本開示の一態様に係る平面モータ装置は、前記実装システムに用いられる平面モータ装置である。前記平面モータ装置は、前記固定子と、可動子と、を備える。前記可動子は、前記保持部が取り付けられ、前記固定子の前記平面に沿って移動可能である。

　本開示の一態様に係る実装方法は、可動部と、制御部と、を備える実装システムに用いられる実装方法である。前記可動部は、部品を保持する保持部を含み、前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する。前記制御部は、平面を有する固定子の前記平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を制御する。前記可動部及び前記固定子の一方は、電磁石を含む第１磁石を有する。前記可動部及び前記固定子の他方は、第２磁石を有する。前記第２磁石は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記電磁石と対向する。前記実装方法は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に、前記電磁石における前記第２磁石との対向部分の磁極と前記第２磁石における前記電磁石との対向部分の磁極とが異なるように前記電磁石の磁極を制御する工程を有する。

図１は、実施形態に係る実装システムのブロック図である。図２は、同上の実装システムを前方から見た外観斜視図である。図３は、同上の実装システムを後方から見た外観斜視図である。図４は、同上の実装システムに関し、図２のＸ－Ｘ線断面図である。図５は、同上の実装システムに関し、図４のＡ部拡大図である。図６は、同上の実装システムの固定子と可動子との間に生じる磁力の関係を表す模式図である。図７は、同上の実装システムの固定子と可動子との間に生じる磁力の関係を表す別の模式図である。図８は、同上の実装システムの固定子と可動子との間に生じる磁力の関係を表すさらに別の模式図である。図９は、同上の実装システムに関し、図２のＺ－Ｚ線断面図である。図１０Ａ～図１０Ｄは、同上の実装システムの載置部の動作を説明する説明図である。図１１は、同上の実装システムが実行する実装方法を表すフローチャートである。図１２は、同上の実装システムの可動子の動作を説明する説明図である。図１３は、同上の実装システムの全体動作を表すフローチャートである。図１４は、同上の実装システムの動作を表すタイムチャートである。図１５は、同上の実装システムの動作を説明する説明図である。図１６は、実施形態の変形例１に係る実装システムの動作を説明する説明図である。

　（実施形態）
　以下、実施形態に係る実装システム、部品保持装置、平面モータ装置及び実装方法について、図面を参照して説明する。下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。また、以下の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。

　（１）実装システムの概要
　まず、本実施形態に係る実装システム１０の概要について説明する。

　本実施形態に係る実装システム１０は、図２及び図３に示すように、部品１００を対象物２０に実装するための実装装置（実装機）である。実装システム１０は、例えば、工場、研究所、事務所及び教育施設等の施設において、電子機器、自動車、衣料品、食料品、医薬品及び工芸品等の種々の製品の製造のための作業に用いられる。

　本実施形態では、実装システム１０が、工場での電子機器の製造に用いられる場合について説明する。一般的な電子機器は、例えば、電源回路及び制御回路等の各種の回路基板を有している。これらの回路基板の製造にあたっては、一例として、はんだ塗布工程、実装工程、及びはんだ付け工程が、この順で行われる。はんだ塗布工程では、基板（プリント配線板を含む）にクリーム状はんだが塗布（又は印刷）される。実装工程では、基板に部品（電子部品を含む）が実装（搭載）される。はんだ付け工程では、例えば、部品が実装された状態の基板を、リフロー炉にて加熱することにより、クリーム状はんだを溶かしてはんだ付けが行われる。実装システム１０は、実装工程において、対象物２０としての基板２００に対して、部品１００を実装する作業を行う。

　このように、対象物２０（基板２００）への部品１００の実装に用いられる実装システム１０は、図１に示すように、可動部１と、制御部４と、を備える。

　可動部１は、部品１００を保持するための保持部１２を含む。保持部１２は、一例として吸着ノズルからなり、解放（つまり保持を解除）可能な状態で部品１００を保持する。実装システム１０では、可動部１は、保持部１２に部品１００を保持させた状態で、保持部１２を基板２００に近づけるように下降させて、部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する。すなわち、可動部１は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する。

　制御部４は、固定子２１の平面２１１（図４参照）に沿って可動部１が移動するように可動部１を制御する。固定子２１は、固定子２１と可動部１とが並ぶ方向（後述のＺ軸方向）からの平面視において矩形の平板状である。したがって、平面２１１も同様に、固定子２１と可動部１とが並ぶ方向からの平面視において矩形状である。

　可動部１及び固定子２１の一方は、電磁石２２１（図６参照）を含む第１磁石２２を有する。可動部１及び固定子２１の他方は、第２磁石１７を有する。第２磁石１７は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に電磁石２２１と対向する。本実施形態では、図１に示すように、固定子２１が第１磁石２２を有し、可動部１が第２磁石１７を有する。したがって、本実施形態では、固定子２１が電磁石２２１を有する。

　制御部４は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なるように電磁石２２１の磁極を制御する。

　このような実装システム１０では、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なっている。これにより、電磁石２２１と第２磁石１７との間に生じる磁力（磁気吸引力）によって、固定子２１に可動部１を固着させることが可能となる。その結果、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、可動部１の姿勢を安定させることが可能となる。

　（２）詳細
　次に、本実施形態に係る実装システム１０の詳細について説明する。

　（２．１）前提
　本実施形態では一例として、表面実装技術（ＳＭＴ：Surface Mount Technology）による部品１００の実装に、実装システム１０が用いられる場合について説明する。つまり、部品１００は、表面実装用の部品（ＳＭＤ：Surface Mount Device）であって、対象物２０としての基板２００の表面（実装面２０１）上に配置されることをもって実装される。ただし、この例に限らず、挿入実装技術（ＩＭＴ：Insertion Mount Technology）による部品１００の実装に、実装システム１０が用いられてもよい。この場合、部品１００は、リード端子を有する挿入実装用の部品であり、対象物２０としての基板２００の孔にリード端子を挿入することをもって、基板２００の表面（実装面２０１）上に実装される。

　本開示でいう「直交」は、二者間の角度が厳密に９０度である状態だけでなく、二者間の角度が、実質的に効果が得られる公差（例えば、±５度）の範囲内である状態も含む意味である。また、本開示でいう「平行」についても同様に、二者間の角度が厳密に０度である状態だけでなく、二者間の角度が、実質的に効果が得られる公差（例えば、±５度）の範囲内である状態も含む意味である。

　本開示でいう「可動部が移動する」とは、磁気反発力によって可動部が固定子から浮上した状態で、可動部が固定子の平面に沿って変位することをいう。また、本開示でいう「可動部が停止する」とは、磁気吸引力によって可動部が固定子に密着して停まっていることをいう。

　以下では一例として、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸を設定し、対象物２０としての基板２００の表面（実装面２０１）に平行な軸を「Ｘ軸」及び「Ｙ軸」とし、基板２００の厚み方向に平行な軸を「Ｚ」軸とする。さらに、Ｚ軸に沿う両方向のうち一方向を上方向とし、他方向を下方向とする。例えば、可動部１が基板２００の実装面２０１に対向しているとき、基板２００は、可動部１の下方に位置する。なお、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、いずれも仮想的な軸であり、図面中の「Ｘ」、「Ｙ」、「Ｚ」を示す矢印は、説明のために表記しているに過ぎず、いずれも実体を伴わない。また、これらの方向は実装システム１０の使用時の方向を限定する趣旨ではない。

　（２．２）実装システムの構成
　次に、本実施形態に係る実装システム１０の各構成要素について、図１～図１０を参照して説明する。

　本実施形態に係る実装システム１０は、図１～図３に示すように、複数の可動部１と、駆動部２と、複数の動力部３と、制御部４と、複数の部品供給部５と、部品認識部６と、部品廃棄部７と、ノズル交換部８と、載置部９と、受発信部２５と、を備えている。ただし、駆動部２、動力部３、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８、載置部９及び受発信部２５は、実装システム１０に必須の構成ではない。つまり、駆動部２、動力部３、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８、載置部９及び受発信部２５の全部又は一部は、実装システム１０の構成要素に含まれなくてもよい。また、本実施形態では、複数の動力部３と複数の部品供給部５とが一対一に対応しているが、複数の動力部３と複数の部品供給部５とは一対一に対応していなくてもよい。すなわち、複数の動力部３は、複数の部品供給部５よりも多くてもよいし、少なくてもよい。

　（２．２．１）可動部
　複数の可動部（実装ヘッド）１の各々は、少なくとも１つの保持部１２を有している。本実施形態では、各可動部１は、１つの保持部１２を有している。各可動部１は、保持部１２に部品１００を保持させた状態で、保持部１２を基板２００に近づけるように移動させ、部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する。つまり、各可動部１は、保持部１２を、基板２００に向けて移動可能に保持する。

　本実施形態では、各可動部１は、保持部１２に加えて、可動子１１と、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３と、第２蓄圧容器１４と、蓄電池１５と、アクチュエータ１６と、第２磁石１７と、ヘッド１８と、制御部２４と、を更に有している。すなわち、各可動部１は、第１蓄圧容器１３に加えて、第１蓄圧容器１３とは異なる第２蓄圧容器１４を更に有している。本実施形態に係る実装システム１０では、１つのヘッド１８に、可動子１１、保持部１２、第１蓄圧容器１３、第２蓄圧容器１４、蓄電池１５、アクチュエータ１６を１つずつ保持させている。これにより、各可動部１では、１つの保持部１２により１つの部品１００を保持可能である。また、実装システム１０では、１つのヘッド１８に、第２磁石１７として、複数の永久磁石１７１を保持させている。本実施形態では、可動部１及び固定子２１の他方である可動部１が第２磁石１７を有している。

　可動子１１は、後述の固定子２１と共に平面モータ装置（平面サーボモータ）４０を構成する。すなわち、平面モータ装置４０は、実装システム１０に用いられる平面モータ装置であって、固定子２１と、可動子１１と、を備える。可動子１１は、Ｚ軸方向において固定子２１と対向している。より詳細には、可動子１１は、Ｚ軸方向（上下方向）において固定子２１の下方に位置している。可動子１１は、後述の制御部４のモータドライバ４１によって制御され、固定子２１の平面２１１（図４参照）に沿って移動可能である。

　可動子１１は、突出部１９を有している。突出部１９は、図５に示すように、可動子１１と一体に形成されており、可動子１１からＬ字状に突出している。突出部１９は、第２接続面１９１を有している。第２接続面１９１は、可動部１が第１位置（図５に示す位置）に位置している状態において、後述の動力部３の動力部本体３３に設けられた第１接続面３４に接続可能である。すなわち、可動部１は、エア調整部３１に設けられた第１接続面３４に接続可能な第２接続面１９１が設けられた突出部１９を更に有している。第２接続面１９１には、後述のエア調整部３１によって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整する際にエア（空気）が通る通気口１９２が設けられている。通気口１９２は、突出部１９の内部に設けられた流路１９３に繋がっており、通気口１９２及び流路１９３を通るエアによって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧が調整される。ここにおいて、「第１接続面３４と第２接続面１９１とが接続する」とは、第１接続面３４に設けられた通気口３５に繋がる流路３６と第２接続面１９１に設けられた通気口１９２に繋がる流路１９３とが流体的に接続して（繋がって）、流路３６と流路１９３との間にエアの流路を形成することをいう。なお、可動部１が第１位置に位置している状態では、図５に示すように、第１接続面３４と第２接続面１９１との間に隙間Ｇ１が設けられている。隙間Ｇ１は、第１接続面３４と第２接続面１９１とを対向させた状態において、エアが漏れない程度の隙間（ギャップ）である。隙間Ｇ１は、エア漏れを抑制するために、極力小さいことが好ましい。

