JP2010525608A - 慣性ウエハ心合わせエンドエフェクタおよび搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 基板処理ツールのための基板搬送装置であって、
駆動部と、
前記駆動部と動作的に連結している可動アームと、
前記処理ツール内で基板を保持、搬送するための前記可動アームと連結しているエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタに連結して、前記エンドエフェクタ上で基板の慣性により基板を捕捉および心合わせできるように配置されている基板慣性捕捉エッジグリップと、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記グリップが、前記基板の周辺への接触用の前接触パッドおよび後接触パッドをエンドエフェクタブレード上に有する前記エンドエフェクタによって定義され、前記非対称前接触パッドおよび後接触パッドが、非対称に角度のついた基板との接触面を定義する基板接触面を有し、
前記基板の心合わせおよび捕捉のために、基板と前記接触パッドの少なくとも1つとの間で基板の慣性により動作が発生するよう前記可動アームを動かすようにプログラムされている、前記駆動部と連結しているコントローラを有することを特徴とする請求項1記載の装置。 - 前記コントローラが、前記前パッドおよび後パッドの前記接触面で前記基板を偏心した状態で取り上げるよう前記エンドエフェクタの位置決めをするようにプログラムされていることを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記前パッドおよび後パッドが、2つの前パッドおよび1つの後パッドを含むことを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記エンドエフェクタブレードがフォーク型であることを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記2つの前パッドが、各エンドエフェクタブレード先端部内に組み込まれていることを特徴とする請求項5記載の装置。
- 前記エンドエフェクタブレードがパドル型であることを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記2つの前パッドのそれぞれが、2つまたはそれ以上の角度のついた基板との接触面を有し、そのうち少なくとも1つは基板用傾斜面であり、前記後パッドは1つまたはそれ以上の基板用傾斜面を有することを特徴とする請求項4記載の装置。
- 前記少なくとも1つの基板用傾斜面が、水平方向に対して複合的に角度があり、基板の動作を偏向させるように配置されていることを特徴とする請求項8記載の装置。
- 前記1つの後パッドが、前記基板の後縁を捕捉するための第一のくさび形状と、前記第一のくさび形状と異なる第二のくさび形状とを有することを特徴とする請求項6記載の装置。
- 前記非対称前接触パッドおよび後接触パッドが、前記接触面により前記基板に対して不平衡な力が生じ、前記基板を所定の方向に偏向させることができるように配置されていることを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記エンドエフェクタが、前記処理ツールの保持ステーション内で基板をマッピングするための基板マッパを有し、前記基板マッパが、前記慣性捕捉エッジグリップで保持されている前記基板の存在を検出することを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記基板マッパが、基板検知のための放射線アームセンサを有し、前記放射線アームセンサは基板マッピングと圧力検出のための共通のセンサであることを特徴とする請求項12記載の装置。
- 平坦なワークピースの搬送のための平坦ワークピース搬送装置であって、
駆動軸を含む駆動部と、
前記駆動軸と連結している少なくとも1つの可動アームと、
前記少なくとも1つの可動アームと連結している少なくとも1つのエンドエフェクタとを具備し、前記少なくとも1つのエンドエフェクタが、前記平坦なワークピースの周辺の支持のための、エンドエフェクタブレードに装着されている非対称の前パッドおよび後パッドを有し、前記非対称の前パッドおよび後パッドの少なくとも1つは、別の前記前パッドおよび後パッドに対して非対称のワークピース支持面を有し、少なくとも1つのエンドエフェクタが、ワークピース保持ステーションのマッピング、ならびに前記非対称の前パッドおよび後パッド上での前記平坦なワークピースの検出および配置のための、前記エンドエフェクタブレード内に装着されているビームセンサを有し、
前記前パッドおよび後パッドの非対称性が、前記前パッドおよび後パッドの前記支持面上の前記平坦なワークピースの傾斜かつ偏心した状態を定義し、前記傾斜かつ偏心した状態から慣性利用で前記平坦なワークピースが変位するとき、前記少なくとも1つのエンドエフェクタ上で前記平坦なワークピースの心合わせおよび捕捉を同時に行うことを特徴とする平坦ワークピース搬送装置。 - さらに、前記少なくとも1つのエンドエフェクタ上で慣性を利用した前記平坦なワークピースの心合わせおよび捕捉を行うための、前記駆動部、前記少なくとも1つの可動アーム、前記少なくとも1つのエンドエフェクタ、および前記スルービームセンサを調整する1つまたはそれ以上のコントローラを有することを特徴とする請求項14記載の装置。
- 前記非対称の前パッドおよび後パッドが、2つの前パッドおよび1つの後パッドを含み、前記少なくとも1つのエンドエフェクタが、ほぼ平行な2つまたはそれ以上のエンドエフェクタを含み、それぞれが非対称の前パッドおよび後パッドを有することを特徴とする請求項14記載の装置。
- 各エンドエフェクタブレードがフォーク型であることを特徴とする請求項16記載の装置。
- 前記2つの前パッドが、2つまたはそれ以上の角度のついた支持面を含み、前記1つの後パッドが1つまたはそれ以上の角度のついた支持面を含むことを特徴とする請求項16記載の装置。
- 前記エンドエフェクタ上にある前記平坦なワークピースの心合わせおよび捕捉のための慣性による変位は、前記少なくとも1つのエンドエフェクタの動作の加速で生じることを特徴とする請求項14記載の装置。
- 請求項14記載の装置を備える半導体ツールステーション。
- 前記後パッドが、バネ荷重調節機構を介して前記エンドエフェクタブレードに装着されていることを特徴とする、請求項16記載の装置。
- 平坦なワークピースを搬送する方法であって、
駆動軸、前記駆動軸に連結している可動アーム、および前記可動アームに連結しているエンドエフェクタを具備する平坦なワークピースを搬送する装置の提供ステップを含み、前記エンドエフェクタは、エンドエフェクタブレードに装着されている非対称の前パッドおよび後パッド、前記エンドエフェクタブレード内に装着されているスルービームセンサ、ならびに前記駆動部、前記可動アーム、前記エンドエフェクタ、および前記スルービームセンサを調整するコントローラを有することを特徴とし、
前記方法はさらに、
前記スルービームセンサを用い、ワークピース保持ステーション内にある前記平坦なワークピースの位置を所定の位置に対してマッピングするステップと、
前記エンドエフェクタブレードの前記前パッドおよび後パッドの前記支持面で、前記エンドエフェクタが前記平坦なワークピースを傾斜かつ偏心した状態で取り上げるステップと、
前記エンドエフェクタを動かし、前記平坦なワークピース上で機能する前記非対称前パッドおよび後パッドに対して慣性を利用して前記傾斜かつ偏心した状態から前記平坦なワークピースを変位させ、慣性による変位があったときに前記エンドエフェクタ上で前記平坦なワークピースの心合わせおよび捕捉を同時に行うステップと、
を含むことを特徴とする、平坦なワークピースを搬送する方法。
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