　保持部１２は、例えば、吸着ノズルである。保持部１２は、後述の制御部２４により制御され、部品１００を保持する保持状態と、部品１００を解放（保持を解除）する解放状態と、を切替可能である。保持部１２による部品１００の保持に関しては、可動部１は、動力としての空圧（真空）の供給を受けて動作する。本実施形態では、可動部１は、第１蓄圧容器１３のバルブを開閉することによって、保持部１２の保持状態と、解放状態と、を切り替える。すなわち、保持部１２は、第１蓄圧容器１３のエアを利用して部品１００を保持する。なお、第１蓄圧容器１３のバルブを開いて部品１００を解放する際には、第２蓄圧容器１４のバルブも開くことが好ましい。この場合、保持部１２から放出されるエアによって保持部１２から離れる向きに部品１００が押し出されるため、部品１００が保持部１２から離れやすくなる。

　第１蓄圧容器（第１蓄圧室）１３は、例えば、エアタンクである。第１蓄圧容器１３は、エア調整部３１によって内圧が調整される。より詳細には、エア調整部３１がエアを吸い込むことにより、第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整される。第１蓄圧容器１３は、例えば、可動部１が第１位置に位置している状態において、エア調整部３１によって内圧が負圧に調整される。第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整された状態では、保持部１２により部品１００が保持（吸着）される。第１蓄圧容器１３のバルブが開かれて第１蓄圧容器１３内に大気が流れ込むことにより、第１蓄圧容器１３の内圧が負圧から大気圧になり、部品１００を保持する保持状態が解除される。

　第２蓄圧容器（第２蓄圧室）１４は、第１蓄圧容器１３と同様、例えば、エアタンクである。第２蓄圧容器１４は、エア調整部３１によって内圧が調整される。より詳細には、エア調整部３１がエアを供給することにより、第２蓄圧容器１４の内圧が正圧に調整される。第２蓄圧容器１４は、例えば、可動部１が第１位置に位置している状態において、エア調整部３１によって内圧が正圧に調整される。第２蓄圧容器１４のバルブが開かれて第２蓄圧容器１４内のエアが低圧で放出されるエアブローにより、保持部１２から離れる向きに部品１００が押し出される。これにより、第２蓄圧容器１４の内圧が大気圧になる。

　蓄電池１５は、例えば、電気二重層キャパシタ（ＥＤＬＣ：Electric Double-Layer Capacitor）である。蓄電池１５は、電力供給部３２によって電力が供給される。電力供給部３２から蓄電池１５への給電は、接触式であってもよいし、非接触式であってもよい。蓄電池１５は、例えば、可動部１が第２位置に位置している状態において、電力供給部３２から電力が供給される。本実施形態では、第１位置と第２位置とが同じ位置であり、一例として、第１位置及び第２位置は、保持部１２によって部品１００を保持（吸着）する保持位置（吸着位置）Ｐ１（図４参照）である。

　アクチュエータ１６は、保持部１２をＺ軸方向に直進移動させる。さらに、アクチュエータ１６は、保持部１２をＺ軸方向に沿った軸線を中心とする回転方向（以下、「θ」方向という）に回転移動させる。本実施形態では一例として、Ｚ軸方向への保持部１２の移動に関しては、アクチュエータ１６は、リニアモータで発生する駆動力にて駆動する。また、θ方向への保持部１２の移動に関しては、アクチュエータ１６は、回転型モータで発生する駆動力にて駆動する。一方で、後述するように、可動部１は、駆動部２の固定子２１の平面２１１に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に直進移動する。結果的に、可動部１に含まれる保持部１２は、駆動部２及びアクチュエータ１６によって、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向に移動することが可能である。

　第２磁石１７は、図６～図８に示すように、複数の永久磁石１７１を含む。複数の永久磁石１７１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に配置されている。図６～図８では、６個の永久磁石１７１がＸ軸方向に配置されている。また、図示を省略しているが、少なくとも１個の永久磁石１７１がＹ軸方向に配置されている。複数の永久磁石１７１の各々は、Ｓ極及びＮ極の両磁極がＺ軸方向となるように向きが調整されている。図６～図８では、Ｘ軸方向に並ぶ６個の永久磁石１７１は、固定子２１側の磁極が左側から「Ｓ極」、「Ｎ極」、「Ｓ極」、「Ｎ極」、「Ｓ極」、「Ｎ極」の順番となるように向きが調整されている。なお、図６～図８では、複数の永久磁石１７１の各々において、固定子２１側（上側）の磁極を表す記号のみを表記し、固定子２１側とは反対側（下側）の磁極を表す記号の表記を省略している。

　上述の第１蓄圧容器１３、第２蓄圧容器１４、蓄電池１５、アクチュエータ１６及び複数の永久磁石１７１（第２磁石１７）は、ヘッド１８に収納されている。ヘッド１８は、一例として、金属製であって、中空の円管状に形成されている。また、ヘッド１８は、アクチュエータ１６を介して保持部１２を保持している。このようなヘッド１８は、可動子１１に取り付けられており、可動子１１がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動することによって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である。すなわち、保持部１２は、可動子１１に取り付けられている。

　制御部２４は、可動部１の各部を制御する。制御部２４は、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するコンピュータシステムにより実現され得る。すなわち、コンピュータシステムの１以上のメモリに記録されたプログラムを、１以上のプロセッサが実行することにより、制御部２４として機能する。プログラムは、ここでは制御部２４のメモリに予め記録されているが、例えば、インターネット等の電気通信回線を通して提供されてもよいし、メモリカード等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。

　制御部２４は、図１に示すように、モータドライバ２４１を含む。モータドライバ２４１は、アクチュエータ１６に電気的に接続されている。モータドライバ２４１は、アクチュエータ１６に対して制御信号を出力して、アクチュエータ１６をＺ軸方向及びθ方向に移動させる。

　また、制御部２４は、第１蓄圧容器１３のバルブの開閉及び第２蓄圧容器１４のバルブの開閉を制御する。これにより、保持部１２による部品１００の保持状態と解放状態とが切り替えられる。

　上述の可動部１では、可動部１が第１位置（保持位置Ｐ１）に位置しているときに第１蓄圧容器１３にエアが蓄えられる。そして、可動部１が第１位置に位置していない状態、つまり可動部１が第１位置とは異なる位置に位置している状態では、第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって保持部１２が部品１００を保持（吸着）可能である。また、可動部１では、可動部１が第２位置（保持位置Ｐ１）に位置しているときに蓄電池１５に電力が蓄えられる。そして、可動部１が実装予定位置Ｐ３（図４参照）に位置している状態では、蓄電池１５に蓄えられた電力によって保持部１２がＺ軸方向及びθ方向に移動可能である。

　ここで、可動部１は、第１位置において取り出し動作を行う。取り出し動作は、部品１００を供給する部品供給部５から保持部１２により部品１００を取り出す（ピックアップする）動作である。より詳細には、可動部１が第１位置に位置している状態において、部品供給部５に向けて保持部１２を下降させて保持部１２に部品１００を保持させた後、部品１００を保持した状態の保持部１２を上昇させる。したがって、本実施形態に係る実装システム１０によれば、保持部１２により部品１００を取り出している間に、第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整し、かつ蓄電池１５に電力を供給することが可能である。

　本実施形態では、可動部１により部品保持装置３０が構成されている。すなわち、部品保持装置３０は、実装システム１０に用いられる部品保持装置であって、可動部１を備える。可動部１は、可動子１１を更に含む。可動子１１は、保持部１２が取り付けられ、固定子２１の平面２１１に沿って移動可能である。

　（２．２．２）駆動部
　駆動部２は、固定子２１と、帯磁可能体２３と、を有している。帯磁可能体２３は、例えば、鉄板である。固定子２１及び帯磁可能体２３の各々は、Ｚ軸方向からの平面視においてＸ軸方向に長い矩形の平板状である。固定子２１は、平面２１１を有している。本実施形態では、図６～図８に示すように、Ｚ軸方向（上下方向）において固定子２１の下方に帯磁可能体２３が配置されており、帯磁可能体２３の下面２３１が固定子２１の平面２１１として機能する。すなわち、本実施形態では、固定子２１と帯磁可能体２３とで本開示の「固定子」が構成されている。帯磁可能体２３は、後述の第１磁石２２としての複数の電磁石２２１による磁力を平均化するために用いられる。固定子２１は、上述の可動子１１と共に平面モータ装置４０を構成する。駆動部２は、後述の制御部４のモータドライバ４１によって制御され、固定子２１の平面２１１に沿って可動部１（可動子１１）が移動するように可動部１を駆動する。

　駆動部２は、固定子２１及び帯磁可能体２３に加えて、第１磁石２２を有している。駆動部２は、第１磁石２２として、複数の電磁石２２１を有している。すなわち、第１磁石２２は、電磁石２２１を含む。複数の電磁石２２１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に配置されている。図６～図８では、１８個の電磁石２２１がＸ軸方向に配置されている。また、図示を省略しているが、少なくとも１個の電磁石２２１がＹ軸方向に配置されている。複数の電磁石２２１は、Ｚ軸方向において固定子２１と帯磁可能体２３との間に配置されている。複数の電磁石２２１の各々は、コイルを有し、当該コイルに通電されることで当該コイルの巻軸方向の両端部に磁極（Ｎ極又はＳ極）が発生する。複数の電磁石２２１の各々は、上記コイルの巻軸方向がＺ軸方向となるように向きが調整されている。なお、図７及び図８では、複数の電磁石２２１の各々において、可動子１１側（下側）に発生する磁極を表す記号のみを表記し、可動子１１側とは反対側（上側）の磁極を表す記号の表記を省略している。本実施形態では、可動部１及び固定子２１の一方である固定子２１が、電磁石２２１を含む第１磁石２２を有している。

　（２．２．３）動力部
　複数の動力部３は、図２に示すように、Ｘ軸方向に沿って等間隔に並んでいる。複数の動力部３の各々は、図１に示すように、エア調整部３１と、電力供給部３２と、動力部本体３３（図５参照）と、を有している。エア調整部３１は、例えば、エアの吸い込み及びエアの供給の両方が可能なエアーポンプを含む。エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エアーポンプにてエアを吸い込むことにより、第１蓄圧容器（蓄圧容器）１３の内圧を負圧に調整する。また、エア調整部３１は、可動部１が第１位置に位置している状態において、エアーポンプにてエアを供給することにより、第２蓄圧容器１４の内圧を正圧に調整する。電力供給部３２は、例えば、ＡＣ－ＤＣコンバータを含む。電力供給部３２は、可動部１が第２位置に位置している状態において、蓄電池１５に電力（直流電力）を供給する。

　エア調整部３１及び電力供給部３２は、動力部本体３３に収納されている。動力部本体３３は、例えば、直方体状であって、第１接続面３４（図５参照）を有している。可動部１が第１位置（図５に示す位置）に位置している状態では、固定子２１側に設けられた複数の電磁石２２１の磁極を可動子１１側に設けられた複数の永久磁石１７１の磁極と異ならせることにより、可動子１１と固定子２１とが密着して安定した状態になる。このとき、第１接続面３４は、可動部１の突出部１９に設けられた第２接続面１９１との間に隙間Ｇ１を空けた状態で第２接続面１９１と対向する。第１接続面３４には、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整する際にエアが通る通気口３５が設けられている。通気口３５は、動力部本体３３の内部に設けられた流路３６に繋がっており、通気口３５及び流路３６を通るエアによって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧が調整される。可動部１が第１位置において取り出し動作を行っている状態では、第１接続面３４の通気口３５と第２接続面１９１の通気口１９２とがＺ軸方向で対向しており、通気口３５に繋がる流路３６と通気口１９２に繋がる流路１９３とが接続される。これにより、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整することが可能となる。

　ここで、動力部３は、図４及び図５に示すように、Ｚ軸方向（平面２１１の法線方向）からの平面視において、平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。すなわち、動力部３に含まれるエア調整部３１は、平面２１１の法線方向からの平面視において、平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。

　また、可動部１が第１位置において取り出し動作を行っている状態では、Ｚ軸方向（平面２１１の法線方向）からの平面視において、突出部１９の少なくとも一部が平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。本実施形態では、Ｚ軸方向からの平面視において、突出部１９の全部が平面２１１の外縁２１１１よりも外側に位置している。そして、可動部１が第１位置に位置している状態では、図５に示すように、動力部３に設けられた第１接続面３４と可動部１の突出部１９に設けられた第２接続面１９１とが接続される。ここで、可動部１が第１位置に位置している状態では、図５に示すように、可動部１と固定子２１とが密着して安定した状態で、第１接続面３４と第２接続面１９１との間に隙間Ｇ１が設けられている。可動部１が固定子２１の平面２１１に沿って高速で移動して第１位置に向かう場合は隙間Ｇ１が設けられ、可動部１と動力部３との衝突を回避することが可能となる。

　（２．２．４）制御部
　制御部４は、実装システム１０の各部を制御する。制御部４は、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するコンピュータシステムにより実現され得る。すなわち、コンピュータシステムの１以上のメモリに記録されたプログラムを、１以上のプロセッサが実行することにより、制御部４として機能する。プログラムは、ここでは制御部４のメモリに予め記録されているが、例えば、インターネット等の電気通信回線を通して提供されてもよいし、メモリカード等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。

　制御部４は、図２及び図３に示すように、複数のモータドライバ４１を含む。複数のモータドライバ４１は、駆動部２と電気的に接続されている。複数のモータドライバ４１は、駆動部２に制御信号を出力し、複数の可動部１が平面２１１に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するように、駆動部２を制御する。言い換えると、制御部４は、固定子２１の平面２１１に沿って可動部１が移動するように可動部１を制御する。

　また、制御部４は、後述の第１制御工程ＳＴ１、第２制御工程ＳＴ２及び第３制御工程ＳＴ３を実行する。第１制御工程ＳＴ１は、電磁石２２１の磁力によって、固定子２１に対して可動子１１を磁気浮上させる工程である。より詳細には、制御部４は、第１制御工程ＳＴ１において、永久磁石１７１の磁力の向きとは逆向きの磁力を電磁石２２１によって作用させることで、固定子２１に対して可動子１１を磁気浮上させる。第２制御工程ＳＴ２は、固定子２１に対して可動子１１を磁気浮上させた状態で、固定子２１の平面２１１に沿って可動子１１を移動させる工程である。より詳細には、制御部４は、第２制御工程ＳＴ２において、複数の永久磁石１７１の各々について、可動子１１の進行方向の電磁石２２１の磁極を異ならせると共に、当該電磁石２２１の磁力の大きさを第１制御工程ＳＴ１における磁力の大きさよりも大きくすることで、上記進行方向に沿って可動子１１が移動する。第３制御工程ＳＴ３は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装するのに際して、固定子２１に可動子１１を固着させる工程である。より詳細には、制御部４は、第３制御工程ＳＴ３において、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なるように電磁石２２１の磁極を制御する。これにより、電磁石２２１と第２磁石１７との間に生じる磁力によって、可動子１１が固定子２１に固着する。

　また、制御部４は、更に、動力部３、部品供給部５、部品認識部６及び載置部９の各々と電気的に接続されている。制御部４は、動力部３に制御信号を出力し、第１蓄圧容器１３及び第２蓄圧容器１４の内圧を調整し、かつ蓄電池１５に電力を供給するように、動力部３を制御する。さらに、制御部４は、部品認識部６に制御信号を出力し、部品認識部６を制御したり、部品認識部６で撮像された画像を部品認識部６から取得したりする。また、制御部４は、載置部９に制御信号を出力し、載置部９上に載置された基板２００の位置を調整するように、載置部９を制御する。

　（２．２．５）部品供給部
　複数の部品供給部５は、上述したように、複数の動力部３と一対一に対応しており、Ｘ軸方向に沿って等間隔に並んでいる。複数の部品供給部５の各々は、各可動部１の保持部１２により保持される部品１００を供給する。各部品供給部５は、一例として、キャリアテープに収容された部品１００を供給するパーツフィーダを有している。各可動部１は、複数の部品供給部５のいずれかから、保持部１２により部品１００を保持する。

　（２．２．６）部品認識部
　部品認識部６は、図１に示すように、カメラ６１を有している。カメラ６１は、部品供給部５の上方と、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３（図４参照）の上方と、の間を移動している可動部１を下方から撮像する。したがって、カメラ６１の撮像画像には、保持部１２に保持されている部品１００が写っている。すなわち、カメラ６１の撮像画像には、保持部１２と部品１００との相互の位置関係の情報、言い換えると保持部１２に対する部品１００のずれの情報が含まれている。なお、カメラ６１は、常時撮像するのではなく、部品１００を保持している保持部１２がカメラ６１の上方を通過するタイミングで撮像することが好ましい。また、カメラ６１は、部品供給部５の下方に設置されていてもよい。また、実装システム１０は、カメラ６１の撮像領域を照明する照明装置を更に備えていてもよい。図４に示すように、可動部１が部品認識部６の上方に位置しているとき、可動部１は認識位置Ｐ２に位置している。また、複数の可動部１のうち後述の復帰工程ＳＴ１１（図１３参照）において部品認識部６の上方に復帰する可動部１については、認識位置Ｐ２は原点位置Ｐ０でもある。

　（２．２．７）部品廃棄部
　部品廃棄部７は、保持部１２により部品供給部５から取り出された部品１００のうち、不具合のある部品１００を廃棄するためのスペースである。「不具合のある部品」とは、例えば、表面に傷等が見受けられる部品であって、部品としての機能を果たし得ない可能性がある部品をいう。制御部４は、例えば、部品認識部６のカメラ６１により撮像された画像に基づいて部品１００に傷があると判断した場合、部品１００を部品廃棄部７に廃棄する指示を行う。各可動部１は、部品廃棄部７の上方に位置している状態において、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブを開くことで保持部１２から放出される低圧のエアによって、保持部１２から離れる方向に部品１００を吹き飛ばす。これにより、部品１００が部品廃棄部７に廃棄される。また、各可動部１は、部品１００を廃棄した後に、保持部（ノズル）１２の清掃を行ってもよい。例えば、第２蓄圧容器１４のバルブを開いて高圧のエアブローを行うことにより、保持部１２の内部の清掃を行うことが可能となる。すなわち、可動部１は、部品廃棄部７の上方に位置しているとき、部品１００の廃棄と、保持部１２の清掃と、の少なくとも一方を行う。

　（２．２．８）ノズル交換部
　ノズル交換部８は、複数種類の保持部（吸着ノズル）１２を有している。複数種類の保持部１２は、部品１００のサイズ（大きさ）にそれぞれ対応している。各可動部１は、保持部１２により保持する部品１００のサイズに応じて保持部１２を交換する。

　（２．２．９）載置部
　載置部９は、後述の搬送部により実装スペースに搬送された基板２００（対象物２０）が載置される。載置部９は、図９に示すように、一対の支持部材９１を有している。一対の支持部材９１の各々は、Ｘ軸方向に長い棒状である。一対の支持部材９１は、Ｙ軸方向において所定の間隔を空けて配置されている。所定の間隔は、Ｙ軸方向における基板２００の長さよりも短い。一対の支持部材９１の各々は、２つの偏心ピン９２によってＹ軸方向に揺動可能である。

　図１０Ａ～図１０Ｄは、載置部９の動作を説明する説明図である。なお、以下の説明において、一対の支持部材９１のうち一方（図１０Ａの上側）の支持部材９１を「第１支持部材９１」と称し、他方（図１０Ａの下側）の支持部材９１を「第２支持部材９１」と称することもある。また、第１支持部材９１を保持する２つの偏心ピン９２のうち一方（図１０Ａの右側）の偏心ピン９２を「第１偏心ピン９２」と称し、他方（図１０Ａの左側）の偏心ピン９２を「第２偏心ピン９２」と称することもある。さらに、第２支持部材９１を保持する２つの偏心ピン９２のうち一方（図１０Ａの右側）の偏心ピン９２を「第３偏心ピン９２」と称し、他方（図１０Ａの左側）の偏心ピン９２を「第４偏心ピン９２」と称することもある。

　図１０Ａは、載置部９を構成する一対の支持部材９１が初期位置にある状態を示している。この状態では、一対の支持部材９１の各々はＸ軸と平行になっており、Ｙ軸方向における一対の支持部材９１の間隔はＹ軸方向における基板２００の長さよりも狭い。このため、一対の支持部材９１上に基板２００を載置することが可能となる。

　図１０Ａに示す初期位置から、第１偏心ピン９２及び第３偏心ピン９２を第１の向きに回転させると、第１支持部材９１は、第２偏心ピン９２を回転中心として反時計回りに回転し、第２支持部材９１は、第４偏心ピン９２を回転中心として反時計回りに回転する。これにより、図１０Ｂに示すように、第１支持部材９１の右端部及び第２支持部材９１の右端部がＹ軸方向に変位した状態になる。図１０Ｂに示す状態では、一対の支持部材９１は、互いに平行である。

　図１０Ａに示す初期位置から、第２偏心ピン９２及び第４偏心ピン９２を第２の向き（第１の向きと逆の向き）に回転させると、第１支持部材９１は、第１偏心ピン９２を回転中心として時計回りに回転し、第２支持部材９１は、第３偏心ピン９２を回転中心として時計回りに回転する。これにより、図１０Ｃに示すように、第１支持部材９１の左端部及び第２支持部材９１の左端部がＹ軸方向に変位した状態になる。図１０Ｃに示す状態では、一対の支持部材９１は、互いに平行である。

　図１０Ａに示す初期位置から、第１偏心ピン９２及び第３偏心ピン９２を第１の向きに回転させ、かつ、第２偏心ピン９２及び第４偏心ピン９２を第２の向きに回転させると、第１支持部材９１及び第２支持部材９１は、図１０Ｄに示すように、Ｙ軸方向に平行移動した状態になる。図１０Ｄに示す状態では、一対の支持部材９１の各々は、Ｘ軸と平行である。

　このような載置部９では、４つの偏心ピン９２の回転量をそれぞれ調整することにより、一対の支持部材９１の変位量を調整することが可能となる。

　ここで、本実施形態に係る実装システム１０による実装工程と後段のはんだ付け工程との間に検査工程が設けられていることが好ましい。この場合、検査工程において基板２００に対する部品１００のずれ量を計測し、計測結果を実装システム１０にフィードバックすることにより、計測結果に基づいて基板２００の向きを調整することが可能となる。具体的には、制御部４は、検査工程からフィードバックされた計測結果に基づいて、基板２００が載置される載置部９を構成する一対の支持部材９１の変位量を調整する。これにより、基板２００が載置部９に搬送される前に一対の支持部材９１の変位量を調整することが可能となる。そのため、実装スペースに搬入された基板２００の対角の位置をカメラ等で認識し、認識結果に基づいて基板２００の向きを調整する場合に比べて、作業時間を短縮することが可能となる。

　なお、検査工程は、実装工程とはんだ付け工程との間に限らず、はんだ付け工程の後に設けられていてもよい。この場合、部品１００が基板２００にはんだ付けされた後において基板２００に対する部品１００のずれ量を計測し、計測結果を実装システム１０にフィードバックする。

　（２．２．１０）受発信部
　受発信部２５は、直接的、又はネットワーク若しくは中継器等を介して間接的に、上位システムと通信するように構成されている。受発信部２５は、上位システムから第１制御信号、第２制御信号、第３制御信号及び第４制御信号を受信する。第１制御信号は、駆動部２の第１磁石２２を制御するための信号であって、受発信部２５から制御部４に出力される。第２制御信号は、動力部３のエア調整部３１及び電力供給部３２を制御するための信号であって、受発信部２５から制御部４に出力される。第３制御信号は、第１蓄圧容器１３のバルブの開閉及び第２蓄圧容器１４のバルブの開閉を制御するための信号であって、受発信部２５から可動部１の制御部２４に出力される。第４制御信号は、アクチュエータ１６を制御するための信号であって、受発信部２５から可動部１の制御部２４に出力される。

　（２．２．１１）筐体
　本実施形態に係る実装システム１０は、図２及び図３に示すように、筐体１０１を更に備える。筐体１０１は、複数（図示例では４つ）の支柱１０１１と、天板１０１２と、中板１０１３と、底板１０１４と、を有している。天板１０１２、中板１０１３、底板１０１４は、複数の支柱１０１１によって支持されており、Ｚ軸方向における一端側（上側）から天板１０１２、中板１０１３、底板１０１４の順に間隔を空けて並んでいる。

　上述の複数のモータドライバ４１は、中板１０１３の一面（上面）に取り付けられており、Ｘ軸方向に沿って並んでいる。上述の駆動部２は、中板１０１３の他面（下面）に取り付けられている。上述の部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９は、底板１０１４の一面（上面）に取り付けられている。部品認識部６、部品廃棄部７及びノズル交換部８は、底板１０１４の一面において、Ｘ軸方向における一端側（図２における左側）から部品廃棄部７、部品認識部６、ノズル交換部８の順に並んでいる。

　（２．２．１２）その他
　実装システム１０は、可動部１、駆動部２、動力部３、制御部４、部品供給部５、部品認識部６、部品廃棄部７、ノズル交換部８及び載置部９の他、搬送部を備えていてもよい。

　搬送部は、対象物２０としての基板２００を載置部９へ搬送する。搬送部は、例えば、ベルトコンベヤ等で実現される。搬送部は、基板２００を、例えば、Ｘ軸に沿って搬送する。搬送部は、少なくとも可動部１の下方、つまりＺ軸方向において保持部１２と対向する実装スペースに、基板２００を搬送する。そして、搬送部は、可動部１による基板２００への部品１００の実装が完了するまでは、実装スペースに基板２００を停止させる。

　（３）実装方法
　次に、本実施形態に係る実装方法について、図６～図８、図１１及び図１２を参照して説明する。

　本実施形態に係る実装方法は、実装システム１０に用いられる実装方法である。実装システム１０は、可動部１と、制御部４と、を備える。可動部１は、部品１００を保持する保持部１２を含む。可動部１は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する。制御部４は、平面２１１を有する固定子２１の平面２１１に沿って可動部１が移動するように可動部１を制御する。可動部１及び固定子２１の一方（本実施形態では固定子２１）は、電磁石２２１（図６参照）を含む第１磁石２２を有する。可動部１及び固定子２１の他方（本実施形態では可動部１）は、第２磁石１７を有する。第２磁石１７は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に電磁石２２１と対向する。そして、実装方法は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なるように電磁石２２１の磁極を制御する工程を有する。

　すなわち、本実施形態に係る実装方法は、本実施形態に係る実装システム１０に用いられる実装方法である。この実装方法では、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なっている。これにより、電磁石２２１と第２磁石１７との間に生じる磁力（磁気吸引力）によって、固定子２１に可動部１を固着させることが可能となる。その結果、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、可動部１の姿勢を安定させることが可能となる。

　（３．１）制御部の動作
　本実施形態に係る実装システム１０の制御部４は、上述の実装方法を実行する。以下、制御部４の動作について、図６～図８及び図１１を参照して説明する。

　図６～図８は、本実施形態に係る実装システム１０の可動子１１と固定子２１との間に生じる磁力の関係を表す模式図である。図１１は、本実施形態に係る実装方法を含む、実装システム１０の制御部４の動作を表すフローチャートである。実装方法は、図１１に示すように、第１制御工程ＳＴ１と、第２制御工程ＳＴ２と、第３制御工程ＳＴ３と、を有する。

　固定子２１に設けられた複数の電磁石２２１への通電を停止している状態では、図６に示すように、可動部１に設けられた複数の永久磁石１７１と帯磁可能体２３との間に働く磁力（磁気吸引力）Ｆ１によって、可動子１１が固定子２１（厳密には帯磁可能体２３）に固着している。複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１は、可動子１１から固定子２１に向かう向き（上向き）に作用する。このとき、複数の電磁石２２１への通電が停止しているため、各電磁石２２１に磁極（Ｓ極及びＮ極）は生じていない。

　図６に示す状態から、実装システム１０の制御部４は、第１制御工程ＳＴ１を実行する。第１制御工程ＳＴ１では、制御部４は、図７に示すように、複数の電磁石２２１のうちＺ軸方向において複数の永久磁石１７１と対向する２以上の電磁石２２１と複数の永久磁石１７１との間に働く磁力（磁気反発力）Ｆ２によって、固定子２１に対して可動子１１を磁気浮上させる。より詳細には、制御部４は、第１制御工程ＳＴ１において、複数の永久磁石１７１の磁極と、複数の電磁石２２１のうちＺ軸方向において複数の永久磁石１７１と対向する２以上の電磁石２２１の磁極とが同じになるように、２以上の電磁石２２１の磁極を制御する。また、制御部４は、２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ２が複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１よりも大きくなるように、２以上の電磁石２２１の各々のコイルに流す電流の大きさを制御する。これにより、図７に示すように、固定子２１に対して可動子１１が磁気浮上した状態になる。２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ２は、固定子２１から可動子１１に向かう向き（下向き）に作用する。したがって、可動子１１は、複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１と２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ２との差分によって、固定子２１に対して磁気浮上する。

　図７に示す状態から、制御部４は、第２制御工程ＳＴ２を実行する。第２制御工程ＳＴ２では、制御部４は、複数の電磁石２２１のうち可動子１１の進行方向に位置している１以上の電磁石２２１の磁極及び磁力の大きさを制御する。これにより、可動子１１に取り付けられている複数の永久磁石１７１のうち可動子１１の進行方向に位置している１以上の永久磁石１７１と上記１以上の電磁石２２１との間に磁気吸引力が生じ、この磁気吸引力によって可動子１１が進行方向へ移動する。すなわち、本実施形態に係る実装システム１０では、制御部４が電磁石２２１の磁極及び磁力の大きさを制御することで、固定子２１に対して可動部１（可動子１１）が移動可能である。より詳細には、可動部１（可動子１１）は、電磁石２２１の磁力によって固定子２１に対して磁気浮上した状態で、固定子２１の平面２１１に沿って移動可能である。なお、可動子１１が固定子２１の平面２１１に沿って移動する動作については、後述の「（３．２）可動子の動作」の欄で詳しく説明する。

　制御部４が第２制御工程ＳＴ２を実行することにより、可動子１１が固定子２１の平面２１１内における目標位置（Ｘ軸方向の目標位置及びＹ軸方向の目標位置）に到達すると、制御部４は第３制御工程ＳＴ３を実行する。第３制御工程ＳＴ３では、制御部４は、固定子２１に可動子１１（可動部１）を固着させる。より詳細には、制御部４は、第３制御工程ＳＴ３において、複数の永久磁石１７１の磁極と、複数の電磁石２２１のうちＺ軸方向において複数の永久磁石１７１と対向する２以上の電磁石２２１の磁極とが異なるように、２以上の電磁石２２１の磁極を制御する。このとき、２以上の電磁石２２１と複数の永久磁石１７１との間に働く磁力Ｆ３は、可動子１１から固定子２１に向かう向き（上向き）に作用する。そのため、可動子１１は、図８に示すように、複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１と２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ３とを合わせた磁力によって、固定子２１（厳密には帯磁可能体２３）に固着する。その後、制御部４は、可動子１１（可動部１）を固定子２１に固着させた状態で、後述の実装工程ＳＴ１７（図１３参照）を実行する。すなわち、電磁石２２１への通電を行い、かつ保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する場合には、永久磁石１７１による磁力及び電磁石２２１による磁力によって固定子２１に可動部１（可動子１１）を固着させる。

　また、制御部４は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なるように電磁石２２１の磁極を制御する。言い換えると、本実施形態に係る実装方法は、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なるように電磁石２２１の磁極を制御する工程（第３制御工程ＳＴ３）を有する。このとき、上述したように、複数の永久磁石１７１（第２磁石１７）は、Ｚ軸方向において２以上の電磁石２２１と対向している（図８参照）。

　ここで、２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ３は、複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１と同じ大きさであってもよいし、磁力Ｆ１よりも大きくてもよいし、磁力Ｆ１よりも小さくてもよい。いずれの場合でも、２以上の電磁石２２１への通電を行わない場合に比べて、可動子１１と固定子２１との間の磁気吸引力は大きくなる。そのため、２以上の電磁石２２１への通電を行わない場合に比べて、より強固に可動子１１を固定子２１に固着させることが可能となり、その結果、可動子１１（可動部１）の姿勢を安定させることが可能となる。

　（３．２）可動子の動作
　次に、可動子１１の動作について、図１２を参照して説明する。なお、図１２では、複数の永久磁石１７１、複数の電磁石２２１及び帯磁可能体２３の図示を省略している。

　時刻ｔ１では、複数の電磁石２２１への通電を停止しており、可動子１１は、複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１（図６参照）によって固定子２１に固着している。

　時刻ｔ２のときに、制御部４は、複数の電磁石２２１のうちＺ軸方向において複数の永久磁石１７１と対向する２以上の電磁石２２１の磁極及び磁力の大きさを制御する。このとき、複数の永久磁石１７１の磁極と上記２以上の電磁石２２１の磁極とが同じであり、かつ上記２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ２（図７参照）が複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１（図７参照）よりも大きいため、可動子１１は、固定子２１に対して磁気浮上する。

　時刻ｔ３のときに、制御部４は、複数の電磁石２２１のうち可動子１１の進行方向（図１２の右方向）に位置している１以上の電磁石２２１の磁極及び磁力の大きさを制御する。このとき、複数の永久磁石１７１のうち可動子１１の進行方向に位置している１以上の永久磁石１７１の磁極と上記１以上の電磁石２２１の磁極とが異なっており、かつ上記１以上の電磁石２２１による磁力が上記１以上の永久磁石１７１による磁力よりも大きいため、可動子１１は、進行方向（図１２の右方向）に向かって移動を開始する。制御部４は、時刻ｔ３～時刻ｔ６の間において、可動子１１が進行方向に移動するように、上記１以上の電磁石２２１の磁極を交互に切り替える。

　時刻ｔ３～時刻ｔ４の間では、可動子１１は、上記１以上の電磁石２２１による磁力によって加速しており、図１２に示すように、進行方向側の部位が固定子２１に近づくように斜めに傾いている。

　時刻ｔ４～時刻ｔ５の間では、可動子１１は、上記１以上の電磁石２２１による磁力によって定速になっており、図１２に示すように、固定子２１側の表面が固定子２１の平面２１１と平行になっている。

　時刻ｔ６のときに、制御部４は、固定子２１の平面２１１における目標位置（Ｘ軸方向の目標位置及びＹ軸方向の目標位置）に可動子１１を停止させるために、複数の電磁石２２１のうち可動子１１の進行方向に位置している１以上の電磁石２２１による磁力の大きさを制御する。このとき、上記１以上の電磁石２２１による磁力が複数の永久磁石１７１のうち可動子１１の進行方向に位置している１以上の永久磁石１７１による磁力よりも小さいため、可動子１１は減速を開始する。時刻ｔ６～時刻ｔ７の間では、可動子１１は、上記１以上の電磁石２２１による磁力によって減速しており、図１２に示すように、進行方向側の部位が固定子２１から離れるように斜めに傾いている。

　時刻ｔ７のときに、制御部４は、複数の電磁石２２１のうちＺ軸方向において複数の永久磁石１７１と対向する２以上の電磁石２２１の磁極及び磁力の大きさを制御する。このとき、複数の永久磁石１７１の磁極と上記２以上の電磁石２２１の磁極とが同じであり、かつ上記２以上の電磁石２２１による磁力が複数の永久磁石１７１による磁力よりも大きいため、可動子１１は、固定子２１に対して磁気浮上する。

　時刻ｔ８のときに、制御部４は、複数の電磁石２２１のうちＺ軸方向において複数の永久磁石１７１と対向する２以上の電磁石２２１の磁極及び磁力の大きさを制御する。このとき、複数の永久磁石１７１の磁極と上記２以上の電磁石２２１の磁極とが異なっているため、可動子１１は、複数の永久磁石１７１による磁力Ｆ１（図８参照）及び上記２以上の電磁石２２１による磁力Ｆ３（図８参照）によって、固定子２１の平面２１１における目標位置に固着する。

　（４）実装システムの全体動作
　次に、本実施形態に係る実装システム１０の全体動作について、図１３及び図１４を参照して説明する。

　まず、実装システム１０は、復帰工程ＳＴ１１を実行する。復帰工程ＳＴ１１では、実装システム１０は、各可動部１を原点位置Ｐ０１，Ｐ０２，Ｐ０３，・・・（図９参照）に復帰させる。また、復帰工程ＳＴ１１では、図１４に示すように、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブが開いた状態にあり、第１蓄圧容器１３の内圧及び第２蓄圧容器１４の内圧は大気圧になっている。

　次に、実装システム１０は、調整工程ＳＴ１２を実行する。調整工程ＳＴ１２では、実装システム１０は、各可動部１を保持位置Ｐ１（第１位置、第２位置）に移動させた後、第１蓄圧容器１３の内圧及び第２蓄圧容器１４の内圧をそれぞれ調整する。より詳細には、調整工程ＳＴ１２において、図１４に示すように、エア調整部３１が第１蓄圧容器１３の内圧を負圧に調整し、かつ第２蓄圧容器１４の内圧を正圧に調整する。

　次に、実装システム１０は、蓄電工程ＳＴ１３を実行する。蓄電工程ＳＴ１３では、実装システム１０は、蓄電池１５に電力を蓄える。より詳細には、蓄電工程ＳＴ１３において、図１４に示すように、電力供給部３２が蓄電池１５に電力を供給する。

　次に、実装システム１０は、保持工程ＳＴ１４を実行する。保持工程ＳＴ１４では、実装システム１０は、部品供給部５から供給される部品１００の上方に位置する保持部１２を、部品供給部５に近づく向きに移動（下降）させて、保持部１２に部品１００を保持させる。そして、実装システム１０は、部品１００を保持した状態の保持部１２を、部品供給部５から離れる向きに移動（上昇）させる。その後、実装システム１０は、エア調整部３１を停止するとともに、第１蓄圧容器１３のバルブ及び第２蓄圧容器１４のバルブを閉じる。つまり、第１蓄圧容器１３の内圧は負圧に調整された状態を維持し、第２蓄圧容器１４の内圧は正圧に調整された状態を維持する。本実施形態では、実装システム１０が複数の保持部１２を備えているため、保持工程ＳＴ１４では、実装システム１０は、複数の保持部１２の各々を駆動することにより、複数の保持部１２の各々に部品１００を保持させる。

　次に、実装システム１０は、認識工程ＳＴ１５を実行する。認識工程ＳＴ１５では、実装システム１０は、図１４に示すように、部品認識部６の上方に可動部１を移動させた後、部品認識部６により認識可能な高さまで保持部１２を移動（下降）させる。そして、実装システム１０は、部品認識部６のカメラ６１により保持部１２及び部品１００を含む領域を撮像する。ここで、可動部１は、保持位置Ｐ１から認識位置Ｐ２（図４参照）に移動する際に、実装予定位置Ｐ３に対する部品１００の実装角度に合わせて保持部１２を回転させている。これにより、部品認識部６は、基板２００への実装角度に部品１００の角度を合わせた状態で部品１００及び保持部１２を認識するので、例えば、アクチュエータ１６等の寸法精度がよくない場合であっても、部品１００の実装精度を向上させることが可能となる。

　次に、実装システム１０は、移動工程ＳＴ１６を実行する。移動工程ＳＴ１６では、実装システム１０は、複数の可動部１を駆動部２により駆動し、各可動部１が対応する実装予定位置Ｐ３（図４参照）の上方に位置するように、各可動部１を移動させる。

　次に、実装システム１０は、実装工程ＳＴ１７を実行する。実装工程ＳＴ１７では、実装システム１０は、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３の上方に位置する保持部１２を基板２００に近づく向きに移動（下降）させて、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３に部品１００を実装する。このとき、実装システム１０は、保持部１２による部品１００の保持を解除するために、第１蓄圧容器１３のバルブを開いた後、第２蓄圧容器１４のバルブを開く（図１４参照）。これにより、保持部１２による部品１００の保持が解除される。そして、実装システム１０は、部品１００を解放した保持部１２を、基板２００から離れる向きに移動（上昇）させる。本実施形態では、実装システム１０が複数の保持部１２を備えているため、実装工程ＳＴ１７では、実装システム１０は、複数の保持部１２の各々を駆動することにより、複数の保持部１２の各々により部品１００を実装する。また、本実施形態では、実装工程ＳＴ１７において、実装システム１０は、複数の保持部１２に保持されている複数の部品１００の全てが互いに異なる実装予定位置Ｐ３に同時に実装されるように、複数の可動部１の全てが同時に駆動（制御）される。ここにおいて、「同時」とは、時間が完全に同じである場合だけでなく、時間が同じであるとみなされる範囲（例えば、±１秒）で異なっている場合も含む。

　図１３のフローチャートは、実装システム１０の全体動作の一例に過ぎず、処理を適宜省略又は追加してもよいし、処理の順番が適宜変更されていてもよい。例えば、原点位置Ｐ０と保持位置Ｐ１とが同じ位置である場合には、復帰工程ＳＴ１１が省略されてもよい。また、例えば、調整工程ＳＴ１２は、蓄電工程ＳＴ１３と保持工程ＳＴ１４との間で実行されてもよい。

　（５）可動部の動作
　次に、本実施形態に係る実装システム１０が備える複数の可動部１の動作について、図１５を参照して説明する。

　複数の部品供給部５は、図１５に示すように、部品供給部５Ａ（第１部品供給部）と、部品供給部５Ｂ（第２部品供給部）と、を含む。部品供給部５Ａ，５Ｂは、載置部９に対して対象物２０が搬入される方向（Ｘ軸方向）に沿って配置されている。より詳細には、部品供給部５Ａは、Ｘ軸方向において、部品供給部５Ｂよりも搬送部側（図１５の左側）に配置されている。

　複数の可動部１は、図１５に示すように、可動部１Ａ（第１可動部）と、可動部１Ｂ（第２可動部）と、を含む。図１５に示す例では、可動部１Ａは、部品供給部５Ａから部品１００を取り出し、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３１に部品１００を実装する。可動部１Ｂは、部品供給部５Ｂから部品１００を取り出し、基板２００の実装面２０１における実装予定位置Ｐ３２に部品１００を実装する。

　本実施形態に係る実装システム１０では、制御部４は、図１５に示すように、Ｚ軸方向（平面２１１の法線方向）からの平面視において、第１移動経路Ｒ１と第２移動経路Ｒ２とが交差するように、可動部１Ａ，１Ｂを制御する。第１移動経路Ｒ１は、可動部１Ａが部品供給部５Ａから取り出した部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に可動部１Ａが移動する経路である。第２移動経路Ｒ２は、可動部１Ｂが部品供給部５Ｂから取り出した部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に可動部１Ｂが移動する経路である。

　本実施形態に係る実装システム１０では、上述したように、可動部１に含まれている可動子１１と駆動部２に含まれている固定子２１とが平面モータ装置４０を構成している。そのため、上述のように、２つの可動部１Ａ，１Ｂの移動経路（第１移動経路Ｒ１、第２移動経路Ｒ２）が交差するように、２つの可動部１Ａ，１Ｂを移動させることが可能である。また、可動部１Ａ，１Ｂを含む３つ以上の可動部１についても同様である。

　（６）効果
　実施形態に係る実装システム１０では、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、電磁石２２１における第２磁石１７との対向部分の磁極と第２磁石１７における電磁石２２１との対向部分の磁極とが異なっている。これにより、電磁石２２１と第２磁石１７との間に生じる磁力（磁気吸引力）によって、固定子２１に可動部１を固着させることが可能となる。その結果、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する際に、可動部１の姿勢を安定させることが可能となる。さらに、可動部１の姿勢を安定させることで、基板２００に対する部品１００の実装精度を向上させることが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、電磁石２２１への通電を停止している場合には、永久磁石１７１の磁力によって固定子２１に可動部１を固着させている。これにより、電磁石２２１への通電を停止した場合でも、永久磁石１７１の磁力によって可動部１の姿勢を安定させることが可能となる。また、実装システム１０への給電が停止している状況での可動部１の落下を低減することが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０によれば、制御部４が電磁石２２１の磁極及び電磁石２２１の磁力の大きさを制御することで、固定子２１の平面２１１に沿って可動部１を移動させることが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、保持部１２に保持させた部品１００を対象物２０（基板２００）の実装面２０１に実装する際に、永久磁石１７１の磁力Ｆ１及び電磁石２２１の磁力Ｆ３によって可動部１を固定子２１に固着させている。そのため、永久磁石１７１の磁力Ｆ１のみで可動部１を固定子２１に固着させる場合に比べて、より強固に可動部１を固定子２１に固着させることが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、可動部１は、固定子２１の下方に位置している。これにより、対象物２０の実装面２０１に部品１００を実装するような作業に適したシステムを構築することが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、保持部１２は、可動部１が第１位置に位置していない状態（つまり、可動部１が第１位置とは異なる位置に位置している状態）において、可動部１が第１位置に位置しているときに第１蓄圧容器１３に蓄えられたエアによって部品１００を保持可能である。また、可動部１は、可動部１が第２位置に位置していない状態（つまり、可動部１が第２位置とは異なる位置に位置している状態）において、可動部１が第２位置に位置しているときに蓄電池１５に蓄えられた電力によって固定子２１の平面２１１に沿って移動可能である。そのため、例えば、可動部がケーブルを介して給電され、かつ配管を介してエアが供給される場合に比べて可動部１の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、第１位置と第２位置とが同じ位置である。これにより、第１位置と第２位置とが異なる位置である場合に比べて作業時間を短縮することが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、エア調整部３１によって第１蓄圧容器１３の内圧が負圧に調整される。これにより、保持部１２に部品１００を保持させることが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、エア調整部３１によって第２蓄圧容器１４の内圧が正圧に設定される。これにより、保持部１２による部品１００の保持を解除する際に、第２蓄圧容器１４からのエアによって解除しやすい。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、可動部１は、第１位置において取り出し動作を行っている。これにより、可動部１が取り出し動作を行っている間に、少なくとも第１蓄圧容器１３の内圧を調整することが可能となる。

　また、実施形態に係る実装システム１０では、制御部４は、複数の部品１００を基板２００の実装面２０１に実装する際に、複数の可動部１の全てを同時に制御している。これにより、複数の部品１００を順番に実装する場合に比べて、複数の部品１００の実装に要する時間を短縮することが可能となる。

　（７）変形例
　上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。また、上述の実施形態に係る実装方法と同様の機能は、実装システム１０、（コンピュータ）プログラム、又はプログラムを記録した非一時的記録媒体等で具現化されてもよい。

　以下、上述の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。

　（７．１）変形例１
　変形例１に係る実装システム１０について、図１６を参照して説明する。変形例１に係る実装システム１０は、図１６に示すように、部品供給部５Ｃ，５Ｄが第２方向（Ｙ軸方向）において載置部９の両側に配置されている点で、上述の実施形態に係る実装システム１０と相違する。なお、変形例１に係る実装システム１０に関し、上述の実施形態に係る実装システム１０と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

　変形例１に係る実装システム１０は、図１６に示すように、複数の部品供給部５Ｃ（第１部品供給部又は第３部品供給部）と、複数の部品供給部５Ｄ（第２部品供給部又は第４部品供給部）と、を備えている。複数の部品供給部５Ｃ及び複数の部品供給部５Ｄは、図１６に示すように、第２方向（Ｙ軸方向）において載置部９の両側に配置されている。第２方向は、載置部９に対して対象物２０（基板２００）が搬入される方向である第１方向（Ｘ軸方向）と交差（直交）する方向である。また、変形例１に係る実装システム１０では、図１６に示すように、複数の可動部１は、可動部１Ｃ（第１可動部又は第３可動部）と、可動部１Ｄ（第１可動部又は第３可動部）と、を含む。

　変形例１に係る実装システム１０では、制御部４は、図１６に示すように、可動部１Ｃが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｃを制御する。また、制御部４は、可動部１Ｄが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｄを制御する。すなわち、制御部４は、可動部１Ｃが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、可動部１Ｄが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、を実行する第１態様を行うように、可動部１Ｃ，１Ｄを制御する。

　また、変形例１に係る実装システム１０では、制御部４は、図１６に示すように、可動部１Ｃが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｃを制御する。また、制御部４は、可動部１Ｄが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を基板２００の実装面２０１に実装するように、可動部１Ｄを制御する。すなわち、制御部４は、可動部１Ｃが部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、可動部１Ｄが部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作と、を実行する第２態様を行うように、可動部１Ｃ，１Ｄを制御する。

　変形例１に係る実装システム１０では、上述の実施形態に係る実装システム１０と同様、可動部１に含まれている可動子１１と駆動部２に含まれている固定子２１とで平面モータ装置４０が構成されている。そのため、上述のように、可動部１Ｃ，１Ｄの各々に、部品供給部５Ｃから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作、及び、部品供給部５Ｄから取り出した部品１００を対象物２０の実装面２０１に実装する動作を行わせることが可能となる。

　（７．２）その他の変形例
　本開示における実装システム１０は、例えば、制御部４に、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における実装システム１０としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１乃至複数の電子回路で構成される。ここでいうＩＣ又はＬＳＩ等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、又はＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれる集積回路を含む。さらに、ＬＳＩの製造後にプログラムされる、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成若しくはＬＳＩ内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む１乃至複数の電子回路で構成される。

　また、実装システム１０における複数の機能が、１つの筐体内に集約されていることは実装システム１０に必須の構成ではない。実装システム１０の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、実装システム１０の少なくとも一部の機能は、クラウド（クラウドコンピューティング）等によって実現されてもよい。

　反対に、上述の実施形態において、複数の装置に分散されている実装システム１０の少なくとも一部の機能が、１つの筐体内に集約されていてもよい。例えば、可動部１と制御部４とに分散されている一部の機能が、全て可動部１に集約されてもよい。

　上述の実施形態では、蓄電池１５が電気二重層キャパシタであるが、蓄電池１５は電気二重層キャパシタに限らず、例えば、二次電池であってもよい。

　上述の実施形態では、可動部１及び固定子２１の一方である固定子２１が電磁石２２１を含む第１磁石２２を有し、可動部１及び固定子２１の他方である可動部１が第２磁石１７を有しているが、その逆であってもよい。すなわち、可動部１及び固定子２１の一方である固定子２１が第２磁石を有し、可動部１及び固定子２１の他方である可動部１が電磁石を含む第１磁石を有していてもよい。

　上述の実施形態では、可動部１が永久磁石１７１を有しているが、固定子２１が永久磁石を有していてもよいし、可動部１及び固定子２１の両方が永久磁石を有していてもよい。すなわち、可動部１及び固定子２１の少なくとも一方が永久磁石を有していればよい。

　上述の実施形態では、固定子２１が電磁石２２１を有しているが、可動部１が電磁石を有していてもよいし、可動部１及び固定子２１の両方が電磁石を有していてもよい。さらに、可動部１及び固定子２１の一方が永久磁石及び電磁石を有していてもよいし、可動部１及び固定子２１の両方が永久磁石及び電磁石を有していてもよい。

　上述の実施形態では、２以上の電磁石２２１の磁力Ｆ２が複数の永久磁石１７１の磁力Ｆ１よりも大きいが、磁力Ｆ２は磁力Ｆ１と同じ大きさであってもよい。ただし、この場合には、可動子１１が固定子２１の平面２１１に接しながら移動することになるため、磁力Ｆ２は磁力Ｆ１よりも大きいことが好ましい。

　上述の実施形態では、第１位置は、保持部１２により部品供給部５から部品１００を取り出す取り出し動作を行う位置であるが、第１位置は、例えば、保持部１２に保持させた部品の廃棄と保持部１２の清掃との少なくとも一方を行う位置であってもよい。これにより、第１位置において、部品１００を廃棄したり、保持部１２を清掃したりしている間に第１蓄圧容器１３の内圧を調整することが可能となる。

　また、保持部１２は、吸着用のノズルと廃棄用のノズルとを別々に有していてもよい。この場合、吸着用のノズルに吸着させた部品１００に付着している異物（例えば、埃等）を、廃棄用のノズルにより除去することが可能となる。

　上述の実施形態では、各部品供給部５がパーツフィーダを有しているが、各部品供給部５は、例えば、複数の部品１００が載せ置かれたパーツトレイを有していてもよい。または、各部品供給部５は、パーツフィーダとパーツトレイとの両方を有していてもよい。

　上述の実施形態では、各可動部１は、１つの保持部１２を有しているが、各可動部１は、可動子１１に対して取付可能な範囲で２つ以上の保持部１２を有していてもよい。

　上述の実施形態では、第１位置と第２位置とが同じ位置（保持位置Ｐ１）であるが、第１位置と第２位置とは異なる位置であってもよい。例えば、第１位置は保持位置Ｐ１であり、第２位置は原点位置Ｐ０であってもよい。

　上述の実施形態では、第１蓄圧容器１３の内圧を負圧にする第１蓄圧動作、第２蓄圧容器１４の内圧を正圧にする第２蓄圧動作、及び蓄電池１５に対する充電動作を保持位置Ｐ１で行っているが、第２蓄圧動作及び充電動作については保持位置Ｐ１に限らない。第２蓄圧動作については、例えば、可動部１が部品認識部６、部品廃棄部７又はノズル交換部８の上方に位置している状態で行ってもよい。つまり、第２蓄圧動作については、部品１００の保持、部品１００の認識、部品１００の廃棄又は保持部（ノズル）１２の交換を実行するために停止している状態で行われる。また、第１蓄圧動作についても、部品１００の保持を実行するために停止している状態で行われる。一方、充電動作については、上述のいずれかの位置で停止している状態で行ってもよいし、停止していない状態で行ってもよい。すなわち、充電動作については、可動部１を移動させながら行ってもよい。

　上述の実施形態では、制御部４は、基板２００の実装面２０１に部品１００を実装する際に複数の可動部１の全部を同時に制御しているが、複数の可動部１の一部を制御してもよい。すなわち、制御部４は、複数の部品１００が対象物２０の実装面２０１において互いに異なる複数の実装予定位置Ｐ３に実装されるように、複数の可動部１のうち少なくとも２つを同時に制御するように構成されていればよい。

　上述の実施形態及び変形例１では、１枚の基板２００に対して複数の部品１００を実装しているが、例えば、複数枚の基板２００に対して複数の部品１００を実装してもよい。この場合において、複数枚の基板２００は、載置部９に対する基板２００の搬入方向である第１方向（Ｘ軸方向）に並んでいてもよいし、第１方向と交差（直交）する第２方向（Ｙ軸方向）に並んでいてもよいし、第１方向及び第２方向の両方に並んでいてもよい。

　上述の実施形態では、固定子２１は１つであるが、固定子２１は複数の部分に分割されていてもよい。この場合において、固定子２１は、Ｘ軸方向において２以上の部分に分割されていてもよいし、Ｙ軸方向において２以上の部分に分割されていてもよいし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方においてそれぞれ２以上の部分に分割されていてもよい。

　上述の実施形態では、可動部１は、保持位置Ｐ１から認識位置Ｐ２（図４参照）に移動する際に、実装予定位置Ｐ３に対する部品１００の実装角度に合わせて保持部１２を回転させている。これに対して、可動部１は、認識位置Ｐ２から実装予定位置Ｐ３に移動する際に、部品１００の実装角度に合わせて保持部１２を回転させてもよい。

　上述の実施形態では、基板２００の実装面２０１に複数の部品１００を実装する際に、複数の可動部１の全てを同時に制御して、複数の部品１００の全てを同時に実装しているが、複数の部品１００を順番に実装してもよい。

　上述の実施形態では、固定子２１と帯磁可能体２３とで本開示の「固定子」が構成されているが、帯磁可能体２３については省略されていてもよい。すなわち、固定子２１のみで本開示の「固定子」が構成されていてもよい。

　上述の実施形態では、帯磁可能体２３が鉄板であるが、帯磁可能体２３は鉄板であることに限らず、複数の電磁石２２１による磁界を平均化することができれば鉄板以外であってもよい。

　（態様）
　本明細書には、以下の態様が開示されている。

　第１の態様に係る実装システム（１０）は、可動部（１）と、制御部（４）と、を備える。可動部（１）は、部品（１００）を保持する保持部（１２）を含み、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する。制御部（４）は、平面（２１１）を有する固定子（２１）の平面（２１１）に沿って可動部（１）が移動するように可動部（１）を制御する。可動部（１）及び固定子（２１）の一方は、電磁石（２２１）を含む第１磁石（２２）を有する。可動部（１）及び固定子（２１）の他方は、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に電磁石（２２１）と対向する第２磁石（１７）を有する。制御部（４）は、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に、電磁石（２２１）における第２磁石（１７）との対向部分の磁極と第２磁石（１７）における電磁石（２２１）との対向部分の磁極とが異なるように電磁石（２２１）の磁極を制御する。

　この態様によれば、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に、電磁石（２２１）と第２磁石（１７）との間に生じる磁力（磁気吸引力）によって固定子（２１）に可動部（１）を固着させることが可能となる。その結果、対象物（２０）の実装面（２０１）に部品（１００）を実装する際に、可動部（１）の姿勢を安定させることが可能となる。

　第２の態様に係る実装システム（１０）では、第１の態様において、第１磁石（２２）及び第２磁石（１７）の少なくとも一方は、永久磁石（１７１）を含む。

　この態様によれば、電磁石（２２１）への通電を停止した場合でも、永久磁石（１７１）による磁力（Ｆ１）によって可動部（１）の姿勢を安定させることが可能となる。

　第３の態様に係る実装システム（１０）では、第２の態様において、電磁石（２２１）への通電を停止している状態では、永久磁石（１７１）による磁力（Ｆ１）によって固定子（２１）に可動部（１）を固着させる。

　この態様によれば、電磁石（２２１）への通電を停止している状態であっても、永久磁石（１７１）による磁力（Ｆ１）によって可動部（１）の姿勢を安定させることが可能となる。

　第４の態様に係る実装システム（１０）では、第１～第３の態様のいずれか１つにおいて、制御部（４）が電磁石（２２１）の磁極及び電磁石（２２１）による磁力（Ｆ２）の大きさを制御することで、固定子（２１）に対して可動部（１）が移動可能である。

　この態様によれば、制御部（４）が電磁石（２２１）の磁極及び電磁石（２２１）による磁力（Ｆ２）の大きさを制御することで、固定子（２１）に対して可動部（１）を移動させることが可能となる。

　第５の態様に係る実装システム（１０）では、第４の態様において、可動部（１）は、電磁石（２２１）による磁力（Ｆ２）によって固定子（２１）に対して磁気浮上した状態で固定子（２１）の平面（２１１）に沿って移動可能である。

　この態様によれば、電磁石（２２１）による磁力（Ｆ２）によって固定子（２１）の平面（２１１）に沿って可動部（１）を移動させることが可能となる。

　第６の態様に係る実装システム（１０）では、第１～第５の態様のいずれか１つにおいて、第２磁石（１７）は、永久磁石（１７１）を含む。電磁石（２２１）への通電を停止している場合には、永久磁石（１７１）による磁力（Ｆ１）によって固定子（２１）に可動部（１）を固着させる。電磁石（２２１）への通電を行い、かつ保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する場合には、永久磁石（１７１）による磁力（Ｆ１）及び電磁石（２２１）による磁力（Ｆ２）によって固定子（２１）に可動部（１）を固着させる。

　この態様によれば、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する場合には、電磁石（２２１）への通電を停止している場合よりも強い磁力によって固定子（２１）に可動部（１）を固着させることが可能となる。

　第７の態様に係る実装システム（１０）では、第１～第６の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）は、固定子（２１）の下方に位置している。

　この態様によれば、対象物（２０）の実装面（２０１）に部品（１００）を実装するような作業に適したシステムを構築することが可能となる。

　第８の態様に係る実装システム（１０）は、第１～第７の態様のいずれか１つにおいて、エア調整部（３１）と、電力供給部（３２）と、を更に備える。エア調整部（３１）は、可動部（１）が第１位置に位置している状態において、蓄圧容器（１３）の内圧を調整する。電力供給部（３２）は、可動部（１）が第２位置に位置している状態において、蓄電池（１５）に電力を供給する。可動部（１）は、蓄圧容器（１３）及び蓄電池（１５）を更に含む。保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置していない状態において、蓄圧容器（１３）のエアによって部品（１００）を保持可能である。可動部（１）は、第２位置に位置していない状態において、蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって固定子（２１）の平面（２１１）に沿って移動可能である。

　この態様によれば、保持部（１２）は、可動部（１）が第１位置に位置しているときに蓄圧容器（１３）に蓄えられたエアによって部品（１００）を保持可能である。また、可動部（１）は、可動部（１）が第２位置に位置しているときに蓄電池（１５）に蓄えられた電力によって移動可能である。そのため、例えば、ケーブルを介して可動部に電力が供給され、かつパイプを介して可動部にエアが供給される場合に比べて、可動部（１）の移動経路が規制されにくい。その結果、作業効率の低下を抑制することが可能となる。

　第９の態様に係る実装システム（１０）では、第８の態様において、第１位置と第２位置とが同じ位置である。

　この態様によれば、第１位置と第２位置とが異なる位置である場合に比べて、部品（１００）の実装に要する時間を短縮することが可能となる。

　第１０の態様に係る実装システム（１０）では、第８又は第９の態様において、蓄圧容器（１３）は、エア調整部（３１）によって内圧が負圧に調整される。

　この態様によれば、蓄圧容器（１３）の内圧を負圧に調整することにより保持部（１２）に部品（１００）を保持させることが可能となる。

　第１１の態様に係る実装システム（１０）では、第１０の態様において、可動部（１）は、第２蓄圧容器（１４）を更に含む。第２蓄圧容器（１４）は、蓄圧容器（１３）としての第１蓄圧容器（１３）とは異なる。第２蓄圧容器（１４）は、エア調整部（３１）によって内圧が正圧に調整される。

　この態様によれば、第２蓄圧容器（１４）の内圧（正圧）によって保持部（１２）による部品（１００）の保持を解除しやすい。

　第１２の態様に係る実装システム（１０）では、第８～第１１の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）は、第１位置において、部品（１００）を供給する部品供給部（５）から保持部（１２）により部品（１００）を取り出す取り出し動作を行う。

　この態様によれば、可動部（１）が取り出し動作を行っている間に蓄圧容器（１３）の内圧を調整することが可能となる。

　第１３の態様に係る実装システム（１０）では、第１２の態様において、可動部（１）は、突出部（１９）を更に含む。突出部（１９）には、エア調整部（３１）に設けられた第１接続面（３４）に接続可能な第２接続面（１９１）が設けられている。エア調整部（３１）は、平面視において平面（２１１）の外縁（２１１１）よりも外側に位置している。可動部（１）が取り出し動作を行っている状態では、平面視において、突出部（１９）の少なくとも一部が平面（２１１）の外縁（２１１１）よりも外側に位置し、第１接続面（３４）に設けられている通気口（３５）と第２接続面（１９１）に設けられている通気口（１９２）とが対向している。

　この態様によれば、例えば、可動部（１）の移動速度が速い場合でも、可動部（１）とエア調整部（３１）との衝突を抑制することが可能となる。

　第１４の態様に係る実装システム（１０）は、第８～第１３の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）を複数備える。制御部（４）は、複数の可動部（１）における複数の保持部（１２）にそれぞれ保持されている複数の部品（１００）が対象物（２０）の実装面（２０１）において互いに異なる複数の実装予定位置（Ｐ３）に実装されるように、複数の可動部（１）のうち少なくとも２つを同時に制御する。

　この態様によれば、複数の部品（１００）を順番に実装する場合に比べて、部品（１００）の実装に要する時間を短縮することが可能となる。

　第１５の態様に係る実装システム（１０）は、第８～第１４の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）を複数備える。実装システム（１０）は、部品（１００）をそれぞれ供給する第１部品供給部（５Ａ）及び第２部品供給部（５Ｂ）を更に備える。複数の可動部（１）は、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を含む。制御部（４）は、平面視において、第１移動経路（Ｒ１）と第２移動経路（Ｒ２）とが交差するように、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を制御する。第１移動経路（Ｒ１）は、第１可動部（１Ａ）が第１部品供給部（５Ａ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に第１可動部（１Ａ）が移動する経路である。第２移動経路（Ｒ２）は、第２可動部（１Ｂ）が第２部品供給部（５Ｂ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に第２可動部（１Ｂ）が移動する経路である。

　この態様によれば、第１移動経路（Ｒ１）と第２移動経路（Ｒ２）とが交差するように、第１可動部（１Ａ）及び第２可動部（１Ｂ）を移動させることが可能となる。

　第１６の態様に係る実装システム（１０）は、第８～第１４の態様のいずれか１つにおいて、可動部（１）を複数備える。実装システム（１０）は、部品（１００）をそれぞれ供給する第１部品供給部（５Ｃ）及び第２部品供給部（５Ｄ）を更に備える。複数の可動部（１）は、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）を含む。制御部（４）は、第１態様と第２態様とを行うように、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）を制御する。第１態様は、第１可動部（１Ｃ）が第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第２可動部（１Ｄ）が第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。第２態様は、第１可動部（１Ｃ）が第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第２可動部（１Ｄ）が第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。

　この態様によれば、第１可動部（１Ｃ）及び第２可動部（１Ｄ）の各々に、第１部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作、及び、第２部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作を行わせることが可能となる。

　第１７の態様に係る実装システム（１０）では、第１５の態様において、複数の可動部（１）は、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）を含む。実装システム（１０）は、部品（１００）をそれぞれ供給する第３部品供給部（５Ｃ）及び第４部品供給部（５Ｄ）を更に備える。第３部品供給部（５Ｃ）及び第４部品供給部（５Ｄ）は、第１部品供給部（５Ａ）及び第２部品供給部（５Ｂ）とは異なる。制御部（４）は、第１態様と第２態様とを行うように、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）を制御する。第１態様は、第３可動部（１Ｃ）が第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第４可動部（１Ｄ）が第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。第２態様は、第３可動部（１Ｃ）が第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、第４可動部（１Ｄ）が第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作と、を実行する態様である。

　この態様によれば、第３可動部（１Ｃ）及び第４可動部（１Ｄ）の各々に、第３部品供給部（５Ｃ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作、及び、第４部品供給部（５Ｄ）から取り出した部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する動作を行わせることが可能となる。

　第１８の態様に係る部品保持装置（３０）は、第１～第１７の態様のいずれか１つの実装システム（１０）に用いられる部品保持装置（３０）である。部品保持装置（３０）は、可動部（１）を備える。可動部（１）は、可動子（１１）を更に含む。可動子（１１）は、保持部（１２）が取り付けられ、固定子（２１）の平面（２１１）に沿って移動可能である。

　この態様によれば、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に、電磁石（２２１）と第２磁石（１７）との間に生じる磁力によって固定子（２１）に可動部（１）を固着させることが可能となる。その結果、対象物（２０）の実装面（２０１）に部品（１００）を実装する際に、可動部（１）の姿勢を安定させることが可能となる。

　第１９の態様に係る平面モータ装置（４０）は、第１～第１７の態様のいずれか１つの実装システム（１０）に用いられる平面モータ装置（４０）である。平面モータ装置（４０）は、固定子（２１）と、可動子（１１）と、を備える。可動子（１１）は、保持部（１２）が取り付けられ、固定子（２１）の平面（２１１）に沿って移動可能である。

　第２０の態様に係る実装方法は、実装システム（１０）に用いられる実装方法である。実装システム（１０）は、可動部（１）と、制御部（４）と、を備える。可動部（１）は、部品（１００）を保持する保持部（１２）を含み、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する。制御部（４）は、平面（２１１）を有する固定子（２１）の平面（２１１）に沿って可動部（１）が移動するように可動部（１）を制御する。可動部（１）及び固定子（２１）の一方は、電磁石（２２１）を含む第１磁石（２２）を有する。可動部（１）及び固定子（２１）の他方は、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に電磁石（２２１）と対向する第２磁石（１７）を有する。実装方法は、保持部（１２）に保持させた部品（１００）を対象物（２０）の実装面（２０１）に実装する際に、電磁石（２２１）における第２磁石（１７）との対向部分の磁極と第２磁石（１７）における電磁石（２２１）との対向部分の磁極とが異なるように電磁石（２２１）の磁極を制御する工程を有する。

　第２～第１７の態様に係る構成については、実装システム（１０）に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。

１　可動部
１Ａ　可動部（第１可動部）
１Ｂ　可動部（第２可動部）
１Ｃ　可動部（第１可動部、第３可動部）
１Ｄ　可動部（第２可動部、第４可動部）
４　制御部
５　部品供給部
５Ａ　部品供給部（第１部品供給部）
５Ｂ　部品供給部（第２部品供給部）
５Ｃ　部品供給部（第１部品供給部、第３部品供給部）
５Ｄ　部品供給部（第２部品供給部、第４部品供給部）
１０　実装システム
１１　可動子
１２　保持部
１３　第１蓄圧容器（蓄圧容器）
１４　第２蓄圧容器
１５　蓄電池
１７　第２磁石
１９　突出部
２０　対象物
２１　固定子
２２　第１磁石
３０　部品保持装置
３１　エア調整部
３２　電力供給部
３４　第１接続面
３５　通気口
４０　平面モータ装置
１００　部品
１７１　永久磁石
１９１　第２接続面
１９２　通気口
２００　基板
２０１　実装面
２１１　平面
２２１　電磁石
２１１１　外縁
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３　磁力
Ｐ１　保持位置（第１位置、第２位置）
Ｐ３　実装予定位置
Ｒ１　第１移動経路
Ｒ２　第２移動経路

Claims

　部品を保持する保持部を含み、前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する可動部と、
　平面を有する固定子の前記平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を制御する制御部と、を備え、
　前記可動部及び前記固定子の一方は、電磁石を含む第１磁石を有し、
　前記可動部及び前記固定子の他方は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記電磁石と対向する第２磁石を有し、
　前記制御部は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に、前記電磁石における前記第２磁石との対向部分の磁極と前記第２磁石における前記電磁石との対向部分の磁極とが異なるように前記電磁石の磁極を制御する、
　実装システム。
　前記第１磁石及び前記第２磁石の少なくとも一方は、永久磁石を含む、
　請求項１に記載の実装システム。
　前記電磁石への通電を停止している場合には、前記永久磁石による磁力によって前記固定子に前記可動部を固着させる、
　請求項２に記載の実装システム。
　前記制御部が前記電磁石の磁極及び前記電磁石による磁力の大きさを制御することで、前記固定子に対して前記可動部が移動可能である、
　請求項１～３のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記可動部は、前記電磁石による磁力によって前記固定子に対して磁気浮上した状態で前記固定子の前記平面に沿って移動可能である、
　請求項４に記載の実装システム。
　前記第２磁石は、永久磁石を含み、
　前記電磁石への通電を停止している場合には、前記永久磁石による磁力によって前記固定子に前記可動部を固着させ、
　前記電磁石への通電を行い、かつ前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する場合には、前記永久磁石による磁力及び前記電磁石による磁力によって前記固定子に前記可動部を固着させる、
　請求項１～５のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記可動部は、前記固定子の下方に位置している、
　請求項１～６のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記可動部が第１位置に位置している状態において、蓄圧容器の内圧を調整するエア調整部と、
　前記可動部が第２位置に位置している状態において、蓄電池に電力を供給する電力供給部と、を更に備え、
　前記可動部は、前記蓄圧容器及び前記蓄電池を更に含み、
　前記保持部は、前記可動部が前記第１位置に位置していない状態において、前記蓄圧容器のエアによって前記部品を保持可能であり、
　前記可動部は、前記第２位置に位置していない状態において、前記蓄電池に蓄えられた前記電力によって前記固定子の前記平面に沿って移動可能である、
　請求項１～７のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記第１位置と前記第２位置とが同じ位置である、
　請求項８に記載の実装システム。
　前記蓄圧容器は、前記エア調整部によって前記内圧が負圧に調整される、
　請求項８又は９に記載の実装システム。
　前記可動部は、前記蓄圧容器としての第１蓄圧容器とは異なる第２蓄圧容器を更に含み、
　前記第２蓄圧容器は、前記エア調整部によって前記内圧が正圧に調整される、
　請求項１０に記載の実装システム。
　前記可動部は、前記第１位置において、前記部品を供給する部品供給部から前記保持部により前記部品を取り出す取り出し動作を行う、
　請求項８～１１のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記可動部は、前記エア調整部に設けられた第１接続面に接続可能な第２接続面が設けられた突出部を更に含み、
　前記エア調整部は、平面視において前記平面の外縁よりも外側に位置し、
　前記可動部が前記取り出し動作を行っている状態では、平面視において、前記突出部の少なくとも一部が前記平面の前記外縁よりも外側に位置し、前記第１接続面に設けられている通気口と前記第２接続面に設けられている通気口とが対向している、
　請求項１２に記載の実装システム。
　前記可動部を複数備え、
　前記制御部は、前記複数の可動部における複数の前記保持部にそれぞれ保持されている複数の前記部品が前記対象物の前記実装面において互いに異なる複数の実装予定位置に実装されるように、前記複数の可動部のうち少なくとも２つを同時に制御する、
　請求項８～１３のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記可動部を複数備え、
　前記部品をそれぞれ供給する第１部品供給部及び第２部品供給部を更に備え、
　前記複数の可動部は、第１可動部及び第２可動部を含み、
　前記制御部は、平面視において、前記第１可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記第１可動部が移動する第１移動経路と、前記第２可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記第２可動部が移動する第２移動経路とが交差するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、
　請求項８～１４のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記可動部を複数備え、
　前記部品をそれぞれ供給する第１部品供給部及び第２部品供給部を更に備え、
　前記複数の可動部は、第１可動部及び第２可動部を含み、
　前記制御部は、
　　前記第１可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第２可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第１態様と、
　　前記第１可動部が前記第２部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第２可動部が前記第１部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第２態様と、を行うように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、
　請求項８～１４のいずれか１項に記載の実装システム。
　前記複数の可動部は、第３可動部及び第４可動部を更に含み、
　前記第１部品供給部及び前記第２部品供給部とは異なり、前記部品をそれぞれ供給する第３部品供給部及び第４部品供給部を更に備え、
　前記制御部は、
　　前記第３可動部が前記第３部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第４可動部が前記第４部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第１態様と、
　　前記第３可動部が前記第４部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、前記第４可動部が前記第３部品供給部から取り出した前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する動作と、を実行する第２態様と、を行うように、前記第３可動部及び前記第４可動部を制御する、
　請求項１５に記載の実装システム。
　請求項１～１７のいずれか１項に記載の実装システムに用いられる部品保持装置であって、
　前記可動部を備え、
　前記可動部は、前記保持部が取り付けられ、前記固定子の前記平面に沿って移動可能な可動子を更に含む、
　部品保持装置。
　請求項１～１７のいずれか１項に記載の実装システムに用いられる平面モータ装置であって、
　前記固定子と、
　前記保持部が取り付けられ、前記固定子の前記平面に沿って移動可能な可動子と、を備える、
　平面モータ装置。
　部品を保持する保持部を含み、前記保持部に保持させた前記部品を対象物の実装面に実装する可動部と、
　平面を有する固定子の前記平面に沿って前記可動部が移動するように前記可動部を制御する制御部と、を備える実装システムに用いられる実装方法であって、
　前記可動部及び前記固定子の一方は、電磁石を含む第１磁石を有し、
　前記可動部及び前記固定子の他方は、前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に前記電磁石と対向する第２磁石を有し、
　前記保持部に保持させた前記部品を前記対象物の前記実装面に実装する際に、前記電磁石における前記第２磁石との対向部分の磁極と前記第２磁石における前記電磁石との対向部分の磁極とが異なるように前記電磁石の磁極を制御する工程を有する、
　実装方法。